KR102473207B1 - 노광장치용 기판 마스크 배치 장치 - Google Patents

노광장치용 기판 마스크 배치 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일실시예는 감광층이 형성된 기판을 노광장치에 투입하기 전에 상기 기판과 상기 기판에 회로패턴을 형성하기 위한 마스크 필름을 배치하는 노광장치용 기판 마스크 배치 장치에 있어서, 상기 기판 및 상기 마스크 필름이 얼라인되어 안착되는 테이블; 상기 마스크 필름을 촬상하여 상기 기판과 상기 마스크 필름 사이에 기포의 잔류여부를 검사하는 검사 유닛; 및 상기 테이블 주변에 설치된 가이드부와, 상기 가이드부의해 이동되며 상기 테이블 상측에서 이동되는 이동부와, 상기 이동부에 장착되어 상기 마스크 필름에 접촉하며 미끄러지며 상기 기포를 상기 기판과 상기 마스크 필름의 사이로부터 외측으로 제거하는 스크레이퍼를 포함하는 기포 제거 유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장치용 기판 마스크 배치 장치를 제공한다.

Description

노광장치용 기판 마스크 배치 장치{SUBSTRATE MASK ARRANGEMENT APPARATUS FOR EXPOSURE APPARATUS}
본 발명은 노광장치용 기판 마스크 배치 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 인쇄회로기판에 동박패턴을 형성하기 위해 노광장치에 기판을 투입하기 전에 기판과 마스크 필름을 배치하는 노광장치용 기판 마스크 배치 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 인쇄회로기판(Printed Circuit Board)은 전기적 절연체 위에 동박(Copper foil) 같은 전기전도성이 우수한 재질로 도체패턴을 형성하고, 상기 도체패턴상에는 전원 및 증폭기 같이 전력의 공급원을 포함하는 능동 소자(Active Component)와 저항기, 콘덴서, 코일 등의 수동소자(Passive Component) 및 음향 또는 영상소자 등이 각각 그 기능을 수행함과 동시에 다른 소자를 지원할 수 있도록 상호 연결된 상태로 실장되어 있는 소자를 일컫는다.
근래 들어 인쇄회로기판에 실장되는 소자의 미세화 및 고집적화에 따른 정밀한 패턴이 요구됨에 따라 사진전사에 의해 패턴을 형성하는 사진공정(photo lithography)이 주요 기술로 대두되고 있다. 여기서, 상기 사진공정은 레티클(reticle)을 포함하여 이루어지는 마스크(mask) 상에 형성된 패턴을 기판으로 전사하는 사진기술로서, 통상적으로 감광막을 도포하는 단계, 소프트베이크(softbake)하는 단계, 정렬 및 노광하는 단계, 노광후베이크 (PEB : Post Exposure Bake)하는 단계 및 현상하는 단계를 포함하는 일련의 공정을 거쳐 수행된다. 이와 같이 일련의 공정을 포함하는 사진공정에서 노광장치는 회로패턴이 형성된 마스크가 기판을 덮은 상태에서 일면 또는 양면에 자외선과 같은 광선을 조사하는 장치이다.
