JPH0451448A - 電子ビーム用絞り板の汚染除去ならびにコーテングのための装置と方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は電子顕微鏡、電子線描画装置、電子線寸法計測
装置等の電子線応用装置全般に関わり、とくにその電子
ビームの絞り板表面の汚れを除去し、再コーテングする
ことの出来る電子線応用装置用絞りのイオンスパッタ装
置に係る。

［従来技術］ 従来の電子顕微鏡その他の電子線応用装置に用いる電子
ビームの絞り板は使用中にその表面の汚染が進むので、
定期的、或いは必要に応じて取りだしクリーニングし、
また、絞り板が酸化すると表面が非導電化してその電位
分布が不均一になりここを通過する電子ビームの分布に
乱れが生じるようになるので白金等の非活性金属をコー
テングし直す必要があった。

このため、例えば電子顕微鏡より取りだした絞り板を蒸
着装置内に設置して排気後加熱して表面の汚染物質を蒸
発させ、その後白金を蒸着するようにしていた。

［発明が解決しようとする課題］ 上記従来技術では上記絞り板が薄板状であり変形しやす
いため、上記蒸着装置内の加熱源からの熱により変形し
、電子ビームの絞り精度が劣化するという問題があった
。

また、」１記蒸着装置内には絞り板加熱用と白金蒸着用
のヒータを設ける必要があり、装置の構造やそのメイン
テナンスを複雑化するという問題があった。

本発明の目的は、上記ヒータを用いることなく低温下で
表面の汚染を除去し、同時に白金コーテングして上記変
形を防止することができる電子線応用装置用絞り板のイ
オンスパッタのための装装置と方法を提供することにあ
る。

［課題を解決するための手段］ 本発明は上記課題を解決するために、上記絞り板の汚染
を除去する場合には、白金ターゲットと上記絞り板間に
それぞれ汚れ防止板を挿入して白金ターゲット側が正極
性となるように白金ターゲットと上記絞り板間に電圧を
印加するようにし、上記絞り板に白金をコーテングると
きには、上記各汚れ防止板を白金ターゲットと上記絞り
板の間から隔離して上記電圧の極性を反転するようにす
る。

「作用コ 以」二のように構成した本発明の電子ビーム用絞り板の
汚染除去ならびにコーテングのための装置とその方法は
、白金ターゲットと上記絞り板間のグロー放電により生
成される真空チャンバ内の残留ガスイオンを上記絞り板
に衝突させてその汚染物質を放出させて除去し、同時に
汚れ防止板により上記放出された汚染物質粒子を吸着し
て白金ターゲットの汚染を防止する。

また、上記グロー放電により生成される真空チャンバ内
の残留ガスイオンを白金ターゲット衝突させて白金原子
を放出させ、これを上記絞り板に吸着せしめて白金をコ
ーテングするようにする。

［実施例］ 第１図、第２図はそれぞれ本発明実施例装置の断面図を
示し、第１図は電子顕微鏡用絞り板の表面をクリーニン
グ中の状態、第２図は白金コーテングを行っている状態
を示している。

第１図において、ガラス窓８を有する真空チャンバ３内
に電子顕微鏡内より取り外した絞り板１を設置する。こ
の他、真空チャンバ３内には絞り板１の両面側に汚れ防
止板７を介して２枚の白金ターゲット５が設けられる。

絞り１と２枚の白金ターゲット５間には高圧電源４が印
加され、スイッチによりその極性を切り替えることがで
きる。第１図では白金ターゲット５が正、絞り板１が負
の極性に接続され、この高電圧によって白金ターゲット
５と絞り板１間にはグロー放電が発生して真空チャンバ
３内の残留ガスがイオン化される。

この残留ガスイオン２は上記電界に引かれて絞り板１−
に衝突し、その表面の汚染物質を叩き出すように作用す
る。これにより放出された汚染物質は汚れ防止板７に吸
着されるので白金ターゲット５には付着しない。

上記の方法で汚染物質を十分に除去した後、第２図に示
すように汚れ防止板７を後退させ、同時にスイッチを切
り替えて白金ターゲット５の極性が負、絞り板１の極性
が正になるようにする。この高電圧によって白金ターゲ
ット５と絞り板１間には再びグロー放電が発生し、この
放電によって生じた残留ガスイオンが白金ターゲット５
に衝突して白金原子６を蒸発させ、これが上記電界に引
かれて絞り板１に付着して白金をコーテングする。

