JPH04343415A - 拡散炉用ウエハー立替システム - Google Patents
拡散炉用ウエハー立替システムInfo
- Publication number
- JPH04343415A JPH04343415A JP3145547A JP14554791A JPH04343415A JP H04343415 A JPH04343415 A JP H04343415A JP 3145547 A JP3145547 A JP 3145547A JP 14554791 A JP14554791 A JP 14554791A JP H04343415 A JPH04343415 A JP H04343415A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wafers
- boat
- handling arm
- wafer handling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 172
- 238000013500 data storage Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は拡散炉用のウエハー立替
システムに関し、特にウエハーカセットから拡散処理用
ウエハーボートへのウエハー立替システムに関する。
システムに関し、特にウエハーカセットから拡散処理用
ウエハーボートへのウエハー立替システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の拡散処理用ウエハー立替には、縦
型拡散炉ではウエハーハンドリングアームによる５枚一
括立替方式と、枚葉立替方式と、あるいはこれらを併用
した方式があり、横型拡散炉と縦型拡散炉の一部では立
替ロボットによる２５枚一括立替方式がある。
型拡散炉ではウエハーハンドリングアームによる５枚一
括立替方式と、枚葉立替方式と、あるいはこれらを併用
した方式があり、横型拡散炉と縦型拡散炉の一部では立
替ロボットによる２５枚一括立替方式がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来のウエハー立
替方式では、まずウエハーハンドリングアームによる５
枚一括あるいは枚葉立替方式では例えば１００枚拡散処
理用のウエハーボートに１００枚のウエハーを立て替え
る場合、最低２０回の繰り返しが必要であり、立替に多
くの時間を要する。また、ウエハーボートにダミー等の
ウエハーが既に存在する場合には、５枚一括立替方式で
はウエハーの立替枚数や立替位置に制限が加えられる。 枚葉あるいは５枚との併用立替方式では、これらの制限
はなくなるが、立替時間が更に多く必要である等の問題
がある。
替方式では、まずウエハーハンドリングアームによる５
枚一括あるいは枚葉立替方式では例えば１００枚拡散処
理用のウエハーボートに１００枚のウエハーを立て替え
る場合、最低２０回の繰り返しが必要であり、立替に多
くの時間を要する。また、ウエハーボートにダミー等の
ウエハーが既に存在する場合には、５枚一括立替方式で
はウエハーの立替枚数や立替位置に制限が加えられる。 枚葉あるいは５枚との併用立替方式では、これらの制限
はなくなるが、立替時間が更に多く必要である等の問題
がある。
【０００４】次に２５枚一括立替方式の場合は、立替に
要する時間は短縮できるが、この場合もウエハーボート
にダミー等のウエハーが存在する場合には、ウエハーの
立替枚数や立替位置に制限が加えられてしまうという問
題がある。
要する時間は短縮できるが、この場合もウエハーボート
にダミー等のウエハーが存在する場合には、ウエハーの
立替枚数や立替位置に制限が加えられてしまうという問
題がある。
【０００５】本発明の目的は、ウエハーの立替枚数や立
替位置に制限が加えられない拡散炉用ウエハー立替シス
テムを提供することにある。
替位置に制限が加えられない拡散炉用ウエハー立替シス
テムを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
、本発明に係る拡散炉用ウエハー立替システムにおいて
は、ウエハーボート内に既にローティングされているウ
エハーのウエハーボート内位置を記憶するデータ記憶部
と、ウエハーキャリア内のウエハーを１０枚以上同時に
抜き取り、前記ウエハーボート内に既にウエハーがロー
ディングされている位置以外のウエハーボート内位置に
、抜き取ったウエハー全てあるいは各々別々にローディ
ングするウエハーハンドリングアームと、１０枚以上の
ウエハーハンドリングアームを全てあるいは各々別々に
動作させるウエハーハンドリングアーム駆動部と、これ
らを制御するウエハーハンドリングアームコントローラ
とを有するものである。
、本発明に係る拡散炉用ウエハー立替システムにおいて
は、ウエハーボート内に既にローティングされているウ
エハーのウエハーボート内位置を記憶するデータ記憶部
と、ウエハーキャリア内のウエハーを１０枚以上同時に
抜き取り、前記ウエハーボート内に既にウエハーがロー
ディングされている位置以外のウエハーボート内位置に
、抜き取ったウエハー全てあるいは各々別々にローディ
ングするウエハーハンドリングアームと、１０枚以上の
ウエハーハンドリングアームを全てあるいは各々別々に
動作させるウエハーハンドリングアーム駆動部と、これ
らを制御するウエハーハンドリングアームコントローラ
とを有するものである。
【０００７】
【作用】本発明のウエハー立替システムは、既にウエハ