그러나 기판과 마스크의 정렬의 오차가 항상 문제가 된다. 즉, 최근의 정밀 인쇄가 요구되는 인쇄회로기판은 피치가 120㎛ 미만으로써 인쇄회로기판에는 솔더 페이스트를 인쇄하기 위해 60㎛ 정도의 패드(Pad)가 형성되어 있으며 마스크는 패드의 크기보다 약 20㎛ 정도 크게 즉, 80㎛의 크기로 개구되어 있다. 기판과 마스크는 간의 패턴 정합도가 일치하지 않게 되는 불량이 발생되고 이에 따라, 인쇄회로기판에 형성된 회로패턴의 미싱(missing) 범프나 스몰(small) 범프 등이 발생되어 인쇄 품질을 저하시켜 제품 불량의 원인을 제공한다. 특히, 기판과 마스크 사이에 미세한 기포들이 잔류되는 경우, 노광공정의 정밀도를 저하시키고 기판의 감광층에 균일한 노광을 할 수 없게 되는 문제점이 있다. 이러한 문제를 해결하기 위해 재조정을 해야 하므로 작업중단에 따른 생산성 저하와 수율관리의 어려움이 있었다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 인쇄회로기판에 동박패턴을 형성하기 위해 노광장치에 기판을 투입하기 전에 기판과 마스크 필름을 배치할 때 정열을 정확히 하고, 기포를 자동으로 제거하는 노광장치용 기판 마스크 배치 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는 감광층이 형성된 기판을 노광장치에 투입하기 전에 상기 기판과 상기 기판에 회로패턴을 형성하기 위한 마스크 필름을 배치하는 노광장치용 기판 마스크 배치 장치에 있어서, 상기 기판 및 상기 마스크 필름이 얼라인되어 안착되는 테이블; 상기 마스크 필름을 촬상하여 상기 기판과 상기 마스크 필름 사이에 기포의 잔류여부를 검사하는 검사 유닛; 및 상기 테이블 주변에 설치된 가이드부와, 상기 가이드부의해 이동되며 상기 테이블 상측에서 이동되는 이동부와, 상기 이동부에 장착되어 상기 마스크 필름에 접촉하며 미끄러지며 상기 기포를 상기 기판과 상기 마스크 필름의 사이로부터 외측으로 제거하는 스크레이퍼를 포함하는 기포 제거 유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장치용 기판 마스크 배치 장치를 제공한다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 검사 유닛은 상기 기포의 검사와 함께 상기 기판의 정렬표지와 상기 마스크 필름의 정렬표지를 감지하여 상기 기판과 상기 마스크 필름 간의 정렬을 검사하며, 상기 이동부는 상기 마스크 필름으로부터 높이가 조절되며, 상기 스크레이퍼는 상기 마스크 필름에 대한 접촉각이 조절될 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 스크레이퍼는 상기 마스크 필름에 선접촉되도록 플라스틱으로 이루어질 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 스크레이퍼와 대향하도록 상기 이동부에 장착되어 상기 마스크 필름에 면접촉되는 소프트한 재질로 이루어진 추가의 스크레이퍼를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 테이블 상면에 회전가능하게 설치되어 상기 기판 및 상기 마스크 필름이 배치된 후 회전되어 상기 마스크 필름의 가장자리를 가압하는 클립부; 및 상기 클립부에 연통되어 공기를 흡입하여 상기 기판과 상기 마스크 필름 사이에 기포를 제거하는 흡입펌프;를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 인쇄회로기판에 동박패턴을 형성하기 위해 노광장치에 기판을 투입하기 전에 기판과 마스크 필름을 배치할 때 정열을 정확히 하고, 기포를 자동으로 제거하는 노광장치용 기판 마스크 배치 장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 노광장치용 기판 마스크 배치 장치의 실 제품 사진들이다.
도 3은 노광장치로부터 배출된 기판을 식각하는 식각장치를 나타내는 사진이다.
도 4는 식각장치로부터 배출되는 인쇄회로기판을 나타내는 사진이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 노광장치용 기판 마스크 배치 장치를 나타내는 도면이다.
도 6은 테이블 상에 기판이 배치된 상태를 나타내는 도면이다.
도 7은 기판 상에 마스크 필름이 배치된 상태를 나타내는 도면이다.
도 8은 검사 유닛에 의해 정렬 및 기포를 검사하는 과정과 스크레이퍼를 조정하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 스크레이퍼가 마스크 필름을 스크레이핑하는 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 기판 및 마스크 필름에 대해 노광장치 내에서 노광공정이 수행되는 것을 나타내는 도면이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 노광장치용 기판 마스크 배치 장치를 나타내는 도면이다.
도 12 및 도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 노광장치용 기판 마스크 배치 장치를 나타내는 도면들이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 노광장치용 기판 마스크 배치 장치(100)의 실 제품 사진들이다. 도 3은 노광장치로부터 배출된 기판(20)을 식각하는 식각장치를 나타내는 사진이다. 도 4는 식각장치로부터 배출되는 인쇄회로기판을 나타내는 사진이다.
