JPH04340281A - 圧電バイモルフ変位素子 - Google Patents
圧電バイモルフ変位素子Info
- Publication number
- JPH04340281A JPH04340281A JP3140864A JP14086491A JPH04340281A JP H04340281 A JPH04340281 A JP H04340281A JP 3140864 A JP3140864 A JP 3140864A JP 14086491 A JP14086491 A JP 14086491A JP H04340281 A JPH04340281 A JP H04340281A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- piezoelectric
- displacement element
- plate
- piezoelectric plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 52
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims abstract description 31
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 229910003781 PbTiO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- HTUMBQDCCIXGCV-UHFFFAOYSA-N lead oxide Chemical compound [O-2].[Pb+2] HTUMBQDCCIXGCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N lead(II) oxide Inorganic materials [Pb]=O YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000028161 membrane depolarization Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、パラレル型の圧電バイ
モルフ変位素子に関する。更に詳しくは圧電セラミック
板を用いた圧電バイモルフ変位素子に関するものである
。
モルフ変位素子に関する。更に詳しくは圧電セラミック
板を用いた圧電バイモルフ変位素子に関するものである
。
【０００２】
【従来の技術】図３に示すように、この種の圧電バイモ
ルフ変位素子９は両面に電極１１ａ及び１１ｂを有し厚
さ方向に分極処理された圧電板１１と、両面に電極１２
ａ及び１２ｂを有し厚さ方向に分極処理された圧電板１
２とをそれぞれの分極方向が同一方向になるように導電
板１３の両面に貼り合せて形成され、貼り合せた２枚の
圧電板１１，１２の一対の外面電極１１ａ，１２ｂと導
電板１３との間に電圧を印加するように構成される。図
の圧電板内部の破線矢印は分極方向、実線矢印は電圧印
加方向をそれぞれ示す。外面電極１１ａ，１２ｂと導電
板１３との間に直流電圧を印加すると、一方の圧電板１
２には分極方向と逆方向の電圧がかかって圧電板１２は
長さ方向に伸び、また他方の圧電板１１には分極方向と
同一方向の電圧がかかって圧電板１１は長さ方向に縮み
、圧電バイモルフ変位素子９はこれらの伸縮作用に起因
して実線で示す状態から破線で示す状態に機械的変位δ
を生じる。
ルフ変位素子９は両面に電極１１ａ及び１１ｂを有し厚
さ方向に分極処理された圧電板１１と、両面に電極１２
ａ及び１２ｂを有し厚さ方向に分極処理された圧電板１
２とをそれぞれの分極方向が同一方向になるように導電
板１３の両面に貼り合せて形成され、貼り合せた２枚の
圧電板１１，１２の一対の外面電極１１ａ，１２ｂと導
電板１３との間に電圧を印加するように構成される。図
の圧電板内部の破線矢印は分極方向、実線矢印は電圧印
加方向をそれぞれ示す。外面電極１１ａ，１２ｂと導電
板１３との間に直流電圧を印加すると、一方の圧電板１
２には分極方向と逆方向の電圧がかかって圧電板１２は
長さ方向に伸び、また他方の圧電板１１には分極方向と
