JPH04341424A - 磁気浮上装置 - Google Patents
磁気浮上装置Info
- Publication number
- JPH04341424A JPH04341424A JP11317791A JP11317791A JPH04341424A JP H04341424 A JPH04341424 A JP H04341424A JP 11317791 A JP11317791 A JP 11317791A JP 11317791 A JP11317791 A JP 11317791A JP H04341424 A JPH04341424 A JP H04341424A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- distance
- circuit
- inductance
- detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005339 levitation Methods 0.000 title claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 40
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、浮上体に少なくとも４
個の磁気支持装置（磁気軸受、電磁石、永久磁石、電磁
石及び永久磁石の併用型）を用いて非接触浮上を行う磁
気浮上装置に関する。
個の磁気支持装置（磁気軸受、電磁石、永久磁石、電磁
石及び永久磁石の併用型）を用いて非接触浮上を行う磁
気浮上装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】かかる装置は知られており、磁気浮上搬
送装置に用いられている。
送装置に用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】かかる装置において、
磁気支持装置の製作上の寸法交差、固定側や浮上体側ボ
デーの自重による弾性変形等による磁力作用面間距離の
ばらつきに起因する磁気支持装置間の干渉問題が発生す
るおそれがある。
磁気支持装置の製作上の寸法交差、固定側や浮上体側ボ
デーの自重による弾性変形等による磁力作用面間距離の
ばらつきに起因する磁気支持装置間の干渉問題が発生す
るおそれがある。
【０００４】本発明は、磁気支持装置間の寸法公差や磁
気支持装置の性状に起因する能力差により生じる干渉を
防止する磁気浮上装置を提供することを目的としている
。
気支持装置の性状に起因する能力差により生じる干渉を
防止する磁気浮上装置を提供することを目的としている
。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、浮上体
にすくなとも４個の磁気支持装置を備え、該磁気支持装
置に、浮上位置検出センサと、磁気力作用面間距離の変
化により生じる電磁石コイルのインダクタンス変化を検
出する検出回路と、該検出回路及び前記検出センサから
の信号に基づき前記磁気力作用面間距離を検出し、制御
力（磁気力）の調整、目標値の調整を行う回路とを設け
ている。
にすくなとも４個の磁気支持装置を備え、該磁気支持装
置に、浮上位置検出センサと、磁気力作用面間距離の変
化により生じる電磁石コイルのインダクタンス変化を検
出する検出回路と、該検出回路及び前記検出センサから
の信号に基づき前記磁気力作用面間距離を検出し、制御
力（磁気力）の調整、目標値の調整を行う回路とを設け
ている。
【０００６】また本発明によれば、浮上体に少なくとも
４個の磁気支持装置を備え、該磁気支持装置に、浮上位
置検出センサと、磁気力作用面間距離の変化により生じ
る磁束密度の変化を検出する磁束密度検出部と、該検出
部及び前記検出センサからの信号に基づき、前記磁気力
作用面間距離を検出し、制御力（磁気力）の調整、目標
値の調整を行う回路とを設けている。
４個の磁気支持装置を備え、該磁気支持装置に、浮上位
置検出センサと、磁気力作用面間距離の変化により生じ
る磁束密度の変化を検出する磁束密度検出部と、該検出
部及び前記検出センサからの信号に基づき、前記磁気力
作用面間距離を検出し、制御力（磁気力）の調整、目標
値の調整を行う回路とを設けている。
【０００７】上記磁束密度検出部は、例えばホール素子
などで構成するのが好ましい。
などで構成するのが好ましい。
【０００８】
【作用】上記のように構成された磁気浮上装置において
、制御回路は、磁気力作用面間距離の変化により生じる
電磁石コイルのインダクタンスの変化を検出回路により
検出し、磁気力を調整して前記距離を適確な目標値に制
御し、磁気支持装置間の干渉を防止する。
