JPS59180340A - 漏洩試験装置 - Google Patents
漏洩試験装置Info
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- JPS59180340A JPS59180340A JP5379483A JP5379483A JPS59180340A JP S59180340 A JPS59180340 A JP S59180340A JP 5379483 A JP5379483 A JP 5379483A JP 5379483 A JP5379483 A JP 5379483A JP S59180340 A JPS59180340 A JP S59180340A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
- G01M3/226—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
- G01M3/229—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators removably mounted in a test cell
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- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
この発明は、被試験体の気密性あるいは水密性を測定す
る漏洩試験装置に関する。
る漏洩試験装置に関する。
１、［発明の技術的背景とその問題点］第１図は、漏洩
試験装置の従来例を示すもので、その構成作用としては
次に説明づる如きである。
試験装置の従来例を示すもので、その構成作用としては
次に説明づる如きである。
１は気密あるいは水密を必要とする容器あるいは装置等
の被試験体３を収納する収納容器て、当該容器には、そ
の内部の気体の一部がポンプ等の吸気（幾構で構成され
るガスサンプリング懇＋ｉ５５てザンゾリングされ”Ｃ
リークデテクタ７に導かれるように、配管系９か接続さ
れている。前記被試欺体：３は、収納容器１に収納され
る前あるいは後に、１）４記リークデテクタ７が鋭敏な
感度で検出できるＲ定のガス（以下「プローブガス」と
呼７ＳＯか内部に充１眞される。このような構成におい
て、プローブカスを充填けしめられた被試験体３の収納
当初にお【」る収納容器内のプローブガス′ｆＡ度は、
羽であるが、供試、験体３の気密あるいは水密が完全で
ない場合には、プローブガスが当該収納＠器内に漏れ出
ずので、当該収納容器内のプローブガス濃度は時間経過
に１゛ｖっで高くなる。この津度上背はリークデテクタ
７によって測定されるので、当該測定結末にＸｊｌつい
て遼試験体３のリークｉｆｊを知ることができる。
の被試験体３を収納する収納容器て、当該容器には、そ
の内部の気体の一部がポンプ等の吸気（幾構で構成され
るガスサンプリング懇＋ｉ５５てザンゾリングされ”Ｃ
リークデテクタ７に導かれるように、配管系９か接続さ
れている。前記被試欺体：３は、収納容器１に収納され
る前あるいは後に、１）４記リークデテクタ７が鋭敏な
感度で検出できるＲ定のガス（以下「プローブガス」と
呼７ＳＯか内部に充１眞される。このような構成におい
て、プローブカスを充填けしめられた被試験体３の収納
当初にお【」る収納容器内のプローブガス′ｆＡ度は、
羽であるが、供試、験体３の気密あるいは水密が完全で
ない場合には、プローブガスが当該収納＠器内に漏れ出
ずので、当該収納容器内のプローブガス濃度は時間経過
に１゛ｖっで高くなる。この津度上背はリークデテクタ
７によって測定されるので、当該測定結末にＸｊｌつい
て遼試験体３のリークｉｆｊを知ることができる。
しかしながら、前述した従来の漏洩試験装置では、収納
容器内の気体を清浄気１本に置換する作業、および配管
系、リーンプリング（幾横、リークデテクタの完全な清
浄化作業の試験終了毎の実行に時間がかかる等の理由で
困難なため、以前の試験で漏洩したプローブカスの一部
が試験装置内に残留する。このため゛、一定のリーク量
を有する被試験イホを収納容器に入れて当該容器内のプ
ローブカス）開度を測定した場合のリークデテクタの出
力としては、本来第２図（ａ ）に示す如く変化づへき
であるが、実際には第２図の（Ｉ〕）〜（（１〉に示す
如く、被試験体が収納容器内にない場合であってもリー
クデテクタの測定値は零にはならない、換言すればゼロ
点が変動する（第２図の（１１） 、 （（１））、
またリークデテクタの感度が変動する（第２図の（ｃ）
、（ｄ＞に示すような変化で、一般に１−ライス効果」
と呼ばれる）といった問題が生じ、結果として、高精度
