JPH0451153A

JPH0451153A - フォトレジストにおける露光方法および装置

Info

Publication number: JPH0451153A
Application number: JP2160655A
Authority: JP
Inventors: Masatoshi Fujiwara; 正利藤原
Original assignee: Kato Hatsujo Inc
Current assignee: Piolax Inc
Priority date: 1990-06-19
Filing date: 1990-06-19
Publication date: 1992-02-19

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】「産業上の利用分野」本発明は、フォトレジストにおける露光方法および装置
に関し、特に、金属の円筒体の外周面に、エツチングの
ためのドツト状のレジストパターンを設けるためのフォ
トレジストにおける露光方法および装置に関する。

「従来の技術」プリンターやプロッターの紙送りローラとしては、用紙
に対する摩擦力、紙送りの位置精度、耐久性等の点から
、金属の円筒体の外周面に凹凸を形成した高摩擦ローラ
が用いられている。

上記のような高摩擦ローラを製造する方法が、特開昭６
３−９３８７８に開示されている。これは、金属の円筒
体の外周面に、所定のレジストパターンを形成し、エツ
チングして凸部を形成した後、レジストを除去して、円
筒体の外周面に多数のドツト状の凸部を有する高摩擦ロ
ーラを得る方法である。

所定のレジストパターンを形成する方法として、第４図
（ａｌ　に示すように、円筒体３の外周面にフォトレジ
スト７を塗布した後、フィルム状のフォトマスク８を巻
き付け、円筒体３を回転させながら、スリット９を介し
て、光ｌＯを照射して露光し、次いで現像、およびポス
トベークを行なう方法が提案されている。また、別法と
して、第４図ｉｂｌ　に示すように、スクリーン版１３
を、スキージ１２で押圧して、スクリーン版１３の開口
部１４からインクレジスト１１をスクリーン印刷してレ
ジストパターンを形成する方法が提案されている６更に
、第４図ｆｃｌ　に示すように、凹版］６のインクレジ
スト１１を転写ローラー１５により転写凹版してレジス
トパターンを形成する方法も提案されている。

［発明が解決しようとする課題」しかしながら、円筒体の外周面に、スクリーン印刷法に
よりレジストパターンを形成する場合、円筒体を１回転
させて最終列のドツトを形成する際に、最初の列のドツ
トがスクリーン版に押し付けられて潰れてしまうという
問題を有している。また、スクリーン印刷法においては
、インクレジストを精密に均一に印刷するためには、ス
キージのエツジ部分の精度が問題になるが、スキージは
ポリウレタン樹脂等の軟質素材からなるため、スクリー
ンへの押圧力を一定にすることが困難であり、特に１円
筒体が長尺であって、スキージが長くなると、円筒体の
全周に亙って均一な印刷を施すことは極めて困難である
。更に、円筒体の径、長さが変わる毎にスクリーンを製
作しなおさなければならないという問題もある。

また、転写凹版による方法も、最終列のドツトを形成す
る際に、最初の列のドツトが潰されて、精密なドツトが
形成できないという問題を有している。

更に、第３図ｆａｌ　に示す露光による方法は、フォト
レジストを塗布した円筒体の外周に、フォトマスクを密
着させ、かつ、接ぎ目が、重なったり、間が開いたりし
ないように巻き付けるのが困難であるという問題を有し
ている。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、その目
的は、特に円筒体の外周面に微細で精密なレジストパタ
ーンを、均一に形成可能にし、また、円筒体が長尺であ
っても適用可能であり、更に、円筒体の径が変わっても
部品を取り替えたりすることなく容易に対応できるフォ
トレジストにおける露光方法および装置を提供すること
にある。

「課題を解決するための手段」上記目的を達成するため、本発明のフォトレジストにお
ける露光方法は、露光用ヘッド部分で、一本ずつ一列に
配列された多数本の石英ファイバーの束の、前記露光用
ヘッド部分と平行に、紫外線レジストを塗布した円筒体
を回転可能に支持し、前記円筒体を所定角度回転毎に停
止し、前記石英ファイバーの前記露光用ヘッド側とは異
なる端部から、紫外線を照射して、前記紫外線レジスト
を感光させ、感光が終了すると紫外線照射を終了し、再
び、前記円筒体を所定角度回転させる操作を繰り返すこ
とを特徴とする。

