JPH0441142A

JPH0441142A - 油静圧スライドテーブル

Info

Publication number: JPH0441142A
Application number: JP2144385A
Authority: JP
Inventors: Nobuto Sugiyama; 伸人杉山; Osamu Hirai; 修平井
Original assignee: Nachi Fujikoshi Corp
Current assignee: Nachi Fujikoshi Corp
Priority date: 1990-06-04
Filing date: 1990-06-04
Publication date: 1992-02-12

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は超精密切削工作機械などに使用される油静圧ス
ライドテーブルの改良に関する。

（従来の技術）かかる従来の油静圧スライドテーブルとしては、例えば
第３図に示すようなものであった。即ち、スライドベー
ス１上に往復動可能に載置されたスライドテーブル２を
含み、前記スライドテーブル２は、上板部２７と、上板
部２７に固着され横断面でみて対称に足部２９．２９’
を外方に向けて配置された一対のＬ字脚部２８．２８’
と、を有し、Ｌ字脚部２８．２８’の足部上面及び底面
１０６，１１６，１０６’、１１６’及び底角部長手方
向外側面１０７．１０７’にはそれぞれ静圧油流路２１
から絞り５を介して静圧油が導かれる静圧軸受ポケット
６．１６．７．６’、１６’７′が外方に向けてそれぞ
れ形成されており、スライドベース１には、前記一対の
Ｌ字脚部２８゜２８′の足部上底面１０６，１１６，１
０６’１１６′及び長手方向側面１０７．１０７’と摺
接する内方スライド平滑面がそれぞれ形成されたガイド
溝３０，３０’を有する、油静圧スライドテーブルであ
った。そして静圧油は、スライドテーブル２に設けられ
た配管口１０′にフレキシブルなゴムホース配管１０が
取付けられ、配管口１０′は静圧油流路２１と連通され
ていた。

なお静圧軸受ポケット６．１６．７．１６’７′は、そ
れぞれ対向する平滑面との間に第３図の符号１６．１６
で示すように形成されたポケットであり、絞り５．５は
、毛細管又はオリフィスであり、スライドテーブル２が
摺動するときに、対向する平滑面との間の摺接隙間から
漏れる静圧油を補充して、静圧軸受ポケット内を予め設
定した圧力に保つようにされる。そして、スライドテー
ブル２に偏荷重がかかり、摺接隙間が小さくなるときは
、前記絞り５のため、ポケット内の圧力が上昇し、スラ
イドテーブル２をもとに戻すように、そして摺接隙間を
一定に保つように働く。これを剛性力が静圧軸受ポケッ
トに賦与されたという。

（発明が解決しようとする課題）しかしながら従来のかかる製品では、スライドテーブル
２が摺動する場合にゴムホース配管１０も同時に引き回
される。ところがゴムホース配管１０は、内部の高圧静
圧油の影響で剛くなっており、スライドテーブル２の摺
動抵抗変化の原因となった。

また、ゴムホース配管１０が周囲のカバーや他の図示し
ない配管、配線類に接触することにより、図示しないカ
バーや他の配管類からの振動等の外乱がゴムホース配管
１０を介してスライドテーブル２へ伝わり、スライドテ
ーブル２の送り精度低下の原因ともなった。その上に、
各静圧ポケット６．１６，７．６’、１６’、７’には
、高圧の静圧油が供給されるため圧力抵抗が生じ、第３
図の場合には、特に静圧軸受ボケッｌ−７，７’に生じ
る矢印の力Ｆ、Ｆ’によって、スライドテーブル２を左
右方向へ押し拡げる曲げモーメントＭ。

Ｍ′が作用する。このため静圧油が供給されている場合
と供給されていない場合とで、スライドテーブル２上面
の平坦度は数μｍ変化して一点鎖線２′で示すように変
形する。このことは、スライドテーブル２上に取付けら
れた図示しないバイト。

スピンドル、測定装置等の位置ずれの原因となり、ワー
ク加工精度の低下を招く。さらにまた、ゴムホース配管
１０がスライドテーブル２と一緒に引き回される従来製
品では、配管スペースが大きくなり、装置をコンパクト
にできなかった。

最近の超精密加工においては、ワークの形状精度が０．
１λ　（λ＝　６３２．８ｎｍ　　Ｈｅ−Ｎｅレーザの
波長）以下、また表面粗さ０．０１μ■Ｒｓａｘ以下が
要求される。この場合の切削抵抗は、数十ｇ以下であり
、スライドテーブルにわずかな外乱が加わっただけで上
記加工精度は得られなくなった。

