JPH0435924Y2

JPH0435924Y2 -

Info

Publication number: JPH0435924Y2
Application number: JP4729084U
Authority: JP
Priority date: 1984-03-31
Filing date: 1984-03-31
Publication date: 1992-08-25
Also published as: JPS60159305U

Description

【考案の詳細な説明】この考案は、遠隔操縦によつてクリーンルーム
内を直進走行し、そのクリーンルーム内の所定位
置における塵埃濃度、温度、湿度などを測定する
環境測定ロボツトに関するものである。

近年、コンピユータ用LSIをはじめとする各種
工業製品の精密化に伴い、その生産性と品質の向
上のために、周囲の空気中に含まれる微細な塵埃
を除去して塵埃による不都合の発生を防止するク
リーンルームの建設が増大している。また、医薬
分野、食品分野においても、空気中の微生物（バ
クテリアなど）による悪影響を避けるために、ク
リーンルームの使用が不可欠となりつつある。

クリーンルームの機能を維持するためには、塵
埃濃度、温度、湿度などを一定の値に保たなけれ
ばならない。また、生産管理のためには、塵埃濃
度、温度、湿度などの環境条件を常に把握してお
かなければならない。

従来、温度、湿度などのセンサについては、簡
易形のものを多数設置して、それらのデータを一
般の作業員が定期的に読み取つて記録していた。
また、塵埃濃度の測定装置については、それが高
価でありしかも取り扱いに経験を要するから、多
数配置されることはまれであり、通常は、台車な
どに載せて移動させながら専任の測定担当者が定
期的な測定を行なつている。

ところが、次のような問題があつた。

生産工程に携わつている作業者が本来の仕事
を中断して測定しなければならず生産工程の障
害となる。

測定機器を生産設備の附近に設置すると生産
工程の障害となる。

塵埃濃度の測定装置を台車などに載せて測定
位置にまで移動させた際、その位置決めのため
の指標が特になく、その位置決め精度が悪い。

測定作業時に、作業員の衣服などから発塵し
てクリーンルームの機能を阻害する。

この考案は、上記従来の問題を解消するもので
あり、遠隔操縦によつてクリーンルームの床面上
を直進走行する台車ロボツトに、塵埃濃度、温
度、湿度などを測定する各種センサを備え、そし
てクリーンルームの床面が縦の格子及び横の格子
からなることを利用すべく、その格子を検出して
順次カウントすることにより、台車ロボツトの走
行位置を簡易かつ正確に求めて測定位置の位置決
めを精度良く行なうことができるクリーンルーム
の環境測定ロボツトを提供することを目的とす
る。

以下、この考案を図示する実施例に基づいて説
明する。

本環境測定ロボツト１は、環境測定用の種々の
測定機器を搭載してクリーンルームの床面Ｆ上を
走行する台車ロボツト２と、この台車ロボツト２
上に備えられて前記測定機器のセンサをクリーン
ルーム内空間の所定位置にセツトする腕ロボツト
３から成る。これらの台車ロボツト２と腕ロボツ
ト３は無線によつて遠隔操縦される。

台車ロボツト２は、台車本体４に３つ以上の車
輪５を有し、その内の少なくとも１つを駆動輪と
してモータ駆動するようになつている。そして、
この台車ロボツト２の制御は、第５図に示すよう
に同台車ロボツト２に搭載されたロボツト制御コ
ンピユータ６によつて行なわれる。この制御コン
ピユータ６は、受信機７にて受信された外部のロ
ボツト用のリモートコントローラ８からの指令に
基づいて台車ロボツト２を走行させる。そのた
め、制御コンピユータ６は、台車ロボツト２の走
行状況、走行位置などを検出する制御用センサ９
からの信号をフイードバツクしている。

台車本体４の底部には、制御用センサ９とし
て、クリーンルームの床面Ｆの格子を検出する格
子センサ１０が備えられている。その検出対象た
るクリーンルームの床面Ｆは、第４図に示すよう
に縦の格子及び横の格子からなる床材（グレーチ
ングと呼ぶ）によつて成り、室内の空気を下方へ
均一に排気できるようになつている。本例におけ
る格子センサ１０は、そうしたグレーチングの格
子を光学的に検出する光センサとされている。こ
の格子センサ１０の検出信号は、第３図に示すよ
うにグレーチングの目数カウンタ１１に入力され
ここでカウントされる。したがつて、このカウン
タ１１は、台車本体４の走行距離に対応するグレ
ーチングの目の数を逐次計数することになる。こ
の計数値は前記ロボツト制御コンピユータ６の台
車ロボツト制御部１２にフイードバツクされる。
台車ロボツト制御部１２は、グレーチングの目の
数の計数値と、その１目当たりの台車本体４の移
動距離つまり縦の格子もしくは横の格子相互間の
所定の長さから、台車ロボツト２の実際の走行距
離、走行位置などを求める。そして、その求めた
内容をフイードバツク情報としてリモートコント
ローラ８からの指令による目標位置まで台車ロボ
ツト２を移動させるべく、車輪の駆動制御部１３
を通して車輪５の駆動モータを制御する。したが
つて、車輪の駆動制御部１３に対して、台車ロボ
ツト制御部１２は台車ロボツト２の実際の走行位
置を求めてフイードバツクする演算部である。

