JPH0452519Y2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0452519Y2
JPH0452519Y2 JP1986040875U JP4087586U JPH0452519Y2 JP H0452519 Y2 JPH0452519 Y2 JP H0452519Y2 JP 1986040875 U JP1986040875 U JP 1986040875U JP 4087586 U JP4087586 U JP 4087586U JP H0452519 Y2 JPH0452519 Y2 JP H0452519Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rail
block
movable body
groove
bed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP1986040875U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS62153452U (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP1986040875U priority Critical patent/JPH0452519Y2/ja
Publication of JPS62153452U publication Critical patent/JPS62153452U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0452519Y2 publication Critical patent/JPH0452519Y2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Transmission Devices (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本考案は超精密工作機械、測定器等に好適な圧
縮空気を利用した空気静圧案内方式の静圧継手を
有する送り装置の改良に関する。
[考案の概要] 凹溝を有するベツト上にレールが固定され、こ
のレールには凹溝よりも狭い長孔が形成されてい
て、凹溝及び長孔内に位置する移動体を走行させ
て、移動体の上面のブロツクの静圧面を介してテ
ーブルへ駆動力が伝達されるようになつている静
圧継手を有する送り装置である。
[従来の技術] 静圧継手を用いて送りねじの振れなどが直進精
度に影響しなように構成した静圧案内方式の従来
の送り装置としては、例えば、工作機械1984年第
32頁(従来例1)、機械設計1985年11月号第40頁
乃至第43頁(従来例2)及び第61頁乃至第65頁
(従来例3)等に開示されたものがある。
これらの従来例1乃至3はボールネジとテーブ
ル間に空気圧継手を介在させて高精度を図つてい
るが、例えば実公昭56−44928号(従来例4)、実
開昭59−17132号(従来例5)のようにボールネ
ジとテーブルとを直結された構造のものもある。
[考案が解決しようとする問題点] しかしながらこれらの従来例には下記のような
問題点が存在する。
即ち、従来例1は主テーブルの後に駆動テーブ
ルが設けられているので、全長が長くなり、また
静圧継手がテーブル上面より出ているため動作上
邪魔になることがあり、部品点数も多くなる。
従来例2も駆動部と案内部とが直列に設けられ
ているため、全長が長くなり、またガイドバーが
たわみ易く長ストロークを得ることは困難で、部
品点数も多い。
従来例3は部品点数が多いばかりでなく、レー
ルが単純形状でないので、加工精度上不利であ
り、しかも静圧継手がテーブルの重心より遠いの
でピツチング等の影響を受けやすい。
上記従来例1乃至3に対し従来例4及び5は前
述したようにボールネジとテーブルとの直結構造
であるため、精度が出ない。
従つて本考案の目的は上述した従来例の問題点
を解決し、直進精度の向上、部品点数の減少並び
に小型化を可能とした静圧継手を有する送り装置
を提供するにある。
[問題点を解決するための手段] 本考案は上記目的を達成するため、送り方向に
凹溝を有するベツトと、該ベツト上に固定され該
凹溝上にこれよりも狭い長孔を有するレールと、
上記凹溝及び長孔内に配置された移動体と、該移
動体の上面に形成され、移動方向前後に垂直面を
有する移動体の凹部に嵌合するブロツクと、上記
凹溝を介して移動体を移動させる手段と、上記ブ
ロツク上に固定され、上記レールを抱持するテー
ブルとを以つて静圧継手を有する送り装置を構成
せしめて、上記テーブルとベツトとの間に、上記
移動体、ブロツク及びレールを組み込み、かつ上
記テーブル内部よりレールに向けて移動方向に対
し上下左右前後の6面に圧縮空気吐出口を設け、
上記テーブル及びブロツクを介して移動体内部よ
りレール及びベツトに向けて上下左右前後の6面
に圧縮空気吐出口を設け、且つ前記テーブルを介
してブロツク内部より移動方向の前後の垂直面に
圧縮空気吐出口を設けることにより上記移動体と
ベツトの凹溝との間、上記ブロツクの垂直面と移
動体の凹部との間、及び前記レールとテーブルと
の間を、夫々静圧案内面としたことを特徴とす
る。
[作用] 前記ブロツクは静圧継手を構成していて、移動
体の駆動力はこのブロツクの静圧面を介してテー
ブルへ伝達されてテーブルを直進せしめ、移動体
の振れはテーブルへは伝わらないようになつてお
り、高精度での走行が可能である。
[考案の実施例] 以下図面に示す実施例を参照して本考案を説明
すると、第1図及び第2図は本考案による静圧継
手を有する送り装置の一実施例を示す。
同図において、1はテーブル、2はプレート、
3はレール、4はベツト、5はナツトハウジン
グ、6はセンターブロツク、7はピン、8はコネ
クタ、9はナツト、10はネジ、11はカバーで
ある。
4上には直方体形状のレール3が固定され、そ
の上にこのレール3を抱持するようにテーブル1