本発明の目的は、静圧油供給用ゴムホース配管の引き回
しをやめるようにして、ゴムホース配管によるスライド
テーブルの摺動抵抗の変化やスライドテーブルがゴムホ
ース配管を介して受ける振動等の外乱の影響を無くし、
かつ装置のコンパクト化を図ることができ、かつ各静圧
軸受ポケットに生じる圧力抵抗のアンバランスを無くし
て、静圧油供給・停止によるスライドテーブル上面の精
度変化を無くすことができるような油静圧スライドテー
ブルを提供することにある。

（課題を解決するための手段）このため、本発明ではスライドベースと、スライドベー
ス上に往復動可能に載置されたスライドテーブルを含み
、前記スライドテーブルは、上板部と、上板部に固着さ
れ横断面でみて対称な一対の脚部と、を有し、各前記脚
部の少くとも下面及び対称な長手方向−側面には、それ
ぞれ静圧油流路から絞りを介して静圧油が導かれる静圧
軸受ポケットが形成されており、前記スライドベースに
は、各前記脚部の下面及び対称な一側面と摺接する内方
スライド平滑面がそれぞれ形成されたガイド溝を有する
、油静圧スライドテーブルにおいて、前記脚部の静圧軸
受ポケットが形成されない長手方向他側面には、前記脚
部の静圧軸受ポケットに対向してかつそれとほぼ同一の
受圧面積を有する一対の静圧油供給ポケットと、各前記
静圧油供給ポケットに穿設され前記静圧油流路と連通ず
る静圧供給穴と、がそれぞれ形成され、前記スライドベ
ースには、前記ガイド溝内側面に前記静圧油供給ポケッ
トと摺接する平滑面が形成され、かつ静圧油供給ポケッ
トのほぼ中央部に向けて平滑面に設けられた静圧油供給
ポート及び、スライドベースに設けられた配管口と前記
静圧油供給ポートとを連通させる供給油路と、を有する
ことを特徴とする油静圧スライドテーブルとしたもので
ある。

（作用）かかる構成によると、静圧油はスライドベース側より供
給され、スライドテーブルが静圧供給用ゴムホース配管
を引き廻すことがなくなった。そして上記静圧油は、静
圧供給ポケットを介してスライドテーブル内に入り、前
記静圧供給穴から供給油路及び絞りを通って各静圧軸受
ポケットへ供給される。各静圧軸受ポケットでは、摺動
面に対して直角方向に上述した剛性力を発生させかつス
ライドテーブルの脚部を押圧するが、前記脚部の長手方
向側面の静圧軸受ポケットの押圧力とバランスする反対
方向の押圧力を前記静圧油供給ポケットが発生させるの
で、前記押圧力は打消され、スライドテーブル上面の精
度変化を招くこともなくなった。又、静圧油供給ポケッ
トにおいては、前記静圧供給穴に絞りが介されておらず
、単に直角方向の押圧力を発生するのみで、理論上上記
した剛性力は発生しない。従ってスライドテーブルの送
り精度は各静圧軸受ポケットとその対向面の精度によっ
て決まり、前記静圧油供給ポケットを静圧油軸受ポケッ
トとして形成する困難な加工を避けることができ、静圧
油供給ポケット及びその対向平坦面の精度はスライドテ
ーブルの送り精度に影響を及ぼすことがない。

（実施例）次に本発明の実施例につき、第１図及び第２図を参照し
て説明する。本発明の実施側波静圧スライドテーブルの
概略横断面図を示す第１図において、第３図と同じ部材
は同じ符号を付して説明を省略する。即ち、スライドベ
ース１１上に、スライドテーブル１２が、静圧軸受ボケ
フｌ−６，１６゜７．６’、１６’、７’を有する静圧
スライド面を介してガイド溝３０，３０’内を、静圧ね
し軸３と静圧軸受ポケット８を介して摺動可能にされて
いる。本発明では、Ｌ字脚部直角部外側面１０７゜１０
７′にそれぞれ対向してＬ字脚部足部先端外方面に、外
側面静圧軸受ポケッ）７．７’とほぼ同一の受圧面積を
有する一対の静圧油供給ポケット１９．１９’と、各静
圧油供給ポケット１９゜１９′に穿設され静圧油流路２
１と連通する静圧供給穴２０．２０’と、がそれぞれ形
成され、スライドベース１１には、ガイド溝３０，３０
’外方内側面に静圧油供給ボケッ）１９．１９’と摺接
する平滑面が形成され、かつ静圧油供給ポケット１９．
１９’のほぼ中央部に向けて平滑面に設けられた静圧油
供給ポー）３１．３１’及び、スライドベース１１に設
けられた配管口３２と前記静圧油供給ポー）３１．３１
’とを連通させる供給油路２６．２６’と、を有するこ
とを特徴とする油静圧スライドテーブルとしたものであ
る。２２はフレキシブルホースであるゴムホース配管で
ある。第２図は静圧油供給ポケット１９を示す斜視図で
あり、静圧油供給部を形成するスライドテーブル側は、
スライドテーブル１２のストロークよりも長い静圧油供
給ポケット１９とその周囲にあるランド部２４から成っ
ている。またスライドベース１１側は平滑面になってお
り、スライドテーブル１２のストローク中間位置に静圧
油供給ポート３１が明けである。なお静圧軸受ポケット
１６゜１６′は省略されてもよく、又設計の便宜上、静
圧軸受ポケット７．７′の位置を外方に、そして静圧油
供給ボケッ）１９．１９’の位置を内方に逆にしてもよ
い。

