JPH04505517A - 光ビームスキャナ用ビーム位置センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 光ビームスキャナ用ビーム位置センサ 本発明は光ビームスキャナ用ビーム位置センサに関し、さらに詳細にはレーザプ リンタにおける光ビームスキャナとともに用いられるように設計されるこのよう なセンサに関するものである。

従来技術の説明 写真においておよびフィルムのような受光媒体に印刷するグラフィックアーツに おいてレーザプリンタが使用される。このようなプリンタがカラー画像化に対し て使用されるとき、それらは一般に３原色の各々に対し別個のチャネルを含む。

たとえば米国特許第４，７２８，９６５号において、３つの光チャネルを含むレ ーザプリンタが開示され、各チャネルは所定の波長の強力なコヒーレント光のビ ームを放出するガスレーザを含む。各チャネルにおける光ビームの強度は３原色 の１つに対する画像情報を表す電気信号に応じて音響光学変調器により変調され る。光線の３つのビームはビーム合成器により合成され１合成された光ビームは 回転ポリゴンにより受光媒体上で走査される。

近年、レーザプリンタにおいてガスレーザの代わりにダイオードレーザを使用す る試みがなされてきた。ダイオードレーザの使用はプリンタのコストを低減しか つプリンタの寸法および複雑度の著しい減少を可能にする。ダイオードレーザは 駆動電流を単に変調することにより数百ＭＨｚのような高い周波数で直接変調可 能であり、したがって外部変調器は必要ではない。さらにダイオ−トレーサの低 い本質的ノイズは、ガスレーザプリンタにおけるノイズ相殺用に使用される高帯 域サーボ制御を省略することを可能にする。しかしながらグラフィックアーツ用 プリンタにダイオードレーザを使用するときに、解決すべき問題が存在する。

問題の１つは、利用されるヒ化ガリウムアルミニウムダイオードレーザは赤外線 内で放出することである。その結果、赤外線に感光する特殊な記録材料が使用さ れなければならず、マルチレーザシステムにおけるダイオードレーザはレーザ間 の最も広い可能なスペクトル分離を得るように注意深く選択されなければならな い。

ポリゴンまたはホロゴンのようなビーム偏向器を使用するレーザプリンタにおい ては１画像平面において各ラスクラインのスタートを正確に位置決めするように 設計されたラインスタートシステムを使用することが普通行われる。もしライン スタートシステムが使用されないならば、偏向器の回転速度の変動またはファセ ット間変動がクロス走査ラインにおける不均等を発生させることがある。多くの ラインスタートシステムは、ラスクラインの印刷を適切なときにスタートするた めに、走査ビームの位置をモニタする検出器を使用する。しかしながら走査ビー ムを追跡するシステムにおいて、走査ビームがポリゴンファセットのエツジを通 過していくときに走査ビームを検出するという問題を含む多くの欠点が存在する 。不完全なポリゴンコーナーのようなファセットにおける任意の欠陥が、ライン スタートの読取りしたがってスキャナの性能に影響を与えることがある。ライン スタートシステムにおいて走査ビームを追跡するときの問題点を克服するために 、たとえば米国特許第４，２４３，２９４号に示されるように、あるシステムは ラインスタートシステム用に別個のビームを設けている。

米国特許第４．２４３，２９４号は、同一反射鏡面上に入射する２つの角度的に 位置がずれた光ビームを提供するビームスキャナ用同期信号を発生する装置を開 示する。第１のビームは走査線を形成するのに使用され、また第２のビームは同 期信号を発生するのに使用される。２つのビームは、第１のビームが走査線の始 点付近へ反射されるときに第２のビームが同じ鏡面により同期信号を発生する光 検出器へ反射されるように配置されている。この装置における問題点は９両方の ビームが同一平面内で発生され、その結果２つの光源とおよび光検出器とのため に比較的広い領域が必要であることであり；これがコンパクトなダイオードレー ザプリンタに使用されるときにこの装置をかなりかさばるものにする。他の問題 点は１両方のビームが同一平面内で作動するときに２つのシステム間の干渉が発 生することがあるということである。

