JPH0455071A - 部分真空型全自動電子ビーム溶接装置および方法 - Google Patents

部分真空型全自動電子ビーム溶接装置および方法

Info

Publication number
JPH0455071A
JPH0455071A JP16703390A JP16703390A JPH0455071A JP H0455071 A JPH0455071 A JP H0455071A JP 16703390 A JP16703390 A JP 16703390A JP 16703390 A JP16703390 A JP 16703390A JP H0455071 A JPH0455071 A JP H0455071A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
welding
time
chamber
welding chamber
vacuum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP16703390A
Other languages
English (en)
Inventor
Seiichi Tsukamoto
塚本 清一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP16703390A priority Critical patent/JPH0455071A/ja
Publication of JPH0455071A publication Critical patent/JPH0455071A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は部分真空型全自動電子ビーム溶接装置および方
法に関する。
〔従来の技術〕
第3図は従来の一例を示すブロック図である。
図で1,1aは電子銃室で2の真空ポンプにより所定の
真空度に排気される。3は高電圧ケーブルで、4の高圧
電源と、5の電子銃を接続する。
6はアノードで、電子銃5からの放射電子を加速して電
子ビーム7を作成する。8はコラムバルブで電子銃室1
と上部溶接室10をしきり、溶接が終了し、資料17の
取出し、及び新しい資料17の装着を行うため、溶接室
10が大気となっているときは、8aの状態となり、溶
接室が、大気圧であっても、電子銃室は所要の真空度に
保たれる。
9はコラムバルブ8を開閉するためのアクチエーターで
ある。16は下部溶接室で、上部溶接車10と0リング
81,81aで結合して、上、下溶接室を構成する。又
、下部溶接室164′!試料17の取外し、取付けの為
に、アクチエータ18により上、下に移動する様になっ
ている。
12はチャンバーバルブでアクチエーター14で駆動さ
れ下部溶接室16が上昇してOIJソング1が81aの
位置に上昇し、結合した状態で、12から12aの状態
となり下部溶接室−16内の空気は、溶接室排気ポンプ
11で排気される。
溶接室10内の真空度が所要レベルに達すると、真空度
センサー13から、溶接室真空OK倍信号5が制御回路
50に出される。
これにより制御回路50は、コラムバルブのアクチエー
タ9に対して、コラムバルブを開く信号53を与え、続
いて、高圧電源4に対してビームON信号52を出し、
溶接を実行する。
溶接の終了で、当該ビームON信号52を切す、コラム
バルブ8の開信号53.チャンババルブ12の開信号5
4を切り、チャンバーベントバルブ80を開いて、空気
を上、下溶接室16゜工0に導入する信号57をアクチ
エーター15に出す。上、下溶接室to、teが大気圧
に戻った所でアクチエータ18に出ていた上昇信号58
を切ると、下部溶接室18は下降し、試料17の取外し
、取付けが出来る。
41は起動ボタンで上述した一連の動作を自動的に実行
させるものである。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、上記構成の電子ビーム溶接装置は、下部
溶接室16を試料待ち等により10分以上も大気に解放
しておくと、溶接室16の内側に空気中の湿気が付着し
、真空排気による圧力減少カーブが第2図における通常
のAカーブからBカーブで示す如く、立下りかにぶ(な
り、真空度センサー13の設定をV□で真空度OK倍信
号5を出す様にしておくと、この信号からコラムバルブ
8を開き、ビームON信号52を発信するまでのto秒
の時間が必要となるため、実際の溶接はv2のレベルで
行なわれてしまう。
通常は、連続的に・試料にビームを出していると、溶接
室16には湿気が付着することがないため、圧力減少カ
ーブは第2図Aの如くとなり、真空度センサー13がV
、で、真空度OK倍信号5を出したとすると、ビームO
N信号52が発信される。jo秒後には、v3のレベル
まで到達スる。これが湿気の多い時はv2に留まるが、
排気が進行している途中となるため、下部溶接室16の
真空度とセンサー13の所では、配管のコンダクタンス
により圧力差があり、V2>V3以上の真空度の差が生
じる。
このため、溶接深さが連続的に溶接を行っている時と1
0分程度中断後では中断のあった時は溶接深さが20%
近く減少する事が知られており、溶接の安定性の上で問
題があった。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の部分真空型全自動電子ビーム溶接装置は、下部
溶接室が下端にある時、すなわち、大気に解放されてい
る事を検知するため、リミットスイッチを設け、このリ