ーボートに入っているウエハーのボート内のデータを持
ち、オペレーターの入力指示と既にボート内にあるウエ
ハーの位置を自動判定し、ウエハーキャリア内のウエハ
ーを全部まとめて、あるいは各々別々に立替動作を行う
ようにしたものである。
ーボートに入っているウエハーのボート内のデータを持
ち、オペレーターの入力指示と既にボート内にあるウエ
ハーの位置を自動判定し、ウエハーキャリア内のウエハ
ーを全部まとめて、あるいは各々別々に立替動作を行う
ようにしたものである。
【０００８】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する
。図１は、本発明の一実施例に係るウエハー立替システ
ム機構部を示す概念図、図２は、本発明のウエハー立替
システム全体を示す概念図である。
。図１は、本発明の一実施例に係るウエハー立替システ
ム機構部を示す概念図、図２は、本発明のウエハー立替
システム全体を示す概念図である。
【０００９】図において、本実施例にかかるウエハー立
替システムは、ウエハボート５，ウエハーキャリア６，
ウエハー立替システム機構部７を装備している。
替システムは、ウエハボート５，ウエハーキャリア６，
ウエハー立替システム機構部７を装備している。
【００１０】さらに、本実施例に係るウエハー立替シス
テム機構部７は、ウエハーボート５内に既にローディン
グされているウエハーのウエハーボート内位置を記憶す
るデータ記憶部４と、ウエハーキャリア６内のウエハー
を１０枚以上同時に抜き取り、ウエハーボート５内に既
にウエハーがローディングされている位置以外のウエハ
ーボート内位置に、抜き取ったウエハー全てあるいは各
々別々にローディングするウエハーハンドリングアーム
３１，３２……３ｎ−１，３ｎと、１０枚以上のウエハ
ーハンドリングアーム３１，３２……３ｎ−１，３ｎを
全てあるいは各々別々に動作させるウエハーハンドリン
グアーム駆動部１と、これらを制御するウエハーハンド
リングアームコントローラ２とを有する。
テム機構部７は、ウエハーボート５内に既にローディン
グされているウエハーのウエハーボート内位置を記憶す
るデータ記憶部４と、ウエハーキャリア６内のウエハー
を１０枚以上同時に抜き取り、ウエハーボート５内に既
にウエハーがローディングされている位置以外のウエハ
ーボート内位置に、抜き取ったウエハー全てあるいは各
々別々にローディングするウエハーハンドリングアーム
３１，３２……３ｎ−１，３ｎと、１０枚以上のウエハ
ーハンドリングアーム３１，３２……３ｎ−１，３ｎを
全てあるいは各々別々に動作させるウエハーハンドリン
グアーム駆動部１と、これらを制御するウエハーハンド
リングアームコントローラ２とを有する。
【００１１】実施例において、ウエハーの立替はウエハ
ーキャリア６からウエハーボート５へあるいは逆方向に
行う。仮に、ウエハーハンドリングアーム３１〜３ｎが
１０枚の場合（つまりｎ＝１０の場合）を考える。ウエ
ハーをローディングしたいウエハーボート５の位置にウ
エハーがない場合でウエハーキャリア９に端から１０枚
連続でウエハーが入っている場合は、ウエハーハンドリ
ングアームコントローラ２の指示により１０枚のウエハ
ーハンドリングアーム３１〜３１０の全てが同時に動い
て、ウエハーキャリア９から１０枚のウエハーを同時に
抜いてウエハーボート８に同時にローディングする。そ
の逆も同様に行う。
ーキャリア６からウエハーボート５へあるいは逆方向に
行う。仮に、ウエハーハンドリングアーム３１〜３ｎが
１０枚の場合（つまりｎ＝１０の場合）を考える。ウエ
ハーをローディングしたいウエハーボート５の位置にウ
エハーがない場合でウエハーキャリア９に端から１０枚
連続でウエハーが入っている場合は、ウエハーハンドリ
ングアームコントローラ２の指示により１０枚のウエハ
ーハンドリングアーム３１〜３１０の全てが同時に動い
て、ウエハーキャリア９から１０枚のウエハーを同時に
抜いてウエハーボート８に同時にローディングする。そ
の逆も同様に行う。
【００１２】次に、ウエハーボート５にウエハーが既に
ローディングされている場合を考える。例えば、ウエハ
ーボート８の第１，２，４，５，６，９，１７，１８番
目のスロットにウエハーがローディングされている場合
で、ウエハーキャリア９には端から１０枚連続でウエハ
ーが入っている場合には、データ記憶部１１に記憶され
ているウエハーボート内のウエハー位置データとウエハ
ーハンドリングアームコントローラ２の指示によりまず
１０枚のウエハーハンドリングアーム３１〜３１０が同
時に動いてウエハーキャリア９から１０枚のウエハーを
同時に取り出す。
ローディングされている場合を考える。例えば、ウエハ
ーボート８の第１，２，４，５，６，９，１７，１８番
目のスロットにウエハーがローディングされている場合
で、ウエハーキャリア９には端から１０枚連続でウエハ
ーが入っている場合には、データ記憶部１１に記憶され
ているウエハーボート内のウエハー位置データとウエハ
ーハンドリングアームコントローラ２の指示によりまず
１０枚のウエハーハンドリングアーム３１〜３１０が同
時に動いてウエハーキャリア９から１０枚のウエハーを
同時に取り出す。
【００１３】次に、ウエハーハンドリングアーム３１に
保持しているウエハーを、ウエハーハンドリングアーム
駆動部１のウエハーハンドリングアーム３１用のモータ
ーのみ作動させることによりウエハーボート８の第３番
目のスロットにロードする。
保持しているウエハーを、ウエハーハンドリングアーム
駆動部１のウエハーハンドリングアーム３１用のモータ
