JPH04353853A - パターン形成装置の監視装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プリント回路基板を製
造する際に、基板上にパターン等を形成するパターン形
成装置に関し、特に、形成したパターン位置を監視する
監視装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のパターン形成装置では、
基板上に導体パターンを形成する方法として、全面にレ
ジストが塗布された基板と導体パターンが形成された原
版フィルムを密着露光して、現像・定着する方法と、基
板上にレジストを所定のパターンでスクリーン印刷する
方法とがある。

【０００３】また、パターンを位置合わせするために、
露光部または印刷部等のパターン形成部に、基板を搬送
して、パターン形成部で原版フィルムまたはスクリーン
と基板を位置合わせする方法と、整合部とパターン形成
部とを別に設け、整合部で位置決めされた基板を、パタ
ーン形成部に移動する方法があった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前者の方法で
は、基板の搬入、整合、パターン形成（露光，印刷）を
パターン形成部のみで行うので、位置精度の確認をして
パターン形成を行うことができるが、処理能力が低いと
いう問題がある。

【０００５】また、後者の方法では、パターン形成（露
光，印刷）中に、次の基板の位置合わせを平行して行う
ので、処理能力が高いが、パターン形成部での原版フィ
ルムまたはスクリーンと基板との位置精度の確認をする
ことができない。このため、整合後に発生するズレなど
を検出することができなかった。

【０００６】本発明の目的は、前述の課題を解決し、処
理能力を落とすことなく、パターン形成の前後でパター
ン位置の検査を行うことができる監視装置を提供するこ
とである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明によるパターン形成装置の監視装置は、基板
を整合テーブル上で位置決めする整合部と、前記基板に
パターンを形成するパターン形成部と、前記整合部で整
合された基板を前記パターン形成部にその位置を保った
まま搬送する搬送部とを含むパターン形成装置において
、前記パターン形成部にある前記基板を上方または下方
から監視する監視部を設けた構成としてある。

【０００８】また、本発明によるパターン形成装置の監
視装置は、基板を整合テーブル上で位置決めする整合部
と、前記基板にパターンを形成するパターン形成部と、
前記パターン形成部でパターンが形成された基板を搬出
する搬出部と、前記整合部で整合された基板を前記パタ
ーン形成部および搬出部にその位置を保ったまま搬送す
る搬送部とを含むパターン形成装置において、前記搬出
部にある前記基板を上方または下方から監視する監視部
を設けた構成とすることができる。

【０００９】

【作用】本発明によれば、整合部とパターン形成部を平
行して動作させることができ、処理能力が高いうえ、監
視部で基板へのパターンの形成の前後に、位置の確認が
できる。このため、監視部で測定した値を、整合部に送
り込み、整合位置の補正を行うことができる。

【００１０】また、搬出部で監視をする場合には、パタ
ーン形成後の伸び縮み、マークの欠け太りを検出できる
。パターン形成を印刷で行う場合には、スクリーンが破
損して、インキが基板に広がった場合なども検知できる
。

【００１１】

【実施例】以下、図面等を参照して、実施例につき、本
発明を詳細に説明する。図１は、本発明の一実施例が適
用される露光装置を示した図であって、図１は全体の構
造を示した斜視図、図２は搬送部を抜き出して示した斜
視図、図３は監視部を抜き出して示した斜視図である。 この露光装置には、整合部１，露光部２，搬送部３，監
視部４，排出部５および制御部６等が含まれている。

【００１２】整合部１は、整合テーブル１０上に、第１
，第２の固定吸引盤１１，１２が被加工物である基板Ｂ
の流れ方向（整合部１，露光部２，排出部５の配列方向
）と直交する方向に適宜の間隔を隔てて設けられている
。

【００１３】整合部１は、整合テーブル１０の上側に配
置されたＣＣＤカメラ１３，１４によって、基板Ｂに設
けられた整合マークを読み取り、制御部６内の画像処理
装置によって、読み取った整合マークの画像に基づいて
画像処理を行って整合信号を生成し、整合テーブル１０
に内蔵されたＸＹθ３軸テーブルによって、生成された
整合信号に基づいてＸ方向（基板Ｂの進行方向），Ｙ方
向（水平面内でＸ方向と直交する方向），θ方向（テー
ブル中心を軸とした回転方向）に基板Ｂを独立して移動
することにより、高速かつ高精度な位置合わせを行うこ
とができる。

【００１４】露光部２は、露光テーブル２０上に、第３
，第４の固定吸引盤２１，２２が、第１，第２の固定吸
引盤１１，１２と同様な間隔で、かつ、同方向に配置さ
れている。露光部２（パターン形成部）は、図３に示す
ように、基板Ｂに原版フィルムＦを密着して、露光ラン
プ２３によって露光する部分である。