일반적으로 인쇄회로기판의 제조에서는 예를 들어, ㎛ 단위의 두께를 갖는 동박이 입혀진 클래딩된 원판을 전처리하는 단계와, 스루홀 가공단계, 무전해 도금단계, 회로인쇄단계, 에칭단계 및 후처리단계를 거친다. 여기서, 전처리 단계는 클래딩된 원판을 적당한 크기로 절단하고, 절단된 클래딩 원판에 드릴을 이 용하여 스루홀을 형성시킨 다음 무전해 도금으로 스루홀 표면에 박막의 동박을 형성하여 후속될 전기 동도금을 가능하게 한다. 회로인쇄 단계는 클래딩된 원판위에 감광성 필름을 입힌후 노광, 현상하여 회로 부분의 동박을 보호하는 보호막을 형성한다. 그 다음 에칭단계에서는 감광성 필름 형태의 마스킹을 박리시키고 회로 이외 부분의 동박을 에칭하여 회로배선 부분만 남게 한다. 후처리 단계에서는 중간검사, 외형가공, 최종검사 등을 거쳐 기판(20)의 제조를 완성한다.
본 실시예의 노광장치용 기판 마스크 배치 장치(100)는 인쇄회로기판의 제조 과정에서 노광장치에 기판(20)이 투입되기 전에 기판(20)과 마스크를 중첩시키는 단계에서 사용될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 노광장치용 기판 마스크 배치 장치(100)를 나타내는 도면이다. 도 6은 테이블(110) 상에 기판(20)이 배치된 상태를 나타내는 도면이다. 도 7은 기판(20) 상에 마스크 필름(30)이 배치된 상태를 나타내는 도면이다.
노광장치용 기판 마스크 배치 장치(100)는 감광층이 형성된 기판(20)을 노광장치에 투입하기 전에 기판(20)과 기판(20)에 회로패턴을 형성하기 위한 마스크 필름(30)을 배치하는 장치에 적용될 수 있다. 노광장치용 기판 마스크 배치 장치(100)는 테이블(110), 검사 유닛(120) 및 기포 제거 유닛(130)을 포함할 수 있다.
테이블(110)은 노광장치 내부로 슬라이딩 방식으로 삽입 또는 인출될 수 있다. 노광장치에는 이러한 테이블(110)이 다단으로 설치될 수도 있다. 테이블 상면에는 기판(20)이 정위치에 배치되고 그 위에 마스크 필름(30)이 안착될 수 있다. 또는 양면형 인쇄회로기판인 경우에는 먼저 제1 마스크 필름이 테이블의 상면에 배치되고, 기판이 제1 마스크 필름 상에 안착되고, 그 기판 위에 제2 마스크 필름이 배치될 수 있다. 어느 경우이든 기판(20)의 상면에 마스크 필름(30)이 배치되므로, 본 실시예에서는 이를 중심으로 설명한다.
기판(20)은 베이스, 베이스 상에 형성된 동박층, 동박층 상에 형성된 감광층을 포함할 수 있다. 동박층 및 감광층은 기판(20)의 일면 또는 양면에 형성될 수 있다. 마스크 필름(30)은 플렉시블한 시트로 이루어 질 수 있다. 마스크 필름(30)에는 기판(20)의 동박층에 전사될 패턴이 형성되어 있다. 마스크 필름(30)의 패턴은 노광장치 내에서 자외선을 차단하거나 투과시킬 수 있다. 감광층은 타입에 따라서 자외선이 조사되는 부분이 식각공정에서 제거되거나 자외선이 조사되지 않은 부분이 제거될 수 있다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 검사 유닛(120)이 테이블(110) 상에 배치된 기판(20)의 정렬 표지를 감지할 수 있다. 검사 유닛(120)은 카메라를 포함할 수 있으며, 기판(20)의 영상을 촬영하여 테이블(110)에 표시된 정렬위치에 기판(20)의 정렬표지(21)가 일치하고 있는지 제어부(170)가 판별할 수 있다. 이후, 기판(20) 상에 도 5 및 도 7에 도시된 바와 같이, 마스크 필름(30)이 배치될 수 있다. 마찬가지로 마스크 필름(30)에도 정렬표지(31)가 형성되어 있고, 검사 유닛(120)이 마스크 필름(30)을 촬상하여 제어부(170) 가 이미지 처리를 수행하여 얼라인을 검사할 수 있다. 제어부(170) 가 얼라인 미스를 알람하는 경우, 작업자가 수작업으로 또는 지그나 정밀 이송장치를 사용하여 기판(20)과 마스크 필름(30) 간의 정렬을 수정할 수 있다.
