JPH0456322A - 熱処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明（１，半導体装置の製造工程に用いられる熱処
理装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第４図２：び第５図は従来の熱処理装置を示す断面図で
あジ、図において、　ｒｌｌは温度コントロールする為
のヒータ、（２）は石英又１ｄｓｉｃなどでつくられ几
チューブ％（３）はチューブ（２）内？：＊定のガス雰
囲気にする為のガス導入口、　　（４＆＞、　（４ｂ）
はウェハを乗せる為のボート、　＋５）はＳｉなどのウ
ェハ、（６ａ）、　（６ｂ）はウェハ（５）の乗つ几ボ
ート（４ａ）、　（４ｂ）をチューブ（２）内に入れる
為のフォーク＊　　（７ＪＬ）−（７ｂ）にチューブ（
２）にフタをする為のキャップ。

（８ａ）、　（８ｂ）はチューブ（２）内のガスを排気
する為の排気口である。

次に動作について説明する。第４図に示す様にウェハｆ
５１ｉ−ボート（ム）に乗せ、このボートｒ４ａ）ｔフ
ォーク（６ａ）でチューブ（２）内へ挿入してフォーク
（６ａ）のみを引き出しｆｃ後、チューブ（２）にキャ
ンプ（７ａ）でぶ−ｆｃをし、熱処理を行ってい友。熱
処理完了後、キャップ（７ａ）を外し、フォーク（６ａ
）にてウェハ（５）の乗ったボート（４ａ）ｌ引き出し
てい友。あるいは第５図に示す様に、フォーク（６ｂ）
の上にウェハ（５）の乗ったボート（４ｂ）ｔ−乗せ几
まま、挿入、熱処理、引き出しを行っていた。勿論熱処
理中はキャンプ（７ｂ）はチューブ＋２７にふたをして
いる。

〔発明が解決しょうとする課題〕

従来の熱処理装置は以上のように構成されてい穴ので、
揮入口の手前側のウェハと奥側のウェハでは熱履歴が異
なる。まｆｃ１チューブへの挿入。

引出し時に外気の凹シ込みによる半導体装置への悪影響
などがあり、これらの問題を解決する為には、低温挿入
、引出しをする必要があるが、処理時間が非常に長くな
るというなどの問題点かあつ几Ｏ この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、外気のロシ込み防止ができるとともに、処理
能力アンプも可能な熱処理装置を得ることを目的とする
。

〔課題を解決するための手段〕 この発明に係る熱処理装置は、ガス雰囲気を自白に変更
できる特足数のゾーンをもち、かつ温度が自由コントロ
ールできるゾーンをもたせるとともに、ヒータが回転移
動出来るようにしたものである。

〔作用〕

この発明における熱処理装置は、低温（又ぽ常温）で分
割さｎた１つのゾーンにウェハを入れ、温度コントロー
ルされたヒータを同一方向に回転移動させ熱処理を行う
。熱処理完了後（１回転してヒータのない処理ゾーン）
、低温（又は常温）になった状態で、チューブからウェ
ハを取シ出すことにより外気の皿込み防止、均一な熱履
歴を得ることが出来る。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において、１１）は回転移動が可能なヒータ、（２１
１’！チユーブで、（２ａ）〜（２ｆ）の６ゾーンに分
割されている。なお、ヒータＨ１は６分割さｎたチュー
ブ（２）のゾーン数工りｌ／−ン分少ない長さに構成さ
れており、チューブ（２）の各ゾーン別の温度コントロ
ールが出来ようにされている。（３）はガス導入口、（
４）はボート、ｆ７）はキャンプ、（８）は排気口であ
る。

つぎに動作について説明する。ウェハ（５）ヲ乗せたボ
ート（４）をチューブ（２）のゾーン（２ａ）に置き、
キャップ（７）でぶ７ｔｋし、ヒータ（１）ヲ反時計方
向に。

１／６回転分移動させ、ヒータ（１１を駆動して昇温す
る。これによって、ヒータ（１）の加熱ゾーン（ｌａ）
がチューブ（２）のゾーン（２ａ）に来るので、チュー
ブ（２）のゾーン（２ｂ）がヒータ【１）のない状態と
なるので、ウェハ（５）の取り出じやセラトラ行を行う
。昇温完了後、ヒータ（１）の各加熱ゾーン（ｌｂ）〜
（ｌｄ）で熱処理を行う。熱処理完了後はヒータ（１）
の加熱ゾーン（ｌｅ）又はヒータのないゾーンで降温を
行う。低温Ｃ又に常温）になつ之らキャップ（７）を開
け、ボート（４）に乗りｔ試料（ウェハ）（５）を取シ
出す。

ガス供給口（３）は、チューブ（２）の各ゾーン内にも
うけられておシ、任意にガス樵、流量が設定出来る０ さらに、温度勾配のついたヒータが回転することにニジ
、降温スピードが速くなることと、熱処理中、降温中に
次の試料を昇温することが出来るので処理能力アンプが
図れる。又試料がチューブ内を移動しないということか
ら今まで以上の試料への異物付着低減が出来る。

なお、上記実施例では反時計方向の回転、６分割チュー
ブで説明したが、回転方向は左右どちら回転でも、何分
側でもよく、昇温、熱処理、降温はどのヒータのゾーン
を使用してもよい。又、スライド式としても同様の効果
が得られる。

〔発明の効果〕 以上のようにこの発明に工れば、熱処理装置をチューブ
分割（処理ゾーン分割）および、ヒータコントロールゾ
ーンの分割、同一方向の回転移動が出来る構成としたの
で、均一な熱処理、外気のロク込み防止ができる。これ
によって、熱処理装置の処理能力を向上する効果もある
。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例ｖｃＬる熱処理装置を示す
平面図、ｗＪ２図及び第３図はそれぞれ第１図の断面図
、第４図及び第５図は従来の熱処理装置を示す断面図で
ある。 図において、〔ｌ）はヒータ、（２）にチューブ、（３
）はガス導入口、（４）はボート１５）ｉウェハ、（７
）はキャップ１８）ｌｄガス排気口である。 なお、図中、同一符号は同一、又（１相当部分を示す０ 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　ウェハを載置したボートが挿入されるチューブを複数
   のゾーンに分割して各ゾーンに所定のガスを供給、排気
   できるように構成し、挿入された上記チューブを加熱す
   るヒータを上記チューブのゾーン数より１ゾーン分少な
   い長さとゾーンに構成し、上記ヒータのそれぞれのゾー
   ンの加熱温度を制御できるようにしたことを特徴とする
   熱処理装置。