KR950009992B1 - 렌즈의 코팅방법 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

렌즈의 코팅방법

제1도는 종래의 렌즈의 코팅방법을 실시하기 위한 장치의 일례를 보인 단면도.

제2도는 본 발명에 따른 렌즈의 코팅방법을 실시하기 위한 장치의 일례를 보인 단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 진공챔버(Vacuum Chamber) 2 : 기판(Substrate)

3 : 가열판(Crucible) 4 : 가열부

6 : 이온건 T : 타겟(target)

S : 샘플(sample)

본 발명은 렌즈의 코팅(coating)방법에 관한 것으로, 특히 코팅된 렌즈의 품질을 현저히 향상시킬 수 있는 코팅 방법에 관한 것이다.

각종 카메라나 광학기기에 사용되는 렌즈의 표면에는 렌즈의 보호나 난반사 방지등 여러가지 목적으로 표면코팅을 행하고 있다. 이러한 코팅방법으로 주로 사용되고 있는 방법은 진공 증착 방법인 바, 이러한 진공 증착방법을 실시하기 위한 렌즈 코팅장치의 일례를 제1도에 보였다.

이것은 진공챔버(Vacuum Chamber ; 1)의 상측에는 모우터(M)에 의해 회전되는 기판(2)에 코팅될 렌즈등의 타겟(target)이 하나 또는 복수로 장착되어 있다. 진공챔버(1)의 하측 즉, 타겟(T)의 대향측에는 코팅소재인 샘플(Sample ; S)이 가열판(Crucible ; 3)상에 설치되어 있으며, 이 가열판(3)상의 샘플(S)을 가열하여 기화 또는 이온화하기 위한 가열부(4)가 구비된다. 도시된 가열부(4)는 고압방전에 의한 전자빔 충격(electron beam bombardment) 형의 것이나 이외에도 히이터 코일 등 여러가지의 가열부가 사용되고 있다.

이러한 종래의 코팅용 증착장치에 의해 실시되는 렌즈의 코팅방법은 먼저 진공챔버(1) 내부에 타겟(T) 및 샘플(S)을 설치한다. 그리고 도시되지 않은 진공펌프로 니플(nipple ; 5)을 통해 진공챔버(1) 내부를 진공상태로 만든다. 다음 가열부(4)에 통전시킴으로써 발생되는 열전자 또는 열에 의해 샘플(S)을 이온화시킨다. 이와 같이하면, 샘플(s)로부터 이온화된 이온은 타겟(T)에 부착되어 코팅이 이루어진다.

그런데, 이와같은 종래의 코팅방법에 있어서는 다음과 같은 여러가지 문제점이 있었다. 즉, 기계적으로 가공된 렌즈의 거친 표면에 상대적으로 얇은 코팅을 형성하는 것이므로 코팅이 아무리 잘 행해지더라도 코팅층은 1차적으로 렌즈 표면의 가공정도 및 이물의 부착상태에 따라 좌우된다. 따라서 렌즈의 표면에 불순물이 잔류되어 있거나 렌즈의 표면이 거칠은 경우에는 코팅층이 깨끗하게 형성되지 않게 되는 문제점이 있다.

이러한 문제점들을 해결하기 위한 종래의 방법은 주로 증착방법의 개선, 예를들어 히이터 코일 장치 대신에 전자빔 충격장치를 사용하는 방법등을 사용하였으나 전술한 바와 같이 코팅층의 렌즈표면 가공정도에 크게 좌우되고 표면에 부착된 이물의 제거 정도에 따라 좌우되므로 종래의 방법들의 근본적인 문제점 해결책이 될 수는 없었다.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 감안하여 이를 해결하고자 창출한 것으로, 우수한 코팅품질을 얻을 수 있는 렌즈의 코팅방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 진공챔버내에 코팅하고자 하는 적어도 하나의 렌즈를 설치하여 타겟을 설치하고, 렌즈에 코팅하고자하는 물질로 이루어진 샘플을 이온화시켜 타겟렌즈 표면에 부착되도록 하여 렌즈를 코팅하는 렌즈 코팅방법에 있어서, 상기 타겟을 설치한 후 불활성 가스의 이온제트로 상기 타겟의 표면을 세정하는 단계를 포함하여 된 것을 그 특징으로 한다.