でリーク量を測定することが難しい。
容器内の気体を清浄気１本に置換する作業、および配管
系、リーンプリング（幾横、リークデテクタの完全な清
浄化作業の試験終了毎の実行に時間がかかる等の理由で
困難なため、以前の試験で漏洩したプローブカスの一部
が試験装置内に残留する。このため゛、一定のリーク量
を有する被試験イホを収納容器に入れて当該容器内のプ
ローブカス）開度を測定した場合のリークデテクタの出
力としては、本来第２図（ａ ）に示す如く変化づへき
であるが、実際には第２図の（Ｉ〕）〜（（１〉に示す
如く、被試験体が収納容器内にない場合であってもリー
クデテクタの測定値は零にはならない、換言すればゼロ
点が変動する（第２図の（１１） 、 （（１））、
またリークデテクタの感度が変動する（第２図の（ｃ）
、（ｄ＞に示すような変化で、一般に１−ライス効果」
と呼ばれる）といった問題が生じ、結果として、高精度
でリーク量を測定することが難しい。
［発明の目的］
この発明は上記に鑑みてなされたもので、その目的は、
被試験体のリーク量を８精度で測定づることがでさる漏
洩試験装置を提供することにある。
被試験体のリーク量を８精度で測定づることがでさる漏
洩試験装置を提供することにある。
［発明の概９］
上記目的を達成−するために、この発明は、プローブカ
スが充１眞された被試験体を収納した収納容器内の気体
の一部を濃度測定手段に導き、当該気体中に含Ｊ：れる
プローブガスの時間経過に伴う潤度変化に卑づき当該被
試験体のリーク量を測定覆る装置にＪういて、前記収納
容器または前記ｐ度測定−ｒ段ＩＣＴ ｉ’＋ｉｉ記プ
ローブガスを含まない清浄気体を導入可能に当該清浄気
体の供給源を設けると玖に、前記詣度測定千「９に既知
）開度または既知リーク部のブ１−１−ブガスを）９人
可能に当該プローブカスの供給源を設【Ｊ、前記既知濃
度または既知リーク量のブ゛［」−ブカスおＪ、び前記
；青浄気１本についての）門ｗ」１１定結果に阜ついて
前記淵劇測定手段のピロ点補正おＪ、ひ感度補正を行な
い被試験体のリーク量を測定出力する手段を設けたこと
を要旨と覆る。
スが充１眞された被試験体を収納した収納容器内の気体
の一部を濃度測定手段に導き、当該気体中に含Ｊ：れる
プローブガスの時間経過に伴う潤度変化に卑づき当該被
試験体のリーク量を測定覆る装置にＪういて、前記収納
容器または前記ｐ度測定−ｒ段ＩＣＴ ｉ’＋ｉｉ記プ
ローブガスを含まない清浄気体を導入可能に当該清浄気
体の供給源を設けると玖に、前記詣度測定千「９に既知
）開度または既知リーク部のブ１−１−ブガスを）９人
可能に当該プローブカスの供給源を設【Ｊ、前記既知濃
度または既知リーク量のブ゛［」−ブカスおＪ、び前記
；青浄気１本についての）門ｗ」１１定結果に阜ついて
前記淵劇測定手段のピロ点補正おＪ、ひ感度補正を行な
い被試験体のリーク量を測定出力する手段を設けたこと
を要旨と覆る。
［発明の実施例］
以下、図面を用いてこの発明の詳細な説明りる。
第３図および第４図はこの発明の一実施例を示すもので
、第３図は構成図、第４図は動作タイｌ＼ヂャ−１〜で
ある。収納容器１０には、以前（二行なった漏洩試験で
漏れ出たプローブカスの残留分（こよる濃度（バックグ
ラウンド）を低減するため【こ取入れる、プローブガス
を含まない例え【五゛窒素ガス又は乾燥空気等の清浄気
体のクリーンア・ノブガス′＆１１が第１のクリーンア
ップガス供給弁１２を介して設けられていると共に、リ
ンブリング弁１３の開時には、収納容器内の気体の一部
かブｊスサンプリング機構５で１ノンブリングされてリ
ークデテクタ７に導かれるように、配管系９がＩＤ １
２されている。また、収納容器１０には、被試験体３の
収納後にプローブガスを被試験１本内部に充唄可能な如
く配管系１４が設けられており、当該配管系にはプロー
ブガス源１５およびプローブカス１１１、給弁１６が接
続されている。一方、前記リンブリング弁１３とガスサ
ンプリング４ｉ （Ｒ５との間の配管系９は、以前に行
なった漏洩試験で漏れ出たプ日−＝ツカ゛スの力′ス→
ノシプリング機（苗５およびリークデテクタ７内の残留
分をできる限り少なくするた゛めに、清浄気体を取入れ
ることかできるように第２のクリーンアップガス供給弁
１７を介して前記クリーンアップガス８！１］に接続さ
れ、またリークデー７クタ７の感度補正のために既知濃
度のプしＪ−ブガスを取入れ可能に校正弁１８を介して
基１１１ｘブローフカス源１つに接続されている。前記
リーク７′アクタ７には、当該デテクタ出力に基ついて
感度補正を行なうと共に、当該デテクタ出力１１ムを表
示させるべく表示装置２０を制御づる演瞬装置２１が△
、□’ｌ）１ンバータ２２を介して接続されている。Ｊ
なお、前記第１および第２のクリーンアップカス供給弁
