JPH01179413A - 拡散炉ウエハハンドラ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体ウェハの製造工程において、半導体ウェ
ハを自動的に熱処理するのに好ましく用いることのでき
る拡散炉ウェハハンドラ装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第３図は先願に係る特願昭６２−２６４１５１号明細書
、図面に示された先行技術になる拡散炉ウェハハンドラ
装置であり、図において（１）は半導体ウェハ（以下、
単にウェハという）、（２）はこのウェハ（１）を収納
するカセットである。（３）は未処理ウェハを収容した
カセット（２）を外部から受は取り、処理済みのウェハ
を外部に送り出すためのカセット搬出入ステーションで
あり、搬入用と搬出用に各１列ずつ計２列配置されてい
る。（４）は上記カセット（２）を−時保管するための
カセットダム、（５）は上記カセット搬出入ステーショ
ン（３）とカセットダム（４）との間で複数個のカセッ
ト（２）を同時に搬送し得るカセットトラバーサＡ、（
６）はカセットリフタである。（７）はカセットトラバ
ーサＢで、カセット（２）を１個ずつ搬送することがで
きる。

（８）はオリフラアライナであり、カセット（２）内の
ウェハ（１）のオリエンテッドフラットを合わせるため
の装置である。（８ａ）は上記オリフラアライナ（８）
に設けられた回収ステーション、くっ）はカセットライ
ナである。　（１０）はウェハトランスファであり、カ
セット（２）に収容されたウェハをボー）　（１１）に
移し替え、またこれとは逆にボート（１１）に保持され
たウェハをカセット（２）に移し替えることができる。

（１２）はボート（１１）をウェハトランスファ（１０
）とボートエレベータ（１３）の取り合い点の間で移動
させるためのボートライナ、（１４）はボートローダス
テーション、（１５）はボートローダ、（１６）は拡散
炉、（１７）はクリーンベンチである。なお、この他に
上記各装置の動作を制御するための制御装置（図示せず
）などを備えている。

次に動作について説明する。複数個のカセット（２）を
カセット搬出入ステーション（３）にセットすると、カ
セットトラバーサＡ（５）が複数個のカセット（２）を
カセットダム（４）内に一時貯蔵する。

上位からの指令（図示せず）により、カセットダム（４
）内からカセットトラバーサＡ（５）でカセット（２）
を１個取り出し、カセットリフタ（６）の上限位置でカ
セットリフタ（６）に渡す、カセットリフタ（６）が下
降し下限に来ると、カセットトラバーサＢ（７）がカセ
ット（２）をオリフラアライナ（８）上に運び、ウェハ
のオリエンテッドフラットを合わせる６次いで、カセッ
トライナ（９）がカセット（２）をウェハ移し替え位置
く図示せず）まで移動させると同時に、ボートライナ（
１２）がボート（１１）を移し替え位置に移動させ、予
めプログラムされた動作によってウェハトランスファ（
１０）によりカセット（２）からボート（１１）ヘウェ
ハ（１）が移し替えられる。第１番目のカセット（２）
についてウェハを移し替えている間に、第２番目のカセ
ット（２）が上記と同様の動作でオリフラアライナ（８
）まで運ばれ、オリエンテッドフラット合わせを完了し
て待機している。第１番目のカセット（２）について移
し替えが完了するとカセットライナ（９）がカセット（
２）を回収ステーション（８ａ）へ運ぶ。第１番目のカ
セット（２）はカセットダム（４）がら取り出した時と
逆動作でカセットダム（４）の元の位置へ収納される。

前記動作と並行して、カセットライナ（９）が第２番目
のカセット（２）をウェハ移し替え位置まで移動させる
と同時に、ボートライナ（１２）がボート（１１）を移
し替え位置に移動させ、上記と同様手順でウェハ（１）
をボート（１１）へ移し替える。

同様の移し替え手順によりすべてのウェハ（１）の移し
替えが完了するとボートライナ（１２）がボート（１１
）をボートエレベータ（１３）との取合点（図示せず）
に運ぶ。次に、ボート（１１）はボートエレベータ（１
３）によりボートローダステーション（１４）の所定の
棚へ運びあげられ、さらにボートローダ（１５）により
拡散炉（１６）内に挿入される。拡散炉（１６）内で所
定の熱処理がなされ、処理の完了したウェハ（１）は、
炉内への挿入動作と逆の動作でカセットダム（４）まで
戻され、さらにカセット搬出入ステーション（３）まで
戻され一連の動作が完了する。

〔発明が解決しようとする課題〕

先行技術になる拡散炉ウェハハンドラ装置は以上のよう
にボートローダステーション（１４）の前部にウェハト
ランスファを配置して構成されているので、ボートロー
ダステーション（１４）の前部に広いスペースを必要と
した。一般に横型拡散炉は複数段に積み重ねた炉ユニッ
トを川向がい合う形で配置し、２つの炉ユニットの間を
オペレーションエリアとするため、ボートローダステー
ションの前部に多くの機器を配置すると炉ユニット間隔
が一定の場合、オペレーションエリアが小さくなるとい
う問題点があった。