同一方向の電圧がかかって圧電板１１は長さ方向に縮み
、圧電バイモルフ変位素子９はこれらの伸縮作用に起因
して実線で示す状態から破線で示す状態に機械的変位δ
を生じる。
【０００３】上記圧電板１２のように分極方向と逆方向
の電圧がかかる圧電セラミック板では、自発分極が向き
直る、いわゆる抗電圧（ｃｏｅｒｃｉｖｅ ｖｏｌｔａ
ｇｅ）を超えた電圧が印加されると、又は抗電圧以下で
あっても抗電圧に近い電圧が長時間印加されると、脱分
極状態になったり、逆方向に分極された分極反転現象が
生じて、圧電板１２が長さ方向に伸びなくなるか、逆に
縮むようになり、この結果、圧電バイモルフ変位素子と
しては変位量が小さくなるか、ほとんど変位しなくなる
恐れがあった。従来、この点を解決するために、分極方
向と逆方向の電圧が印加される圧電板の板厚を分極方向
と同一方向の電圧が印加される圧電板の板厚より大きく
したり、或いは分極方向と逆方向の電圧が印加される圧
電板の抗電圧を分極方向と同一方向の電圧が印加される
圧電板の抗電圧より大きくなるように、圧電セラミック
板の材料組成を変えている（例えば特開昭５９−６３７
８２）。
の電圧がかかる圧電セラミック板では、自発分極が向き
直る、いわゆる抗電圧（ｃｏｅｒｃｉｖｅ ｖｏｌｔａ
ｇｅ）を超えた電圧が印加されると、又は抗電圧以下で
あっても抗電圧に近い電圧が長時間印加されると、脱分
極状態になったり、逆方向に分極された分極反転現象が
生じて、圧電板１２が長さ方向に伸びなくなるか、逆に
縮むようになり、この結果、圧電バイモルフ変位素子と
しては変位量が小さくなるか、ほとんど変位しなくなる
恐れがあった。従来、この点を解決するために、分極方
向と逆方向の電圧が印加される圧電板の板厚を分極方向
と同一方向の電圧が印加される圧電板の板厚より大きく
したり、或いは分極方向と逆方向の電圧が印加される圧
電板の抗電圧を分極方向と同一方向の電圧が印加される
圧電板の抗電圧より大きくなるように、圧電セラミック
板の材料組成を変えている（例えば特開昭５９−６３７
８２）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、２枚の圧電板
の厚みや材料組成を変えた圧電バイモルフ変位素子は、
２種類の圧電板を製造しなければならず、製造条件が複
雑化し、製造コストを押上げる問題点があった。また２
枚の圧電板の板厚を変えた圧電バイモルフ変位素子は板
厚を変えないものと比べて同じ電圧を印加した場合に変
位量が小さくなる不具合もあった。本発明の目的は、分
極方向と逆方向の電圧がかかる一方の圧電板に抗電圧を
超えた電圧、又は抗電圧に近い電圧を印加しても、この
圧電板の分極反転現象を防止して機械的変位に劣化のな
い、信頼性の高い圧電バイモルフ変位素子を提供するこ
とにある。本発明の別の目的は、２枚の圧電板を同一の
条件で製造できるため、低コストで製造し得る圧電バイ
モルフ変位素子を提供することにある。
の厚みや材料組成を変えた圧電バイモルフ変位素子は、
２種類の圧電板を製造しなければならず、製造条件が複
雑化し、製造コストを押上げる問題点があった。また２
枚の圧電板の板厚を変えた圧電バイモルフ変位素子は板
厚を変えないものと比べて同じ電圧を印加した場合に変
位量が小さくなる不具合もあった。本発明の目的は、分
極方向と逆方向の電圧がかかる一方の圧電板に抗電圧を
超えた電圧、又は抗電圧に近い電圧を印加しても、この
圧電板の分極反転現象を防止して機械的変位に劣化のな
い、信頼性の高い圧電バイモルフ変位素子を提供するこ
とにある。本発明の別の目的は、２枚の圧電板を同一の
条件で製造できるため、低コストで製造し得る圧電バイ
モルフ変位素子を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、図１に示すように本発明は、両面に電極１１ａ及び
１１ｂを有し厚さ方向に分極処理された圧電板１１と、
両面に電極１２ａ及び１２ｂを有し厚さ方向に分極処理
された圧電板１２とをそれぞれの分極方向が同一方向に
なるように導電板１３の両面に貼り合せて形成され、こ
れらの貼り合せた２枚の圧電板１１，１２の一対の外面
電極１１ａ，１２ｂと導電板１３との間に電圧が印加さ
れる圧電バイモルフ変位素子１０の改良である。その特