１２および１７．リンプリング弁１３、グロー１ガス供
給弁１Ｇ、校正弁１８の開［（（制御、Ｊ３よび演０装
＠２１．Ａ／Ｄコンハーク２２の駆動制御は制御装置２
３′ｃ行なわれる。
、第３図は構成図、第４図は動作タイｌ＼ヂャ−１〜で
ある。収納容器１０には、以前（二行なった漏洩試験で
漏れ出たプローブカスの残留分（こよる濃度（バックグ
ラウンド）を低減するため【こ取入れる、プローブガス
を含まない例え【五゛窒素ガス又は乾燥空気等の清浄気
体のクリーンア・ノブガス′＆１１が第１のクリーンア
ップガス供給弁１２を介して設けられていると共に、リ
ンブリング弁１３の開時には、収納容器内の気体の一部
かブｊスサンプリング機構５で１ノンブリングされてリ
ークデテクタ７に導かれるように、配管系９がＩＤ １
２されている。また、収納容器１０には、被試験体３の
収納後にプローブガスを被試験１本内部に充唄可能な如
く配管系１４が設けられており、当該配管系にはプロー
ブガス源１５およびプローブカス１１１、給弁１６が接
続されている。一方、前記リンブリング弁１３とガスサ
ンプリング４ｉ （Ｒ５との間の配管系９は、以前に行
なった漏洩試験で漏れ出たプ日−＝ツカ゛スの力′ス→
ノシプリング機（苗５およびリークデテクタ７内の残留
分をできる限り少なくするた゛めに、清浄気体を取入れ
ることかできるように第２のクリーンアップガス供給弁
１７を介して前記クリーンアップガス８！１］に接続さ
れ、またリークデー７クタ７の感度補正のために既知濃
度のプしＪ−ブガスを取入れ可能に校正弁１８を介して
基１１１ｘブローフカス源１つに接続されている。前記
リーク７′アクタ７には、当該デテクタ出力に基ついて
感度補正を行なうと共に、当該デテクタ出力１１ムを表
示させるべく表示装置２０を制御づる演瞬装置２１が△
、□’ｌ）１ンバータ２２を介して接続されている。Ｊ
なお、前記第１および第２のクリーンアップカス供給弁
１２および１７．リンプリング弁１３、グロー１ガス供
給弁１Ｇ、校正弁１８の開［（（制御、Ｊ３よび演０装
＠２１．Ａ／Ｄコンハーク２２の駆動制御は制御装置２
３′ｃ行なわれる。
次に、この実施例の動作を第４図の＜Ａ）〜（Ｆ）と共
に説明する。なお、同図に、１３いて、（Ａ）〜り［）
はそれぞれ順に４ノンブリング弁１３、校正弁１８．プ
ローブガス供給弁１６．第１のクリーンアップガス供給
弁１２．第２めクリーンアップガス供給弁１７の開閉状
態、（Ｆ）は１１￥間経過に１゛１−う収納容器１０内
のプローブカス濃度の変化例である。
に説明する。なお、同図に、１３いて、（Ａ）〜り［）
はそれぞれ順に４ノンブリング弁１３、校正弁１８．プ
ローブガス供給弁１６．第１のクリーンアップガス供給
弁１２．第２めクリーンアップガス供給弁１７の開閉状
態、（Ｆ）は１１￥間経過に１゛１−う収納容器１０内
のプローブカス濃度の変化例である。
被試験体３が収納容器１０内に収納されるとくこの時間
をＬＯとする〉、制御装置２３は、第１のクリーンアッ
プカス供給弁１２を一定時間（ｔｌ−［０）／どり問い
てクリーンアップガス源１１から清浄気体を収納容器１
０内に穫いて当該容器内を不完全ながら清浄にしｔこ後
（第４図＜Ｄ））、サンプリング弁１３を一定口）間（
１２−１＋ ）だ（プ問いて収納容器１０内の気１本
の一部をカスリンブリング機構５の駆動によってリーク
デテクタ７に導き（第４図（Ａ）〉、導いた気イホ中の
プローブガス濃度Ｃｏを測定させて測定結末を洩り）装
置２１のレジスタに記憶さＵる。づなわら当該測定によ
って収納容器１０内にＪ＞ Ｌｊるプローブカスのバッ
クグラウンド値が測定されたことになる。
をＬＯとする〉、制御装置２３は、第１のクリーンアッ
プカス供給弁１２を一定時間（ｔｌ−［０）／どり問い
てクリーンアップガス源１１から清浄気体を収納容器１
０内に穫いて当該容器内を不完全ながら清浄にしｔこ後
（第４図＜Ｄ））、サンプリング弁１３を一定口）間（
１２−１＋ ）だ（プ問いて収納容器１０内の気１本
の一部をカスリンブリング機構５の駆動によってリーク
デテクタ７に導き（第４図（Ａ）〉、導いた気イホ中の
プローブガス濃度Ｃｏを測定させて測定結末を洩り）装
置２１のレジスタに記憶さＵる。づなわら当該測定によ
って収納容器１０内にＪ＞ Ｌｊるプローブカスのバッ
クグラウンド値が測定されたことになる。
次に、制御装置ζＣ２３はプローブガス供給弁１Ｇを聞
いてプローブカスを被試験体３内に充填する（第４図（
Ｃ））。この状態において、被試験体３に一定ｆｉＮＱ
のリークがあると、収納容器１０内のブ１」−ブガス濶
度は、時間の経過と共に高くなる。当該リークＩＱは、
リークデータ測定を前述したバックグラウンド値の測定
から時間Ｔ経過後に行なうものどじ（第４図（Ａ）参照
）、また１４間丁経過後のプローブガス濃度をＣ１とし
