JPH0456039A - プラズマディスプレイパネル - Google Patents

プラズマディスプレイパネル

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JPH0456039A
JPH0456039A JP16498990A JP16498990A JPH0456039A JP H0456039 A JPH0456039 A JP H0456039A JP 16498990 A JP16498990 A JP 16498990A JP 16498990 A JP16498990 A JP 16498990A JP H0456039 A JPH0456039 A JP H0456039A
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宮原 衛
Toshiyuki Nanto
利之 南都
Shinji Kanagu
金具 慎次
Tsutae Shinoda
篠田 伝
Teruo Kurai
倉井 輝夫
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 プラズマデイスプレィパネルなどのフラ・ント形表示装
置に関し、 透明電極とその補助としての金属電極とからなる表示用
電極の剥離による断線を可及的に防止し、信転性の向上
を図ることを目的とし、 ガラス基板などの透明基板上に形成された透明電極と、
当該透明電極に重なる金属補助電極とからなる一方向に
延びた表示用電極を有し、前記表示用電極の端部では、
前記金属補助電極が、前記透明電極に対して当該表示用
電極の延長方向に突出して前記透明基板上に直接に設け
られて構成される。
〔産業上の利用分野] 本発明は、プラズマデイスプレィパネル(FDP)など
のフラット形表示装置に関する。
FDP、ELパネルなどのフラット形表示装置は、薄型
の大きな表示画面を実現できる利点をもち、表示装置と
しての用途を拡げつつある。これにともなって、表示が
明るく視認性が良いこと、信転性が高いことが望まれて
いる。
〔従来の技術] 発光させるドツト(画素)の組み合わせによって文字や
図形を表示するドツトマトリクス表示方式のFDPは、
周知のように、表示側及び背面側の一対のガラス基板を
放電空間を設けて対向配置し、格子状に配列した電極群
の各交差部又はその近傍に画定された各放電セルを選択
的に放電させるように構成されている。
このようなFDPにおいては、表示の輝度を高める上で
、表示側のガラス基板に設ける電極をネサ膜やITO膜
などの半導体薄膜からなる透明電極とするのが有利であ
る。
ところが、これらの透明電極は金属電極に比べて高抵抗
であるので、透明電極のみでは表示画面の周縁部と中央
部との電位差が大きくなり、表示画面の全面にわたって
均一な放電特性を得ることが困難となる。
したがって、従来より、特公昭49−11787号公報
に示されているように、透明電極より幅の小さい帯状の
金属補助電極(バス電極)を透明電極に重なるように添
わせ、これら透明電極とバス電極とを表示用電極として
設けることによって放電特性の均一化が図られている。
第6図は従来のPDP I Jの表示用電極11Jの構
造を示す部分斜視図である。
表示用電極11Jは、表示側のガラス基板10上に形成
された酸化錫膜からなる帯状の透明電極13Jと、透明
電極13J上に全体が重なるように形成されたバス電極
15Jとから構成されており、表示用電極11Jの一端
には、外部の駆動回路と接続するための端子となる膨大
部110Jが設けられている。
〔発明が解決しようとする課題〕
従来の表示用電極11lは、その全体にわたって、透明
電極13Jとバス電極15Jとの2庖構造となっている
。つまり、剥離の発生部位である層間界面が、ガラス基
板lOとの界面を含めて合計2面ある。
このため、特に、表示用電極11lの内で引張応力が大
となる端部において、密着強度が他方より小さい一方の
界面で剥離が生じ易い、すなわちバス電極15Jの透明
電極13Jからの剥離、又は透明電極13Jのガラス基
板IOからの剥離が生じて表示用電極11Jが断線しお
いという問題があった。
また、透明電極13Jとバス電極15Jとの間の密着性
は製造条件の影響を受は昌く、透明電極13Jに強固に
密着するバス電極15Jを定常的に得ることが困難であ
るという問題もあった。
本発明は、上述の問題に鑑み、透明電極とその補助とし
ての金属電極とからなる表示用電極の剥離による断線を
可及的に防止し、信転性の向上を図ることを目的として
いる。
〔課題を解決するための手段〕
上述の課題を解決するため、請求項1の発明に係るPD
PI、Ia、lbは、第1図乃至第3図に示すように、
透明基板10上に形成された透明電極13と、当該透明
電極13に重なる金属補助電極15.15a、15bと
からなる一方向に延びた表示用電極II、11a)(1
1a、11a)(11bを有し、前記表示用電極11.
