JPH0439661A - 光重合性組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野１ 本発明は、例えばプリント配線板や精密機器部品等を形
成する際のパターン形成のためのマスクとして利用され
、水系溶剤で現像可能な光重合性組成物に関する。

［従来の技術１ 一般に、光重合性組成物を利用したパターン形成は、銅
張積層板等の基体の上にラミネートしてフィルムを形成
しまたは塗被して塗膜を形成し、このフィルムまたは塗
膜に対し、形成しようとするパターンのマスクを通して
、紫外線を照射してこれを露光した後、未露光部分の塗
膜の未重合の組成物を現像により洗浄、除去して所望の
パターン形状の塗膜だけをフォトレジストとして上述の
積層板上に残すことにより行なわれる。このようなフォ
トレジストの形成材料に用いられる光重合性組成物とし
ては、例えば特公昭４５−２５２３１号に記載されたも
のが挙げられる。

この光重合性組成物は溶剤現像タイプと水溶性タイプと
に大別される。

溶剤現像タイプの光重合性組成物を利用した場合には、
現像液として通常１，１．１−）リクロルエタン等の有
機溶剤を用いるため、このような溶剤の使用に耐え得る
現像機として通常ステンレス製のものが用いられている
。しかし、このようなステンレス製の現像機は比較的高
価であり、また上述の現像液に用いられる有機溶剤は環
境面から規制され、人体への影響や可燃性による危険性
などが指摘されつつあり、近年、このような有機溶剤に
代えて水系溶剤で現像可能な光重合性組成物を使用する
傾向にある。

この水溶性タイプの光重合性組成物を利用した場合には
、現像液として環境等への影響の少ない炭酸ナトリウム
等の弱アルカリ性溶液を通常用いることができることか
ら、現像液の大量使用が可能となり、比較的大規模な現
像機の使用も可能である。

ところで、このような現像機はプリント基板等の基体を
、ベルトコンベアおよびギア等の搬送手段により現像液
中に連続的に搬送して現像処理を行うものであり、上述
の搬送手段には安価な上、機械強度、耐水性等の諸特性
に優れたポリ塩化ビニル樹脂製のものが好適に用いられ
ている。

しかしながら、上述のような水溶性タイプの光重合性組
成物の現像においては、現像ごとに未重合の組成物から
光重合性組成物中の低分子量の光重合性成分、特に光開
始剤としてのベンゾフェノンまたはその誘導体が現像液
中に溶出するが、このような溶出成分により上述の現像
機のポリ塩化ビニル樹脂製の搬送手段、特にギアが軟化
し、膨潤してしまうため、基体の搬送駆動に支障を来し
、現像機が実質的に使用不能状態となる不都合があった
。特に、可塑剤が添加され混練成形されたポリ塩化ビニ
ル樹脂の場合、その膨潤は顕著であった。

従来、このような不都合を解消するために、現像液に界
面活性剤を入れ、この界面活性剤により現像液中の未重
合の光重合性組成物を乳化する方法が知られている。

［発明が解決しようとする課題１ しかしながら、上述の現像液中の界面活性剤による乳化
方法では、予定の現像回数に合わせて、現像液に界面活
性剤を添加していたため、実際の現像回数の増減により
界面活性剤の過不足を生じる問題があった。

本発明は、上述の技術的課題を解決すべく、光重合性組
成物によるパターン形成における現像過程においてポリ
塩化ビニル製の現像機を膨潤させることなく、従来の水
溶性タイプの光重合性組成物に比較して例えば銅張積層
板との瞬時の接着性に優れ、また露光後においても優れ
た柔軟性および密着性を示すとともに、消泡効果をも併
有し、水系溶剤で現像可能な光重合性組成物を提供する
ことを目的とする。

［課題を解決するための手段１ 本発明の光重合性組成物は、界面活性剤を含有すること
を特徴とするもので、モノマー、オリゴマー、バインダ
ー、可塑剤、光開始剤、重合防止剤および着色剤などの
光重合性組成物の各成分に、界面活性剤を添加してなる
ものである。

ここで、本発明に用いられる界面活性剤としては、特に
限定されないが、通常のアニオン界面活性剤、カチオン
界面活性剤、非イオン性界面活性剤、両性界面活性剤の
いずれも好適に用いることができる。

また、光重合性組成物における界面活性剤の含有量は、
界面活性剤の種類、他の成分の種類およびその含有量な
どを考慮して決められる。

［作　用１ 本発明の光重合性組成物においては、現像後における未
重合の組成物の界面活性剤により、現像液中に洗い出さ
れる光開始剤を含めた各成分を乳化して、現像機のポリ
塩化ビニル樹脂製部分の軟化、膨潤を防止することがで
きる。