が載置されている。テーブル1には浮き上がり防
止のプレート2及び静圧継手を構成するセンター
ブロツク6が固定されるが、その場合、センター
ブロツク6とテーブル1は圧縮空気の通路を有す
るピン7を中心に若干回動させて位置調整した
後、図示しないネジにより固定する。
移動体としてのナツトハウジング5はベツト4
とレール3の間に配置され、その一方の端面を介
してナツト9が組み込まれている。
ベツト4には送り方向全域にわたつて凹溝4a
が形成してあり、レール3にも凹溝4aよりも狭
く、下側が送り方向に対して大きい段付の長孔3
aが形成されている。従つて、ナツトハウジング
5は凹溝4a及び長孔3a内において移動可能に
配置されることになる。
ナツトハウジング5の上面には送り方向前後に
垂直面を有する凹部5aが形成されており、セン
ターブロツク6はこの凹部5aに嵌合している。
ナツト9には凹溝4aを介してネジ10が螺合
されると共にナツトハウジング5の他方の端面に
はカバー11が取付けられ、ネジ10の一方の部
分はこのカバー11内に位置し、他方の部分は外
部の図示していない駆動源に係合している。
コネクタ8は圧縮空気の通路を有し、Oリング
8aによつて弾性支持されセンターブロツク6と
ナツトハウジング5とを連結している。
ポートHには圧縮空気が供給されるようになつ
ていて、各部材の圧縮空気吐出口より圧縮空気を
吐出させてA〜G,A′〜G′の静圧面が形成され
る。上記吐出口は夫々各部材の送り方向に間隔を
おいて複数個所に設けられていて、その個数は適
宜に設定できるが、少なくともテーブル1内部よ
りレール3に向けて送り方向に対し上下左右前後
の6面と、テーブル1及びセンターブロツク6を
介してナツトハウジング5内部よりレール3及び
ベツト4に向けて上下左右前後の6面と、テーブ
ル1を介してセンターブロツク6内部より送り方
向の前後の垂直面とには圧縮空気吐出口を設ける
ものとする。
なお、ネジ10としては、例えば、前記従来例
1に開示したものを使用することができ、またポ
ートIには圧力計を外付けして静圧の圧力チエツ
クを行ううよにするのがよい。更に第2図では空
気通路、ネジ等の固定構造は左右で異ならせて示
してあるが、これは異なる位置の断面を部分的に
表示するためであり、実際には夫々左右対称とな
つている。
さて、上述した構造の送り装置において、ポー
トHより圧縮空気を供給すると、前記A〜G及び
A′〜G′の静圧面が機能し、この時、センターブ
ロツク6を回転可能にしておけば、ナツトハウジ
ング5と平行となるので、その位置で固定する。
この状態で、前記駆動源によりネジ10を回転
させれば、ナツトハウジング5は直進し、その駆
動力はセンターブロツク6の静圧面G,G′によ
りテーブル1へ伝達され、テーブル1を直進させ
る。この場合、ナツトハウジング5の直進時にお
ける上下左右の振れはテーブル1へ伝わらない。
即ち、前述した構造であると、ナツトハウジング
5はベツト4とレール3により静圧案内され、テ
ーブル1はレール3により静圧案内され、そして
テーブル1に対するナツトハウジング5の駆動力
の送り方向の伝達は静圧面G,G′を介して行わ
れ、しかもナツトハウジング5はネジ10と直結
なので、ネジ10の形状より出やすい上下左右の
微小な振れはセンターブロツク6には伝わらず、
G,G′方向のみの力が伝達され、テーブル1は
高精度で送られる。
なお上記実施例における送り手段としては、ネ
ジ送り手段だけでなく、ラツク送り手段、フリク
シヨンローラ、リニアモータ等適宜の手段を使用
できる。
[考案の効果] 以上説明した所から明らかな如く、本考案によ
れば、送り装置の部品点数を少なくすることがで
き、また静圧継手がテーブルの下に位置するの
で、装置の全長が短縮され、更にピツチングの影
響も少なくなり、レール外形が単純な直方体形状
としているので高精度加工に有利である。その結
果、直進精度が向上する等実用上の効果は多大で
ある。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は本考案の一実施例を示す断
面図である。 1……テーブル、3……レール、4……ベツ
ト、5……ナツトハウジング、6……センターブ
ロツク、9……ナツト、10……ネジ、4a……
凹溝、3a……長孔。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 送り方向に凹溝を有するベツトと、該ベツト上
    に固定され上記凹溝上にこれよりも狭い長孔を有
    する直方体形状のレールと、上記凹溝及び長孔内
    に配置された移動体と、該移動体の上面に形成さ
    れ、移動方向前後に垂直面を有する移動体の凹部
    に嵌合するブロツクと、上記ブロツク上に固定さ
    れ、上記レールを抱持するテーブルと、を設ける
    ことにより上記テーブルとベツトとの間に、上記
    移動体、ブロツク及びレールが組み込まれ、上記
    移動体を上記凹溝を介して移動させる手段を設
    け、上記テーブル内部よりレールに向けて移動方
    向に対し上下左右前後の6面に圧縮空気吐出口を
    設け、上記テーブル及びブロツクを介して移動体
    内部よりレール及びベツトに向けて上下左右前後
    の6面に圧縮空気吐出口を設け、且つ前記テーブ
    ルを介してブロツク内部より移動方向の前後の垂
    直面に圧縮空気吐出口を設けることにより上記移
    動体とベツトの凹溝との間、上記ブロツクの垂直
    面と移動体の凹部との間、及び前記レールとテー
    ブルとの間が夫々静圧案内面としたことを特徴と
    する静圧継手を有する送り装置。
JP1986040875U 1986-03-20 1986-03-20 Expired JPH0452519Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1986040875U JPH0452519Y2 (ja) 1986-03-20 1986-03-20