、さらに収納容器１０内の実容積く収納容器１０の容積
から被試験１ホ３の容積を減じた値〉をＶどづ−ると、
Ｑ＝△Ｃｘ Ｖ ／ Ｔ −（Ｃ＋ Ｃｏ ）Ｘ Ｖ
、／ Ｔ・・・・・・・・・（１）４「るｊ（Ｃ求め
ることができる。どころが、リーク試験をしていないと
きには、サンプリングは構５おｊ；びリークデテクタ７
に残留している以前のり−ク試照で漏れ出たプローブガ
スをできるだＧＪ除去するため（こ、第２のクリーンア
ップガス供給弁１７が聞かねて浴浄気体がサンプリング
機構５ Ｊ３よびリークデテクタ７に供給されているが
（第４図（Ｅ））、完全な除去は困難であるため、除去
できなかったプローブガスにより、ゼロ点補正Ｊ３よび
感度補正が行なわれていないリークデテクタ７では、真
のプローブガス濃度値Ｃ＋ 、Ｃｏをａ＋１定するこ
とかできない。そこで、次に説明する方法で当該補正お
よびリーク化の算出を行なう。
いてプローブカスを被試験体３内に充填する（第４図（
Ｃ））。この状態において、被試験体３に一定ｆｉＮＱ
のリークがあると、収納容器１０内のブ１」−ブガス濶
度は、時間の経過と共に高くなる。当該リークＩＱは、
リークデータ測定を前述したバックグラウンド値の測定
から時間Ｔ経過後に行なうものどじ（第４図（Ａ）参照
）、また１４間丁経過後のプローブガス濃度をＣ１とし
、さらに収納容器１０内の実容積く収納容器１０の容積
から被試験１ホ３の容積を減じた値〉をＶどづ−ると、
Ｑ＝△Ｃｘ Ｖ ／ Ｔ −（Ｃ＋ Ｃｏ ）Ｘ Ｖ
、／ Ｔ・・・・・・・・・（１）４「るｊ（Ｃ求め
ることができる。どころが、リーク試験をしていないと
きには、サンプリングは構５おｊ；びリークデテクタ７
に残留している以前のり−ク試照で漏れ出たプローブガ
スをできるだＧＪ除去するため（こ、第２のクリーンア
ップガス供給弁１７が聞かねて浴浄気体がサンプリング
機構５ Ｊ３よびリークデテクタ７に供給されているが
（第４図（Ｅ））、完全な除去は困難であるため、除去
できなかったプローブガスにより、ゼロ点補正Ｊ３よび
感度補正が行なわれていないリークデテクタ７では、真
のプローブガス濃度値Ｃ＋ 、Ｃｏをａ＋１定するこ
とかできない。そこで、次に説明する方法で当該補正お
よびリーク化の算出を行なう。
まず補正およびリークΦの検出の概要を説明マＪる。既
知の相異なるプローブカス）ル１度（Ｃ２。
知の相異なるプローブカス）ル１度（Ｃ２。
Ｃ３）を有する２種類の気１４−につい′Ｃのリークデ
テクタ７による測定値を０２− 、Ｃ３−とづ゛ると
、当該リークデテクタによる測定１＋１ （Ｃｘ ）に
り・１覆るプローブカス濃度（ＣＹ ）の変化特性とし
ては、上記測定値Ｃ２−からＣ３″の範囲Ｃｔ、ｔ、な
る式で表わすことができる。ターなわら、リークデテク
タ７によるＣ２−からＣ３−の範囲内の」す定値につい
ては、前述した〈２）式でプローブカス濃度の真価を求
めることができ、リークデテクタ７の感度補正ができる
。したがって、被試験体３にプローブガスを充填する前
の収納容器１０内のプローブカス濃度の測定値ＣＯ−を
（２）式に代入して演算することによる当該プローブガ
ス′ＩＩ！度の真値Ｃｏと（換言リ−るとこの値がリー
ク検出のゼロ点くハックグラウンド値）となる）、さら
に被試験体３へのプローブガス充填後一定時間鋒過後の
収納容器１０内のプローブガス濶１σの測定値ＣＩを（
２）式に代入し−Ｃ演瞳することによる当該プローブカ
ス濃度の真値Ｃ＋ とを、（１）式に代入して演算する
ことでリーク量Ｑを求めることかできる。
テクタ７による測定値を０２− 、Ｃ３−とづ゛ると
、当該リークデテクタによる測定１＋１ （Ｃｘ ）に
り・１覆るプローブカス濃度（ＣＹ ）の変化特性とし
ては、上記測定値Ｃ２−からＣ３″の範囲Ｃｔ、ｔ、な
る式で表わすことができる。ターなわら、リークデテク
タ７によるＣ２−からＣ３−の範囲内の」す定値につい
ては、前述した〈２）式でプローブカス濃度の真価を求
めることができ、リークデテクタ７の感度補正ができる
。したがって、被試験体３にプローブガスを充填する前
の収納容器１０内のプローブカス濃度の測定値ＣＯ−を
（２）式に代入して演算することによる当該プローブガ
ス′ＩＩ！度の真値Ｃｏと（換言リ−るとこの値がリー
ク検出のゼロ点くハックグラウンド値）となる）、さら
に被試験体３へのプローブガス充填後一定時間鋒過後の
収納容器１０内のプローブガス濶１σの測定値ＣＩを（
２）式に代入し−Ｃ演瞳することによる当該プローブカ
ス濃度の真値Ｃ＋ とを、（１）式に代入して演算する
ことでリーク量Ｑを求めることかできる。
次に前述した補正およびリーク吊検出の動作を説明する
。
。
制御装置２３は、収納容器１０内のバックグラウンドｌ
ｉ、ｉ Ｃｏを測定するためにリンブリンクされて）９