徴ある構成は、貼り合せた２枚の圧電板１１，１２のう
ち分極方向と逆方向の電圧が印加される一方の圧電板１
２の外面電極１２ｂと導電体１３との間にこの圧電板１
２に並列にこの圧電板１２の抗電圧より低い電圧で降伏
するツェナーダイオード１４が接続されたことにある。 このツェナーダイオード１４は圧電板１２の抗電圧より
１０〜５０％低いツェナー電圧を有することが好ましい
。ツェナー電圧が抗電圧に近すぎるとツェナーダイオー
ドを設けた意味がなくなり、抗電圧に比べてあまりに低
いツェナー電圧では大きな変位量が得られなくなる。 また、ツェナーダイオード１４を保護するために一方の
圧電板１２とツェナーダイオード１４からなる並列回路
に直列に抵抗１５を接続することもできる。圧電板の材
料としては、ジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）や、Ｐｂ
ＺｒＯ３とＰｂＴｉＯ３の他に更に第３番目のペロブス
カイト構造化合物を加えたもの、その他圧電セラミック
材料が用いられる。
に、図１に示すように本発明は、両面に電極１１ａ及び
１１ｂを有し厚さ方向に分極処理された圧電板１１と、
両面に電極１２ａ及び１２ｂを有し厚さ方向に分極処理
された圧電板１２とをそれぞれの分極方向が同一方向に
なるように導電板１３の両面に貼り合せて形成され、こ
れらの貼り合せた２枚の圧電板１１，１２の一対の外面
電極１１ａ，１２ｂと導電板１３との間に電圧が印加さ
れる圧電バイモルフ変位素子１０の改良である。その特
徴ある構成は、貼り合せた２枚の圧電板１１，１２のう
ち分極方向と逆方向の電圧が印加される一方の圧電板１
２の外面電極１２ｂと導電体１３との間にこの圧電板１
２に並列にこの圧電板１２の抗電圧より低い電圧で降伏
するツェナーダイオード１４が接続されたことにある。 このツェナーダイオード１４は圧電板１２の抗電圧より
１０〜５０％低いツェナー電圧を有することが好ましい
。ツェナー電圧が抗電圧に近すぎるとツェナーダイオー
ドを設けた意味がなくなり、抗電圧に比べてあまりに低
いツェナー電圧では大きな変位量が得られなくなる。 また、ツェナーダイオード１４を保護するために一方の
圧電板１２とツェナーダイオード１４からなる並列回路
に直列に抵抗１５を接続することもできる。圧電板の材
料としては、ジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）や、Ｐｂ
ＺｒＯ３とＰｂＴｉＯ３の他に更に第３番目のペロブス
カイト構造化合物を加えたもの、その他圧電セラミック
材料が用いられる。
【０００６】
【作用】分極方向と逆方向の電圧がかかる圧電板１２に
抗電圧を超えた直流電圧が印加されると、この直流電圧
はツェナーダイオード１４のツェナー電圧を上回るため
、ツェナーダイオード１４に電流が流れ、かつ圧電板１
２には抗電圧より低いツェナー電圧に相応する一定の電
圧が印加される。
抗電圧を超えた直流電圧が印加されると、この直流電圧
はツェナーダイオード１４のツェナー電圧を上回るため
、ツェナーダイオード１４に電流が流れ、かつ圧電板１
２には抗電圧より低いツェナー電圧に相応する一定の電
圧が印加される。
【０００７】
【実施例】次に、本発明の実施例を図面に基づいて比較
例とともに詳しく説明する。 ＜実施例＞図１に示すように、１１及び１２はそれぞれ
ジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）からなる長さ３０ｍｍ
、幅１０ｍｍ、厚さ０．２ｍｍの圧電板である。これら
の圧電板１１，１２は次の方法により製造した。先ず所
定量のＰｂＯ、ＺｒＯ２、ＴｉＯ２を均一に混合し仮焼
した後、微粉砕し、有機溶剤、バインダ等を加えてスラ
リーにし、ドクターブレード法によりこのスラリーをグ
リーンシートに成形し、これを焼成した。次いで焼結セ
ラミックシート１１ｃ，１２ｃの両面にそれぞれ銀ペー
ストを塗布した後、焼成し、厚みが１０〜２０μｍの焼
付け電極１１ａ，１１ｂ及び焼付け電極１２ａ，１２ｂ
をそれぞれ形成した。次に焼付け電極を形成したシート
１１ｃ，１２ｃを約１００℃のシリコーン油中に浸漬し
、そこで２．５ｋＶ／ｍｍの直流電圧を３０分間印加し
て分極処理することにより圧電板１１，１２を得た。 これらの圧電板１１，１２の抗電圧Ｖｃはそれぞれ１０