ーのみ作動させることによりウエハーボート８の第３番
目のスロットにロードする。
【００１４】さらに、ウエハーハンドリングアーム３２
とウエハーハンドリングアーム３３に保持されているウ
エハーを、ウエハーハンドリングアーム３２とウエハー
ハンドリングアーム３３用のモーターを同時に作動させ
ることによりウエハーボートの第７番目と第８番目のス
ロットに同時にロードする。
とウエハーハンドリングアーム３３に保持されているウ
エハーを、ウエハーハンドリングアーム３２とウエハー
ハンドリングアーム３３用のモーターを同時に作動させ
ることによりウエハーボートの第７番目と第８番目のス
ロットに同時にロードする。
【００１５】最後にウエハーハンドリングアーム３４〜
３１０に保持されているウエハーを同様にそれぞれ同時
にウエハーボート５の第１０番目〜第１６番目のスロッ
トにロードする。
３１０に保持されているウエハーを同様にそれぞれ同時
にウエハーボート５の第１０番目〜第１６番目のスロッ
トにロードする。
【００１６】ウエハーキャリア６にウエハーが不連続に
入っている場合にも、ウエハーハンドリングアームの必
要なものだけを使用することによって同様にウエハーを
ローディングすることができる。また、ウエハーハンド
リングアームの数を増やすことによりウエハーキャリア
６の全てにウエハーが入っている場合（通常２５枚）に
も全数同時にウエハーハンドリングアームに保持するこ
とができ、ウエハー立替システムがウエハーキャリア６
とウエハーボート５との間を複数回移動する必要はない
。
入っている場合にも、ウエハーハンドリングアームの必
要なものだけを使用することによって同様にウエハーを
ローディングすることができる。また、ウエハーハンド
リングアームの数を増やすことによりウエハーキャリア
６の全てにウエハーが入っている場合（通常２５枚）に
も全数同時にウエハーハンドリングアームに保持するこ
とができ、ウエハー立替システムがウエハーキャリア６
とウエハーボート５との間を複数回移動する必要はない
。
【００１７】以上、ウエハーハンドリングアームに特に
真空吸着の必要がない縦型拡散炉の場合について説明し
たが、真空吸着を使用しウエハーハンドリングアームが
下向きになるように立替システムを設置することにより
、横型拡散炉に適用することもできる。
真空吸着の必要がない縦型拡散炉の場合について説明し
たが、真空吸着を使用しウエハーハンドリングアームが
下向きになるように立替システムを設置することにより
、横型拡散炉に適用することもできる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ウエハー
ボートに既に入っているウエハーのボート内位置のデー
タを持ちオペレーターの入力指示と既にボート内にある
ウエハーの位置を自動判定し、１０枚以上のウエハーハ
ンドリングアームを使用してウエハーキャリア内のウエ
ハーを全部まとめて、あるいは各々別々にウエハボート
にローディングするようにしたので、一回の立替で同時
に多数のウエハーをウエハーボートにローティングでき
、さらにウエハーボートに既にダミー等のウエハーが入
っている場合にも同時に多数のウエハーを抜き取り、ウ
エハボートの必要な位置に必要な枚数のウエハーをロー
ディングすることができるため、ウエハーの立替枚数や
立替位置に制限がなくなるという効果がある。また、立
替時間を短縮できるという効果もある。
ボートに既に入っているウエハーのボート内位置のデー
タを持ちオペレーターの入力指示と既にボート内にある
ウエハーの位置を自動判定し、１０枚以上のウエハーハ
ンドリングアームを使用してウエハーキャリア内のウエ
ハーを全部まとめて、あるいは各々別々にウエハボート
にローディングするようにしたので、一回の立替で同時
に多数のウエハーをウエハーボートにローティングでき
、さらにウエハーボートに既にダミー等のウエハーが入
っている場合にも同時に多数のウエハーを抜き取り、ウ
エハボートの必要な位置に必要な枚数のウエハーをロー
ディングすることができるため、ウエハーの立替枚数や
立替位置に制限がなくなるという効果がある。また、立
替時間を短縮できるという効果もある。
【図１】本発明の一実施例に係るウエハー立替システム
機構部を示す概念図である。
機構部を示す概念図である。
【図２】ウエハー立替システム全体を示す概念図である
。
。
１ ウエハーハンドリングアーム駆動部２ ウエハ
ーハンドリングアームコントローラ３１〜３ｎ ウエ
ハーハンドリングアーム４ データ記憶部 ５ ウエハボート ６ ウエハーキャリア
ーハンドリングアームコントローラ３１〜３ｎ ウエ
ハーハンドリングアーム４ データ記憶部 ５ ウエハボート ６ ウエハーキャリア
Claims (1)
- 【請求項１】 ウエハーボート内に既にローティング
されているウエハーのウエハーボート内位置を記憶する
データ記憶部と、ウエハーキャリア内のウエハーを１０
枚以上同時に抜き取り、前記ウエハーボート内に既にウ
エハーがローディングされている位置以外のウエハーボ
ート内位置に、抜き取ったウエハー全てあるいは各々の
別々にローディングするウエハーハンドリングアームと
、１０枚以上のウエハーハンドリングアームを全てある
いは各々別々に動作させるウエハーハンドリングアーム
駆動部と、これらを制御するウエハーハンドリングアー
ムコントローラとを有することを特徴とする拡散炉用ウ