しかして、台車ロボツト２はグレーチングの格
子を目安として、指令された環境測定位置まで移
動される。この場合、台車ロボツト２は、測定す
べき環境測定位置が直進走行して到達できる位置
であつて、かつその走行方向が縦の格子あるいは
横の格子の長さ方向に対して直角に交差するよう
な初期位置に位置決めされ、その状態から遠隔操
作により斜行しないように直進走行させられるこ
とになる。

こうした台車ロボツト２には、塵埃濃度、温
度、湿度、気流などを測定する各種環境測定用の
計測器１４が搭載されている。これらの計測器１
４に接続させる環境測定用のセンサ１５は、前出
した腕ロボツト３に備えられている。腕ロボツト
３は、旋回可能な基台１６上に、３つのロータリ
ーアクチユエータ１７を節として連結されたアー
ム構造となつていて、その先端にセンサ１５を備
えている。そして、この腕ロボツト３は基台１６
の旋回、および各ロータリーアクチユエータ１７
の回動によつてセンサ１５を台車ロボツト２の周
辺における所定の環境測定場所に位置させる。腕
ロボツト３の制御は、前出したロボツト制御コン
ピユータ６によつて行なわれる。この制御コンピ
ユータ６は、受信機７にて受信された外部のロボ
ツト用のリモートコントローラ８からの指令に基
づいて腕ロボツト３を動作させ、指令された目標
の場所にセンサ１５を位置させる。そのため、制
御コンピユータ６は、腕ロボツト３の動作状態を
検出する制御用センサ１８から信号をフイードバ
ツクしている。

環境測定用の計測器１４からの計測データはデ
ータ処理装置１９にて統計処理され、または通信
装置２０から外部の上位コンピユータ２１に送信
されてそこで処理される。

台車ロボツト２には直流電源２２、直流−交流
変換装置２３が搭載されている。これらは本環境
測定ロボツト１の電源部Ａとして各機器装置に直
流および交流の電力を供給する。外部のリモート
コントローラ８を含めて、受信機７、コンピユー
タ６、センサ１８、腕ロボツト３、センサ９、お
よび台車ロボツト２はロボツト部Ｂを成し、また
外部のコンピユータ２１を含めて、センサ１５、
計測器１４、データ処理装置１９、および通信装
置２０は計測部Ｃを成している。

ところで、上記実施例では格子センサ１０を光
センサとしたが、要は床面Ｆの格子を検出するも
のであればよく、例えば磁気センサ、マイクロス
イツチなどを使用することもできる。

以上説明したように、この考案は、クリーンル
ームの縦の格子及び横の格子からなる床面上を遠
隔操作によつて縦の格子及び横の格子のうちの何
れか一方の格子と直交する方向に直進走行させる
台車ロボツトに、環境測定用の各種センサを備え
た環境測定ロボツトであつて、前記台車ロボツト
に、前記クリーンルームの床面の縦の格子及び横
の格子のうち台車ロボツトの進行方向と直交する
格子を検出する格子センサと、この格子センサの
検出信号を計数するカウンタと、このカウンタの
計数値と前記格子の間隔から前記台車ロボツトの
走行位置を求めて前記台車ロボツトの駆動制御部
にフイードバツクする演算部を備えたことを特徴
とするものであるから、特別な指標を必要とせず
に、ロボツト自体を目的位置まで走行させて精度
良く位置決めすることができる。したがつて、環
境測定位置を精度良く定めて、信頼性の高い環境
測定を行なうことができる。特にこの考案によれ
ば、クリーンルームの床面が縦の格子及び横の格
子からなることに着目して、遠隔操作により台車
ロボツトを格子の長さ方向と直交する方向に直進
走行させつつ、その直進方向と直角に交差する格
子を検出することにより走行位置（走行距離）を
特定する構成であるから、比較的簡単な構成によ
つてロボツト自体を目的位置に精度良く位置決め
することができる。

【図面の簡単な説明】

図面はこの考案の一実施例を示し、第１図は概
略正面図、第２図は概略平面図、第３図は台車ロ
ボツトの駆動制御系の説明図、第４図はクリーン
ルームの床面の平面図、第５図は各部の機能を説
明するためのブロツク図である。１……環境測定ロボツト、２……台車ロボツ
ト、１０……格子センサ、１１……目数カウン
タ、１２……台車ロボツト制御部（演算部）、１
３……車輪の駆動制御部、１４……環境測定用計
測器、１５……環境測定用センサ。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

クリーンルームの縦の格子及び横の格子からな
る床面上を遠隔操作によつて縦の格子及び横の格
子のうちの何れか一方の格子と直交する方向に直
進走行させる台車ロボツトに、環境測定用の各種
センサを備えた環境測定ロボツトであつて、前記
台車ロボツトに、前記クリーンルームの床面の縦
の格子及び横の格子のうち台車ロボツトの進行方
向と直交する格子を検出する格子センサと、この
格子センサの検出信号を計数するカウンタと、こ
のカウンタの計数値と前記格子の間隔から前記台
車ロボツトの走行位置を求めて前記台車ロボツト
の駆動制御部にフイードバツクする演算部を備え
たことを特徴とするクリーンルームの環境測定ロ
ボツト。