上記のラインスタートシステムにおける問題点を克服しかつ改良されたビーム位 置センサを提供することが本発明の目的である。

本発明の一実施態様によれば、光ビームスキャナ用のビーム位置センサであって 、該スキャナが少なくとも１つの走査面を有し、該センサが：走査面に光線の入 力ビームを導入して所定の角度範囲に走査される光線の反射ビームを発生すると ころの導入手段であって、光軸に沿って配置された光源を含む該導入手段と：反 射ビームの所定位置に対応するその位置において反射ビームを検出しかつ前記反 射ビームを検出したときに同期信号を発生する検出手段であって、光軸に沿って 配置されたホトセンサを含む該検出手段と：を含むところのビーム位置センサが 提供される。

本発明の一実施態様においては、ダイオードレーザプリンタ内に光ビームスキャ ナとともにビーム位置センサが使用される。レーザプリンタは概して直線配置内 に装着された３つのダイオードレーザを含む。レーザの各々は異なる波長の光線 を放出しかつ各レーザビームは３原色の１つを表す画像信号に応じて変調される 。

レーザビームの各々は記録平面に焦点を結ぶ円筒レンズ内を通過され、該円筒レ ンズを通過したのちに該ビームは２つのダイクロイックミラーにより重ね合わさ れて合成ビームを形成する。合成ビームは２つの円筒ミラーとおよび１つの平面 ミラーとにより記録平面からポリゴンへ中継される。ポリゴンからｆ−０色補正 走査レンズへ反射される。ポリゴンと受光媒体との間に配置された円筒ミラーは 。

クロス走査方向において受光媒体上にポリゴンファセットを画像化する働きをす る。

ビーム位置センサはダイオードレーザとホトダイオードとを含むダイオードレー ザ装置を含む。ダイオードレーザはビームを発生し、該ビームはポリゴンの上方 の位置からポリゴンへ導入される。ダイオードレーザからのビームはまずコリメ ータレンズを通過する。コリメータレンズから該ビームは４５°反射プリズムを 通過し、該プリズムは約４５ｅの角度で該ビームをポリゴンのファセット上へ導 入する。ポリゴンからビームは４５６再帰反射ミラーへ反射され、該ミラーは該 ビームを同じ経路に沿ってダイオードレーザ装置内のホトダイオードへ導入して 戻す。それに沿ってビームがホトダイオードへ進行する光軸は、ビームスブリツ 夕に向かう再帰反射ビームが走査ビームに対する所定の位置において発生し、こ れにより適切な時点で新たなラスクラインのスタートを可能にするようにファセ ントに対して配置されている。

本発明の主な利点は、それがプリンタの寸法および複雑度を実質的に低減させる ことである。ビーム位置を検知するためにダイオードレーザ装置内にホトダイオ ードを使用した結果として、ビーム位置センサは既知の位置センサよりもコンパ クトになりかつ製作費が安い。

軸を外してビーム位置センサを配置することによりさらに多くの利点が得られる 。センサ部品を収容するめだにプリンタ要素の一部を再配宣する必要はなく。

またセンサ要素から感光記録媒体への散乱光が発生する心配もない。さらに軸を 外した配置においては９位置センサはミラーファセットの中心を使用することを 可能にし、したがってその性能はポリゴンコーナーの不完全さの影響を受けない 。

軸を外したセンサからのビームはポリゴンにおいて拡大され、この結果良好な（ 切り立った）ラインスタート信号が発生し、走査ビーム強度は位置センサに影響 を与えることなく変化可能である。最後に１位置センサにおける光源はプリンタ に使用される受光媒体のスペクトル感度の範囲外の波長であってもよい。

本発明の実施態様をここで図面を参照しながら実施例で説明しよう。ここで二図 １は本発明のビーム位置センサを使用することが可能なタイプのレーザプリンタ の斜視図： 図２は光ビームスキャナに対するビーム位置センサの配置を示した斜視図：図３ はビーム位置センサが省略されたプリンタの頂面図７図４はビーム位置センサの 頂面図； 図５はビーム位置センサの側面図： 図６は図１に示すプリンタ内のエレクトロニク要素のブロック線図。