かれたガス中のプローブガスがナンーブリング機構５ま
たはリークデテクタ７に残留するのを抑制りるために第
２のクリーンアップガス供給弁１７を開いて当該サンプ
リング機構５およびり一りデテクタ７を浄化して該供給
弁１７を閉じた後（第４図（Ｅ））、校正弁１８を開い
て既知濃度Ｃ２のプローブガスをサンプリング機構５を
介してリークデテクタ７に導く。リークデテクタ７は、
導入したプローブカス濃度の測定値Ｃ２−を演算装置２
１のレジスタに記憶させる。制御装置２３は、サンプリ
ング機構５およびリークデテクタ７内に基準プローブガ
ス源１９からの導入プローブガスが残留することを抑制
するため、校正弁１８を閉じた後に前述したリークデー
タ測定を行なうまでの間、第２のクリーンアップガス供
給弁１７を開いて清浄気体をサンプリング（幾構５を介
し−てリークデテクタ７内に導く。ここで、演算装置２
１は、このときの清浄気体のリークデテクタ７による測
定値Ｃ３が入力されると、清浄気体中のプローブガス濃
度は既知（Ｃ３）であるのＣ″、先に記憶しであるレジ
スタの内容を読み出して−＜Ｃ２−Ｃ３）／ （Ｃ２−
−Ｃ３−）なる式でリークデテクタ７で測定した値の校
正係数を求めることにより、当該リークデテクタの感度
補正を終了する。
ｉ、ｉ Ｃｏを測定するためにリンブリンクされて）９
かれたガス中のプローブガスがナンーブリング機構５ま
たはリークデテクタ７に残留するのを抑制りるために第
２のクリーンアップガス供給弁１７を開いて当該サンプ
リング機構５およびり一りデテクタ７を浄化して該供給
弁１７を閉じた後（第４図（Ｅ））、校正弁１８を開い
て既知濃度Ｃ２のプローブガスをサンプリング機構５を
介してリークデテクタ７に導く。リークデテクタ７は、
導入したプローブカス濃度の測定値Ｃ２−を演算装置２
１のレジスタに記憶させる。制御装置２３は、サンプリ
ング機構５およびリークデテクタ７内に基準プローブガ
ス源１９からの導入プローブガスが残留することを抑制
するため、校正弁１８を閉じた後に前述したリークデー
タ測定を行なうまでの間、第２のクリーンアップガス供
給弁１７を開いて清浄気体をサンプリング（幾構５を介
し−てリークデテクタ７内に導く。ここで、演算装置２
１は、このときの清浄気体のリークデテクタ７による測
定値Ｃ３が入力されると、清浄気体中のプローブガス濃
度は既知（Ｃ３）であるのＣ″、先に記憶しであるレジ
スタの内容を読み出して−＜Ｃ２−Ｃ３）／ （Ｃ２−
−Ｃ３−）なる式でリークデテクタ７で測定した値の校
正係数を求めることにより、当該リークデテクタの感度
補正を終了する。
そして、当該補正が終了した状態で、１回目の収納容器
１０内のプローブガス濃度の測定から一定時間Ｔが経過
するとく第４図（Ａ））、制御装置２３は第２のクリー
ンアップガス供給弁１７を閉じると共に（第４図（Ｅ）
’）、サンプリング弁１３を開いて収納容器１０内のガ
スの一部をリークデテクタ７に導く。演算装置２１は、
導いたガスについての当該リークデテクタによるプロー
ブカス濃度の測定値Ｃ＋ −人力すると共に、先にレ
ジスタに記憶しである測定値Ｃｏ′を読み出して、Ｊ３
よび なる式で、それぞれ収納容器１０のバックグラウンド値
および当該バックグラウンド値を測定してから一定時間
Ｔ経過後の収納容器１０内のプローブガス濃度の真値を
求め、この結果を前述したリークｍＱの算出式にあては
めることにより、なる式で被試験体３のリーク♀を算出
する。
１０内のプローブガス濃度の測定から一定時間Ｔが経過
するとく第４図（Ａ））、制御装置２３は第２のクリー
ンアップガス供給弁１７を閉じると共に（第４図（Ｅ）
’）、サンプリング弁１３を開いて収納容器１０内のガ
スの一部をリークデテクタ７に導く。演算装置２１は、
導いたガスについての当該リークデテクタによるプロー
ブカス濃度の測定値Ｃ＋ −人力すると共に、先にレ
ジスタに記憶しである測定値Ｃｏ′を読み出して、Ｊ３
よび なる式で、それぞれ収納容器１０のバックグラウンド値
および当該バックグラウンド値を測定してから一定時間
Ｔ経過後の収納容器１０内のプローブガス濃度の真値を
求め、この結果を前述したリークｍＱの算出式にあては
めることにより、なる式で被試験体３のリーク♀を算出
する。
なお、この実施例では、リークデテクタ７の校正のため
に既知濃度のプローブガスを用いたが、実施例中の基準
プローブガス源１９に代えてプローブガスについて既知
のり−クｆｆ１Ｑｓがあるプローブガス源を用いてもよ
く、この場合のプローブガスの基準濃度Ｃ２としては、
サンプリング機構５の吸気量をＳとすると、 Ｃ２＝ＱＳ／Ｓ となる。
に既知濃度のプローブガスを用いたが、実施例中の基準
プローブガス源１９に代えてプローブガスについて既知
のり−クｆｆ１Ｑｓがあるプローブガス源を用いてもよ