、制御回路は、磁気力作用面間距離の変化により生じる
電磁石コイルのインダクタンスの変化を検出回路により
検出し、磁気力を調整して前記距離を適確な目標値に制
御し、磁気支持装置間の干渉を防止する。
【０００９】また、制御回路は、永久磁石の性能や磁気
力作用面間距離のばらつきによる磁束密度のばらつきを
検出回路により検出し、磁気力を調整して前記距離を適
確な目標値に制御し、磁気支持装置間の干渉を防止する
。
力作用面間距離のばらつきによる磁束密度のばらつきを
検出回路により検出し、磁気力を調整して前記距離を適
確な目標値に制御し、磁気支持装置間の干渉を防止する
。
【００１０】
【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。
る。
【００１１】図１において、磁気力発生側１には、図示
の例では４個（２個だけが示されている）の電磁石２が
垂設され、磁気力受け側１０には、磁性板１１が設けら
れ、これら電磁石２と磁性板１１とにより磁気支持装置
Ａが構成されている。
の例では４個（２個だけが示されている）の電磁石２が
垂設され、磁気力受け側１０には、磁性板１１が設けら
れ、これら電磁石２と磁性板１１とにより磁気支持装置
Ａが構成されている。
【００１２】図２において、電磁石２のヨーク３は、Ｕ
字状に形成され、２個のコイル４、４が巻回されている
。そして、中央には、浮上位置検出センサ５が設けられ
、磁性板１１との隙間Ｂすなわち浮上位置を検出するよ
うになっている。なお、図中の符号Ｃは磁気力作用面間
距離である。
字状に形成され、２個のコイル４、４が巻回されている
。そして、中央には、浮上位置検出センサ５が設けられ
、磁性板１１との隙間Ｂすなわち浮上位置を検出するよ
うになっている。なお、図中の符号Ｃは磁気力作用面間
距離である。
【００１３】図３において、位置検出センサ５は、位置
検出回路２３を介して制御回路２０の補償回路２１に接
続されている。その補償回路２１は、アンプ２４を介し
てコイル４の一端に接続されている。このコイル４には
、インダクタンスを検出するインダクタンス検出回路２
５が設けられ、その検出回路２５は、制御回路２０の補
償回路２１に接続された調整回路２２に接続されている
。
検出回路２３を介して制御回路２０の補償回路２１に接
続されている。その補償回路２１は、アンプ２４を介し
てコイル４の一端に接続されている。このコイル４には
、インダクタンスを検出するインダクタンス検出回路２
５が設けられ、その検出回路２５は、制御回路２０の補
償回路２１に接続された調整回路２２に接続されている
。
【００１４】制御に際し、制御回路２０の補償回路２１
は、位置センサ５からの信号を入力し、調整回路２２は
、磁気力作用面間距離により変化するコイル４のインダ
クタンスを検出するインダクタンス検出回路２５の信号
を入力する。ここで、各々の磁気支持装置における磁気
力作用面間距離Ｃの変化と電磁石コイルを利用して検出
されるインダクタンスの変化との関係は同一となるよう
に構成されている。そして、電磁石コイルを利用して検
出されるインダクタンスの変化から求められた磁気力作
用面間距離Ｃを求め、これを基準位置とする。磁気力発
生側１と磁気力受け側１０との間隔を保持した状態で各
々の磁気支持装置に設けられている位置検出センサ５、
位置検出回路２３を介して求められた隙間Ｂの値を比較
し、そのばらつきを、電磁石コイルを利用して検出され
るインダクタンスの変化から求められた基準となる。磁
気力作用面間距離Ｃの値を利用して調整回路２２により
補正する。
は、位置センサ５からの信号を入力し、調整回路２２は
、磁気力作用面間距離により変化するコイル４のインダ
クタンスを検出するインダクタンス検出回路２５の信号
を入力する。ここで、各々の磁気支持装置における磁気
力作用面間距離Ｃの変化と電磁石コイルを利用して検出
されるインダクタンスの変化との関係は同一となるよう
に構成されている。そして、電磁石コイルを利用して検
出されるインダクタンスの変化から求められた磁気力作
用面間距離Ｃを求め、これを基準位置とする。磁気力発
生側１と磁気力受け側１０との間隔を保持した状態で各
々の磁気支持装置に設けられている位置検出センサ５、
位置検出回路２３を介して求められた隙間Ｂの値を比較
し、そのばらつきを、電磁石コイルを利用して検出され
るインダクタンスの変化から求められた基準となる。磁
気力作用面間距離Ｃの値を利用して調整回路２２により
補正する。
【００１５】付け加えて各々の位置検出センサ５、位置
検出回路２３を介して求められる信号の変化と隙間Ｂの
変化との関係は、同一となるように調整されている。
検出回路２３を介して求められる信号の変化と隙間Ｂの
変化との関係は、同一となるように調整されている。
【００１６】図４は本発明の別の実施例を示し、磁気支