【００１５】この露光部２は、図１に示すように、露光
ボックス２４で覆われており、露光ボックス２４内には
下方から冷却空気が送られ、対流により上方に向かう熱
流を冷却ファン２５によって露光ボックス２４の外に排
出している。これにより、露光台２６のアクリル板など
からなる透明支持板や原版フィルムＦが熱膨張するのを
防止している。

【００１６】搬送部３は、搬送テーブル３０が第１，第
２の固定吸引盤１１，１２の間と、第３，第４の固定吸
引盤２１，２２の間に設けられた幅の広い溝に挿入され
ている。搬送テーブル３０は、搬入用の移動吸引盤３１
と搬出用の移動吸引盤３２とからなり、図２では移動吸
引盤３１が整合テーブル１０上にあり、移動吸引盤３２
が加工テーブル１０上にある状態を示している。露光部
２の固定吸引盤２１，２２と搬送部３の移動吸引盤３１
との間隙は、パッキン等によって、封止するようにして
ある。

【００１７】監視部４は、ＣＣＤカメラ等の監視用カメ
ラ４１，４２からなり、原版フィルムＦの上方に配置さ
れている。これらの監視用カメラ４１，４２は、基板Ｂ
上に原版フィルムＦを密着させて、原版フィルムＦの上
から、その原版フィルムＦのマークＭ１と基板Ｂのマー
クＭ２の中心のズレ量を計測し、その出力は制御部６に
送られる。なお、基板ＢのマークＭ２は、孔であっても
よい。

【００１８】搬出部５は、露光部２で露光された基板Ｂ
を次工程に搬出する部分であり、製造ラインによって、
ストック部としたり、基板Ｂの裏面にも露光する場合に
、反転部としたりすることができる。

【００１９】次に、本発明の監視装置の動作を、露光装
置の場合を例にして説明する。まず、あらかじめズレの
許容値を設定する。搬送部３は、図２に示すように、移
動吸引盤３１が整合部１に、移動吸引盤３２が露光部２
にある。この位置で、整合部１では、固定吸引盤１１，
１２で吸引した状態で、原版フィルムＦの位置決めを行
う。このとき、原版フィルムＦの上面に両面接着テープ
を貼り付けておく。

【００２０】移動吸引盤３１は、原版フィルムＦを吸引
した状態で、露光部２に搬送される。この位置で、露光
台２６が下降してきて、両面接着テープによって、原版
フィルムＦが露光台２６の透明支持板に貼り付けられる
。この後に、露光台２６を上昇させるとともに、手前に
引き上げて、さらに固定テープで確実に固定する。なお
、テープ接着の代わりに、透明支持板の対向面に吸引溝
を設け、原版フィルムＦを吸引させてもよい。この時点
で、原版フィルムＦのマークＭ１の中心を計測し、この
マークＭ１を通して、基板Ｂ上のマーク（もしくは穴）
Ｍ２の中心を計測し、マークＭ１とマークＭ２の中心の
位置のズレを検出する。以上の原版フィルムＦの位置決
めとその露光台２６への貼り付けは、基板への露光に先
立って行う準備段階の操作であり、以降の基板に対する
露光工程とは独立に１回だけ行われる。

【００２１】次に、移動吸引盤３１が整合部１に戻り、
既に整合部１で位置決めされている未露光の基板Ｂを吸
引して、露光部２に搬送する。この後、露光台２６が下
降して、移動吸引盤３１で吸引された基板Ｂ上に、原版
フィルムＦを被せる。

【００２２】通常は、この位置では、露光台２６に貼り
付けられた原版フィルムＦと基板Ｂは、正確に位置決め
されている。しかし、なんらかの原因によって、原版フ
ィルムＦと基板Ｂとの間にズレが発生していた場合には
、監視用カメラ４１，４２がそのズレ量を検出して、制
御部６に計測信号を送り、許容値を越えている場合には
、その基板Ｂを露光しないでリジェクトしたり、また、
たとえズレの量が許容値の範囲内でも、そのズレの量と
方向の傾向からみて、適宜、整合部１に補正信号を送り
、次の基板Ｂの整合点に補正を加える。

【００２３】このとき、不図示のパッキンによって、固
定吸引盤２１，２２と移動吸引盤３１の間隙を塞ぎ、露
光台２６との間に気密室を形成した状態で、固定吸引盤
２１，２２と移動吸引盤３１で吸引することにより、原
版フィルムＦと基板Ｂを密着させ、露光ランプ２３によ
って露光を行う。

【００２４】露光後には、搬送部３の移動吸引盤３１が
整合部１に戻り、既に位置決めされている基板Ｂを露光
部２に搬送すると同時に、搬送部３の移動吸引盤３２が
露光部２で露光された基板Ｂを搬出部５に搬出する。以
後、この動作を繰り返す。