く、この場合のプローブガスの基準濃度Ｃ２としては、
サンプリング機構５の吸気量をＳとすると、 Ｃ２＝ＱＳ／Ｓ となる。
また、この実施例では、収納容器１０内のプロ−ブガス
のバックグラウンド値Ｃｏの測定を当該収納容器からサ
ンプリングした気体について行なっているが、リーク試
験前にお（プる清浄気体による収納容器１０内の浄化に
より、収納容器１０内は当該清浄気体によって完全に置
換されたとみなし、前記バックグラウンド値Ｇｏをリー
クデテクタ７に導入される清浄気体についての測定結果
としてもよい。この場合には、前述した収納容器１０内
の気体のサンプリングエ稈が不用となるので、試験時間
の短縮を図ることができる。
のバックグラウンド値Ｃｏの測定を当該収納容器からサ
ンプリングした気体について行なっているが、リーク試
験前にお（プる清浄気体による収納容器１０内の浄化に
より、収納容器１０内は当該清浄気体によって完全に置
換されたとみなし、前記バックグラウンド値Ｇｏをリー
クデテクタ７に導入される清浄気体についての測定結果
としてもよい。この場合には、前述した収納容器１０内
の気体のサンプリングエ稈が不用となるので、試験時間
の短縮を図ることができる。
したがって、この実施例では、被試験体を交換づる毎に
リークデテクタ７のピロ点補正および感度補正を行なう
ことにより、例えばリーク量の大き゛な被試験体につい
て測定した後にリーク量の小さな被試験体について測定
した場合でも、正確なリーク量のｉｌｌ、ｌＩ定ができ
る。
リークデテクタ７のピロ点補正および感度補正を行なう
ことにより、例えばリーク量の大き゛な被試験体につい
て測定した後にリーク量の小さな被試験体について測定
した場合でも、正確なリーク量のｉｌｌ、ｌＩ定ができ
る。
第５図乃至第６図は、この発明の別の実施例を示すもの
で第５図は構成ブロック図、第６図は動作タイムチャー
ト図である。構成どしては、第３図に示した構成ブロッ
ク図において、既知リーク量の基準プローブガス＃Ａ１
９からのプローブガスが収納容器１０内に校正弁１８を
介して導入可能に配管系２４を接続したものである。な
お、第６図に示した動作タイムチャー（−図において、
（Ａ）〜（Ｅ）は前述した第４図の（△）〜（Ｅ）に２
・１応し、（Ｆ）は時間経過に伴う収納容器１０内のプ
ローブガス濃度の測定値の変化例である。この実施例の
特徴としては、被試験体３からのプローブガスのリーク
に伴う収納容器内のプローブガス濃度の増加率と、既知
リーク量のプローブガスが前記基準プローブカス源１９
からの既知リークＦＵ１のブローブカスカく加わった場
合の収納容器内のプローブガス濃度の増加率が異なるこ
とに注目して、リークデテクタ７の測定値を補正するこ
とにより被試験体３のリーク量の真値を求めることにあ
る。
で第５図は構成ブロック図、第６図は動作タイムチャー
ト図である。構成どしては、第３図に示した構成ブロッ
ク図において、既知リーク量の基準プローブガス＃Ａ１
９からのプローブガスが収納容器１０内に校正弁１８を
介して導入可能に配管系２４を接続したものである。な
お、第６図に示した動作タイムチャー（−図において、
（Ａ）〜（Ｅ）は前述した第４図の（△）〜（Ｅ）に２
・１応し、（Ｆ）は時間経過に伴う収納容器１０内のプ
ローブガス濃度の測定値の変化例である。この実施例の
特徴としては、被試験体３からのプローブガスのリーク
に伴う収納容器内のプローブガス濃度の増加率と、既知
リーク量のプローブガスが前記基準プローブカス源１９
からの既知リークＦＵ１のブローブカスカく加わった場
合の収納容器内のプローブガス濃度の増加率が異なるこ
とに注目して、リークデテクタ７の測定値を補正するこ
とにより被試験体３のリーク量の真値を求めることにあ
る。
詳細には次に説明する如きである。被試験体３からのプ
ローブガスのリークに伴う収納容器内のプローブガス濃
度の時刻Ｔ＋ 、Ｔ２にお（゛）る測定値をそれぞれＣ
＋ 、Ｃ２とすると、この２回の測定結果から当該プ
ローブガス濃度の増加率が求まるので、時刻Ｔ３にａ５
ける仮想の当該測定値をＣｘとすると、このＣｘは、 ＜Ｈ，′ｔ ＋ ＝ｔ ２ −ｔ Ｉ 、ｔ
２ 二 Ｔ３ −Ｔ２ ）なる式で求めることが−
できる。一方、時刻Ｔ２がら収納容器内に既知リークｆ
ｆ１Ｑのプローブガスの供給を開始して（第６図（Ｂ）
）、時刻Ｔ３における収納容器内のプローブガス濃度の
測定値をＣ３とするとく第６図（Ａ）、（Ｂ））、リー
ク量Ｑ ｔｒｉ 。
ローブガスのリークに伴う収納容器内のプローブガス濃
度の時刻Ｔ＋ 、Ｔ２にお（゛）る測定値をそれぞれＣ
＋ 、Ｃ２とすると、この２回の測定結果から当該プ
ローブガス濃度の増加率が求まるので、時刻Ｔ３にａ５
ける仮想の当該測定値をＣｘとすると、このＣｘは、 ＜Ｈ，′ｔ ＋ ＝ｔ ２ −ｔ Ｉ 、ｔ