０Ｖであった。
例とともに詳しく説明する。 ＜実施例＞図１に示すように、１１及び１２はそれぞれ
ジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）からなる長さ３０ｍｍ
、幅１０ｍｍ、厚さ０．２ｍｍの圧電板である。これら
の圧電板１１，１２は次の方法により製造した。先ず所
定量のＰｂＯ、ＺｒＯ２、ＴｉＯ２を均一に混合し仮焼
した後、微粉砕し、有機溶剤、バインダ等を加えてスラ
リーにし、ドクターブレード法によりこのスラリーをグ
リーンシートに成形し、これを焼成した。次いで焼結セ
ラミックシート１１ｃ，１２ｃの両面にそれぞれ銀ペー
ストを塗布した後、焼成し、厚みが１０〜２０μｍの焼
付け電極１１ａ，１１ｂ及び焼付け電極１２ａ，１２ｂ
をそれぞれ形成した。次に焼付け電極を形成したシート
１１ｃ，１２ｃを約１００℃のシリコーン油中に浸漬し
、そこで２．５ｋＶ／ｍｍの直流電圧を３０分間印加し
て分極処理することにより圧電板１１，１２を得た。 これらの圧電板１１，１２の抗電圧Ｖｃはそれぞれ１０
０Ｖであった。
【０００８】２枚の圧電板１１，１２をそれぞれの分極
方向が同一になるようにしてＳＵＳ３０４からなる厚さ
０．１μｍの導電板の両面に接着剤を用いて加圧接着し
て一体化される。貼り合せた２枚の圧電板１１，１２の
一対の外面電極１１ａ，１２ｂと導電板１３とに直流電
源１６が接続され、駆動回路が形成される。分極方向と
逆方向の電圧が印加される一方の圧電板１２の外面電極
１２ｂと導電体１３との間にこの圧電板１２に並列にツ
ェナーダイオード１４が接続され、圧電板１２とツェナ
ーダイオード１４からなる並列回路には直列に８０Ωの
抵抗１５が接続されて圧電バイモルフ変位素子１０が作
製される。この例ではツェナーダイオード１４は圧電板
１２の抗電圧Ｖｃより低いツェナー電圧８０Ｖを有する
。
方向が同一になるようにしてＳＵＳ３０４からなる厚さ
０．１μｍの導電板の両面に接着剤を用いて加圧接着し
て一体化される。貼り合せた２枚の圧電板１１，１２の
一対の外面電極１１ａ，１２ｂと導電板１３とに直流電
源１６が接続され、駆動回路が形成される。分極方向と
逆方向の電圧が印加される一方の圧電板１２の外面電極
１２ｂと導電体１３との間にこの圧電板１２に並列にツ
ェナーダイオード１４が接続され、圧電板１２とツェナ
ーダイオード１４からなる並列回路には直列に８０Ωの
抵抗１５が接続されて圧電バイモルフ変位素子１０が作
製される。この例ではツェナーダイオード１４は圧電板
１２の抗電圧Ｖｃより低いツェナー電圧８０Ｖを有する
。
【０００９】＜比較例＞ツェナーダイオード１４及び抵
抗１５を接続しない以外は実施例と同様にして図３に示
すような圧電バイモルフ変位素子９を作製した。
抗１５を接続しない以外は実施例と同様にして図３に示
すような圧電バイモルフ変位素子９を作製した。
【００１０】＜試験方法と結果＞実施例及び比較例の圧
電バイモルフ変位素子の駆動電圧に対する変位量を電源
１６の電圧を０Ｖから２００Ｖまで変化させながら変位
計により測定した。その結果を図２に示す。図２から明
らかなように、駆動電圧が０Ｖから抗電圧Ｖｃに相当す
る１００Ｖまでは比較例の圧電バイモルフ変位素子９の
圧電板１２は長さ方向に伸び、またこれらの圧電板１１
は長さ方向に縮み、これらの伸縮作用に起因して実線で
示す状態から破線で示す状態に機械的変位δを生じる。 駆動電圧が抗電圧Ｖｃに相当する１００Ｖを超えると、
比較例の圧電バイモルフ変位素子９の変位量δは０．７
５ｍｍから０．２ｍｍ未満に急激に低下し、更に電圧を
上げて抗電圧Ｖｃの２倍の２００Ｖに昇圧したところ変
位量δは０ｍｍになった。これは分極方向と逆方向に電
圧が印加される圧電板１２のセラミックシート１２ｃに
１００Ｖで脱分極状態が起き始め、更に電圧を上げるこ
とにより分極方向が反転したためと考えられる。この変
位素子９は圧電板１２を再度分極処理する以外に変位素
子としての機能を回復することができない。これに対し
て実施例の圧電バイモルフ変位素子１０はツェナー電圧
に相当する８０Ｖで圧電板１２の伸び量がほぼ一定にな
るため変位勾配が緩やかになるものの、圧電板１１の縮