図７は本発明において使用するのに適したダイオードレーザ装置の斜視図；図８ は本発明のビーム位置センサにより発生された信号の線図；および図９はビーム 位置センサ用の信号処理手段の路線図である。

図１を参照すると１本発明により構成されたビーム位置センサ１０２が使用可能 なタイプのダイオードレーザプリンタ１０が示されている。プリンタ１０は１４ ．１５および］−６で示された３つの光ヘッドを含む。光ヘッド１４−１６は概 して直線配置に配置される。光ヘッド１４−１６からのビームがダイクロイック プレート１８および２０により合成される。プレート１８および２０からの合成 ビームは光軸２２に沿って中継光学装置３８へ進行する。

中継光学装置３８からの合成ビームは回転ポリゴン４０へ導入される。ポリゴン ４０はビームをｆ−８レンズ４２へ導入し、該ｆ−８レンズはデャーガー　（Ｄ ｅｊａｇｅｒ）ほかの名前で出願された「Ｆ−θレンズ」という題名の上記の出 願に開示のような構成とすることができる。レンズ４２から、ビームは平面ミラ ー４３に到達し、該平面ミラー４３はビームを円筒ミラー４５へ導入する。円筒 ミラー４５はビームを受光媒体４６へ導入する。受光媒体４６は、媒体を横切る ビーム運動に対しタイミングをとりながら、たとえばキャブズクンドライブ４９ またはスプロケットホイールドライブ（図示なし）により送られるように設計さ れている。

プリンタ１０は、放射線に感光する任意の媒体上にプリントするように使用可能 である。しかしながら１本発明の好ましい利用は、フィルム／エレクトロニラ映 画ポスト製作システムにおいてである。このようなシステムにおいては、デジタ ル化された画像が赤外線感光３５ミリフイルム上の映画フォーマット内にプリン トされる。この応用においては、プリント１０はたとえば１インチ当たり３５０ ０画素のオーダーでフォーマット上にきわめて高い解像度を実現できることがわ かった。

光ヘッド１４−１６の各々は米国特許第４，９４８，２２１号に開示されたよう に構成することが可能である。この特許に開示されているように７各光ヘツドは 、ダイオードレーザ、コリメータレンズ、熱電冷却器および所定の温度範囲にわ たつてレーザとコリメータレンズとの間を一定距離に維持するための装着台から なる。

良好な色調および色の再生を達成するために、プリンタ１０内のダイオードレー ザは可能な最も広いスペクトル分離およびダイナミックレンジを有していなけれ ばならない。光ベンド１４内のレーザは８１０ｎｍ　（５ｍＷ）の光線を放出し 。

該レーザはンヤーブ（Ｓｈａｒｐ　Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ）から購入可能な型 番ＬＴ○ｌＱＭＦでよい。光ヘッド１５におけるレーザは日立製作所により製作 される型番８３１２Ｅでよい。光ヘッド１６におけるレーザは７５０　ｎｍ　Ｌ ＋ｍＷ）の光線を放出し、該レーザはたとえばシャープにより製作される型番Ｌ Ｔ０３０ＭＦでよい。

ここではより短い波長を有するダイオ−トレーサが使用されるが、それらのダイ ナミックレンジすなわち最大出力のレーザしきい値における出力に対する比が連 続色調印刷に不適切であることがわかった。

光ヘッド１４．１５および１６からのビームはそれぞれのチャネルａ、ｂおよび Ｃを通過し、各チャネルは光ヘッドとおよびビームを合成するダイクロイ１．ク プレート１８および２０との間に概して類似の光学要素を含む。光ヘッド１４か らのビームは、アパーチャプレート２３ａ、第１の直線偏光子２５ａ、半波長板 ２６ａ、ツヤツタ２フａ、第２の直線偏光子２８ａ、凹円筒レンズ２９ａ、凸円 筒レンズ３０ａおよび平面ミラー３１ａを通過する。直線偏光子２５ａおよび２ ８ａの機能は、ダイオードレーザからの自発放出をフィルタ選別しこれによりプ リンタ１０のダイナミックレンジを増加することである。偏光子２５ａおよび２ ８ａは半波長板２６ａと組み合わされて色バランスおよび露出を露出平面で使用 される記録媒体４６のために適当な値に調節することを可能にする。円筒レンズ ２９ａおよび３０ａは、進行方向にプレート１８および２０の後方に配置された 記録平面３２にビームの焦点を結ぶように機能する。円筒レンズ２９ａはたとえ ば１９．６６７ｍｍの曲率半径を有してよく、また円筒レンズ３０ａは３２．３ Ｑ１ｍｍの曲率半径を有してよい。チャネルＣ内の光学要素はチャネルＣ内の光 学要素と同一である。チャネルｂ内の光学要素はチャネルＣ内の光学要素と同一 であるが、ただし円筒レンズ２９ｂの曲率半径はたとえば３７．６３ｍｍとする ことができる。