11a)(11a、11a)(11bの端部では、前記
金属補助電極15゜15a、15bが、前記透明電極1
3に対して当該表示用電極11.IIa、11a)(1
1bの延長方向に突出して前記透明基板10上に直接に
設けられてなる。
請求項2の発明に係るPDPla、Ibは、第2図及び
第3図に示すように、透明基板10上に形成された透明
電極13と、当該透明電極13に重なる金属補助電極1
5a、15bとからなる一方向に延びた表示用電極11
a、11a)(11bを有し、前記金属補助電極15a
、15bは、前記透明電極13上に設けられた補助導体
部16a、16bと、前記透明電極13に対して前記表
示用電極11a、11a)(11bの延長方向に突出し
、且つ前記透明基板10上に直接に設けられた端部導出
部17a。
17bと、前記透明電極13の延長方向に沿った辺部の
少なくとも一部を被覆するように設けられて前記補助導
体部16a、16bと前記端部導出部17a、17bと
を一体化する連結部18a。
18bとから構成されてなる。
請求項3の発明に係るPDP l cは、第4図に示す
ように、透明基板IO上に形成された一方向に延びる透
明電極13cと当該透明電極13cに重なる金属補助電
極15cとからなる表示用電極11cを有し、前記金属
補助電極15cは、前記透明電極13cを覆う二酸化珪
素膜19上に設けられてなる。
〔作 用〕
表示用電極11.lea、11a)(11bの端部では
、金属補助電極15,15a、15bが、透明電極13
に対して表示用電極11.  l 1 a、  l l
 bの延長方向に突出して透明基板10上に直接に設け
られ、剥離の発生部位である眉間界面が1面となる。
金属補助電極15a、15bの内、端部導出部17a、
17bと補助導体部16a、16bとを一体化する連結
部18a、18bは、透明電極13の延長方向に沿って
設けられる。すなわち、透明基板10と透明電極13と
の間の段差の金属補助電極15a、15bによる被覆は
、被覆距離を透明電極13の幅以上とすることが可能な
透明電極13の延長方向に沿って行われる。
金属補助電極15cは、二酸化珪素1tl19を介して
透明電極13c上に設けられる。透明電極13cと二酸
化珪素膜19の接合力、及び二酸化珪素膜19と金属補
助電極15cの接合力はともに大きい。
金属補助電極15cと透明電極13cとは、容量結合に
よって導通する。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説明する。
第5図は本発明に係るPDP 1の電極構造を示す図で
ある。
PDPIは、表示側のガラス基板10と背面側のガラス
基板20とを所定間隙を設けて対向配置した面放電型の
ドツトマトリクス表示形式のFDPである。
表示側のガラス基板lOの内面には、発光のための主放
電セルを画定する一対の主放電電極11゜11が、横(
X)方向に互いに平行に複数対配列され、背面側のガラ
ス基板20の内面には、発光させるドツトを選択するた
めのアドレス電極22が縦(Y)方向に配列されている
主放電電極II及びアドレス電極22は、封止ガラス3
2によって囲まれた表示領域E1の内部からガラス基板
10.20の外縁部に導出されており、特にPDP 1
では、駆動回路との接続を容品とするため、対となる主
放電電極11,1.1の一方及び他方がガラス基板IO
の両側の外縁部に振り分けて導出されている。また、各
ガラス基板10.20の外縁部には、フレキシブルケー
ブルなどによって図示しない駆動回路と接続するために
、主放電電極11及びアドレス電極22を膨大させた端
子部110,220が設けられている。
第1図は本発明に係るPDP 1の主族′r!1電極1
1の構造を示す斜視図であり、第5図の破線で囲んだ部
分を拡大して示すものである。
第1図において、主放電電極11は、幅が例えば160
pmとされた帯状の透明電極13と、透明電極13にそ
の延長方向(以下[X方向」という)に沿って重ねられ