持装置Ａ１の電磁石２Ａのヨーク３Ａを、永久磁石３ａ
と一対のヨーク３ｂ、３ｂとでＵ字状に形成し、ヨーク
３ｂ、３ｂにコイル４、４を設けて永久磁石及び電磁石
併用型に構成し、磁気力作用面間距離Ｃの対向する面に
、それぞれ例えばホール素子からなる磁束密度検出部６
を設けた例である。なお、この検出部６のホール素子は
、一方のホール素子を省くことができる。そして、図５
において、磁束密度検出部６は、磁束密度検出回路２６
を介し、制御回路２０Ａの補償回路２１Ａに接続された
調整回路２２Ａに接続されている。この実施例において
、制御回路２０Ａは、永久磁石３ａの性能や磁気作用面
間距離Ｃのばらつきによる磁束密度のばらつきを検出し
、隙間Ｂが目標値になるように電磁石２Ａの磁気力を制
御する。
持装置Ａ１の電磁石２Ａのヨーク３Ａを、永久磁石３ａ
と一対のヨーク３ｂ、３ｂとでＵ字状に形成し、ヨーク
３ｂ、３ｂにコイル４、４を設けて永久磁石及び電磁石
併用型に構成し、磁気力作用面間距離Ｃの対向する面に
、それぞれ例えばホール素子からなる磁束密度検出部６
を設けた例である。なお、この検出部６のホール素子は
、一方のホール素子を省くことができる。そして、図５
において、磁束密度検出部６は、磁束密度検出回路２６
を介し、制御回路２０Ａの補償回路２１Ａに接続された
調整回路２２Ａに接続されている。この実施例において
、制御回路２０Ａは、永久磁石３ａの性能や磁気作用面
間距離Ｃのばらつきによる磁束密度のばらつきを検出し
、隙間Ｂが目標値になるように電磁石２Ａの磁気力を制
御する。
【００１７】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、磁気支持装置間の寸法や磁気支持装置の性
状に起因する能力差により生ずる干渉を防止することが
できる。
ているので、磁気支持装置間の寸法や磁気支持装置の性
状に起因する能力差により生ずる干渉を防止することが
できる。
【図１】本発明の一実施例を示す斜視図。
【図２】磁気支持装置を示す側面図。
【図３】制御ブロック図。
【図４】本発明の別の実施例の磁気支持装置を示す側面
図。
図。
【図５】制御ブロック図。
Ａ、Ａ１・・・磁気支持装置
Ｂ・・・隙間
Ｃ・・・磁気力作用面間距離
１・・・搬送台
２、２Ａ・・・電磁力
４・・・コイル
５・・・浮上位置センサ
６・・・磁束密度検出部
１０・・・搬送路
２０、２０Ａ・・・制御回路
２５・・・インダクタンス検出回路
Claims (2)
- 【請求項１】 浮上体にすくなとも４個の磁気支持装
置を備え、該磁気支持装置に、浮上位置検出センサと、
磁気力作用面間距離の変化により生じる電磁石コイルの
インダクタンス変化を検出する検出回路と、該検出回路
及び前記検出センサからの信号に基づき前記磁気力作用
面間距離を検出し、制御力の調整、目標値の調整を行う
回路とを設けたことを特徴とする磁気浮上装置。 - 【請求項２】 浮上体に少なくとも４個の磁気支持装
置を備え、該磁気支持装置に、浮上位置検出センサと、
磁気力作用面間距離の変化により生じる磁束密度の変化
を検出する磁束密度検出部と、該検出部及び前記検出セ
ンサからの信号に基づき、前記磁気力作用面間距離を検
出し、制御力の調整、目標値の調整を行う回路とを設け
たことを特徴とする磁気浮上装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11317791A JPH04341424A (ja) | 1991-05-17 | 1991-05-17 | 磁気浮上装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11317791A JPH04341424A (ja) | 1991-05-17 | 1991-05-17 | 磁気浮上装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04341424A true JPH04341424A (ja) | 1992-11-27 |
Family
ID=14605509
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11317791A Pending JPH04341424A (ja) | 1991-05-17 | 1991-05-17 | 磁気浮上装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04341424A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001518598A (ja) * | 1997-09-26 | 2001-10-16 | テクニッシュ ウニヴェルシテイト デルフト | 磁気支持システム |