ミットスイッチが、連続的に10分以上ON状態となっ
ている事をタイマーによりカウントして検知する。この
検知回路が動作した時は、t1秒だけ溶接室真空OKの
信号を遅らせ、溶接室の真空度がV3に達するまで、ビ
−ムONを待ち合わせる如クシ、溶接の品質の安定化を
図ろうとするものである。
〔実施例〕
次に本発明について図面を参照して晩期する。
第1図は本発明の一実施例を示すブロック図で第2図の
ブロックダイヤグラムと同一構成要素には、同一番号を
付しであるので説明を省略する。
第1図で、19は、下部溶接室16が下端にある事の検
知用マイクロスイッチ、42はマイクロスイッチ19が
押されている時間をカウントするタイマーで、約10分
を過ぎると、タイムオーバー信号59を制御回路50に
出す。
タイムオーバー信号59を受は取ると制御回路50は、
切換スイッチ42に対して切換信号51を出し、真空度
センサー13からの溶接室真空度OK倍信号5を、直接
受取るのではなく、第2図のt□秒に相当する時間に設
定された遅延タイマー40を通じて、遅延後真空OK信
号56を受取る如く切換る。
これにより実際に溶接を開始する真空度は第2図の■3
となり、同一真空度で溶接が実行されるので溶接の溶込
みが減少する様な不具合はなくなる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、作業者は何ら注意をはら
う事なく、自動的に真空度の補正を行ない、安定した溶
接が実現出来る。加えて、試料を連続的に溶接する時は
、タイマー42がタイムアツプする前に次の溶接サイク
ルに入るので、本発明の補正は行われず、溶接機のサイ
クルタイムは延びず、スループットが損われる事はない
この発明は、下部溶接室が複数有り、インデックスしな
がら順々に溶接を行う様ないわゆるボトムデリバリ−式
装置にも適用される。この時は、補正を溶接室の個数分
だけ実施して、補正をやめる様な手段が必要である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示すブロック図、第2図は
この発明の詳細な説明する真空圧力の減少カーブを示す
図、第3図は従来の一例を示すブロック図である。 1.1′・・・電子銃室、2・・・電子銃室排気ポンプ
、3・・・高電圧ケーブル、4・・・高圧電源、5・・
・電子銃、6・・・アノード、7・・・電子ビーム、8
・・・コラムバルブ、9・・・コラムバルブ8のアクチ
エータ、10・・・上部溶接室、11・・・溶接室排気
ポンプ、12・・・チャ、ンバーバルブ、13・・・溶
接室真空度のセンサー 14・・・チャンバーバルブ1
2のアクチエータ、16・・・下部溶接室、17・・・
試料、18・・・下部溶接室16を上昇、下降させるた
めのアクチエータ。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、溶接室排気系と電子銃室排気系を備え両者間のビー
    ム通路に両者を仕切るコラムバルブを備えた部分真空型
    全自動電子ビーム溶接装置において、溶接室が大気に開
    放されている時間があらかじめ定めた時間を超えた事を
    検知する時限手段と、溶接室真空度が所定値に達した事
    を検出するセンサーからの溶接室真空OK信号を遅延さ
    せる遅延手段と、前記遅延手段の動作、不動作を選択す
    る選択手段を備え、前記時限手段により前記溶接室の開
    放時間が設定時間を超えた事を検知した時のみ前記選択
    手段により前記遅延手段を動作状態にて、溶接室真空O
    Kから前記遅延手段で設定した時間だけ遅らせて溶接を
    開始する手段とを含むことを特徴とする部分真空型全自
    動電子ビーム溶接装置。 2、溶接室排気系と電子銃室排気系を備え両者間のビー
    ム通路に両者を仕切るコラムバルブを備えた部分真空型
    全自動電子ビーム溶接方法において、溶接室が大気に開
    放されている時間があらかじめ定めた時間を超えた事を
    検知する時限手順と、溶接室真空度が所定値に達した事
    を検出するセンサーからの溶接室真空度OK信号を遅延
    させる遅延手順と、全期遅延手順の動作、不動作を選択
    する選択手順を備え、前記時限手順により前記溶接室の
    解放時間が設定時間を超えた事を検知した時のみ前記選
    択手順により前記遅延手純を動作状態にて、溶接室真空
    OKから前記遅延手順で設定した時間だけ遅らせて溶接
    を開始する手順とを含むことを特徴とする部分真空型全
    自動電子ビーム溶接方法。
JP16703390A 1990-06-26 1990-06-26 部分真空型全自動電子ビーム溶接装置および方法 Pending JPH0455071A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16703390A JPH0455071A (ja) 1990-06-26 1990-06-26 部分真空型全自動電子ビーム溶接装置および方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16703390A JPH0455071A (ja) 1990-06-26 1990-06-26 部分真空型全自動電子ビーム溶接装置および方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0455071A true JPH0455071A (ja) 1992-02-21