【００２５】図４は、本発明による監視装置の第２の実
施例の要部を抜き出して示した斜視図である。なお、こ
の実施例および後述する第３の実施例では、前述した第
１の実施例と同様な機能を果たす部分には、同一の符合
が付してある。

【００２６】第２の実施例では、監視装置４として、監
視用カメラ４３，４４を移動吸引盤３２の下方に配置し
てあり、移動吸引盤３２には孔３２ａが形成されている
。監視用カメラ４３，４４は、その孔３２ａを通して、
下側から原版フィルムＦのマークＭ１と基板Ｂのマーク
Ｍ２を撮影して、マークＭ１，Ｍ２の中心のズレ量を測
定する。第１の実施例の場合には、ワークサイズが小さ
い場合に、監視用カメラ４１，４２がランプ２３の下ま
で移動する可能性がある。すると、露光時に、監視カメ
ラ４１，４２を移動してから、露光することになり、処
理の能力が低下する可能性がある。第２の実施例では、
この問題を解決している。

【００２７】図５は、本発明による監視装置の第３の実
施例の要部を抜き出して示した斜視図である。第３の実
施例では、スクリーン印刷機に適用した場合の例を示し
ており、露光部２の代わりに、印刷部２Ａが設けられて
いる。

【００２８】印刷機に適用する場合には、監視用カメラ
４５，４６は、搬出部５の上方に設けられている。基板
Ｂは、印刷部２Ａによって、所定のレジストパターンを
印刷されると同時に、マークＭ３が印刷される。その基
板Ｂは、移動吸引盤３２によって吸引されながら正確に
搬出部５に運ばれる。監視用カメラ４５，４６は、基板
Ｂに印刷されたマークＭ３を撮影し、印刷の伸び縮みや
、マークＭ３の欠けや太り，インキが基板Ｂ上に広がっ
た場合などを検知して、その検知信号を計測部６に送る
。

【００２９】なお、基板ＢのマークＭ２とマークＭ３の
位置を計測するようにしてもよい。露光機の場合には、
露光直後であって現像前に、露光状態を見ることができ
るのは、現状ではドライフィルムタイプのみであり、液
体レジストタイプのものは現像しないと露光状態は視認
できない。露光機の場合に、この位置に監視カメラを設
置すれば、ズレの量を露光の結果で測定できることと、
露光後のマークの大きさを測定できることにより、露光
時の光量をチェックすることができる。

【００３０】

【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
れば、整合部で整合させた後に、パターン形成部でパタ
ーンを形成する前または後に、監視用カメラで整合マー
ク等を監視できるので、整合とパターン形成を平行に行
え処理能力が高いとともに、パターン形成の位置を確認
できるので、整合後に発生するズレなどを確実に検出す
ることができる。従って、不良品を出さずに生産するこ
とができる。また、たとえズレの量が許容範囲内であっ
ても、その量と方向の傾向を見ながら、適宜、次の基板
の整合点へ補正を加えることにより、ただ単に不良品を
リジェクトするということでなく、良品を極力生産する
方向へ修正しながら生産を行うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の監視装置の第１の実施例が適
用される露光装置の全体の構造を示した斜視図である。

【図２】図２は、第１の実施例の搬送部を抜き出して示
した斜視図である。

【図３】図３は、第１の実施例の監視部を抜き出して示
した斜視図である。

【図４】図４は、本発明による監視装置の第２の実施例
の要部を抜き出して示した斜視図である。

【図５】図５は、本発明による監視装置の第３の実施例
の要部を抜き出して示した斜視図である。

【符号の説明】

１　　整合部 １０　　整合テーブル １１，１２　　固定吸引盤 ２　　露光部 ２０　　露光テーブル ２１，２２　　固定吸引盤 ２３　　露光ランプ ２４　　露光ボックス ２５　　冷却ファン ２６　　露光台 ３　　搬送部 ３０　　搬送テーブル ３０，３２　　移動吸引盤 ４　　監視部 ４１〜４６　　監視用カメラ ５　　搬出部 ６　　制御部

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　基板を整合テーブル上で位置決めする
   整合部と、前記基板にパターンを形成するパターン形成
   部と、前記整合部で整合された基板を前記パターン形成
   部にその位置を保ったまま搬送する搬送部とを含むパタ
   ーン形成装置において、前記パターン形成部にある前記
   基板を上方または下方から監視する監視部を設けたこと
   を特徴とするパターン形成装置の監視装置。
2. 【請求項２】　　基板を整合テーブル上で位置決めする
   整合部と、前記基板にパターンを形成するパターン形成
   部と、前記パターン形成部でパターンが形成された基板
   を搬出する搬出部と、前記整合部で整合された基板を前
   記パターン形成部および搬出部にその位置を保ったまま
   搬送する搬送部とを含むパターン形成装置において、前
   記搬出部にある前記基板を上方または下方から監視する
   監視部を設けたことを特徴とするパターン形成装置の監
   視装置。