JPH0451496Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案はジヨイントに係り、さらに詳細には、
レーザ発振器における放電部とミラーを支持した
ミラーホルダとを接続するジヨイントに関する。

［従来の技術］ 従来、２つの部材例えばガスレーザ発振器の放
電部を支承している支持プレートと光学系を保持
するミラーホルダとの接続は溶接ベローズと成形
ベローズが知られて使用されている。

［考案が解決しようとする問題点］ しかしながら、前述した従来の前者である溶接
ベローズは真空気密に対して良好であるが、経済
性の面をみると非常に高価であるという問題があ
る。一方、後者である成形ベローズはベローズを
一体的に製作するため、前者の溶接ベローズに比
べて自由度が少ない。さらに、前者の溶接ベロー
ズと後者の成形ベローズに共通する問題点として
は軸方向の自由度は高いが、偏心および回転に対
して自由度が小さいことや、組立上回転方向の自
由度が小さいことから非常に製作が大変である。

本考案の目的は上記事情に鑑み問題を解決する
ために提案されたものであつて、本考案は軸方向
および半径方向における自由度を向上させると共
に組立てを容易にしたジヨイントを提供するもの
である。

［問題を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、この考案は、レー
ザ発振器における放電部とミラーを支持したミラ
ーホルダとを接続するジヨイントにして、上記ミ
ラーホルダ側に取付けた第１の中空円筒部材に一
端部を取付けたゴム状弾性体からなるベローズの
他端部を、前記放電部側に取付けた第２の中空円
筒部材に取付けてなり、かつ前記第１、第３の中
空円筒部材の少なくとも一方の円筒部を前記ベロ
ーズの内部の適宜範囲に嵌入してなるものであ
る。

［作用］ 本考案のジョイントを使用することにより、軸
方向および半径方向における自由度を大きくとれ
る。しかも組立てが容易にできる。

［実施例］ 以下、本考案の一実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。

第１図を参照するに、気体レーザ発振器１は放
電部３、ブロワ５および熱交換器７などから構成
されている。より詳細には、サイドプレート９
Ａ，９Ｂが立設され、該サイドプレート９Ａと９
Ｂとの間には支持プレート１１Ａ，１１Ｂおよび
１１Ｃが上方から順に水平に溶接などでサイドプ
レート９Ａと９Ｂに接合されている。

サイドプレート９Ａ，９Ｂ間にあつて、かつ支
持プレート１１Ａ上に放電部３が設けられてい
る。さらに、サイドプレート９Ａ，９Ｂ間にあつ
て、かつ支持プレート１１Ｂと１１Ｃの間にはブ
ロワ５がサイドプレート９Ａ，９Ｂに取付けられ
ている。

サイドプレート９Ａ，９Ｂの両外側には、熱交
換器７や整流部などを内蔵した風胴１３を支承す
るホルダプレート１５Ａ，１５Ｂがボルトなどで
締結されている。

風胴１３の内部にHe、CO₂およびH₂などのレ
ーザー媒体としてのレーザーガスを封入しブロワ
５によつてレーザーガスを矢印の如く循環させて
いる。風胴１３内の第１図において右側に主熱交
換器７が内蔵されていて、循環しているレーザー
ガスを常時冷却している。風胴１３内を循環して
いるレーザーガスは整流部である複数枚の仕切板
１７によつて整流され一定の圧力を保持して均一
に整流される。なお、仕切板１７の一端はホルダ
プレート１５Ａ，１５Ｂに取付けられた仕切板把
持装置１９Ａ，１９Ｂによつて把持され、仕切板
１７の他端はホルダプレート１５Ａや他の保持装
置２１によつて支承されている。また、仕切板１
７は適宜間隔をもつて保持装置２１で保持されて
いる。

前記支持プレート１１Ａ上に設けられた放電部
３は百数拾本からなるカソードピン２３とアノー
ドプレート２５からなり、カソードピン２３とア
ノードプレート２５間で高圧電源をかけて封入さ
れたレーザーガスにグロー放電を起こさせてレー
ザビームを出力するようになつている。

サイドプレート９Ａ，９Ｂ上をカバーするため
の支持プレート１１Ｄにはバラスト抵抗冷却ユニ
ツト２７が取付けられ、該バラスト抵抗冷却ユニ
ツト２７の下部には第１図において紙面に対し直
交する方向へ延伸したホルダ２９が設けられてい
る。さらに、ホルダ２９の下部には長手方向に沿
つて適宜間隔をもつて百数拾本のカソードピン２
３が下向きに取付けられているのである。

支持プレート１１Ａ上にはアノード支持固定プ
レート３１が取付けられ、しかも該アノード支持
固定プレート３１上に立設された複数枚例えば２
枚のアノード支持体３３間にアノードプレート２
５が第１図において紙面に対して直交する方向へ
延伸して支承されている。

第１図および第２図に示す如く、支持プレート
１１Ｄ，１１Ａの左右外側（右外側は省略してあ
る。）には複数本例えば４本のタイロツド３５が
第２図において左右方向に延伸して取付けられて
いる。第２図において、タイロツド３５の左側部
にはミラーホルダ３７が装着され、該ミラーホル
ダ３７には出力ミラー３９が取付けられている。