上記本発明の実施例では、従来の蒸着装置のように絞り
加熱用や白金加熱用の熱源等を用いないので、絞り板１
の温度上昇を著しく低減することができ、その結果、変
形少なく絞り１の汚染物質を除去し、白金をコーテング
することができるのである。

［発明の効果］ 本発明によれば、従来装置のように加熱により絞り板の
汚染物質や白金を蒸発させる代わりに、グロー放電によ
り汚染物質や白金を蒸発させるようにするので、絞り板
１の温度上昇が著しく低減される結果、汚染物質の除去
や白金コーテング後の変形を防止することができる。

さらに、本発明装置は加熱用のヒータを含まないので従
来装置に較べて構成を簡単化することができる。

また、上記汚染物質の除去に際し、白金ターゲットを汚
れ防止板により遮蔽するようにするので白金ターゲット
に汚染物質が付着することがなく、この結果、白金コー
テングの際に上記汚染物質が」ユ記絞り板に再付着する
ことがない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例装置における絞り板１の汚染除去
を説明する断面図、第２図は本発明実施例装置における
絞り板１の白金コーテングを説明する断面図である。 １・・・絞り板、２・・・残留ガスイオン、３・・・真
空チャンバ、４・・・高圧電源、５・・・白金ターゲッ
ト、６・・・白金原子、７・・・汚れ防止板、８・・・
ガラス窓。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、電子線応用装置に用いる電子ビーム用絞り板の汚染
   除去装置において、 上記絞り板を中心にして隔離して対向配置される一対の
   汚れ防止板と、さらに各汚れ防止板上部に隔離して対向
   配置される一対の白金ターゲットと、上記絞り板と各汚
   れ防止板と各白金ターゲットとを収容して保持する排気
   可能な真空チャンバとを備え、白金ターゲットに電源の
   正電極を、また絞り板に同負電極を接続して残留ガスの
   グロー放電を生成し、これにより上記絞り板の汚染を除
   去するようにしたことを特徴とする電子ビーム用絞り板
   の汚染除去装置。 ２、電子線応用装置に用いる電子ビーム用絞り板のコー
   テング装置において、 上記絞り板を中心にして隔離して対向配置される一対の
   白金ターゲットと、上記絞り板と各白金ターゲットとを
   収容して保持する排気可能な真空チャンバとを備え、白
   金ターゲットに電源の負電極を、また上記絞り板に同正
   電極を接続して残留ガスのグロー放電を生成し、これに
   より放出される白金ターゲットの白金原子を上記絞り板
   に付着せしめるようにしたことを特徴とする電子ビーム
   用絞り板のコーテング装置。 ３、電子線応用装置に用いる電子ビーム用絞り板の汚染
   除去ならびにコーテング装置において、上記絞り板を中
   心にして隔離して対向配置される移動可能な一対の汚れ
   防止板と、さらに各汚れ防止板上部に隔離して対向配置
   される一対の白金ターゲットと、上記絞り板と各汚れ防
   止板と各白金ターゲットとを収容して保持する排気可能
   な真空チャンバと、白金ターゲットと上記絞り板に接続
   する電源の極性切り替え手段とを備え、上記絞り板の汚
   染を除去する場合には極性切り替え手段により白金ター
   ゲット側を正の極性にし、さらに上記一対の汚れ防止板
   を白金ターゲットと上記絞り板の間に介在させるように
   し、上記絞り板に白金をコーテングるときには極性切り
   替え手段により白金ターゲット側を負の極性にし、さら
   に上記一対の汚れ防止板を白金ターゲットと上記絞り板
   の間から隔離するようにしたことを特徴とする電子ビー
   ム用絞り板の汚染除去ならびにコーテング装置。 ４、電子線応用装置に用いる電子ビーム用絞り板の汚染
   除去ならびにコーテング方法において、上記絞り板の汚
   染を除去する場合には、白金ターゲットと上記絞り板間
   にそれぞれ汚れ防止板を挿入して白金ターゲット側が正
   極性となるように白金ターゲットと上記絞り板間に電圧
   を印加するようにし、上記絞り板に白金をコーテングる
   ときには、上記各汚れ防止板を白金ターゲットと上記絞
   り板の間から隔離して上記電圧の極性を反転するように
   したことを特徴とする電子ビーム用絞り板の汚染除去な
   らびにコーテング方法。