チャネルａ、ｂおよびＣ内の３つのビームは２つの僅かにくさび状をなすダイク ロイックプレート１８および２０を用いて重ね合わされる。図３に示すように。

プレート１８および２０は、プレート１８および２０に対する法線がそれぞれ光 軸２２に対し３０°の角度を有し、またプレート１８および２２の各々は光軸２ ２に対し６０°の角度を形成する。プレート１８および２０は相互に６０ｅの角 度をなしている。光ヘッド１４からのビームは３０ｅの入射角をなしてプレート １８に衝突しかつ光ヘッド１５からのビームと合成される。光ヘッド１６からの ビームは３０°の入射角をなしてプレート２０に衝突しかつヘッド１４および１ ６からのビームに重ね合わされて合成ビームを形成し、該合成ビームは光軸２２ に沿って光中継器３８へ導入される。

中継器３８は色補正がされなければならず９図１および図３に示すように中継器 ３８は円筒ミラー５０および５２と平面ミラー５４とを含む。ミラー５０および ５２はクロス走査方向にパワーを有し、ミラー５０および５２の軸は図３に示す 図面の面に一致する走査平面すなわちメリンオナル平面内にある。円筒ミラー５ ０および５２の各々は凹円筒ミラーでありかつ５７．１ｍｍの曲率半径を有する 。走査方向において、ビームは比較的太き（コリメートされかつ影響を受けるこ となく中継器３８内を通過して進行する。クロス走査方向において１円筒ミラー ５０はビームを再びコリメートしまた円筒ミラー５２はビームの焦点をポリゴン ４０上に結ぶ。

ポリゴン４０はたとえば１８個のファセット４１を有してよく、ポリゴンは８゜ ６９０　ｒ、　ｐ、ｍ、の速度で回転可能である。ポリゴン４０はダイヤモンド で加工されたミラーファセット４１を有し、自己ポンプ式空気軸受（図示なし） 上で回転しかつ位相ロック式サーボシステムにより制御される。プリンタ１０に 適したポリゴンと駆動モータとの組合体はコパル（Ｃｏｐａｌ　Ｃｏｍｐａｎｙ 　Ｌｔｄ、　）により製作されるモデルＮｏ、ＺＳ−００９である。

高品質連続色調画像化に対しては、ポリゴン４０におけるぐらつきまたはピラミ ッド角誤差による人工模様のような好ましくない帯状人工模様は可視レベル以下 に減少されなければならない。可視人工模様を回避するために、一般に画素配置 におけるばらつきは画素間隔の１／１０００以下に維持されなければならない。

本発明において１円筒ミラー４５はクロス走査方向においてスキャナ平面を画像 平面上に画像化する。倍率は、ポリゴンが回転するときにポリゴンファセットの 残留平面外運動が走査の終端において過度のスポット誤配置をもたらさないよう に選択される。本発明において使用可能な円筒ミラーは３７．６３３ｍｍの曲率 半径を有する。