み量が電圧に相応して増大するため、変位素子として２
００Ｖまで電圧に比例して変位量δは安定して変化した
。
電バイモルフ変位素子の駆動電圧に対する変位量を電源
１６の電圧を０Ｖから２００Ｖまで変化させながら変位
計により測定した。その結果を図２に示す。図２から明
らかなように、駆動電圧が０Ｖから抗電圧Ｖｃに相当す
る１００Ｖまでは比較例の圧電バイモルフ変位素子９の
圧電板１２は長さ方向に伸び、またこれらの圧電板１１
は長さ方向に縮み、これらの伸縮作用に起因して実線で
示す状態から破線で示す状態に機械的変位δを生じる。 駆動電圧が抗電圧Ｖｃに相当する１００Ｖを超えると、
比較例の圧電バイモルフ変位素子９の変位量δは０．７
５ｍｍから０．２ｍｍ未満に急激に低下し、更に電圧を
上げて抗電圧Ｖｃの２倍の２００Ｖに昇圧したところ変
位量δは０ｍｍになった。これは分極方向と逆方向に電
圧が印加される圧電板１２のセラミックシート１２ｃに
１００Ｖで脱分極状態が起き始め、更に電圧を上げるこ
とにより分極方向が反転したためと考えられる。この変
位素子９は圧電板１２を再度分極処理する以外に変位素
子としての機能を回復することができない。これに対し
て実施例の圧電バイモルフ変位素子１０はツェナー電圧
に相当する８０Ｖで圧電板１２の伸び量がほぼ一定にな
るため変位勾配が緩やかになるものの、圧電板１１の縮
み量が電圧に相応して増大するため、変位素子として２
００Ｖまで電圧に比例して変位量δは安定して変化した
。
【００１１】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば分極
方向と逆方向の電圧が印加される一方の圧電板に並列に
この圧電板の抗電圧より低い電圧で降伏するツェナーダ
イオード１４を接続することにより、圧電板の抗電圧以
上の高い電圧で駆動しても脱分極状態や分極反転現象を
起こすことなく、機械的変位に劣化のない、信頼性の高
い圧電バイモルフ変位素子が得られる。特に、従来の圧
電バイモルフ変位素子と異なり、２枚の圧電板を同一の
条件で製造できるため、低コストで製造することができ
る利点もある。
方向と逆方向の電圧が印加される一方の圧電板に並列に
この圧電板の抗電圧より低い電圧で降伏するツェナーダ
イオード１４を接続することにより、圧電板の抗電圧以
上の高い電圧で駆動しても脱分極状態や分極反転現象を
起こすことなく、機械的変位に劣化のない、信頼性の高
い圧電バイモルフ変位素子が得られる。特に、従来の圧
電バイモルフ変位素子と異なり、２枚の圧電板を同一の
条件で製造できるため、低コストで製造することができ
る利点もある。
【図１】本発明の圧電バイモルフ変位素子の構成図。
【図２】実施例と比較例の駆動電圧に対する変位量の関
係を示す変位特性図。
係を示す変位特性図。
【図３】従来例圧電バイモルフ変位素子の構成図。
１０ 圧電バイモルフ変位素子
１１，１２ 圧電板
１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ 電極１３ 導電
板 １４ ツェナーダイオード １５ 抵抗 １６ 直流電源
板 １４ ツェナーダイオード １５ 抵抗 １６ 直流電源
Claims (3)
- 【請求項１】 両面に電極（１１ａ及び１１ｂ，１２
ａ及び１２ｂ）を有し厚さ方向に分極処理された２枚の
圧電板（１１，１２）をそれぞれの分極方向が同一方向
になるように導電板（１３）の両面に貼り合せて形成さ
れ、前記貼り合せた２枚の圧電板（１１，１２）の一対
の外面電極（１１ａ，１２ｂ）と前記導電板（１３）と
の間に電圧が印加される圧電バイモルフ変位素子（１０
）において、前記貼り合せた２枚の圧電板（１１，１２
）のうち分極方向と逆方向の電圧が印加される一方の圧
電板（１２）の外面電極（１２ｂ）と前記導電体（１３
）との間にこの圧電板（１２）に並列にこの圧電板（１
２）の抗電圧より低い電圧で降伏するツェナーダイオー
ド（１４）が接続されたことを特徴とする圧電バイモル
フ変位素子。 - 【請求項２】 ツェナーダイオード（１４）は一方の
圧電板（１２）の抗電圧より１０〜５０％低いツェナー
電圧を有する請求項１記載の圧電バイモルフ変位素子。 - 【請求項３】 一方の圧電板（１２）とツェナーダイ
オード（１４）からなる並列回路に直列に抵抗（１５）