また１本発明のフォトレジストにおける露光装置は、露
光用ヘッド部分で、一本ずつ一列に配列された多数本の
石英ファイバーの東と、前記石英ファイバーの、前記露
光用ヘッド側とは異なる端部から、紫外線を照射する紫
外線照射装置と、前記石英ファイバーの、前記露光用ヘッド側とは異なる
端部と、前記紫外線照射装置との間に配置されたシャッ
タと、前記露光用ヘッド部分と平行に、かつ、回転自在に円筒
体を支持する円筒体支持手段と、前記円筒体を所定角度
ずつ回転させる回転手段とを備えていることを特徴とす
る。

「作用」本発明においては、紫外線レジストを塗布した円筒体を
所定角度回転させた後停止し、石英ファイバーを通して
紫外線照射して、紫外線レジストを露光させる操作を繰
り返して円筒体の全面を露光させるので、円筒体の全面
に亙って、微細で、精密なレジストパターンを、均一に
形成することができ、円筒体を一回転させたとき、すで
に形成されているレジストパターンを潰してしまうこと
もない。

また、露光用ヘッドと、円筒体との間に隙間があるので
レジストによる汚れも生じない。

更に、円筒体の径が変わった場合は、分割角度を変更す
るだけで対応でき、また、円筒体が長尺の場合には、石
英ファイバーの本数をふやし、露光用ヘッドの長さを長
くすればよく、レジストパターンの均一性が損なわれる
ことはない。

そのうえ、−列単位で露光させることができるので、比
較的短時間に処理でき、また、例えば。

石英ファイバーの東を二つに分け、露光用ヘッド部分で
それぞれの東から交互に配列しておき、シャッタにより
、紫外線照射を交互におこなうことにより、（鳥格子状
のレジストパターンを形成することもできる。

したがって、例えば高摩擦ローラ製造におけるレジスト
パターンの形成に適用した際、長尺のものにも精密で、
均一なドツトを形成することが可能になり、これをエツ
チングすることにより、微細な凸部を全面に亙って均一
に形成し、優れたグリップ力を有する長尺の高摩擦ロー
ラを製造することができる。

「実施例」第１図、第２図には、本発明のフォトレジストにおける
露光装置の一実施例が示されている。

第１図において、このフォトレジストにおける露光装置
２１は、多数本の石英ファイバーの束２２．２３を有し
、これらの石英ファイバーの束２２．２３は、一方の端
部において、一本ずつ一列に、露光用ヘッド２４に接続
されている。

石英ファイバーの束２２．２３は、有効径が５０〜２０
０μｍの石英ファイバーを、露光用ヘッド２４の部分に
おいて０．２〜２ｆｆｌＩｎ程度の間隔で配列すること
が好ましい。石英ファイバーの必要な本数は、高摩擦ロ
ーラを製造する場合は、通常、円筒体２７の長さ１ｃｍ
当たり５〜５０本程度とすることが好ましい。

また、石英ファイバーの束２２．２３は、二つの束に限
定するものではなく、一つの束にすることもでき、三つ
以上の束にすることもできる。

第２図を合わせて説明すると、石英ファイバーの束を二
つにした場合、石英ファイバーの束２２と２３とから、
交互に、一本ずつ露光用ヘッド２４に接続することがで
きる。そして、後に述べるように、石英ファイバーの束
２２と、２３とに交互に紫外線を照射することにより、
千鳥格子状のレジストパターンを形成することができる
。