本発明のビーム位置センサ１０２を図１１図２１図４および図５に示す。位置セ ンサ１０２は合成ビームがポリゴン４０により走査されるときに該合成ビームに より形成される走査平面の上方に配置されている。センサ１０２は光源として働 くダイオードレーザ装置１２０を含む。図７に示すように、レーザ装置１２０は ヒートシンク１２４上に支持されたダイオードレーザ１２１を含む。ホトダイオ ード１３２はステム１３０上に支持されまたダイオードレーザ１２１を含む光軸 に沿って装着され、この光軸は図２に示す軸ａ′　と同軸とされる。カラス窓１ ２７を含む金属キャップ１２５がステム１３０上に装着されてレーザ１２１およ びホトダイオード１３２を内包する。ダイオードレーザ装置１２０はたとえば。

シャープにより製作される型番ＬＴＯ３ＯＮＦであってよく、該ダイオードレー ザ装置は１５０ｎｍ　（５ｍＷ）の光線を放出するダイオードレーザを含む。

レーザ１２０からのビームはコリメータレンズ１２２を通過し、該コリメータレ ンズ１２２はビームを４５°反射プリズム１２６に導入する。プリズム１２６は ビームを約４５°の角度をなしてポリゴン４０に導く。レンズ１２２はオリンパ ス（Ｏｌｙｍｐｕｓ　Ｃａｒｐ、　）から購入可能なＶＰ８６５０−２であって よい。ポリゴン４０からビームは下方に４５°再帰反射ミラー１２８へ反射され 、該４５６再帰反射ミラーはビームをそれが該ミラー１２８に到達するように進 行してきた同じ道に沿って逆方向に向ける。その逆進行において、再帰反射され たビームは走査平面とある角度を形成する平面内で走査され、該ビームが光軸ａ ′に沿っているときには、該ビームはホトダイオード１３２（図７）へ向けられ る。ホトダイオード１３２は、レーザダイオード１２１からのビームが、走査ビ ームの新たなラスクラインのスタートの直前の位置に対応する位置にあるとき、 ラインスタート信号すなわち同期信号を発生する。センサ１０２からの信号は図 ６に示すプリンタ１０のための制御システム８９内で処理される。

図８を参照すると、ポリゴン４０の１つのファセット４１を通過する間にセンサ １２０により発生される信号の軌跡が示されている。ビームがダイオードレーザ １２１を横切って走査するとき、ホトダイオード１３２は３つの位置において検 出信号を発生するであろう。図８においてＸで示された信号の部分はビームがダ イオードレーザ１２１に衝突する直前に発生され、また２で示された部分はビー ムが再びダイオードレーザ１２１の境界に来たときに発生されるであろう。部分 Ｘと２との間の「谷部」はビームがダイオードレーザ１２１内の空洞の内部にあ るときに発生されるであろう。図８に示すように、　「谷部」はｙで示されたス パイクを含む。ホトダイオード１３２により発生される信号内のスパイクｙまた は信号内の「谷部」のエツジのいずれかがラインスタート信号を発生するのに使 用可能である。

ホトダイオード１３２からの信号は図９に路線図で示されるように処理される。

図９に示すように、ダイオードレーザ装置１２０に電源１３３により電力が供給 される。ホトダイオード１３２からの信号は差動増幅器１３４に送られ、該差動 増幅器１３４はたとえばスパイクｙ（図８）を検出して制御装置８９内の制御お よびタイミング論理１００にラインスタート信号を提供する。

制御装置８９は１画像スキャナまたは画像記憶媒体（図示なし）から受け取られ た画像データを記憶するためのフレーム記憶装置９０を含む。フレーム記憶装置 ９０内に記憶されたデータはたとえば各画素に対する３つの８ビツト値を含み。

各値は画素に対する赤、緑または青の入力を表す。マトリックス掛算回路９２は 。

希望の色補正を行うために３×３マトリツクスにより８ビツトの赤、緑および青 の値の掛算をする。

回路９２からの出力はＲＡＭ読取表９１に加えられ、該ＲＡＭ読取表９１は直線 化と１校正と、記録材料の３つの色層の感光度曲線の不整合の補償とおよびポリ ゴン４０のファセット間の反射率の変動の補正とのための必要な目盛り付け（ス ケーリング）を行う。読取表９１の更新された値は中央処理装置９３により提供 可能である。読取表９１からのデジタル出力はＤ／Ａ変換器９４に供給され、ま たＤ／Ａ変換器からの出力は９７で示すダイオードレーザのための電圧−電流励 振器９６を駆動する。ダイオードレーザ９７用の熱電冷却器（図示なし）は熱電 冷却器サーボ９９により制御される。