また、現像後における未重合の組成物の界面活佐剤によ
り、現像時に発生する現像液の発泡を確実に防止するこ
とができる。

また、光重合性組成物中の界面活性剤により、光重合組
成物からなる塗膜またはフィルムの基体との瞬時の接着
性が向上し、露光後の塗膜またはフィルムの基体との密
着性および柔軟性を高い水準で維持することができる。

［実施例１ 以下実施例により本発明をさらに詳しく説明するが、本
発明はこれらの実施例にのみ限定されるものではない。

夾１１肛上 ポリエチレノキサイドのポリマー（ユニオンカーバイド
社製Ｐｏ１ｙｏｘ　ＷＳＲＮ−３０００）０．４ｇ　、
バインダーとしてアクリル樹脂共重合体（デュポン社製
Ｅｌｖａｃｉｔｅ　Ｍ２９８４　）　１５．１ｇおよび
同共重合体（Ｂ、　Ｆ、グツドリッチ社製Ｃａｒｂｏｓ
ｅ　ｔｘｐｄ−１４５１）５１．４４５ｇ、モノマーと
してトリメチルロールプロパンドリアクリレート　１９
．０ｇ、トリプロピレングリコールジアクリレート　５
．０ｇ、開始剤としてベンゾフェノン４．５ｇ、ビス−
バラジエチルアミノベンゾフェノン０．１５ｇ、着色剤
としてリューコクリストバイオレット　０．４ｇ、ビク
トリアグリーン０．０４ｇ　、ビクトリアブルー　０．
００５ｇ、界面活性剤として非イオン性界面活性剤（Ｂ
ＡＳＦ社製Ｐｌｕｒｏｎｉｃ　３１Ｒ１）　３．５ｇ　
　により光重合性組成物を調製し、従来の方法によりド
ライフィルムを作製した。

［接着性試験］ 作製したドライフィルムな銅張積層板にラミネートした
後、セロテープを貼り、すぐに剥ぎとること（セロテー
プ剥離試験）により作製したドライフィルムと銅張積層
板との瞬時の接着性を調べた。試験結果を表１に記載す
る。

［露光後の柔軟性、密着性試験］ 作製したドライフィルムを銅張積層板にラミネートした
後、基盤目試験（ＪＩＳ　Ｋ−５４００）を行うことに
より露光後のドライフィルムの柔軟性、密着性を調べた
。試験結果を表２に記載する。

罠五困ユ ポリエチレンオキサイドのポリマー（ユニオンカーバイ
ド社製Ｐｏ１ｙｏｘ　ＷＳＲＮ−３０００）　　０．４
ｇ、バインダーとしてアクリル樹脂共重合体（デュポン
社製Ｅｌｖａｃｉｔｅ　Ｍ２９８４　）　１５．１ｇお
よび同共重合体（Ｂ、　Ｆ、グツドリッチ社製Ｃａｒｂ
ｏｓｅ　ｔｘｐｄ−１４５１）５１、４４５ｇ、モノマ
ーとしてトリメチルロールプロノ（ントリアクリレート
　１９．０ｇ　、　　）リブロビレングリコールジアク
リレート　５．Ｏｇ、開始剤としてベンゾフェノン４．
５ｇ、ビス−バラジエチルアミノベンゾフェノン０．１
５ｇ　、着色剤としてリューコクリストバイオレット　
０．４ｇ、ビクトリアグリーン０．０４ｇ　、ビクトリ
アブルー　０．００５ｇ、界面活性剤として非イオン性
界面活性剤（ＢＡＳＦ社製Ｐｌｕｒｏｎｉｃ３１Ｒ１）
　７．０ｇ　　により光重合性組成物を調製し、実施例
１と同様に従来の方法によりドライフィルムを作製した
。

［接着性試験］ 作製したドライフィルムを用いて、実施例１と同様のセ
ロテープ剥離試験を行ってドライフィルムと銅張積層板
との瞬時の接着性を調べた。試験結果を表２に記載する
。

［露光後の柔軟性、密着性試験］ 作製したドライフィルムを用いて、実施例１と同様の基
盤目試験を行なった。試験結果は表２に記載する。

［ポリ塩化ビニルの膨潤防止効果試験］作製したドライ
フィルム０．４ｍ”ｍｉｌと直径３ｍｍの棒状ポリ塩化
ビニル（筒中プレスチック工業製カイダック硬質塩化ビ
ニルに１２０ＯＮ）を１％炭酸ナトリウムの現像液１β
に入れ、１０．１７．２３．４１日後の重量を測定した
。測定結果を表３に記載する。

