JPH0456251B2 - - Google Patents
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- JPH0456251B2 JPH0456251B2 JP57062769A JP6276982A JPH0456251B2 JP H0456251 B2 JPH0456251 B2 JP H0456251B2 JP 57062769 A JP57062769 A JP 57062769A JP 6276982 A JP6276982 A JP 6276982A JP H0456251 B2 JPH0456251 B2 JP H0456251B2
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 2
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 69
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- 239000001307 helium Substances 0.000 description 4
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- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
- G01M3/226—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、被測定容器にガスを吹き付けるとと
もに、この被測定容器内をポンプにより排気し、
ポンプ側に吸引される単位時間あたりのガスリー
ク量を求めることにより、被測定容器壁における
微小孔の有無およびその大きさ等を検出する装置
に関する。
もに、この被測定容器内をポンプにより排気し、
ポンプ側に吸引される単位時間あたりのガスリー
ク量を求めることにより、被測定容器壁における
微小孔の有無およびその大きさ等を検出する装置
に関する。
微小孔の存在が許されない密閉容器壁におい
て、その微小孔の有無やその大きさを検出するの
に一般にリーク検出装置（リークデイテクタ）が
利用される。ところで、従来技術のリーク検出装
置では、前回のガスリーク量測定テスト後におけ
る残存ガスによりガスリーク量測定メータの指示
値が「ゼロ」にならないのをなくすため、測定テ
スト毎にその指示値が「ゼロ」になるように手動
で補正操作している。即ち、従来技術でのガスリ
ーク量想定テストでは、指示値を「ゼロ」に補正
することにより無効ガスリーク量が測定データに
含まれないようにする一方、指示値がそのまま正
味のガスリーク量をあらわすようにしている。と
ころが、測定テスト毎に指示値を「ゼロ」に手動
で補正操作することは非常に煩しい上、正確さに
欠けるところがある。
て、その微小孔の有無やその大きさを検出するの
に一般にリーク検出装置（リークデイテクタ）が
利用される。ところで、従来技術のリーク検出装
置では、前回のガスリーク量測定テスト後におけ
る残存ガスによりガスリーク量測定メータの指示
値が「ゼロ」にならないのをなくすため、測定テ
スト毎にその指示値が「ゼロ」になるように手動
で補正操作している。即ち、従来技術でのガスリ
ーク量想定テストでは、指示値を「ゼロ」に補正
することにより無効ガスリーク量が測定データに
含まれないようにする一方、指示値がそのまま正
味のガスリーク量をあらわすようにしている。と
ころが、測定テスト毎に指示値を「ゼロ」に手動
で補正操作することは非常に煩しい上、正確さに
欠けるところがある。
本発明の目的は、上述に鑑み、測定ガスリーク
量から無効ガスリーク量を自動的に減算すること
により簡易かつ正確に正味のガスリーク量を得る
ことができるリーク検出装置を提供することであ
る。
量から無効ガスリーク量を自動的に減算すること
により簡易かつ正確に正味のガスリーク量を得る
ことができるリーク検出装置を提供することであ
る。
本発明は、上記目的を達成するため、被測定容
器にガスを吹き付けるとともに、この被測定容器
をポンプにより排気し、ポンプ側に吸引される単
位時間あたりのガスリーク量を求めることによ
り、被測定容器壁における微小孔の有無およびそ
の大きさ等を検出する装置において、ガスリーク
量を測定する第１の手段と、測定開始前の前記第
１の手段からの測定データから経時変化特性に基
づいて無効ガスリーク量を記憶あるいは計算する
第２の手段と、測定開始後は前記第１の手段から
の見掛け上のガスリーク量から前記第２の手段か
らの経時的に対応する無効ガスリーク量を減算し
て正味のガスリーク量を得る第３の手段とを含む
リーク検出装置で構成される。
器にガスを吹き付けるとともに、この被測定容器
をポンプにより排気し、ポンプ側に吸引される単
位時間あたりのガスリーク量を求めることによ
り、被測定容器壁における微小孔の有無およびそ
の大きさ等を検出する装置において、ガスリーク
量を測定する第１の手段と、測定開始前の前記第
１の手段からの測定データから経時変化特性に基
づいて無効ガスリーク量を記憶あるいは計算する
第２の手段と、測定開始後は前記第１の手段から