プリンタ１０の運転中のデータ流れを管理しかつプリンタタイミングを制御する ために制御およびタイミング論理回路１００が設けられている。回路１００は。

ドラムサーボ１１２．ポリゴンサーボ１１０．フィルム位置センサ１１１および ビーム位置センサ１０２からタイミング信号を受け取る。これらのタイミング信 号はエンコーダ１０４からの入力を受け取るドラムサーボ１１２からの］回転当 たり１つのパルスと、エンコーダ１０６からの入力を受け取るサーボ１１０から のファセット当たり１つのパルスと、エンコーダ１１５からの入力を受け取るフ ィルム位置センサ１１１からのフレーム当たり１つのパルスとおよびレーザビー ムがビーム位置センサ１０２内の光検出器１３２を横切るときに発生されるライ ンスタートパルスとを含む。これらの信号を受け取ると１画素クロックがスター トされかつデータ回路を介してデータにクロックが与えられる。回路１００内に はまたライン長制御用のライン当たり１画素のカウンタおよび読取表９１のアド レス化を制御するためのファセットカウンタが含まれている。

受光媒体４６はたとえばハロゲン化銀の偽感光カラーフィルムまたはカラーペー パーであってよい。このような媒体の１つが１９８６年１０月２８日に付与され た米国特許第４，６１９．８９２号に開示されている。本発明において使用され るダイオードレーザは可能な最も広いスペクトル分離を得るように選択されてき た。しかしながら、ダイオードレーザの波長分離は７５０ないし８７０ｎｍと比 較的小さいので、バンチスルーなしに良好な色分解および色再生を与えるために 、カラーベーパーは十分な速度差動ならびに狭いスペクトル応答を有していなけ ればならない。偽カラーンステムが使用されるので画像染料カラーを形成する層 はいずれの層（頂部、中間または底部）でもよく、また３つの波長のいずれて露 出してもよい。

ＦＩＧ、　２ ＦＩＧ、５ ４　ＳＥＣ 要約を ビーム位置センサ 光ビームスキャナ用ビーム位置センサはレーザプリンタで使用されるものとして 開示されている。プリンタは、それぞれ異なる波長のレーザを出す３つのダイオ ードを有している。３つのダイオードから出されたビームはダイクロイックプレ ート（１８，２０）によってコンバインされて１つの結合ビームとされる。結合 ビームはポリゴン（４０）によってビーム受は媒体上でスキャンされる。本発明 のビーム位置センサ（１０２）は、結合ビームによる各ラスクラインが適正な位 置で確実に開始するようにする同期信号を発生するためにポリゴンの位置を検知 する。ビーム位置センサ（１０２）はダイオードレーザ（１２１）と、レーザ（ １２０）からのビームをポリゴン（４０）へ指向させるための光学系（１２２， １２６）を有している。ビームはポリゴン（４０）からホトディテクタ（１３２ ）へ指向され、該ホトディテクタは適正な時間にラスクラインを開始させる。当 該ビーム位置センサの光学エレメントの数を最小限にし、かつ、当該センサの構 造を簡単にするために、ダイオードレーザ（１２１）及びホトディテクタ（１３ ２）は光軸（ａ“）上に設定される。

