JPH0447189A - ドライスクリユー真空ポンプ - Google Patents
ドライスクリユー真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH0447189A JPH0447189A JP15518790A JP15518790A JPH0447189A JP H0447189 A JPH0447189 A JP H0447189A JP 15518790 A JP15518790 A JP 15518790A JP 15518790 A JP15518790 A JP 15518790A JP H0447189 A JPH0447189 A JP H0447189A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oil
- sleeve
- seal
- main shaft
- oil seal
- Prior art date
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- Pending
Links
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/02—Lubrication; Lubricant separation
- F04C29/023—Lubricant distribution through a hollow driving shaft
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はクリーンな真空を要求している半導体製造装置
や長時間使用してもその性能が持続することが要求され
る理化学装置に関する。
や長時間使用してもその性能が持続することが要求され
る理化学装置に関する。
従来のドライスクリュー真空ポンプは第３図のようにな
っており、オイルシールにスクリューロータからの熱が
伝わりやすくなっており、オイルシールが高温になると
いう欠点があった。
っており、オイルシールにスクリューロータからの熱が
伝わりやすくなっており、オイルシールが高温になると
いう欠点があった。
本発明は第１図のようなポンプを製作したところ、オイ
ルシールが高温劣化を起こしたため、これを克服するた
めにおもいたったものである。
ルシールが高温劣化を起こしたため、これを克服するた
めにおもいたったものである。
上記技術には、以下の使用上の問題点がある。
ドライスクリュー真空ポンプは吐出口で断熱圧縮熱によ
り高温となる。その熱はロータそのものを熱する。オイ
ルシール、軸受は本構造ではロータの内部へ突き出した
構造となっているため、オイルシール、軸受はこの熱を
もろに受けることになり、極めて信頼性の低い機械とな
っている。
り高温となる。その熱はロータそのものを熱する。オイ
ルシール、軸受は本構造ではロータの内部へ突き出した
構造となっているため、オイルシール、軸受はこの熱を
もろに受けることになり、極めて信頼性の低い機械とな
っている。
本発明の目的はこの熱を受けるオイルシール。
軸受の冷却システムを提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明は、第２図のように
、メインシャフト内に設けた偏心ポンプの油孔をオイル
シールリップ部よりも上側まで加工し、油溜めにもなっ
ているオイルシールスリーブの油出口をオイルシールリ
ップ部の下側になる構造とした。
、メインシャフト内に設けた偏心ポンプの油孔をオイル
シールリップ部よりも上側まで加工し、油溜めにもなっ
ているオイルシールスリーブの油出口をオイルシールリ
ップ部の下側になる構造とした。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。
ロータ（他のロータは図示されていない）は、ケーシン
グ３に内蔵されている。ケーシング３には空冷のため、
多数のフィン（図示せず）を設けている。
グ３に内蔵されている。ケーシング３には空冷のため、
多数のフィン（図示せず）を設けている。
各ロータは軸受４と５により支承されている。
このうち、軸受４は、上ギアケース６がロータの内部に
図のように突き出た形の軸受箱内に納められている。さ
らに、軸受４のロータ側には、潤滑油を作動室側に混入
させないように接触シール７とフェルト８が装着されて
いる。メインシャフト９には、タイミングギヤ１０．ピ
ニオンギヤ１１が装着されている。
図のように突き出た形の軸受箱内に納められている。さ
らに、軸受４のロータ側には、潤滑油を作動室側に混入
させないように接触シール７とフェルト８が装着されて
いる。メインシャフト９には、タイミングギヤ１０．ピ
ニオンギヤ１１が装着されている。
軸受５は、オイルパンを兼ねた下ギヤケース１２に配置
されている。メインシャフト９は、軸受４．ギヤへの潤
滑油供給のため、偏心した箇所に長偏心ポンプ孔１３．
１４があげられ、シャフトの回転によるポンピング作用
をしている。この場合、供給油量を調整するためにポン
プ孔１３と１４があげられており、さらに上ギヤケース
側に油戻り孔心がある。
されている。メインシャフト９は、軸受４．ギヤへの潤
滑油供給のため、偏心した箇所に長偏心ポンプ孔１３．
１４があげられ、シャフトの回転によるポンピング作用
をしている。この場合、供給油量を調整するためにポン
プ孔１３と１４があげられており、さらに上ギヤケース
側に油戻り孔心がある。
ピニオンギヤ１１は、アイドラギヤ１６．ブルギヤ１７
により増速される。アイドラシャフト１８、モータ軸１
９にも、それぞれ偏心穴をあけている。
により増速される。アイドラシャフト１８、モータ軸１
９にも、それぞれ偏心穴をあけている。
モータ１９にも接触シール２０を装置している。
下ギヤケース１２には潤滑油を適量入れておく。
さらに、ギヤケース１２はポンプを動かすためのキャス
タ（図示せず）がついている。
タ（図示せず）がついている。
ロータ１，２は、モータ１９により回転され、ケーシン
グ３の上部に設けた吸気孔２２よりガスを吸引し、ケー