도 8은 검사 유닛에 의해 정렬 및 기포를 검사하는 과정과 스크레이퍼(134)를 조정하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
검사 유닛(120)은 마스크 필름(30)을 촬상하여 기판(20)과 마스크 필름(30) 사이에 기포(40)의 잔류여부를 검사할 수 있다. 즉, 검사 유닛(120)은 정렬과 함께 기판(20)과 마스크 필름(30) 사이에 기포를 감지할 수 있다. 예를 들어, 도 8의 상측 그림은 검사 유닛(120)이 기판(20)에 얼라인된 마스크 필름(30)의 이미지의 일부를 나타낸다. 이미지에서 마스크 필름(30)의 패턴부분과 패턴이 아닌 부분이 서로 대비되며, 기포(4)가 잔류한 경우 기포가 잔류한 부분은 다른 부분과 구별될 수 있다. 즉, 제어부(170)가 촬상된 이미지와 미리 입력된 마스크 필름(30)의 이미지를 대비하여 기포를 검출할 수 있다. 또는 제어부(170) 는 검사 유닛을 통해 패턴부분과 패턴이 아닌 부분의 명도, 채도, 색상 등의 차이를 픽셀로 분석함으로써 기포가 위치한 부분을 판별할 수 있다. 이에 따라 제어부(170) 는 후술될 기포 제거 유닛(130)을 동작시키는 제어신호를 제공할 수 있다.
도 9는 스크레이퍼(134)가 마스크 필름(30)을 스크레이핑하는 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 기포 제거 유닛(130)은 구동부(131), 가이드부(132), 이동부(133) 및 스크레이퍼(134)를 포함할 수 있다.
가이드부(132)는 테이블(110)의 양측면에 각각 구비될 수 있다. 구동부(131)는 가이드부(132)에 각각 결합될 수 있다. 이동부(133)는 가이드부(132)에 의해 이동되며 테이블(110) 상측에서 구동부(131)로부터 멀어지거나 가까워지도록 전진 및 후진될 수 있다. 스크레이퍼(134)는 이동부(133)에 장착되어 마스크 필름(30)에 접촉하며 미끄러지며(스크레이핑되며) 기포를 기판(20)과 마스크 필름(30)의 사이로부터 외측으로 제거할 수 있다.
예를 들어, 구동부(131)와 가이드부(132)는 일종의 리니어 액츄에이터를 구성할 수 있다. 즉, 구동부(131)는 리이어 액추에이터의 구동모터이고 가이드부(132)는 구동모터에 의해 신장되는 바 형상을 가질 수 있다. 가이드부(132)는 테이블(110)의 양 측면에 각각 구비될 수 있다. 이동부(133)는 양측 가이드부(132)에 결합되어 테이블(110)을 가로지르도록 설치되는 바일 수 있다. 구동모터가 작동되어 가이드부(132)가 신장됨에 따라 이동부(133)가 테이블(110) 상에서 전진 및 후퇴될 수 있다. 스크레이퍼(134)는 이동부(133)에 설치될 수 있다. 본 실시예에서 스크레이퍼(134)는 마스크 필름(30)에 선접촉을 할 수 있도록 하단이 폭이 좁은 에지를 가지도록 형성될 수 있으며, 탄성을 가지되 마스크 필름(30)을 손상시키지 않을 정도의 소프트한 성질을 가지는 플라스틱 재질 또는 고무, 라텍스 등의 재질일 수 있다.