本発明は上記のような課題を解消するためになされたも
ので、オペレーションエリアが十分とれる拡散炉ウェハ
ハンドラ装置を得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る拡散炉ウェハハンドラ装置はウェハトラン
スファをボートローダステーションの反炉側に配置し、
上記ボートローダステーションと上記ウェハトランスフ
ァにまたがってボートライナを配置したものである。

〔作用〕

本発明における拡散炉ウェハハンドラ装置は、ウェハの
移し替えをボートローダステーションの反炉側で行う。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図について説明する。

第１図及び第２図において、（１）、（２）、（１１）
〜（１３）および（１４）〜（１７）は上記先行技術に
なる装置と同様であるから説明を省略する。　（１８）
はカセット搬出入ステーションで、従来は搬入及び搬出
用として計２列配置としていたものを、この実施例では
１列配置としている。（１９）はカセットライナであり
、従来のものと同様の構造であるが従来のものとは前後
逆向きで前記カセット搬出入ステーション（１８）の前
部に配置されている。　（２０）はウェハトランスファ
であり、これも従来と同構造の物を前後逆向きで前記カ
セットライナ（１９）に収り付けている。（２１）はボ
ートライナであり、従来のものと前後逆向きで、かつス
トロークを長くしたものを上記カセットライナ（１９）
と上記ボートローダステーション（１４）にまたがるよ
うに配置されている。　（２２）はオリフラアライナで
、上記カセット搬出入ステーション＜１８）の内部に組
み込まれており、総てのカセット（２）に収容されたウ
ェハ（１）のオリエンテッドフラット合わせを同時に行
うことができるようになっている。なお、この他、装置
を自動的に動作させるための制御装置などを具備してい
ることは従来装置と同様である。

次に上記のように構成された実施例の動作について説明
する。複数のカセット（２）をカセット搬出入ステーシ
ョン（１８）にセットすると、オリフラアライナ（２２
）が動作し、総てのカセット（２）内のウェハ（１）の
オリフラ合わせが行なわれる０次に、カセットライナ（
１９）がカセット搬出入ステーション（１８）からカセ
ットく２）を１個取り出し、ウェハ移し替え位置まで移
動すると同時にボートライナ（２１）がボート（１１）
を移し替え位置まで移動させ、予めプログラムされた動
作でウェハトランスファ（２０）によりカセット（２）
からボート（１１）ヘウエハ（１）が移し替えられる。

第１番目のカセット（２）についてウェハ（１）の移し
替えが完了すると、カセットライナ（１９〉が空になっ
たカセット（２）をカセット搬出入ステーション（１８
）上の元の位置へ戻し、第２番目のカセット（２）を取
り出し、上記と同様の動作を繰り返す、総てのカセット
についてウェハの移し替えが完了するとボート（１１）
はボートライナ（２１）によりボートエレベータ（１３
）との取合点に（図示せず）に運ばれる。ボートエレベ
ータ（１３）から拡散炉（１６）内へ運び込む動作は従
来と同様である。拡散炉（１６）での処理が完了したウ
ェハ（１）は炉内へ運び込まれたときと逆の動作でカセ
ット搬出入ステーション（１８）まで戻され、一連の動
作が完了する。

なお、上記実施例では実ウェハのみの移し替え動作を説
明したが、これに限定されるものではなく、例えばカセ
ット搬出入ステーション（１８）上に配置できるカセッ
ト（２）の数量を調節して、モニタウェハのカセットや
ダミーウェハのカセットが配置できるようにすれば、実
ウェハ以外にモニタウェハやダミーウェハをボート（１
１）上の任意の位置に配置することもできる。さらにカ
セット搬出入ステーション（１８）は１列配置したもの
について説明したが、複数としても差し支えない。その
他必ずしも実施例のものに限定されるものではないこと
は勿論である。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、ウェハトランスファをボ
ートローダステーションの反炉側に配置し、上記ボート
ローダステーションと上記ウェハトランスファにまたが
ってボートライナを配置するように構成したことにより
、ボートローダステーションの前面部に十分なオペレー
ションエリアが得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は、本発明の一実施例による拡散炉ウ
ェハハンドラ装置の要部を示す正面図及び平面図、第３
図は先行技術になる拡散炉ウェハハンドラ装置を示す斜
視図である。 図において、（１）は半導体ウェハ、（２）はカセット
、（１１）はボート、（１４）はボートローダステーシ
ョン、（１６）は拡散炉、（１８）はカセット搬出入ス
テーション、（１９）はカセットライナ、（２０）はウ
ェハトランスファ、（２１）はボートライナである。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。 兇１図 児２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　カセットとボート間で半導体ウェハを移し替えるウェ
   ハトランスファ、上記半導体ウェハを熱処理するための
   拡散炉、上記半導体ウェハを保持したボートを上記拡散
   炉内に挿入し又は引き出すためのボートローダステーシ
   ョンおよび上記ウェハトランスファとボートローダステ
   ーション間で上記ボートを搬送するためのボートライナ
   を備えた拡散炉ウェハハンドラ装置において、上記ウェ
   ハトランスファを上記ボートローダステーションの反炉
   側に配置し、上記ボートローダステーションと上記ウェ
   ハトランスファにまたがつて上記ボートライナを配置し
   たことを特徴とする拡散炉ウェハハンドラ装置。