이하 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명에 따른 한 바람직한 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 렌즈의 코팅방법은 가공이 완료된 렌즈의 표면에 코팅막을 형성하는 것이다. 이 방법은 진공챔버의 내부에 코팅하고자 하는 적어도 하나의 렌즈를 이용하여 타겟을 설치하고, 상기 진공챔버의 내부를 고진공으로 한다. 그리고 상기 진공챔버에 내부에 설치된 타겟의 표면을 불활성 가스를 이용한 이온제트로 세정한다. 상기와 같이 세정이 완료되면 렌즈에 코팅하고자 하는 물질로 이루어진 샘플을 이온화시켜 타겟 표면에 부착되도록 한다.

제2도에는 본 발명에 따른 렌즈 코팅 방법을 실시하기 위한 렌즈 코팅장치가 도시되어 있는데, 이를 통하여 본원 발명의 진공 코팅 방법은 더욱 상세하게 설명될 수 있을 것이다.

상기 렌즈 코팅 장치는 진공챔버(1)의 상측에 코팅하고자 하는 렌즈인 타겟(T)을 장착하는 기판(2)이 모우터(M)에 의해 회전가능하게 설치되어 있으며, 렌즈의 표면에 코팅하고자 하는 물질로 이루어진 샘플(S)이 설치되는 가열판(3)과, 이 가열판(3)을 가열하기 위한 가열부(4)가 구비된다. 진공챔버(1)의 일측에는 본 발명에 따른 타겟을 세정하는 이온건(Ion Gun ; 6)이 설치되는데, 이 이온건(6)은 고압방전을 통해 열전자를 방출하도록 하는 필라멘트와 방전회로 등을 포함한 고압방전부(7)와, 이 방전이 이루어지는 방전챔버(8)와, 아르곤(Ar)등 불활성가스를 저장하여 이를 방전챔버(8)에 공급하는 가스저장부(gas reservoir ; 9)와, 이 방전챔버(8)에 연통되어 타겟(T) 표면을 향하는 건노즐(gun nozzle ; 10)을 구비하여 구성된다. 미설명부호는 도시되지 않은 5는 진공펌프와 연결된 니플이다.

상기와 같이 구성된 코팅 장치의 작용을 통하여 본원 발명에 따른 코팅 방법을 더욱 상세하게 설명하면, 먼저 렌즈로 이루어진 타겟의 표면에 진공챔버(1)을 개방하여 기판(Substrate ; 2)상에 코팅하고자 하는 타겟(T)과, 가열판(3)상에 샘플(S)을 각각 설치한 뒤 진공챔버(1)을 밀폐한다. 다음 니플(5)을 통해 진공챔버(1)내를 배기하여 그 내부를 진공상태로 만든다.

그 다음 본 발명에 따라 이온건(6)으로 타겟(T)의 표면 즉, 렌즈의 표면을 세정(clear)시킨다. 상기 이온건에 의한 세정은 가스저장부(9)로부터 방전챔버(8) 내로 공급된 가스, 예를들어 Ar 가스는 고압방전부(7)의 방전전자와 충돌하여 Ar⁺이온이 된다. 이 Ar⁺이온은 전자의 추가적 충돌로 가속화되어 건노즐(10)을 통해 이온제트 또는 플라즈마 제트로서 분사됨으로써 타겟(T)의 표면에 충돌된다. 이 이온제트의 충돌에 의해 타겟(T) 표면의 불순물과 미세한 요철이 제거되어 평활한 면이 된다.

이온건(6)에 의한 타겟(T) 표면의 세정이 완료되면, 상기 가열부(4)를 가동하여 가열판(3)의 샘플(S)을 이온화시킴으로써 타겟(T) 표면상의 코팅을 수행한다.

이상에서 보인 바와 같이 본 발명에 따른 코팅 방법에 의하면 부착된 불순물과 미세한 요철이 제거된 깨끗하고 평활한 렌즈의 표면에 코팅이 이루어지므로 코팅층의 품질이 현저히 향상된다. 또한 불순물과 잔류공기가 남아있는 진공 분위기가 아니라 Ar 등 불활성 분위기에서 코팅이 이뤄지므로 코팅층내에 불순물이 함유되거나 기공(Porosity)의 발생등의 근본적으로 방지될 수 있는 여러가지 효과가 있는 것이다.

Claims (1)

1. 진공챔버 내에 코팅하고자 하는 적어도 하나의 렌즈를 고정하여 타겟를 설치하고, 렌즈에 코팅하고자 하는 물질로 이루어진 샘플을 이온화시켜 타겟렌즈 표면에 부착되도록 렌즈를 코팅하는 렌즈 코팅방법에 있어서, 상기 샘플을 이온화시켜 렌즈를 코팅하기 전에, 불활성 가스의 이온제트로 상기 타겟의 표면을 세정하는 단계를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 렌즈 코팅 방법.