［消泡効果試験］ 作製したドライフィルム０．４ｍ”ｍｉｌを、界面活性
剤０．９ｇを含む１％炭酸ナトリウムの現像液１β中に
溶かし、５０ｍ　Ｉ２メスシリンダーに３０ｍρをとり
、１分間激しく振った後の泡の高さを測定した。測定結
果を表４に記載する。

比１乳上 ポリエチレンオキサイドのポリマー（ユニオンカーバイ
ド社製Ｐｏ１ｙｏｘ　ＷＳＲＮ−３０００）　　０．４
ｇ　、バインダーとしてアクリル樹脂共重合体（デュポ
ン社製Ｅｌｖａｃｉｔｅ　Ｍ２９８４　）　１５．１ｇ
および同共重・合体（Ｂ、　Ｆ、グツドリッチ社製Ｃａ
ｒｂｏｓｅ　ｔｘｐｄ−１４５１）５１、４４５ｇ、モ
ノマーとしてトリメチルロールプロパントリアクリレー
ト　１９．０ｇ、トリブロビレングリコールジアクリレ
ー）　　５．０ｇ、開始剤としてベンゾフェノン４．５
ｇ、ビス−パラジエチルアミノベンゾフェノン０．１５
ｇ　、着色剤としてリューコクリストバイオレット　０
．４ｇ、ビクトリアグリーン０．０４ｇ　、ビクトリア
ブルー　０．００５ｇにより光重合性組成物を調製し、
実施例１と同様の従来の方法によりドライフィルムを作
製した。

［接着性試験］ 作製したドライフィルムを用いて、実施例１と同様にセ
ロテープ剥離試験を行なった。試験結果は表１に記載す
る。

［露光後の柔軟性、密着性試験］ 作製したドライフィルムを用いて、基盤目試験を行なっ
た。試験結果は表２に記載する。

［ポリ塩化ビニルの膨潤防止効果試験］作製したドライ
フィルム０．４ｍ”ｍｉｌと実施例２と同様のポリ塩化
ビニルを１％炭酸ナトリウムの現像液１βに入れ、１０
．１７．２３．４１日後の重量を測定した。測定結果を
表３に記載する。

［消泡効果試験］ 作製したドライフィルム０．４ｍ”ｍｉｌを、１％炭酸
ナトリウムの現像液１ρ中に溶かし、実施例２と同様に
メスシリンダーにとり、１分間激しく振った後の泡の高
さを測定した。測定結果を表４に記載する。

比ｌＪ罪λ ［ポリ塩化ビニルの膨潤防止効果試験］比較例１と同様
に作製したドライフィルム０、４ｍ”ｍｉｌと実施例２
と同様のポリ塩化ビニルを、界面活性剤　０．９ｇを含
む１％炭酸ナトリウムの現像液１ρに入れ、１Ｏ１１７
，２３，４１日後の重量を測定した。測定結果を表３に
記載する。

Ｌ校■ユ ［消泡効果試験］ 作製したドライフィルム０．４ｍ２ｍ１ｌを、界面活性
剤１．８ｇを含む１％炭酸ナトリウムの現像液１ρ中に
入れ、実施例２と同様にメスシリンダーにとり１分間激
しく振った後の泡の高さを測定した。測定結果を表４に
記載する。

表３ の増加量） 表４　消泡効果試験の測定結果 表１　接着性試験結果 表２　露光後の柔軟性、密着性試験結果以上の試験結果
から明らかなように、実施例１および２は、接着性試験
および露光後の柔軟性、密着性試験において、比較例１
に比べて格段に優れた特性を示すことがわかる。

また、実施例２はポリ塩化ビニルの膨潤防止試験におい
て、比較例１および２に比べて優れた特性を示すことが
わかる。

さらに、実施例２は消泡効果試験において比較例１およ
び３に比べて著しく効果を奏することがわかる。

との瞬時の接着性が向上し、露光後の塗膜またはフィル
ムの基体との密着性および柔軟性を高い水準で維持する
ことができる。

［発明の効果コ 以上説明したように、本発明によれば、フォトレジスト
材料として用いられた際に、現像後における未重合の組
成物の界面活性剤により、現像液中に洗い出される光開
始剤を含めた各成分を乳化して、現像機のポリ塩化ビニ
ル樹脂製部分の軟化、膨潤を防止することができること
から、現像機の長寿命化を図ることができる。乳化に必
要十分な量の界面活性剤を含む組成物を用いたフォトレ
ジストでは、界面活性剤の無駄がないという効果を奏す
る。

また、現像時、未重合の組成物の界面活性剤により、現
像時に発生する現像液の発泡を確実に防止することがで
きる。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）界面活性剤を含有することを特徴とする光重合性組
   成物。