の見掛け上のガスリーク量から前記第２の手段か
らの経時的に対応する無効ガスリーク量を減算し
て正味のガスリーク量を得る第３の手段とを含む
リーク検出装置で構成される。
以下、本発明を図示の実施例により詳細に説明
する。
する。
第１図は、本発明の一実施例のブロツク回路図
である。測定部１は、容器壁における微小孔の有
無および大きさ等に応じてリーク（漏れ）するガ
ス量を測定する。上記ガスリークが検出される容
器は、例えば半導体製造の際に半導体を収納する
ように用いられるもので、金属製で熔接部分を備
え、その熔接部分等の微少孔のガスリーク量を測
定する。検出装置は、容器内部に気密に接続され
るパイプと、そのパイプ途中に設けられ通過する
ヘリウムガスを検出してその流量を測定する流量
測定部と、そのパイプ端に接続される真空引きの
ポンプとからなる一般的な構成を備える。
である。測定部１は、容器壁における微小孔の有
無および大きさ等に応じてリーク（漏れ）するガ
ス量を測定する。上記ガスリークが検出される容
器は、例えば半導体製造の際に半導体を収納する
ように用いられるもので、金属製で熔接部分を備
え、その熔接部分等の微少孔のガスリーク量を測
定する。検出装置は、容器内部に気密に接続され
るパイプと、そのパイプ途中に設けられ通過する
ヘリウムガスを検出してその流量を測定する流量
測定部と、そのパイプ端に接続される真空引きの
ポンプとからなる一般的な構成を備える。
測定方法について簡単に説明する。容器は大気
中に設置され、真空引きポンプが作動されること
により容器内の真空引きを行う。そして、真空状
態が得られる段階で真空引きポンプの作動を継続
しながら容器壁の外面からヘリウムガスを吹き付
ける。これにより、容器に微少孔があればヘリウ
ムガスがその微少孔から容器内部に侵入し、さら
に、真空引きポンプ側に吸引移動されることによ
り流量測定部でその単位時間あたりのヘリウムガ
ス流量が測定される。第２図は、測定部１におい
て測定されたガスリーク量を時間軸上にあらわす
ものである。第２図において、Q1，Q2およびQ3
は、それぞれ第１、第２および第３回目のガスリ
ーク量測定テストによるガスリーク量曲線であ
り、各立上がり部分はガス吹き付け開始時を、各
立上がり部分はガスの吹き付けを中止した状態を
あらわしている。上記のように同一容器に対して
３回の測定テストは、容器の異なる３面それぞれ
において行う。ところで、前記測定部１では、測
定テスト開始と同時に容器壁を通過したガスリー
ク量（正味ガスリーク量）に、容器内や測定部内
に測定テスト開始前から存在していたガスリーク
量（無効ガスリーク量）を加算した見掛け上のガ
スリーク量が測定される。本実施例では、次に述
べる第１、第２の計算部２，３により見掛け上の
ガスリーク量から無効ガスリーク量を減算して、
自動的に正味のガスリーク量が得られるようにし
ている。
中に設置され、真空引きポンプが作動されること
により容器内の真空引きを行う。そして、真空状
態が得られる段階で真空引きポンプの作動を継続
しながら容器壁の外面からヘリウムガスを吹き付
ける。これにより、容器に微少孔があればヘリウ
ムガスがその微少孔から容器内部に侵入し、さら
に、真空引きポンプ側に吸引移動されることによ
り流量測定部でその単位時間あたりのヘリウムガ
ス流量が測定される。第２図は、測定部１におい
て測定されたガスリーク量を時間軸上にあらわす
ものである。第２図において、Q1，Q2およびQ3
は、それぞれ第１、第２および第３回目のガスリ
ーク量測定テストによるガスリーク量曲線であ
り、各立上がり部分はガス吹き付け開始時を、各
立上がり部分はガスの吹き付けを中止した状態を
あらわしている。上記のように同一容器に対して
３回の測定テストは、容器の異なる３面それぞれ
において行う。ところで、前記測定部１では、測
定テスト開始と同時に容器壁を通過したガスリー
ク量（正味ガスリーク量）に、容器内や測定部内
に測定テスト開始前から存在していたガスリーク
量（無効ガスリーク量）を加算した見掛け上のガ
スリーク量が測定される。本実施例では、次に述
べる第１、第２の計算部２，３により見掛け上の
ガスリーク量から無効ガスリーク量を減算して、
自動的に正味のガスリーク量が得られるようにし
ている。
即ち、容器内あるいは測定部内に残存するガス
を新たな測定テストのためにポンプを継続運転し
て排気する場合、ガスは、第３図に示す排気特性
曲線にしたがつて排気される。
を新たな測定テストのためにポンプを継続運転し
て排気する場合、ガスは、第３図に示す排気特性
曲線にしたがつて排気される。
この排気特性曲線は指数関数的に変化するの
で、任意の無効ガスリーク量を算出する方法とし
て、次の２つの方法がある。まず、第１の方法に
ついて説明する。即ち、第１の方法では、ガスリ
ーク量について第３図に示されるような排気特性
を測定し、各時刻におけるリーク量を経過時間ｔ
をリーク量Ｑとを対応させて、Ｑ＝Ｑ（ｔ）のよ
うに記憶しておく。今、第４図に示すように、あ
る測定テスト終了時における見掛け上のガスリー
ク量が時刻t1において、Q′であつたとき、その時
刻t1より以降の無効ガスリーク量は次の関係式か
ら求めることができる。
で、任意の無効ガスリーク量を算出する方法とし
