JPH044056U - - Google Patents
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- JPH044056U JPH044056U JP4227590U JP4227590U JPH044056U JP H044056 U JPH044056 U JP H044056U JP 4227590 U JP4227590 U JP 4227590U JP 4227590 U JP4227590 U JP 4227590U JP H044056 U JPH044056 U JP H044056U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaporated
- shielding plate
- material particles
- evaporated material
- particles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims 6
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims 6
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図および第２図はこの考案による蒸発物質
粒子の選別機構の第１の実施例を示し、第１図は
全体を示す概略図、第２図は第１図に示すものの
部分拡大図、第３図はこの考案による蒸発物質粒
子の選別機構の第２の実施例を示す概略図である
。 １……真空槽、２……排気部材、３……加熱部
材、４……シヤツタ、５……第１の遮蔽板、６，
１３……孔、７……回転部材、８……翼、９……
上面、１０……下面、１１……駆動源、１２……
第２の遮蔽板、１４……基板。
粒子の選別機構の第１の実施例を示し、第１図は
全体を示す概略図、第２図は第１図に示すものの
部分拡大図、第３図はこの考案による蒸発物質粒
子の選別機構の第２の実施例を示す概略図である
。 １……真空槽、２……排気部材、３……加熱部
材、４……シヤツタ、５……第１の遮蔽板、６，
１３……孔、７……回転部材、８……翼、９……
上面、１０……下面、１１……駆動源、１２……
第２の遮蔽板、１４……基板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空槽１内で加熱されて蒸発した蒸発物質
粒子の中から特定の蒸発速度の蒸発物質粒子のみ
を選別して取り出す蒸発物質粒子の選別機構であ
つて、該蒸発物質粒子の選別機構は、前記蒸発物
質粒子の蒸発方向に対して所定の角度で傾斜する
翼８が外周面に等配に設けられている円板状の回
転部材７を前記蒸発物質粒子の蒸発域内に水平方
向に回転可能に設け、回転部材７の回転時に、前
記蒸発物質粒子の中から特定の蒸発速度のものの
みが回転部材７の翼８と翼８との間を通過し得る
ことを特徴とする蒸発物質粒子の選別機構。 (2) 真空槽１と、該真空槽１内の空気を排除し
て真空槽１内を高真空状態にする排気部材２と、
前記真空槽１内に設けられ、被蒸発物質１５を加
熱して蒸発させる加熱部材３と、該加熱部材３の
上方に設けられ、加熱部材３によつて加熱されて
蒸発した蒸発物質粒子の一部が通過可能な第１の
遮蔽板５と、該第１の遮蔽板５の上方に設けられ
、円板状をなすとともに、外周面に垂直方向に対
して所定の角度で傾斜する板状の翼８が等配に設
けられ、かつ、水平方向に回転可能であり、回転
時に、前記第１の遮蔽板５を通過した蒸発物質粒
子のうちの所定の蒸発速度のもののみが翼８と翼
８との間を通過可能な回転部材７と、該回転部材
７の上方に設けられ、回転部材７の翼８と翼８と
の間を通過した蒸発物質粒子が通過可能な第２の
遮蔽板１２と、該第２の遮蔽板１２の上方に設け
られ、該第２の遮蔽板１２を通過した蒸発物質粒
子が付着可能な基板１４とを具え、前記加熱部材
３によつて加熱されて蒸発した蒸発物質粒子の中
から特定の蒸発速度を有する蒸発物質粒子のみを
前記第１の遮蔽板５、回転部材７および第２の遮
蔽板１２を介して前記基板１４に付着させること
を特徴とする蒸発物質粒子の選別機構。 (3) 前記第１の遮蔽板５および前記第２の遮蔽
板１２には蒸発物質粒子を通過させる孔６，１３
がそれぞれ設けられている請求項２記載の蒸発物
質粒子の選別機構。 (4) 前記加熱部材３と前記第１の遮蔽板５との
間にはシヤツタ４が設けられている請求項２記載
の蒸発物質粒子の選別機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4227590U JPH044056U (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4227590U JPH044056U (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH044056U true JPH044056U (ja) | 1992-01-14 |
Family
ID=31553677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4227590U Pending JPH044056U (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH044056U (ja) |
-
1990
- 1990-04-20 JP JP4227590U patent/JPH044056U/ja active Pending
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