シング２３の壁に設けた（図示せず）排気ボートを通り
、上ギヤケースに設けた排気口（図示せず）より排気す
る。
グ３の上部に設けた吸気孔２２よりガスを吸引し、ケー
シング２３の壁に設けた（図示せず）排気ボートを通り
、上ギヤケースに設けた排気口（図示せず）より排気す
る。
又、シールカバー３２は、オイルシール用スリーブ３０
のＯリング３３から油が洩れ、メインシャフトを伝わり
、作動室吸気側への油の洩れ込みを防いでいる。
のＯリング３３から油が洩れ、メインシャフトを伝わり
、作動室吸気側への油の洩れ込みを防いでいる。
第２図で、高温になっているロータ１の熱は、オイルシ
ール用スリーブ３０に伝達され、オイルシール７にも伝
達されることになる。
ール用スリーブ３０に伝達され、オイルシール７にも伝
達されることになる。
そこで、メインシャフト９内の油を、オイルシール７の
リップ部よりもさらに上側から油だめにもなっているス
リーブ３０内に導入する。油はスリーブ３ｏを冷却しな
がら、スリーブ外へでる。
リップ部よりもさらに上側から油だめにもなっているス
リーブ３０内に導入する。油はスリーブ３ｏを冷却しな
がら、スリーブ外へでる。
（第２図→方向）
〔発明の効果〕
本発明によれば、潤滑油の通路をオイルスリーブを冷却
するようにしたため、オイルシールの温度を下げること
が可能となり、軸封部の信頼性を向上することができる
。
するようにしたため、オイルシールの温度を下げること
が可能となり、軸封部の信頼性を向上することができる
。
第１図は本発明の一実施例のドライ真空ポンプの断面図
、第２図は本発明のオイルシール用スリーブ部の説明図
、第３図は従来のドライ真空ポンプの断面図である。
、第２図は本発明のオイルシール用スリーブ部の説明図
、第３図は従来のドライ真空ポンプの断面図である。
１・・・ロータ、３・・メインケース、６・・・上ギヤ
ケース、９・・・メインシャフト、１６・・下ギヤケー
ス、１８・・アイドラシャフト、１９・モータシャフト
、３０・・・オイルシール用スリーブ、３トシールカノ
（−
ケース、９・・・メインシャフト、１６・・下ギヤケー
ス、１８・・アイドラシャフト、１９・モータシャフト
、３０・・・オイルシール用スリーブ、３トシールカノ
（−
Claims (1)
- １、右ねじロータ、及び左ねじロータを一対としたスク
リューで構成し、一つの前記ロータには、ピニオンギヤ
が取りつけられており、前記ピニオンギヤは一つのアイ
ドラギヤとモータに直結されているブルギヤにより増速
され、軸受、及び前記ギヤのかみ合い部が、各々の軸に
加工された偏心ポンプに給油されているものにおいて、
前記ロータ側の突出した軸受箱内に収納されているオイ
ルシール用スリーブを、前記メインシャフトに加工され
た前記偏心ポンプからの給油で冷却すべく、前記オイル
シール用スリーブに油だめを持つた構造としたことを特
徴とするドライスクリュー真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15518790A JPH0447189A (ja) | 1990-06-15 | 1990-06-15 | ドライスクリユー真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15518790A JPH0447189A (ja) | 1990-06-15 | 1990-06-15 | ドライスクリユー真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0447189A true JPH0447189A (ja) | 1992-02-17 |
Family
ID=15600390
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15518790A Pending JPH0447189A (ja) | 1990-06-15 | 1990-06-15 | ドライスクリユー真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0447189A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7458790B2 (en) * | 2005-11-01 | 2008-12-02 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Vacuum pump with improved oil lubrication |
| CN102312837A (zh) * | 2010-06-30 | 2012-01-11 | 阿迪森真空产品公司 | 干式真空泵 |
| CN105275820A (zh) * | 2014-07-07 | 2016-01-27 | 上海汉钟精机股份有限公司 | 干式真空泵轴封离心冷却机构 |
-
1990
- 1990-06-15 JP JP15518790A patent/JPH0447189A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7458790B2 (en) * | 2005-11-01 | 2008-12-02 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Vacuum pump with improved oil lubrication |
| CN102312837A (zh) * | 2010-06-30 | 2012-01-11 | 阿迪森真空产品公司 | 干式真空泵 |
| CN102312837B (zh) * | 2010-06-30 | 2015-08-19 | 阿迪克森真空产品公司 | 干式真空泵 |
| CN105275820A (zh) * | 2014-07-07 | 2016-01-27 | 上海汉钟精机股份有限公司 | 干式真空泵轴封离心冷却机构 |
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