| KR100572367B1 (ko) * | 2003-10-09 | 2006-04-19 | 이상헌 | 평면 위치결정기구 |
| JP2010268532A (ja) * | 2009-05-12 | 2010-11-25 | Railway Technical Res Inst | 永久磁石移動子を有する非接触給電装置 |
| US20140055905A1 (en) * | 2012-08-23 | 2014-02-27 | Amber Kinetics, Inc. | Apparatus and method for magnetically unloading a rotor bearing |
-
1991
- 1991-05-17 JP JP11317791A patent/JPH04341424A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001518598A (ja) * | 1997-09-26 | 2001-10-16 | テクニッシュ ウニヴェルシテイト デルフト | 磁気支持システム |
| KR100572367B1 (ko) * | 2003-10-09 | 2006-04-19 | 이상헌 | 평면 위치결정기구 |
| JP2010268532A (ja) * | 2009-05-12 | 2010-11-25 | Railway Technical Res Inst | 永久磁石移動子を有する非接触給電装置 |
| US20140055905A1 (en) * | 2012-08-23 | 2014-02-27 | Amber Kinetics, Inc. | Apparatus and method for magnetically unloading a rotor bearing |
| US9892839B2 (en) * | 2012-08-23 | 2018-02-13 | Amber Kinetics, Inc. | Apparatus and method for magnetically unloading a rotor bearing |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN100560463C (zh) | 磁性单元和升降机导引设备 | |
| EP0767320B1 (en) | Vibration damping apparatus | |
| US6066998A (en) | Magnetic actuator with long travel in one direction | |
| US9574953B2 (en) | Magnetic force sensor | |
| US5980193A (en) | Magnetically levitated robot and method of increasing levitation force | |
| JPH0993723A (ja) | リニアモータ利用の搬送設備 | |
| JPH04341424A (ja) | 磁気浮上装置 | |
| JPH0340566B2 (ja) | ||
| JP3972529B2 (ja) | 鋼板の制振装置 | |
| JPH0674297A (ja) | 電磁アクチュエータ | |
| EP1701050A1 (en) | Power amplification device and magnetic bearing | |
| JP2002039178A (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JPH07123321B2 (ja) | 吸引式磁気浮上案内装置 | |
| JP2985313B2 (ja) | ギャップ制御装置 | |
| JP2522743Y2 (ja) | 鋼板の振動抑制位置制御装置 | |
| JPH0686576A (ja) | 電磁アクチュエータ | |
| JPH0345106A (ja) | 磁気浮上式搬送装置 | |
| JPH0753040A (ja) | 搬送装置 | |
| TW558530B (en) | Magnetic levitation system of carrier | |
| JP2542139B2 (ja) | 電磁式ブレ―キ装置 | |
| JPH0847112A (ja) | 浮上式搬送装置 | |
| JPH01318965A (ja) | 加速度計 | |
| JPH0464362B2 (ja) | ||
| JPH0642582A (ja) | 除振装置 | |
| JPH06288429A (ja) | 除振装置 |