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1986040875U JPH0452519Y2 (ja) 1986-03-20 1986-03-20

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS62153452U JPS62153452U (ja) 1987-09-29
JPH0452519Y2 true JPH0452519Y2 (ja) 1992-12-10

Family

ID=30855354

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1986040875U Expired JPH0452519Y2 (ja) 1986-03-20 1986-03-20

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0452519Y2 (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58120444A (ja) * 1982-01-14 1983-07-18 Nachi Fujikoshi Corp 静圧スライドテ−ブルの精密ねじ送り装置
JPS58177244A (ja) * 1982-04-13 1983-10-17 Nachi Fujikoshi Corp 静圧スライドテ−ブルの送り装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56162349U (ja) * 1980-05-02 1981-12-02
JPS6021148Y2 (ja) * 1981-11-13 1985-06-24 日立精機株式会社 精密機械における移動テ−ブル送り装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58120444A (ja) * 1982-01-14 1983-07-18 Nachi Fujikoshi Corp 静圧スライドテ−ブルの精密ねじ送り装置
JPS58177244A (ja) * 1982-04-13 1983-10-17 Nachi Fujikoshi Corp 静圧スライドテ−ブルの送り装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPS62153452U (ja) 1987-09-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5388342A (en) Assembly for supporting and guiding a movable member of a machine, particularly a measuring machine
WO1999013289A1 (en) Coordinate measuring machine of a gantry-style
US4594791A (en) Bridge type coordinate measuring machine
CN103252761A (zh) 具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统
CN203245845U (zh) 具有角度补偿功能的大行程二维纳米工作台系统
CN101441106A (zh) 激光测振仪四自由度夹持装置
JPH0452519Y2 (ja)
CN201142318Y (zh) 高精度快速调平机构
CN107520294B (zh) 一种一体化互通型折弯机后挡料装置
US5292211A (en) Drive apparatus and XY drive apparatus on which it is equipped
CN219574594U (zh) 一种一维运动装置
CA1233635A (en) Bridge type coordinate measuring machine
CN205482795U (zh) 非球面测量仪
JPH05166B2 (ja)
JP2556567Y2 (ja) コラム型の座標測定装置
CN113146371A (zh) 冰刀磨床的光栅系统和冰刀磨床
JPH0449530Y2 (ja)
CN112161768A (zh) 一种水平两自由度振动台
JPH01108459A (ja) テーブル駆動用送りナット支持機構
CA2000494C (en) Way bearing arrangement for a horizontal arm coordinate measuring machine
CN220560905U (zh) 一种高精度数控机床工作台
JPS6234673Y2 (ja)
CN217155291U (zh) 一种结构光传感器的标定装置
JPH0725605Y2 (ja) 三次元測定機
JPH044170Y2 (ja)