エハー立替システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14554791A JP3390183B2 (ja) | 1991-05-21 | 1991-05-21 | 拡散炉用ウエハー立替システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14554791A JP3390183B2 (ja) | 1991-05-21 | 1991-05-21 | 拡散炉用ウエハー立替システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04343415A true JPH04343415A (ja) | 1992-11-30 |
| JP3390183B2 JP3390183B2 (ja) | 2003-03-24 |
Family
ID=15387707
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14554791A Expired - Fee Related JP3390183B2 (ja) | 1991-05-21 | 1991-05-21 | 拡散炉用ウエハー立替システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3390183B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112151432A (zh) * | 2020-11-26 | 2020-12-29 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 夹取储存在硅片盒中的硅片的装置、方法及硅片传送设备 |
| CN113555273A (zh) * | 2021-07-08 | 2021-10-26 | 麦斯克电子材料股份有限公司 | 一种用于8英寸单工位硅片倒片机定位硅片正反面系统 |
-
1991
- 1991-05-21 JP JP14554791A patent/JP3390183B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112151432A (zh) * | 2020-11-26 | 2020-12-29 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 夹取储存在硅片盒中的硅片的装置、方法及硅片传送设备 |
| CN113555273A (zh) * | 2021-07-08 | 2021-10-26 | 麦斯克电子材料股份有限公司 | 一种用于8英寸单工位硅片倒片机定位硅片正反面系统 |
| CN113555273B (zh) * | 2021-07-08 | 2022-09-16 | 麦斯克电子材料股份有限公司 | 一种用于8英寸单工位硅片倒片机定位硅片正反面系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3390183B2 (ja) | 2003-03-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6179910B2 (ja) | 異なる保持エンドエフェクタを有する基板搬送装置 | |
| EP0960434B1 (en) | Device for processing semiconductor wafers | |
| JP2002507846A5 (ja) | ||
| JPH04190840A (ja) | 真空処理装置 | |
| KR20100129211A (ko) | 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 기억 매체 | |
| EP0567121A1 (en) | Robot assembly | |
| JP2009135542A (ja) | 基板処理装置 | |
| JPH04343415A (ja) | 拡散炉用ウエハー立替システム | |
| JPH01251734A (ja) | マルチチャンバ型ｃｖｄ装置 | |
| JPH0797564B2 (ja) | 縦型半導体製造装置 | |
| JPH10178083A (ja) | 基板搬送装置 | |
| JPH0237742A (ja) | 半導体装置の製造装置 | |
| JPH10189685A (ja) | 基板処理装置 | |
| JP2719524B2 (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPH05259260A (ja) | 縦型炉の制御方法及び装置 | |
| JP2834970B2 (ja) | 基板収納装置 | |
| JPS59117130A (ja) | ロ−ド・アンロ−ド装置 | |
| CN117276159A (zh) | 晶圆运送系统 | |
| JP2000150338A (ja) | 基板処理装置 | |
| JPH01179413A (ja) | 拡散炉ウエハハンドラ装置 | |
| JP2827730B2 (ja) | 縦型減圧ｃｖｄ装置 | |
| JP2617790B2 (ja) | 処理方法 | |
| JPH065689A (ja) | 半導体基板処理システム | |
| JPH01292816A (ja) | 半導体製造熱処理方法及び装置 | |
| JPH07149459A (ja) | メール処理システム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |