JPS58158533A - リ−クテスト方法 - Google Patents

リ−クテスト方法

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Publication number
JPS58158533A
JPS58158533A JP4132982A JP4132982A JPS58158533A JP S58158533 A JPS58158533 A JP S58158533A JP 4132982 A JP4132982 A JP 4132982A JP 4132982 A JP4132982 A JP 4132982A JP S58158533 A JPS58158533 A JP S58158533A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
leak
time
test
volume
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4132982A
Other languages
English (en)
Inventor
Shohei Takehara
竹原 正平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Tokyo Shibaura Electric Co Ltd filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP4132982A priority Critical patent/JPS58158533A/ja
Publication of JPS58158533A publication Critical patent/JPS58158533A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/202Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、リークテスト方法の改良に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
従来、プローブガスを充填した被試験体を試験容器に収
納密封し、被試験体からのり−クガスの有無および試験
容器内の気体をサンプリングしてそのリークガス濃度を
測定し、そのリーク量を求めるリークテスト方法がある
が、この方法は、1回のサンプリングによって被試験体
からのリークガスの有無およびそのリークガス濃度を測
定していた。
また、上記方法を用いて複数回測定を繰り返した場合、
試験容器内に前回の測定で用いられたプローブガスが残
留してしまうという問題が起こる。ゆえに、この残留ガ
スを除去するためエアー、N2等による試験容器の洗浄
が行なわれるが、完全に試験容器内の残留ガスは除去さ
れない。したがって、試験容器内の残留ガスのために被
試験体からのリークガスの有無およびそのリークガス濃
度を正確に測定することは困難である。
〔発明の目的〕
本発明は、試験容器内に残留ガスがあっても被試験体の
正確なリーク量を測定し得るリークテスト方法を提供す
ることを目的とする。
〔発明の概要〕
本発明は、試験容器の内部にプローブガスを充填した被
試験体を収納した後、一定時間内に試験容器内の気体の
サンプリングを所定時間内に少なくとも2回行ない、こ
れらのサンプリングされた気体のガス濃度を各々リーク
デテクタにより測定することにより、その時間経過によ
るガス濃度差を求め、被試験体のリーク量を測定するこ
とにより、上記目的を達成せんとするものである。
〔発明の実施例〕
第1図は本発明のリークテスト方法を適用した装置の一
実施例を示す構成図である。同図において11はプロー
ブガスを充填してなる被試験体であり、これは試験容器
12内に収納密封されている。そして、試験容器12に
は開閉弁13を弁してリークデテクタ14が接続されて
いる。ここで、リークデテクタ14は試験容器12内の
リーク濃度を測定するものである。
このように構成された装置を用いてリーク量を測定する
方法を説明する。まず、被試験体1ノの内部にプローブ
ガスを充填する。しかる後、この被試験体11を試験容
器12の中に収納し密封する。この状態において被試験
体J1よりリークガスQが漏れていた場合、そのリーク
ガスQが試験容器12の底面に蓄積する。そこで、1、
時刻において開閉弁13を開いてリークガスQをリーク
デテクタ14でサンプリングする。
このリークガス濃度をA、 とする。さらに、所定時間
後t2時刻においても、そのリークガス濃度A2を測定
する。これにより、tt”−t22時間におけるリーク
ガス濃度差A、 −AI  が求められる。ここで、試
験容器12の容積から被試験体1ノの容積の差をとった
有効容積Vと、1.〜t2の時間は読値であるので、単
位時間当9のリーク蓋Qoは次式で表わされる。
この式によって被試験体11からの単位時間当りのリー
クit Q oが得られる。
したがって、被試験体11からのリークガス濃度の測定
を所定時間間隔おいて2回行ない、そのリークガス濃度
の差によって被試験体11からのリークガス量Qoが得
られるので、もし試験容器12の内部に残留ガスAOが
あってもその影響を受けずに被試験体11からのリーク
ガスfit Q oを正確に得られる。さらに、本方法
ではリークガス濃度の測定を短時間で行なうので、リー
クデテクタ14の長時間使用における感度劣化を防ぐこ
とができる。
なお、本発明は上記方法に限定されるものではない。た
とえはリークガス濃度夏の測定回数を複数回とし、時間
経過に対するリークガス濃度差を求めて被試験体11か
らのリークガス量を求める方法もある。
〔元明の効果〕
以上詳記したようi/(本発明によれば、試験容器内に
残留ガスがあっても、その影響を受けずに被試験体から
の正確なリーク量を得ることが5− できるリークテスト方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明方法を適用した装置の一実施例を示す構
成図、第2図はリークガス濃度測定のタイミングを示す
図である。 11・・・被試験体、12・・・試験容器、14・・・
リークデテクタ。 出願人代理人  弁理士 鈴 江 武 彦6− 第1図 第2 図 tl      t2 187一

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 試験容器の内部にプローブガスを充、填した被試験体を
    収納し、試験容器内のが=を一供して被試験体のリーク
    をテストするものにおいて、試験容器内の気体のサンプ
    リングを一定時間内に少なくとも2回行ない、このサン
    シリンダされた複数回の気体のガス一度をリークデテク
    タで測定したのち、これらのガス濃度差から被試験体の
    リーク量を測定することを特徴とするリークテスト方法
JP4132982A 1982-03-16 1982-03-16 リ−クテスト方法 Pending JPS58158533A (ja)

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JPS58158533A true JPS58158533A (ja) 1983-09-20

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ID=12605475

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