２ 二 Ｔ３ −Ｔ２ ）なる式で求めることが−
できる。一方、時刻Ｔ２がら収納容器内に既知リークｆ
ｆ１Ｑのプローブガスの供給を開始して（第６図（Ｂ）
）、時刻Ｔ３における収納容器内のプローブガス濃度の
測定値をＣ３とするとく第６図（Ａ）、（Ｂ））、リー
ク量Ｑ ｔｒｉ 。
Ｑ＝Ｋ・（Ｃ３−ＣＸ）／１２
なる式で表ねりことができるが、この揚台に定数Ｋ（Ｊ
プローブガス濃度の相異なる時刻における測定値から真
のリーク量を求めるための補正係数とみることがでさ・
る。このため、被試験体３の真のリークｍＱｘは、プロ
ーブガス濃度の相異なる時刻にＪ３（ｊる測定値から算
出されるリークＱ Ｑ Ｘ −にｒｉ！ｉ ｉｎ係数を
東じた式、すなわちＱｘ＝に−Ｑｘ ′ ＝Ｋ ・（Ｃｘ−Ｃｏ ） ／ （ｔ Ｉ 十ｔ ２
）なる式で表わされる。したがって、前記Ｃｘ 、Ｑ
、Ｑｘの式をまとめると、被試験体３の真のり一りｍＱ
Ｘは、 なる式で求めることができる。すなわち、収納容器内の
プローブガス濃度のゼロ点を必要と′ｔ！ザ、リークデ
テクタ７によるプロー１ガス；開度の測定結果から被試
験体３のリークｍＱｘを正確に求めることができる。
プローブガス濃度の相異なる時刻における測定値から真
のリーク量を求めるための補正係数とみることがでさ・
る。このため、被試験体３の真のリークｍＱｘは、プロ
ーブガス濃度の相異なる時刻にＪ３（ｊる測定値から算
出されるリークＱ Ｑ Ｘ −にｒｉ！ｉ ｉｎ係数を
東じた式、すなわちＱｘ＝に−Ｑｘ ′ ＝Ｋ ・（Ｃｘ−Ｃｏ ） ／ （ｔ Ｉ 十ｔ ２
）なる式で表わされる。したがって、前記Ｃｘ 、Ｑ
、Ｑｘの式をまとめると、被試験体３の真のり一りｍＱ
Ｘは、 なる式で求めることができる。すなわち、収納容器内の
プローブガス濃度のゼロ点を必要と′ｔ！ザ、リークデ
テクタ７によるプロー１ガス；開度の測定結果から被試
験体３のリークｍＱｘを正確に求めることができる。
し発明の効果コ
以上説明したようにこの発明によれば、特定のプローブ
ガスが充填された被試験体を収納した収納容器内の気体
の一部を濃度測定手段に導き、当該気体中警こ含まれる
プローブガスの時間経過に伴う濃度変化に基づき当該被
試験体のリーク量を測足りる装置において、既知製置あ
るいは既知り−り尾のプローブガスを用いて前記濃度測
定手段に」、るグローブガス濃度の測定値を補正り゛る
ことで、被試験体のリーク恒を高精度で測定することが
できる。
ガスが充填された被試験体を収納した収納容器内の気体
の一部を濃度測定手段に導き、当該気体中警こ含まれる
プローブガスの時間経過に伴う濃度変化に基づき当該被
試験体のリーク量を測足りる装置において、既知製置あ
るいは既知り−り尾のプローブガスを用いて前記濃度測
定手段に」、るグローブガス濃度の測定値を補正り゛る
ことで、被試験体のリーク恒を高精度で測定することが
できる。
第１図は従来漏洩試験装置の構成ブロック図、第２図は
リークデテクタの検出動１′「を説明するための時間に
幻づる当該リークデテクタの出力変化図、第３図はこの
発明の一実施例の構成ブロック図、第４図はこの発明の
一実施例の動作タイムヂ（・−ト図、第５図（まこの発
明の別の実施例の（ｊ４成ブロック図、第６図はこの発
明の別の実施例の動作タイムヂト一ト図である。 １・・・収納容器 ３・・・被試験体５・・サ
ンプリング機構 ７・・・リークデテクタ １１・・・クリーンアップガス源 １５・・・ブ【−］−１刀ス）原 １つ・・・基ｉ＋＝プローブガス源 ２０・・・表示装置 ２１・・・１ｉｔｉ停肢凹
２２・・・Ａ／Ｄコンバータ ２３・・・制御装置 持ｉｉ’ｆ ：ｆ’＋ ＦｉＨ人 東京７°え浦電
気イタ、Ｊ（会社（（Ｊか２名） 第１図 第２図 第３図
リークデテクタの検出動１′「を説明するための時間に
幻づる当該リークデテクタの出力変化図、第３図はこの
発明の一実施例の構成ブロック図、第４図はこの発明の
一実施例の動作タイムヂ（・−ト図、第５図（まこの発
明の別の実施例の（ｊ４成ブロック図、第６図はこの発
明の別の実施例の動作タイムヂト一ト図である。 １・・・収納容器 ３・・・被試験体５・・サ
ンプリング機構 ７・・・リークデテクタ １１・・・クリーンアップガス源 １５・・・ブ【−］−１刀ス）原 １つ・・・基ｉ＋＝プローブガス源 ２０・・・表示装置 ２１・・・１ｉｔｉ停肢凹
２２・・・Ａ／Ｄコンバータ ２３・・・制御装置 持ｉｉ’ｆ ：ｆ’＋ ＦｉＨ人 東京７°え浦電
気イタ、Ｊ（会社（（Ｊか２名） 第１図 第２図 第３図
Claims (2)
- （１）プローブガスが充填された被試験体を収納した収
納容器内の気体の一部を濃度測定手段に導き、当該気体
中に含まれるプローブガスの時間経過に伴う濃度変化に