제어부(170) 가 검사 유닛(120)으로부터 전달된 이미지를 분석하고, 기포(40)가 잔류된 것으로 판정하면 구동모터를 작동시킬 수 있다. 이에 따라 이동부(133)가 구동모터로부터 멀어지고 가까워지도록 전진 및 후진을 하며 마스크 필름(30)을 스크레이핑할 수 있다. 이에 따라 기포가 기판(20)과 마스크 필름(30) 사이로부터 외부로 방출될 수 있다. 이러한 스크레이핑 과정 중에도 검사 유닛(120)은 촬상을 하여 다시 기포가 잔류하는 지를 판별할 수 있고, 기포(40)가 완전히 제거될 때가지 스크레이핑 동작이 반복 수행될 수 있다.
한편, 기포 제거 유닛(130)은 전술된 구성과는 다르게 테이블(110)의 양측에 레크가 설치되고 이동부(133)의 양단에는 레크에 치합되는 피니언 기어가 구비될 수도 있다. 이동부(133)의 양단에 소형 모터가 설치되고 모터의 작동에 의해 레크 상에서 이동부(133)가 이동될 수 있고, 이에 의해 스크레이퍼(134)가 마스크 필름(30)을 스크레이핑 할 수도 있다.
한편, 도 8의 하측 그림을 참조하면, 리니어 액츄에이터는 테이블(110) 지지체에 상하 이동가능하게 설치될 수 있다. 따라서 가이드부(132)가 상하로 이동될 수 있다. 또한, 스크레이퍼(134)는 이동부(133)에 회전가능하게 설치될 수 있다. 스크레이퍼(134)의 회전각도를 조절하는 소형 모터가 스크레이퍼(134)와 이동부(133)의 결합부분에 설치될 수 있다.
제어부(170) 는 검사 유닛(120)으로부터 전달된 이미지를 분석하여 기포의 위치와 양 등을 검출하고 스크레이핑 강도를 결정할 수 있다. 이를 위해 제어부(170) 는 전술한 바와 같이 액츄에이터를 상하이동시켜 높이를 조절하고, 스크레이퍼(134)의 각도를 조절할 수 있다. 이에 따라 스크레이퍼(134)가 마스크 필름(30)에 접촉되는 접촉각을 설정할 수 있다. 이에 따라 스크레이퍼(134)가 마스크 필름(30)에 가하는 마찰력이 조절되고 기포의 양과 위치에 따라 적합한 마찰력으로 반복해서 스크레이핑 함으로써 기포 제거 작업의 효율을 향상시킬 수 있다. 즉, 기포의 양과 분포가 넓은 경우 스크레이퍼(134)의 마찰력이 커지도록 각도를 조절하고, 기포의 양과 분포가 좁은 경우 스크레이퍼(134)의 마찰력이 작아지도록 각도를 조절할 수 있다.
도 10은 기판(20) 및 마스크 필름(30)에 대해 노광장치 내에서 노광공정이 수행되는 것을 나타내는 도면이다.
이와 같이, 검사 유닛(120), 제어부(170) , 기포 제거 유닛(130)이 연동되어 기포를 일관된 패턴과 방식으로 효과적으로 제거할 수 있다. 이후, 테이블(110)이 노광장치 내부로 슬라이딩되어 투입될 수 있다. 또는 테이블(110)이나 기판(20)을 리프팅하여 노광장치 내부로 투입할 수도 있다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 노광장치용 기판 마스크 배치 장치(100)를 나타내는 도면이다.