第２図および第３図に示されているように、放
電部３を支承している支持プレート１１Ｄ，１１
Ａとミラーホルダ３７とがジヨイント４１で接続
してある。より詳細には、ゴム状弾性体からなる
ベローズ４３の両側に第１のフランジ部４５と第
２フランジ部４７が形成してある。前記ベローズ
４３内にフランジ部５１を有した例えばステンレ
ス製取付フランジからなる第１の中空円筒部材４
９を挿着する。このベローズ４３は真空中でも不
純ガスを放出しないフツ素系のものを使用してい
る。ベローズ４３に形成した第１フランジ部４５
を外側からベローズ４３内に装着した第１の中空
円筒部材４９のフランジ部５１と内側から押えリ
ングである第３の中空円筒部材５５とで挟み夫々
の半径方向に適宜間隔をもつて穿設された複数の
ｕ字形溝５７と孔５９とを一致せしめて複数のボ
ルト６１で挟持固定する。第１の中空円筒部材４
９はレーザ発振器のミラー３９を取付けるミラー
ホルダ３７に、夫々前記ｕ字形溝５７と位相差を
もつて複数の孔を穿設し、その孔を一致せしめて
複数のボルト６３で固定する。なお、第１中空円
筒部材４９はベローズ４３が低圧にさらされても
座屈しないためのガイドを兼ねた取付フランジ
で、また第３の中空円筒部材５５はベローズ４３
と第１の中空円筒部材４９の気密性を増すための
ものである。しかも第１の中空円筒部材４９の中
空円筒部５３がほぼ全長に亘つてベローズ４３内
に装着れており、内部の雰囲気からベローズ４３
を保護しているのである。

一方、ベローズ４３に形成した第２フランジ部
４７を内側から、押えフランジである第４の円筒
部材６５で、外側からフランジである第２の円筒
部材６７で押えて挟み、夫々半径方向に適宜間隔
をもつて穿設された複数の逆ｕ字溝６９と孔７１
とを一致せしめて複数のボルト７３で挟持固定す
る。なお、第４の中空円筒部材６５はベローズ４
３と第２の円筒部材６７の気密性を増すためのも
のである。第２の円筒部材６７は気体レーザ発振
器の放電部３を支承している支持プレート１１
Ａ，１１Ｂに取付けられる。而して、自由度の高
いジヨイントで気体レーザ発振器の共振器と放電
部とが、このジヨイント４１を介して接続されて
半径方向および軸方向に柔軟に対応される。

なお、本実施例では上述したように、本考案の
ジヨイントで出力ミラーを取付けたミラーホルダ
と放電部を支承する支持プレートとを接続する例
で説明したが、反射ミラーを取付けたミラーホル
ダと放電部を支承する支持プレートとを接続する
場合も、本考案のジヨイントで接続することが出
来、接続の仕方はほぼ上述したやり方と同様であ
る。また、本考案は上述以外の２つの部材を接続
する場合にも適用される。

［効果］ 以上のごとき実施例の説明より理解されるよう
に、要するに本考案は、レーザ発振器における放
電部３とミラー３９を支持したミラーホルダ３７
とを接続するジヨイントにして、上記ミラーホル
ダ３７側に取付けた第１の中空円筒部材４９に一
端部を取付けたゴム状弾性体からなるベローズ４
３の他端部を、前記放電部３側に取付けた第２の
中空円筒部材６７に取付けてなり、かつ前記第
１、第２の中空円筒部材４９，６７の少なくとも
一方の円筒部を前記ベローズ４３の内部の適宜範
囲に嵌入してなるものである。

上記構成より明らかなように、本考案は、レー
ザ発振器の放電部３とミラー３９を保持したミラ
ーホルダ３７とを接続するジヨイントに関するも
のであつて、ベローズ４３の両端部を、前記ミラ
ーホルダ３７側に設けた第１の中空円筒部材４９
及び放電部３側に設けた第２の中空円筒部材６７
に取付けてなるものであり、そして、第１、第２
の中空円筒部材４９，６７の少なくとも一方の円
筒部を前記ベローズ４３内へ適宜範囲に嵌入して
ある。

したがつて本考案によれば、第１の中空円筒部
材４９に対する第２の中空円筒部材６７の軸方
向、径方向、ねじり方向の相対的な自由度が大き
く、ミラーホルダ３７、放電部３に対して、ベロ
ーズ４３の両端部を取付けた第１、第２の中空円
筒部材４９，６７の取付けを容易に行なうことが
できるものである。

また、ベローズ４３がゴムよりなるものであつ
ても、第１、第２の円筒部材４９，６７の少なく
とも一方の円筒部が適宜範囲に亘つてベローズ４
３内に嵌入してあるから、ベローズ４３が縮径す
る方向へ大きく変形するようなことがなく、レー
ザ発振器内のレーザ光の光路に影響を及ぼすよう
なことがないものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案が適用される気体レーザ発振器
の側面図である。第２図は第１図における−
線に沿つた一部拡大断面図である。第３図は第２
図における−線に沿つた矢視図である。 図面の主要部を表わす符号の説明、１……レー
ザ発振器、３……放電部、５……ブロワ、７……
熱交換器、１１Ａ〜１１Ｄ……支持プレート、３
５……タイロツド、３７……ミラーホルダ、４１
……ジヨイント、４３……ベローズ、４５……第
１のフランジ部、４７……第２のフランジ部、４
９……第１の円筒部材、５１……フランジ部、５
３……中空円筒部、５５……第３の円筒部材、６
５……第４の円筒部材、６７……第２の円筒部
材。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. レーザ発振器における放電部３とミラー３９を
   支持したミラーホルダ３７とを接続するジヨイン
   トにして、上記ミラーホルダ３７側に取付けた第
   １の中空円筒部材４９に一端部を取付けたゴム状
   弾性体からなるベローズ４３の他端部を、前記放
   電部３側に取付けた第２の中空円筒部材６７に取
   付けてなり、かつ前記第１、第２の中空円筒部材
   ４９，６７の少なくとも一方の円筒部を前記ベロ
   ーズ４３の内部の適宜範囲に嵌入してなることを
   特徴とするジヨイント。