石英ファイバーの束２２．２３の、露光用ヘッド２４側
とは異なる端部側には、紫外線照射装置２５が配置され
ている。

石英ファイバーの東２２．２３の、露光用ヘッド２４側
とは異なる端部と、紫外＃ｌ照射装置２５との間に、シ
ャッタ２６が配置されている。このシャッタ２６は、２
つの開口部２６ａ、２６ｂを有しており、第１図中矢印
Ａで示す如くスライド動作する。図に示す状態では、石
英ファイバーの東２２．２３のいずれにも紫外線は照射
されず、図に示す状態からシャッタ２６が右方向にスラ
イドすると、開口部２６ａを通して石英ファイバーの束
２２に紫外線が照射され、図に示す状態からシャッタ２
６が図中左方向にスライドすると開口部２６ｂを通して
石英ファイバーの束２３に紫外線が照射されるようにな
っている。

一方、石英ファイバーの東２２．２３の、露光用ヘッド
２４側には、露光用ヘッド２４と平行に、かつ、回転自
在に円筒体２７を支持する円筒体支持手段である回転軸
２８が配置されている。

回転軸２８は、支持した円筒体２７を所定角度ずつ回転
させ、停止することができる回転手段２９に接続されて
いる。回転手段２９としては、角度割り出しが可能で、
一定角度毎に停止させることができる回転手段が好まし
く、例えば、パルスモータ、ザーポモータ等を用いるこ
とができる。

ここで、回転手段２９による一回の回動角は、円筒体２
７の径や所望とするドツトの間隔によって異なるが、例
えば、円筒体２７の直径を２０〜４０ｍｍとし、ドツト
の間隔を０．５〜１．Ｏｍｍとした場合には、１．４〜
５．７°となる。通常、高摩擦ローラを製造するための
微細なレジストパターンを形成する場合には、０．５〜
ｌＯ°の範囲とされることが好ましい。

次に、第１図に示されるフォトレジストにおける露光装
置２１を用いた、円筒体２７周面への露光方法について
説明する。

まず、円筒体２７の外周面に紫外線レジストを塗布し、
乾燥させる。

紫外線レジストが乾燥した後、円筒体２７を回転軸２８
に装着する。

このとき、シャッタ２６は、第１図に示す状態にあり、
石英ファイバーの束２２．２３のいずれにも紫外線を照
射していない。

次に、円筒体２７を停止した状態で、シャッタ２６を、
例えば右方向にスライドさせ、開口部２６ａを通して、
石英ファイバーの束２２に紫外線を照射する。これによ
り、露光用ヘッド２４に配列された石英ファイバーの束
２２から導かれた石英ファイバーの先端から、紫外線が
ドツト状に照射され、円筒体２７の紫外線レジストが一
列のドツト状に感光する。

そして、再びシャッタ２６を第１図に示す状態に戻し、
ファイバーの東２２．２３のいずれにも紫外線が照射さ
れないようにする。この状態で、回転手段２９により円
筒体２７を所定角度回動させる。

次に、シャッタ２６を左方向にスライドさせ、開口部２
６ｂを通して、石英ファイバーの束２３に紫外線を照射
する。これにより、露光用ヘッド２４に配列された石英
ファイバーの束２３から導かれた石英ファイバーの先端
から、紫外線がドツト状に照射され、円筒体２７の紫外
線レジストが一列のドツト状に感光する。

そして、再びシャッタ２６を第１図に示す状態に戻し、
ファイバーの束２２．２３のいずれにも紫外線が照射さ
れないようにする。この状態で、回転手段２９により円
筒体２７を再び所定角度回動させる。

このような操作を、円筒体２７が一回転するまで繰り返
し、円筒体２７の紫外線レジストを全周に亙って露光さ
せた後、円筒体２７を回転軸２８から取り外す。

第３図には、このようにして円筒体２７の紫外線レジス
トに露光した後、公知の方法で現像してドツト状のレジ
ストを形成し、これをエツチング処理し、レジストを剥
離して得られた高摩擦ローラ３１の概略斜視図が示され
ている。ローラ３１の表面には、多数の微細なドツト状
の凸部３０が形成されている。この場合、一方の石英フ
ァイバーの束２２によって露光されて形成されたドツト
と、他方の石英ファイバーの束２３によって露光されて
形成されたドツトとが、千鳥格子状に並んでいる。