도 11에 도시된 노광장치용 기판 마스크 배치 장치(100)는 추가의 스크레이퍼(134)를 더 포함한다. 추가의 스크레이퍼(134)는 스크레이퍼(134)와 대향하도록 이동부(133)에 장착될 수 있다. 추가의 스크레이퍼(134)는 마스크 필름(30)에 면접촉되는 소프트한 재질로 이루어질 수 있다. 스크레이퍼와 추가의 스크레이퍼(134)를 서로 다른 타입으로 설치하고 가이드부(132)에 의한 이동부(133)의 전진 및 후진동작시에 모두 스크레이핑이 되도록 함으로써, 기포 제거 효율을 높일 수 있다. 또한, 마스크 필름(30)의 재질에 따라 마찰특성을 고려하여 스크레이퍼(134)와 추가의 스크레이퍼(134) 중 하나만을 사용할 수도 있다.
도 12 및 도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 노광장치용 기판 마스크 배치 장치(100)를 나타내는 도면들이다.
도 12 및 도 13에 도시된 노광장치용 기판 마스크 배치 장치(100)는 진공흡입을 위한 구성이 더 추가된 점에 차이가 있다. 노광장치용 기판 마스크 배치 장치(100)는 클립부 및 흡입펌프를 더 포함할 수 있다. 클립부는 테이블(110) 상면에 회전가능하게 설치되어 기판(20) 및 마스크 필름(30)이 배치된 후 회전되어 마스크 필름(30)의 가장자리를 가압할 수 있다. 흡입펌프는 클립부에 연통되어 공기를 흡입하여 기판(20)과 마스크 필름(30) 사이에 기포를 제거할 수 있다. 이와 같이 진공흡입에 의해 기판(20)과 마스크 필름(30) 사이에 기포를 제거한 후 후속으로 스크레이핑 과정이 더 수행될 수 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
20 : 기판
30 : 마스크 필름
100 : 노광장치용 기판 마스크 배치 장치
110 : 테이블
120 : 검사 유닛
130 : 기포 제거 유닛
131 : 구동부
132 : 가이드부
133 : 이동부
134 : 스크레이퍼
138 : 추가의 스크레이퍼
170 : 제어부
200 : 노광 장치
210 : UV 조사부

Claims (5)

  1. 감광층이 형성된 기판을 노광장치에 투입하기 전에 상기 기판과 상기 기판에 회로패턴을 형성하기 위한 마스크 필름을 배치하는 노광장치용 기판 마스크 배치 장치에 있어서,
    상기 기판 및 상기 마스크 필름이 얼라인되어 안착되는 테이블;
    상기 마스크 필름을 촬상하여 상기 기판과 상기 마스크 필름 사이에 기포의 잔류여부를 검사하는 검사 유닛; 및
    상기 테이블의 주변에 설치된 가이드부와, 상기 가이드부에 의해 이동되며 상기 테이블 상측에서 이동되는 이동부와, 상기 이동부에 장착되어 상기 마스크 필름에 접촉하며 미끄러지며 상기 기포를 상기 기판과 상기 마스크 필름의 사이로부터 외측으로 제거하는 스크레이퍼를 포함하는 기포 제거 유닛;을 포함하고,
    상기 검사 유닛은 상기 기포의 검사와 함께 상기 기판의 정렬표지와 상기 마스크 필름의 정렬표지를 감지하여 상기 기판과 상기 마스크 필름 간의 정렬을 검사하며,
    상기 이동부는 상기 마스크 필름으로부터 높이가 조절되며,
    상기 스크레이퍼는 상기 마스크 필름에 대한 접촉각이 조절되며,
    상기 테이블에 회전가능하게 설치되어 상기 기판 및 상기 마스크 필름이 배치된 후 회전되어 상기 마스크 필름의 가장자리를 가압하는 클립부; 및
    상기 클립부에 연통되어 공기를 흡입하여 상기 기판과 상기 마스크 필름 사이에 기포를 제거하는 흡입펌프;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 노광장치용 기판 마스크 배치 장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 스크레이퍼는 상기 마스크 필름에 선접촉되도록 플라스틱으로 이루어진 것을 특징으로 하는, 노광장치용 기판 마스크 배치 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 스크레이퍼와 대향하도록 상기 이동부에 장착되어 상기 마스크 필름에 면접촉되는 소프트한 재질로 이루어진 추가의 스크레이퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 노광장치용 기판 마스크 배치 장치.
  5. 삭제
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