たバス電極15とから構成されている。透明電極13は
、厚さが800人程度の酸化錫膜(ネサ膜)のパターン
ニングにより形成される。
バス電極15は、透明電極13に対してX方向に突出し
、その突出した部分は、端子部+10を含めてガラス基
板10の上に直接に設けられている。このようなバス電
極は、透明電極13を形成した後に、スパンタリング蒸
着によってクロム、銅、クロムを順に積層し、その金属
薄膜(厚さは1.2μm程度)をフォトリソグラフィ法
によってパターンニングすることによって形成される。
主放電電極11では、その端部がバス電極15のみによ
って構成されており、剥離の生しる界面は、ガラス基板
10とバス電極15との界面のめとなり、また、クロム
−銅−クロLの金属薄膜とガラスとの密着力が大きいこ
とと相まって、通常の使用環境間下における主放電電極
11の剥削はほぼ抑えられる。
第2図は本発明の第2実施例の主放電電極11aの構造
を示す斜視図、第3図は本発明の第3実施例の主放電電
極11bの構造を示す斜視図である。これらの図におい
て、第1図と同一の機能を有する構成要素には同一の符
号を付しである。
第2図において、主放電電極11aは透明電極13とバ
ス電極15aとからなり、バス1ltli15aは、表
示の輝度を高めるために透明電極13より小さい幅とさ
れた帯状の補助導体部16a、ガラス基板10上に直接
に設けられた端部導出部17a、及びこれら補助導体部
16aと端部導出部17aとを一体化する連結部18a
から構成されている。
第1図との対比かられかるように、第2図のPDPla
は、第1実施例の主放電電極11に対して、透明電極1
3の端部におけるバス電極15aによる被覆の形態に特
徴を有する。
すなわち、連結部leaは、透明電極13のX方向に沿
った側辺13s及びX方向の端辺13rを平面視形状が
L字状となる範囲に渡って被覆するようにパターンニン
グされている。
これにより、透明電極13の周縁の内で、主放電電極1
1aによって被覆される部分の長さを透明電極13の軸
以上とすることができる。したがって、金属薄膜又はレ
ジスト層のステップカバ1/ツジ(段差の被覆状態)の
不良により、主放電電極11aのパターンユング時にエ
ツチング液が被覆部に滲み込みんだ場合であっても、エ
ツチングの進行が被覆距諦の全長にまで達することはな
く、主成1i電極11aの断線には至らない。
第3図において、主放電電極11bは、透明電極13と
バス電極15bとからなり、バス電極15bは、補助導
体部16b、#a部導出部17b、及び連結部18bか
ら構成されでいる。
連結部18bは、透明電極13のX方向に沿った側縁1
3s及びX方向の端縁13rを平面視形状がU字状とな
る範囲に渡って被覆するようにパターンニングされてい
る。
第4図は本発明の第4実施例の主放電電極11Cの構造
を示す斜視図である。
第4図において、PDPlcの主放電電極11Cは、透
明電極13cとバス電極15cとから構成され、バス電
極15cは、クロム−銅−クロムの三層構造とされ、透
明電極13cを被覆する二酸化珪素(S iOz)膜I
9上に設けられている。
また、二酸化珪素Bu I 9は、膜厚が数Im程度と
され、例えばスパッタリング蒸着によって形成される。
このような二酸化珪素膜19は、バス電極15c、透明
電極13c、及びガラス基板10のそれぞれとの密着力
が大きいので、PDP 1 cでは、透明電極13cと
バス電極15cとの接合が強固となるとともに、透明電
極13cとガラス基板lOとの接合強度も増す。したが
って、バス電極15c又は透明電極13cの剥離による
主放電電極11cの断線が防止される。
なお、二酸化珪素膜19は絶縁膜であるが、PDPlc
はAC駆動型であって、主放電電極11Cには交流電圧
が印加されるので、容量結合によってバス電極15cと
透明電極13cが電気的に接続される。
上述の実施例においては、面放電形式のPDPl、la