て、次の２つの方法がある。まず、第１の方法に
ついて説明する。即ち、第１の方法では、ガスリ
ーク量について第３図に示されるような排気特性
を測定し、各時刻におけるリーク量を経過時間ｔ
をリーク量Ｑとを対応させて、Ｑ＝Ｑ（ｔ）のよ
うに記憶しておく。今、第４図に示すように、あ
る測定テスト終了時における見掛け上のガスリー
ク量が時刻t1において、Q′であつたとき、その時
刻t1より以降の無効ガスリーク量は次の関係式か
ら求めることができる。
QI＝QBG＋Ｑ（ｔ）／Ｑ（ｔ＝０）−QBG×（Q′−QBG
） ここで、QBGは前記ガスリーク量についての排
気特性を長時間測定して得られる飽和リーク量
（リークガスのバツクグラウンド検出量）である。
上記の式において、Ｑ（ｔ）Ｑ（ｔ＝０）−QBGは 第３図の指数曲線に基づいて得られる全体のガス
リーク量に対するｔ時間後のガスリーク量の割合
を示し、この割合を第４図によつて得られる実際
の全体のガスリーク量Q′−QBGに乗算するととも
に、その乗算値に飽和リーク量QBGを加算するこ
とにより無効ガスリーク量を得ている。
） ここで、QBGは前記ガスリーク量についての排
気特性を長時間測定して得られる飽和リーク量
（リークガスのバツクグラウンド検出量）である。
上記の式において、Ｑ（ｔ）Ｑ（ｔ＝０）−QBGは 第３図の指数曲線に基づいて得られる全体のガス
リーク量に対するｔ時間後のガスリーク量の割合
を示し、この割合を第４図によつて得られる実際
の全体のガスリーク量Q′−QBGに乗算するととも
に、その乗算値に飽和リーク量QBGを加算するこ
とにより無効ガスリーク量を得ている。
次に、第２の方法について説明する。第２の方
法では、第５図に示すように、テスト終了時か
ら、次に新たにテストを開始するまでの間で、テ
スト終了時からの経過時間（tn）とそのときのリ
ーク量（Qn）とを記憶し、その（tn），（Qn）を
用いての回帰分析計算を行つて、任意の時間にお
ける無効ガスリーク量を推定する。この任意の時
間における無効ガスリーク量〔Ｑ（ｔ）〕は、次の
関係式から求めることができる。
法では、第５図に示すように、テスト終了時か
ら、次に新たにテストを開始するまでの間で、テ
スト終了時からの経過時間（tn）とそのときのリ
ーク量（Qn）とを記憶し、その（tn），（Qn）を
用いての回帰分析計算を行つて、任意の時間にお
ける無効ガスリーク量を推定する。この任意の時
間における無効ガスリーク量〔Ｑ（ｔ）〕は、次の
関係式から求めることができる。
Ｑ（ｔ）＝Q′exp（−ｔ／τ）＋QBG
ここで、Q′，τ，QBGは次の回帰分析計算式に
よつて決定される。
よつて決定される。
QBG＝１／ｎ〔o=1
〓j=0
Qj−o=1
〓j=0
Q′exp（−tj／τ）〕
今、無効ガスリーク量を第１の方法で求めると
すると、第４図における新たな測定テストにおけ
る時刻t3の正味のガスリーク量Qvは、見掛け上
のガスリーク量Q″を測定部１で測定して得る一
方、第１計算部２で前記関係式の時間ｔにt3を代
入して無効ガスリーク量QIを計算し、第２計算
部３で見掛け上のガスリーク量Q″から無効ガス
リーク量QIを減算することにより求められる。
すると、第４図における新たな測定テストにおけ
る時刻t3の正味のガスリーク量Qvは、見掛け上
のガスリーク量Q″を測定部１で測定して得る一
方、第１計算部２で前記関係式の時間ｔにt3を代
入して無効ガスリーク量QIを計算し、第２計算
部３で見掛け上のガスリーク量Q″から無効ガス
リーク量QIを減算することにより求められる。
本実施例では、或る測定テスト終了後から無効
ガスリーク量がQBGのようにほぼ一定になるまで
待つことなく、次の測定テストを開始することが
できるので、繰返して、このような測定テストを
行う場合には非常に好適である。
ガスリーク量がQBGのようにほぼ一定になるまで
待つことなく、次の測定テストを開始することが
できるので、繰返して、このような測定テストを
行う場合には非常に好適である。
以上説明したように、本発明によれば、上述の
構成を有するので、測定された見掛け上のガスリ
ーク量から無効ガスリーク量を減算して自動的に
正味のガスリーク量を求めることができ、測定操
作上の煩わしさが解消される。しかも、見掛け上
のガスリーク量から経時的に対応する無効ガスリ
ーク量を減算して正味のガスリーク量を得るよう
にしているので、精度の高い測定が可能となる。
構成を有するので、測定された見掛け上のガスリ
ーク量から無効ガスリーク量を減算して自動的に
正味のガスリーク量を求めることができ、測定操
作上の煩わしさが解消される。しかも、見掛け上
のガスリーク量から経時的に対応する無効ガスリ
ーク量を減算して正味のガスリーク量を得るよう
にしているので、精度の高い測定が可能となる。
第１図は本発明の一実施例のブロツク回路図、
第２図は上記実施例における測定テスト毎のガス
リーク量曲線を時間軸上にあらわしたグラフ、第
３図は排気系における無効ガスリーク量の減衰特
性曲線を時間軸にあらわしたグラフ、第４図、第
５図は上記実施例による測定動作の説明に供する
ガスリーク量の時間軸上における各グラフであ
る。１……測定部、２……第１計算部、３……第
２計算部。
第２図は上記実施例における測定テスト毎のガス