Family

ID=15842144

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16703390A Pending JPH0455071A (ja) 1990-06-26 1990-06-26 部分真空型全自動電子ビーム溶接装置および方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0455071A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20090179016A1 (en) * 2006-02-22 2009-07-16 Mcelroy Eric R Laser marking system
WO2023243462A1 (ja) * 2022-06-13 2023-12-21 三菱電機株式会社 溶接管の製造方法および溶接管の製造装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20090179016A1 (en) * 2006-02-22 2009-07-16 Mcelroy Eric R Laser marking system
US8624154B2 (en) * 2006-02-22 2014-01-07 Mecco Partners, Llc Laser marking system
WO2023243462A1 (ja) * 2022-06-13 2023-12-21 三菱電機株式会社 溶接管の製造方法および溶接管の製造装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0077458A1 (en) Vacuum packaging apparatus and process
US4379743A (en) Sputtering apparatus comprising control means for preventing impurity gases from entering a sputtering chamber
JP5201220B2 (ja) Ms/ms型質量分析装置
US7062954B2 (en) Leak detector
JP3814492B2 (ja) プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法
JPH0455071A (ja) 部分真空型全自動電子ビーム溶接装置および方法
JPH0476492B2 (ja)
US4956846A (en) Gas laser device
CN117795644A (zh) 质谱分析装置和质谱分析方法
JP2002208368A (ja) 電子放射型電子銃
JP2010253036A (ja) 蒸気滅菌装置
JP3092881B2 (ja) 誘導結合プラズマ質量分析装置
JPH0424599Y2 (ja)
JPH03261061A (ja) ガスクロマトグラフ質量分析計
JP2735231B2 (ja) 半導体製造装置
JP2000205992A (ja) 半導体製造装置のリ―クチェック方法と半導体製造装置
JPH1016916A (ja) 真空包装機の運転制御方法及び装置
JPS6332935Y2 (ja)
JPH02280811A (ja) 気体分離装置
JP4546049B2 (ja) プラズマ処理方法
JP2503234B2 (ja) 高真空排気制御装置
JPH0437400B2 (ja)
JPH10119923A (ja) 真空包装装置
JPS6224063Y2 (ja)
KR20010064306A (ko) 로딩/언로딩 웨이퍼의 파손 방지를 위한 반도체 설비