基づき当該被試験体のリークいを測定りる装置において
、前記収納容器または前記濃度測定手段に前記プローブ
ガスを含まない清浄気体を導入可能に当該清浄気体の供
給源を設けると共に、前記２度測定手段に既知濃度また
は既知リーク量のプローブガスを導入可能に当該ブロー
ブノｊスの供給源を設け、前記既知ｓ度または既知リー
ク乎のプローブガスおよび前記ｉＷ 浮気体についての
温度測定結果に基づいて前記濃度測定手段のび０点補正
および感度補正を行ない被試験体のり−ク吊を測定出力
する手段を設けたことを特徴とリ−る漏洩試験装置。 - （２）プローブカスが充填された被試験体を収納した収
納容器内の気体の一部を濃度測定手段に啓き、当該気体
中［こ含まれるプローブガスの時間経過に伴う濃度変化
に基づき当該被試験体のリーク量を測定する装置におい
て、前記収納容器または前記濃度測定手段に前記プロー
ブガスを含まない清浄気体を導入可能に当該ｔ’Ｆｊ浄
気イ４〜の供給源を設（づると共に、前記収納容器に既
知リーク量のプローブガスを導入可能に当該プ［１−ブ
カスの供給源を設け、前記収納容器内における被試験体
のリークによるプローブカス濃度の増加率、および被試
験体のリークと前記プローブガスの供給源からの既知リ
ークとによるプローブガス濃度の増加率に基づいて前記
濃度測定手段のゼロ点補正および感度補正を行ない被試
験体のリーク量を測定出力する手段を設けたことを特徴
とする漏洩試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5379483A JPS59180340A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 漏洩試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5379483A JPS59180340A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 漏洩試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59180340A true JPS59180340A (ja) | 1984-10-13 |
Family
ID=12952720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5379483A Pending JPS59180340A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 漏洩試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59180340A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62237336A (ja) * | 1986-04-08 | 1987-10-17 | Asahi Breweries Ltd | 炭酸飲料のスロ−リ−ク測定装置 |
| JPH05240729A (ja) * | 1992-02-28 | 1993-09-17 | Nippondenso Co Ltd | 漏れ検査装置 |
| CN104776961A (zh) * | 2014-01-15 | 2015-07-15 | 广州市和晋自动化控制技术有限公司 | 气体检漏系统稳定基准本底指标的方法及该气体检漏系统 |
| JP2015161555A (ja) * | 2014-02-27 | 2015-09-07 | 株式会社フクダ | 漏れ試験方法及び装置 |
-
1983
- 1983-03-31 JP JP5379483A patent/JPS59180340A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62237336A (ja) * | 1986-04-08 | 1987-10-17 | Asahi Breweries Ltd | 炭酸飲料のスロ−リ−ク測定装置 |
| JPH05240729A (ja) * | 1992-02-28 | 1993-09-17 | Nippondenso Co Ltd | 漏れ検査装置 |
| CN104776961A (zh) * | 2014-01-15 | 2015-07-15 | 广州市和晋自动化控制技术有限公司 | 气体检漏系统稳定基准本底指标的方法及该气体检漏系统 |
| JP2015161555A (ja) * | 2014-02-27 | 2015-09-07 | 株式会社フクダ | 漏れ試験方法及び装置 |
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