JPH04367259A - 多層配線基板 - Google Patents

多層配線基板

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Publication number
JPH04367259A
JPH04367259A JP3168821A JP16882191A JPH04367259A JP H04367259 A JPH04367259 A JP H04367259A JP 3168821 A JP3168821 A JP 3168821A JP 16882191 A JP16882191 A JP 16882191A JP H04367259 A JPH04367259 A JP H04367259A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
chips
wiring
integrated circuit
wiring board
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3168821A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigehito Tameda
溜田 茂仁
Shinzo Naramoto
楢本 真三
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
NEC Engineering Ltd
Original Assignee
NEC Corp
NEC Engineering Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp, NEC Engineering Ltd filed Critical NEC Corp
Priority to JP3168821A priority Critical patent/JPH04367259A/ja
Publication of JPH04367259A publication Critical patent/JPH04367259A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W70/00Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
    • H10W70/60Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers
    • H10W70/62Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers characterised by their interconnections
    • H10W70/63Vias, e.g. via plugs
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W90/00Package configurations
    • H10W90/701Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
    • H10W90/721Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bump connectors
    • H10W90/724Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bump connectors between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL

Landscapes

  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【技術分野】本発明は多層配線基板に関し、特に複数の
半導体集積回路チップを一主面上に実装するための多層
配線基板の構造に関するものである。
【0002】
【従来技術】従来のこの種の多層配線基板には、この基
板上に実装された複数のIC(半導体集積回路)チップ
間を相互に接続し、またこれ等チップに供給すべき電源
やグランド等の共通端子間を接続し、更にこれ等チップ
に対する外部入出力信号を接続するための配線が印刷さ
れて設けられている。
【0003】現在、ICチップはその集積度、ピン数共
に増加する傾向にあり、それに伴う発熱量の増加やその
他の条件により、ICチップの実装密度が制限されるよ
うになっている。
【0004】その結果、従来の多層配線基板では、集積
化されたICチップ内の配線による信号の遅延に対して
、複数個のICチップを実装した多層配線基板上のIC
チップ間を接続する配線による信号の遅延の方が無視で
きないレベルになってきている。
【0005】
【発明の目的】本発明の目的は、基板上の配線による信
号遅延を小さくすることができる多層配線基板を提供す
ることである。
【0006】
【発明の構成】本発明によれば、複数の半導体集積回路
チップを一主面上に実装する多層配線基板であって、前
記チップが搭載され前記チップのための配線が施された
配線層と、半導体回路が集積化された集積回路層と、こ
の集積回路層の回路と前記配線層の配線とを相互接続す
る接続手段とを含むことを特徴とする多層配線基板が得
られる。
【0007】
【実施例】以下、本発明の実施例の図面を参照しつつ詳
述する。
【0008】図1は本発明の一実施例の断面図である。 多層配線基板1の一主面上にはICチップ2,3が複数
個搭載されている。基板1とICチップ2,3とはチッ
プ2,3に設けられている接続バンプ4により接続され
ている。
【0009】この接続バンプ4のための配線が多層配線
基板1の上層の配線層に設けられている。この配線層の
下層には半導体集積回路層6が設けられており、この層
6には所定の回路8が予め集積化されて組込まれている
。その下層に絶縁層7が設けられることにより、多層配
線基板1が構成されている。
【0010】一層目の配線層5はその上に実装されてい
るICチップ2,3の接続バンプ4同士を接続する他、
ICチップの接続バンプ4と配線層5の下に形成されて
いる半導体集積回路層6の各端子とを相互接続する。
【0011】本例では、半導体集積回路層6に論理ゲー
ト8が1段構成された場合の断面図を示している。この
多層配線基板1上に実装されたICチップ2の接続パン
プから出力された信号は、半導体集積回路層6に形成さ
れている論理ゲート8の入力端子へ印加され、この論理
ゲート8の出力端子から導出された信号は、他のICチ
ップ3の接続バンプを介して当該ICチップ3へ入力さ
れる。
【0012】実際の使用例を考えたとき、実装されるI
Cチップ間の距離をどうしても短くすることができずに
、多層配線基板1の配線による遅延が無視できなくなっ
てタイミングが厳しい場合には、半導体集積回路層6内
に形成されたバッファ回路を介して次段のICチップの
論理ゲートへ入力するようにすれば良い。
【0013】こうすることにより、ICチップ間の長い
配線による配線遅延の影響はほとんど無視できることに
なるのである。
【0014】また、半導体集積回路層6としては、ただ
単にバッファ回路を構成するのみならず、ICチップ内
と同様な論理ケードやメモリ素子領域を構成することも
できる。こうすれば、配線層の配線による信号遅延を小
さく抑え得る他、多層配線基板当りの集積度を向上する
ことが可能となり、装置の小型化ができる。
【0015】図2は本発明の他の実施例の断面図であり
、図1と同等部分は同一符号により示している。本例は
、半導体集積回路層を2層としたものであり、3層以上
とすることもできる。
【0016】本例では、一層目の半導体集積回路層6下
に、回路10が集積化された二層目の半導体集積回路層
13を設け、これ等層6と13との間に、2層目配線層
の絶縁層12を設けている。
【0017】この絶縁層12には回路接続用配線15が
設けられせており、この配線15は一層の半導体集積回
路層6内を立上って、ICチップ2,3の各接続バンプ
4へへ接続される。
【0018】
【発明の効果】以上述べた如く、本発明によれば、基板
内に回路を集積化した半導体集積回路層を設け、この層
内の回路を介してICチップ相互間の接続を行うように
したので、配線長が大となることによる信号遅延をなく
すことができると共に、多層配線基板当りの論理ゲート
の集積度を上げることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の断面図である。
【図2】本発明の他の実施例の断面図である。
【符号の説明】
1  多層配線基板 2,3  ICチップ 4  接続バンプ 5,12  配線層 6,13  半導体集積回路層 7  絶縁層 8,10  ゲート回路

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  複数の半導体集積回路チップを一主面
    上に実装する多層配線基板であって、前記チップが搭載
    され前記チップのための配線が施された配線層と、半導
    体回路が集積化された集積回路層と、この集積回路層の
    回路と前記配線層の配線とを相互接続する接続手段とを
    含むことを特徴とする多層配線基板。
JP3168821A 1991-06-13 1991-06-13 多層配線基板 Pending JPH04367259A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3168821A JPH04367259A (ja) 1991-06-13 1991-06-13 多層配線基板

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3168821A JPH04367259A (ja) 1991-06-13 1991-06-13 多層配線基板

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04367259A true JPH04367259A (ja) 1992-12-18

Family

ID=15875137

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3168821A Pending JPH04367259A (ja) 1991-06-13 1991-06-13 多層配線基板

Country Status (1)

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JP (1) JPH04367259A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008103495A (ja) * 2006-10-18 2008-05-01 Sharp Corp 伝送装置、およびこれを用いたフリップチップ、モジュール

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008103495A (ja) * 2006-10-18 2008-05-01 Sharp Corp 伝送装置、およびこれを用いたフリップチップ、モジュール

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