JPH0449636A - 粘着シートの剥離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、粘着シートが貼り付けられ喪フレームリン
グから粘着シートを剥がす粘着シートの剥離装置に関す
るものである・ 〔従来の技術〕 第８図は従来の粘着シート剥離装置のシート剥離部の断
面側面図であり、図にお−て、（ＩＩはダイボンド済み
のウェハの一部が残留した粘着シー）、ｌ！ｌＦｉ粘着
シー）　＋１１が貼り付けられた金属等のフレームリン
グ、ｔ３１ｉｊフレームリング（！１を固定でる金属等
の円環状のフレーム押え、（４１はフレームリング（！
）が送られてくる搬送台、１６）は粘着シート（ｌ）を
フレームリング（ＩＩより剥離させる金属等の円柱又は
角柱のシート押え、１６）はシート押えＩｉｌと同様に
粘着シート１に＋をフレームリング（２１より剥離させ
る金属等のシート打抜きポンチ、＋７１剥離された粘着
シート（１１を受ける真空吸着パッド付きのシート吸着
台、１ｇ＋　Ｆｉ剥離された粘着シート１１］を集積す
るシート集積台である。

次に動作について説明する。グイボンド済みのつ゛エバ
の一部が残留した粘着シー）　Ｉｉｌが貼り付けられた
フレームリング（！１が搬送台１４１に搬送されてくる
。フレームリング押工（３１が下降し、フレームリング
（２）を固定する。次にシート押え１暴）及びシート打
抜き（６）が下降し、粘着シー）　＋１１をフレームリ
ングｉ２１より剥離させる。さらに剥離させた粘着シー
トをシート吸着台（７）に押し付ける。シート吸着台（
７）は真空吸着により粘着シート…を吸着し、更に１８
０°下＠に回転し粘着シー）ＩＩＩを下側に向ける。下
側に回転した粘着シー　トｍをシート集積台（８）が上
昇し、粘着シート１１を集積する。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の粘着シート剥離装置のシート剥離部は以上のよう
に構成されているので、粘着シートをシート吸着台に真
空吸着させる際、ダイボンド済みのウェハの一部が残っ
た粘着シートの状態によっては、空気のリークにより真
空吸着力が減少し、粘着シートラ落としたり、又、粘着
シートを下側に回転させる際、粘着シートに残留したウ
ェハの一部が飛散するという問題点があった。

この発明に、上記のような問題点を解消する為になされ
たもので、粘着シートの状態に影響されず、剥離ができ
ると共に粘着シート上残留したウェハの一部の飛散もな
く、剥離された粘着シートを集積できるシート剥離装置
を得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係る粘着シート剥離装置は、粘着シートとそ
れが貼り付けられたフレームリングからなる被剥離材の
フレームリングを円環状のフレーム押えで押え、粘着シ
ートをフレームリングの内径と対応した外径のポンチで
押し下げて、粘着シートをフレームリングから＠離させ
るようにし、剥離された粘着シートをシート集積台上に
集積させるようにしたものである。

〔作用〕

この発明における粘着シート剥離装置は、粘着シートと
フレームリングからなる被剥離材のフレームリングをフ
レーム押えで搬送台に押しつけ、外径がフレームリング
の内径と対応したポンチで粘着シートを押し下げて粘着
シートをフレームリングから剥離させ、剥離した粘着シ
ートラシート集積台上に集積する。

〔実施列〕

以下この発明の一実施例を図について説明する。ｗｃ１
図において（１）はダイボンド済みのウェハの一部が残
留した粘着シートで、その外径はフレームリング（２）
の内径より大きくフレームリング（２１の外径より小さ
い所定の径に構成されている。（２）は粘着シー）　Ｉ
ＩＩが貼り付けである金属等のフレームリングで、その
内径は粘着シー（ｌに貼り付けられるウエノ・の外径よ
り大きい所定の径に構成されている。・３１はフレーム
リング（２）を押え付けて固定する金属等の円環状のフ
レーム押え、（４）はフレームリング（２１が搬送され
てくる搬送台で後述のシート打抜きポンチＵαが挿入で
きる孔を備えている。（８）ｄフレームリング［２）よ
り＠離された粘着シート１１）を集積させる金属等のシ
ート集積台、（９）はシート集積台（８）に集積され九
粘着シート１１１の上端を検出するセンサ。

１０１はフレームリング（！１より粘着シートｆｉ＋を
剥離させるシート打抜きポンチで、フレームリング２）
の内径に対応した径に構成されている。＋ｌＩＪぽシー
ト打抜き（ｌＯ）が粘着シートＨ１を剥離シ１．シート
集積台（８）に押えつける際に余分な機械的負荷を吸収
するダンパーである。

次に動作について説明する。

ダイボンド済みのウェハの一部残留した粘着シー　トＩ
ｌｌ及び粘着シート１！１が貼り付けられたフレームリ
ング（２）からなる被剥離材は、搬送台＋４１によって
図示の位置に搬送される。次にフレーム押え（３）が下
降し、フレームリング１２１ヲ搬送台（４）に固定する
。剥離された粘着シートＩｌｌ　’ｉ集積したシート集
積台（８）が上昇し、集積シート上端検出センサ（９）
がシート集積台（８）に集積された粘着シートは１の上
端を感知した所でシート集積台（８）に上昇を終える。

この時、シート集積台（８）に剥離された粘着シー　）
　ｆｉ＋がない場合シート集積台（８）の上面を感知し
た所で上昇を終える。

シート集積台（８）の駆動系としてはサーボモタ等が用
いられる。次にシート打抜きポンチ（１０１が下降し、
粘着シート１１１を押し下げフレームリング（２）より
剥離させ、シート集積台に押し付は集積させる。

シート打抜き（ｌαの駆動系としては、エアシリンダー
等が用いられる。シート打抜きｔｔｏ＋が粘着シー　）
ｍをシート集積台（８）に押し付ける際の機械的負荷は
ダンパーαυ等で緩和される。

なお上記実施列では、シート集積台（８）を設けたもの
を示したが、剥離された粘着シートは、シート剥１ｌＩ
１部の下側にダストボックス等ヲ設け、集めてもよい。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、粘着シートとそれが
貼り付けられたフレームリングの剥離装置をフレームリ
ングをフレー押えにより押え、粘着シートをポンチで押
し下げてフレームリングから剥離させ、剥離された粘着
シートをシート集積台上に集積するように構成したので
、粘着シートの剥離から集積が安定して行える効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による粘着シート剥離装置
を示す断面図、！！ｇ図は従来の粘着シート剥離装置を
示す断面図である。 図において、　Ｉｌ＋はダイポンド済みのウェハの一部
が残留した粘着シート、１ｍ１ｉフレームリング、（３
１はフレーム押え、（４１は搬送台、（８１はシート集
積台、１９＋ｉ集積シート上端検出センサ、閣はシート
打抜きポンチ、αυはダンパーである。 なお、図中、同一符号は四−１又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 内径がウェハ径より大きな所定の内径を有する金属等の
   フレームリングとウェハを外径が上記フレームリングの
   内径より大きく、かつ上記フレームリングの外径より小
   さい径の粘着シートにて貼り付けて、ダイボンド処理さ
   れウェハの一部が残留した粘着シートとフレームリング
   からなる被剥離材を円環状の治具でフレームリングを搬
   送台に押え、上記フレームリングの内径に適合した外径
   を有するポンチで上記粘着シートを強制的に押し下げて
   、上記粘着シートを上記フレームリングより剥離するこ
   とを特徴とする粘着シートの剥離装置。