国際調査報告 国際調査報告 ＵＳ　９１０１３１３

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. １．少なくとも１つの走査面（４１）を有する光ビームスキャナ（４０）のため のビーム位置センサであって， 前記走査面（４１）に光線の入力ビームを指向させ，走査面で反射されて所定の 角度範囲で走査される反射ビームを生じさせるところの指向手段（１２０，１２ ２，１２６）であって，光軸（ａ′）に沿って配置された光源（１２０）を含む 指向手段（１２０，１２２，１２６）と；前記反射ビームの所定位置に対応する １つの位置において前記反射ビームを検出しかつ反射ビームを検出したときに同 期信号を発生する検出手段（１２０，１２２）であって，前記光軸（ａ′）に沿 って配置されたホトセンサ（１３２）を含む前記検出手段（１２０，１２２）と ；を含むところのビーム位置センサ。
2. ２．前記光源がダイオードレーザ（１２１）を含む請求項１のビーム位置センサ 。
3. ３．前記ホトセンサがホトダイオード（１３２）とされている請求項２のビーム 位置センサ。
4. ４．前記スキャナが複数の走査面（４１）を有するポリゴン（４０）である請求 項１のビーム位置センサ。
5. ５．前記検出手段が前記入力ビーム用のコリメーティングレンズとしておよび前 記反射ビーム用の焦点合わせレンズとして働くレンズ（１２２）を含む請求項１ のビーム位置センサ。
6. ６．複数の走査面（４１）を有する光ビームスキャナ（４０）のためのビーム位 置センサであって， 前記走査面（４１）の１つに光線の第１の入力ビームを指向させて第１の角度範 囲にわたり走査される光線の第１の反射ビームを発生しこれにより走査平面を形 成するところの指向手段（ａ，ｂ，ｃ，３８）と；前記１つの面（４１）に光線 の第２の入力ビームを指向させて第２の角度範囲にわたり走査される光線の第２ の反射ビームを発生しこれにより前記走査平面とある角度を形成する第２の平面 を形成するところの指向手段（１２０，１２２，１２６）であって，光軸（ａ′ ）に沿って配置されたダイオードレーザ（１２１）を含む前記第２の入力ビーム の前記指向手段（１２０，１２２，１２６）と；前記第１の反射ビームの所定位 置に対応する１つの位置において前記第２の反射ビームを検出しかつ前記第２の 反射ビームを検出したときに同期信号を発生する検出手段（１２０，１２２）で あって，前記光軸（ａ′）に沿って配置されたホトダイオード（１３２）を含む 前記検出手段（１２０，１２２）と；を含むところのビーム位置センサ。
7. ７．前記スキャナがポリゴン（４０）でありまた前記走査面の各々がミラーファ セット（４１）である請求項６のビーム位置センサ。
8. ８．前記ポリゴン（４０）が前記走査平面内で作動可能でありかつ前記ダイオー ドレーザ（１２１）が前記走査平面の片側に配置されている請求項７のビーム位 置センサ。
9. ９．前記第２の入力ビームの前記指向手段が前記ダイオードレーザ（１２１）か らの光ビームを受け取るプリズム（１２６）を含みかつ前記ビームを前記ポリゴ ン（４０）のミラーファセット（４１）へ指向させる請求項８のビーム位置セン サ。
10. １０．再帰反射ミラー（１２８）が前記ポリゴン（４０）から前記第２の反射ビ ームを受け取りかつ該ビームをポリゴン（４０）へ向けて戻すように配置されて いる訴求項９のビーム位置センサ。
11. １１．前記ポリゴンへ向けて戻された前記ビームが前記プリズム１２６を通過し かつ前記ホトダイオード（１３２）へ導入される請求項１０のビーム位置センサ 。
12. １２．前記ミラー（１２８）が前記走査平面の前記片側とは反対側に配置されて いる請求項１１のビーム位置センサ。
13. １３．前記第２の入力ビームおよび前記第２の反射ビームの各々がミラーファセ ット（４１）と約４５°の角度を形成する請求項１２のビーム位置センサ。
14. １４．ビーム位置センサであって： 面に光線の入力ビームを指向させて光線の反射ビームを発生するところの指向手 段（１２０，１２２，１２６）であって，支持物（１２４，１３０）によって光 軸（ａ′）に沿う位置に支持されたダイオードレーザ（１２１）を含む指向手段 （１２０，１２２，１２６）と； 前記反射ビームの所定位置に対応する１つの位置において前記反射ビームを検出 しかつ前記反射ビームを検出したとき同期信号を発生する検出手段（１２０，１ ２２，１２６）であって，前記光軸（ａ′）に沿って前記支持物（１２４，１３ ０）上に支持されたホトダイオード（１３２）を含む前記検出手段（１２０，１ ２２，１２６）と；および 前記信号を処理する手段（１３４）と；を含むところのビーム位置センサ。