このように、本発明の露光方法によってレジストパター
ンを形成すれば、従来のスクリーン印刷によりレジスト
パターンを形成する場合のように１円筒体が一回転した
とき、すでに形成したドツトを押し潰してしまうことは
なく、また、露光用ヘッドと円筒体との間に隙間がある
ので、レジストによる汚れも生じず、微細で、精密なド
ツト状のレジストパターンを均一に形成することができ
る６また、スクリーン印刷法のように、制作可能な長さに制
限のあるスキージを用いないので、石英ファイバーの本
数を増やし、露光用ヘッドの長さを長くすることにより
、長尺の円筒体に対しても適用可能である。

更に、径の異なる円筒体を露光させる場合にも、円筒体
の一回の回動角を変更するだけで対応することができる
。

したがって、上記の方法によりレジストパターンを形成
した金属の円筒体を、常法にしたがっで現像し、エツチ
ング処理することによって、微細な凸部が全周に亙って
均一に形成された高摩擦ローラを得ることができる。こ
のようにして得られる高摩擦ローラは、長尺のものであ
っても、全面に亙って精密で、均一な凸部を有しており
、優れたグリップ力を発揮するものとなる。

「発明の効果」以上説明したように、本発明によれば、紫外線レジスト
を塗布した円筒体を所定角度回転させる毎に停止し、露
光用ヘッド部分で、一本ずつ一列に配列された多数本の
石英ファイバーを通して紫外線を照射するので、円筒体
が一回転したときに既に形成されたレジストパターンを
押し潰したりすることなく、円筒体の外周面に微細な精
密なレジストパターンを均一に形成することができる。

また、石英ファイバーの本数を増やし、露光用ヘッドの
長さを長くすることにより、長尺の円筒体にも均一なレ
ジストパターンを形成することができる。更に、円筒体
の径が変わっても１分割角度を変更するだけで対応でき
、部品を取り替えたりする必要はない。

したがって、例えば、金属の円筒体の表面に、ドツト状
のレジストパターンを形成し、これを現像し、エツチン
グして高摩擦ローラを製造する用途などに特に好適であ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のフォトレジストにおける露光装置の一
実施例を示す模式図、第２図は本発明の装置において、
石英ファイバーの東から、露光用ヘッドに、石英ファイ
バーを一本ずつ一列に接続する一実施例を示す説明図、
第３図は本発明の露光方法によりドツト状のレジストパ
ターンを形成し、これをエツチングして得られた高摩擦
ローラの一例を示す概略斜視図、第４図（ａｌ、　　ｆ
ｂｌ、　ｔｅｌは従来のレジストパターンの形成方法を
示す説明図である。図中、２１は露光装置、２２．２３は石英ファイバーの
束、２４は露光用ヘッド、２５は紫外線照射装置、２６
はシャッタ、２７は円筒体、２８は回転軸、２９は回転
手段である。特許出願人　　　加藤発条株式会社同代理人　　　弁理士　松井　茂第１図２図第３図第４図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）露光用ヘッド部分で、一本ずつ一列に配列された
多数本の石英ファイバーの束の、前記露光用ヘッド部分
と平行に、紫外線レジストを塗布した円筒体を回転可能
に支持し、前記円筒体を所定角度回転毎に停止し、前記
石英ファイバーの前記露光用ヘッド側とは異なる端部か
ら、紫外線を照射して、前記紫外線レジストを感光させ
、感光が終了すると紫外線照射を終了し、再び、前記円
筒体を所定角度回転させる操作を繰り返すことを特徴と
するフォトレジストにおける露光方法。
（２）露光用ヘッド部分で、一本ずつ一列に配列された
多数本の石英ファイバーの束と、前記石英ファイバーの
、前記露光用ヘッド側とは異なる端部から、紫外線を照
射する紫外線照射装置と、前記石英ファイバーの、前記露光用ヘッド側とは異なる
端部と、前記紫外線照射装置との間に配置されたシャッ
タと、前記露光用ヘッド部分と平行に、かつ、回転自在に円筒
体を支持する円筒体支持手段と、前記円筒体を所定角度
ずつ回転させる回転手段とを備えていることを特徴とす
るフォトレジストにおける露光装置。