作動においては、静圧油は、ゴムホース配管２２からス
ライドベース１１の配管口３２に供給され、供給油路２
６．２６’を通って対称的に配置された静圧油供給ポケ
ット１９．１９’に入り、スライドベース１２内に供給
される。そして静圧油供給穴２０から静圧油流路２１及
び絞り５を通って静圧軸受ポケット６．１６．７．６’
、１６’７′にそれぞれ供給される。そして静圧油供給
ポケット１９．１９’に導入された静圧油により平滑面
に直角な、第１図でみて内方に向けた力が発生するが、
この力は静圧軸受ポケット７．７′に発生する外方に向
けての力とほぼ釣り合うように両ポケットの受圧面をと
っているので、スライドテーブルには曲げモーメントは
生じない。従って、静圧油供給・停止に伴うスライドテ
ーブル上面の精度変化が起らなくなった。

（発明の効果）以上説明したように、本発明によると、静圧油供給用ゴ
ムホース配管をスライドベースに配管したので、ゴムホ
ース配管の引き廻しに伴う、スライドテーブルの摺動抵
抗の変化がなくなり、又カバーや他の配管類からの振動
の伝達によるスライドテーブルの送り精度の低下もなく
、かつ配管スペースを小さくして、装置をコンパクトに
するものとなった。

さらに、本発明では静圧油供給ポケットをスライドテー
ブルに曲げモーメントをかける静圧軸受ポケットの力と
均衡するように設けたので、静圧軸受ポケットに生ずる
圧力抵抗のアンバランスを無くして、静圧油供給・停止
によるスライドテーブル上面の精度変化をなくした、極
めて超密度な油静圧スライドテーブルを提供するものと
なった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施側波静圧スライドテーブルの概略
横断面図、第２図は第１図の静圧油供給ポケットを示す
斜視図、第３図は第１図に対応する従来の油静圧スライ
ドテーブルの横断面図を示す。５・・・絞り、６．７．６’、７’・・・静圧軸受ポケ
ット、１１・・・スライドベース、１２・・・スライド
テーブル、１９．１９’・・・静圧油供給ポケット、２
０・・・静圧油供給穴、２１・・・静圧油流路、２６゜
２６′・・・供給油路、２７・・・上板部、２８．２８
’・・・脚部、３０．３０’・・・ガイド溝、３１．３
１’・・・静圧油供給ポート、３２・・・配管口、１０
７゜１０７′・・・側面。

Claims

【特許請求の範囲】

スライドベースと、スライドベース上に往復動可能に載
置されたスライドテーブルを含み、前記スライドテーブ
ルは、上板部と、上板部に固着され横断面でみて対称な
一対の脚部と、を有し、各前記脚部の少くとも下面及び
対称な長手方向一側面には、それぞれ静圧油流路から絞
りを介して静圧油が導かれる静圧軸受ポケットが形成さ
れており、前記スライドベースには、各前記脚部の下面
及び対称な一側面と摺接する内方スライド平滑面がそれ
ぞれ形成されたガイド溝を有する、油静圧スライドテー
ブルにおいて、前記脚部の静圧軸受ポケットが形成され
ない長手方向他側面には、前記脚部の静圧軸受ポケット
に対向してかつそれとほぼ同一の受圧面積を有する一対
の静圧油供給ポケットと、各前記静圧油供給ポケットに
穿設され前記静圧油流路と連通する静圧供給穴と、がそ
れぞれ形成され、前記スライドベースには、前記ガイド
溝内側面に前記静圧油供給ポケットと摺接する平滑面が
形成され、かつ静圧油供給ポケットのほぼ中央部に向け
て平滑面に設けられた静圧油供給ポート及び、スライド
ベースに設けられた配管口と前記静圧油供給ポートとを
連通させる供給油路と、を有することを特徴とする油静
圧スライドテーブル。