、lb、lcを例示したが、対向放電形式のFDP、E
Lパネル、液晶パネルなどのフラット形表示装置にも、
本発明を適用することかできる。
(発明の効果〕 本発明によれば、透明電極とその補助としての金属電極
とからなる表示用電極の剥離による断線を可及的に防止
することができ、フラット形表示装置の信転性を高める
ことができる。
さらに請求項2の発明によれば、透明基板と透明電極と
の間の段差部で生しる金属電極の断線を防止することが
できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係るFDPの主放t1!極の構造を示
す斜視図、 第2図は本発明の第2実施例の1放を電極の構造を示す
斜視図、 第3図は本発明の第3実施例の主放電電極の構造を示す
斜視図、 第4図は本発明の第4実施例の主放電電極の構造を示す
斜視図、 第5図は本発明に係るFDPの電極構造を示す図、 第6図は従来のFDPの表示用電極の構造を示す部分斜
視図である。 図において、 1、la、lb、lcはPDP (フラ・ノド形表示装
置)、 10はガラス基板(透明基板)、 11 11a、11a)(11b、lieは主放電電極
(表示用電極)、 13は透明電極、 15.15a、15b、15cはバス電極(金属補助電
極)、 16a、16bは補助導体部、 17a、17bは端部導出部、 18a、18bは連結部、 19は二酸化珪素膜である。 1・・・FDP (フラット形表示装置)10・・・ガ
ラス基板 11・・・主放電電極(表示用電極) 13・・・透明電極 15・・・バス電極(金属補助電極) 本発明に係るFDPの主放電電極の構造を示す斜視図第
1図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)透明基板(10)上に形成された透明電極(13
    )と、当該透明電極(13)に重なる金属補助電極(1
    5)(15a)(15b)とからなる一方向に延びた表
    示用電極(11)(11a)(11b)を有し、 前記表示用電極(11)(11a)(11b)の端部で
    は、前記金属補助電極(15)(15a)(15b)が
    、前記透明電極(13)に対して当該表示用電極(11
    )(11a)(11b)の延長方向に突出して前記透明
    基板(10)上に直接に設けられてなることを特徴とす
    るフラット形表示装置(1)。
  2. (2)透明基板(10)上に形成された透明電極(13
    )と、当該透明電極(13)に重なる金属補助電極(1
    5a)(15b)とからなる一方向に延びた表示用電極
    (11a)(11b)を有し、 前記金属補助電極(15a)(15b)は、前記透明電
    極(13)上に設けられた補助導体部(16a)(16
    b)と、 前記透明電極(13)に対して前記表示用電極(11a
    )(11b)の延長方向に突出し、且つ前記透明基板(
    10)上に直接に設けられた端部導出部(17a)(1
    7b)と、前記透明電極(13)の延長方向に沿った辺
    部の少なくとも一部を被覆するように設けられて前記補
    助導体部(16a)(16b)と前記端部導出部(17
    a)(17b)とを一体化する連結部(18a)(18
    b)とから構成されてなることを特徴とするフラット形
    表示装置(1a)(1b)。
  3. (3)透明基板(10)上に契約された一方向に延びる
    透明電極(13c)と当該透明電極(13c)に重なる
    金属補助電極(15c)とからなる表示用電極(11c
    )を有し、前記金属補助電極(15c)は、前記透明電
    極(13c)を覆う二酸化珪素膜(19)上に設けられ
    てなることを特徴とするフラット形表示装置(1c)。
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