リーク量曲線を時間軸上にあらわしたグラフ、第
３図は排気系における無効ガスリーク量の減衰特
性曲線を時間軸にあらわしたグラフ、第４図、第
５図は上記実施例による測定動作の説明に供する
ガスリーク量の時間軸上における各グラフであ
る。１……測定部、２……第１計算部、３……第
２計算部。
Claims (1)
- １ 被測定容器にガスを吹き付けるとともに、こ
の被測定容器内をポンプにより排気し、ポンプ側
に吸引される単位時間あたりのガスリーク量を求
めることにより、被測定容器壁における微小孔の
有無およびその大きさ等を検出する装置におい
て、ガスリーク量を測定する第１の手段と、測定
開始前の前記第１の手段からの測定データから経
時変化特性に基づいて無効ガスリーク量を記憶あ
るいは計算する第２の手段と、測定開始後は前記
第１の手段からの見掛け上のガスリーク量から前
記第２の手段からの経時的に対応する無効ガスリ
ーク量を減算して正味のガスリーク量を得る第３
の手段とを含むことを特徴とする、リーク検出装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6276982A JPS58179330A (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 | リ−ク検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6276982A JPS58179330A (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 | リ−ク検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58179330A JPS58179330A (ja) | 1983-10-20 |
| JPH0456251B2 true JPH0456251B2 (ja) | 1992-09-07 |
Family
ID=13209920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6276982A Granted JPS58179330A (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 | リ−ク検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58179330A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2688307B1 (fr) * | 1992-03-04 | 1997-10-24 | Aerospatiale | Procede de detection et de quantification globale de fuites sur au moins une jonction d'une capacite. |
| DE102004050762A1 (de) * | 2004-10-16 | 2006-04-20 | Inficon Gmbh | Verfahren zur Lecksuche |
| KR102055739B1 (ko) * | 2015-08-31 | 2019-12-13 | 시마쯔에미트 가부시키가이샤 | 헬륨 리크 디텍터 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS556801B2 (ja) * | 1974-07-02 | 1980-02-20 | ||
| JPS55160873A (en) * | 1979-06-04 | 1980-12-15 | Aloka Co Ltd | Dosage measuring method |
| JPS58158533A (ja) * | 1982-03-16 | 1983-09-20 | Toshiba Corp | リ−クテスト方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS556801U (ja) * | 1978-06-29 | 1980-01-17 |
-
1982
- 1982-04-14 JP JP6276982A patent/JPS58179330A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS556801B2 (ja) * | 1974-07-02 | 1980-02-20 | ||
| JPS55160873A (en) * | 1979-06-04 | 1980-12-15 | Aloka Co Ltd | Dosage measuring method |
| JPS58158533A (ja) * | 1982-03-16 | 1983-09-20 | Toshiba Corp | リ−クテスト方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58179330A (ja) | 1983-10-20 |
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