が接続された請求項１記載の圧電バイモルフ変位素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3140864A JPH04340281A (ja) | 1991-05-16 | 1991-05-16 | 圧電バイモルフ変位素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3140864A JPH04340281A (ja) | 1991-05-16 | 1991-05-16 | 圧電バイモルフ変位素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04340281A true JPH04340281A (ja) | 1992-11-26 |
Family
ID=15278523
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3140864A Withdrawn JPH04340281A (ja) | 1991-05-16 | 1991-05-16 | 圧電バイモルフ変位素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04340281A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6777248B1 (en) * | 1997-11-10 | 2004-08-17 | Hitachi, Ltd. | Dielectric element and manufacturing method therefor |
-
1991
- 1991-05-16 JP JP3140864A patent/JPH04340281A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6777248B1 (en) * | 1997-11-10 | 2004-08-17 | Hitachi, Ltd. | Dielectric element and manufacturing method therefor |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3185226B2 (ja) | 圧電バイモルフ素子の駆動方法及び圧電バイモルフ素子 | |
| Takahashi et al. | Internal electrode piezoelectric ceramic actuator | |
| US20060049715A1 (en) | Method and appartus for driving electro-mechanical transducer | |
| JP4676286B2 (ja) | 単板型圧電バイモルフ素子の製造方法 | |
| TW202014867A (zh) | 感測膜及其製備方法、電子裝置 | |
| WO2012105187A1 (ja) | 静電容量変化型発電素子 | |
| WO2021256370A1 (ja) | 駆動方法、駆動回路及び変位駆動装置 | |
| JPH04340281A (ja) | 圧電バイモルフ変位素子 | |
| JPS5963783A (ja) | 圧電バイモルフ | |
| JP5844741B2 (ja) | 静電誘導型機械電気変換素子 | |
| JPH02162782A (ja) | バイモルフ型変位素子の駆動方法 | |
| JPS5931078A (ja) | 圧電バイモルフ | |
| JP3106603B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JP2921310B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JPH04273184A (ja) | バイモルフ型変位素子 | |
| JPH0519504B2 (ja) | ||
| US20220416147A1 (en) | Piezoelectric element | |
| JPH0443684A (ja) | 積層バイモルフ型圧電素子 | |
| US9153768B2 (en) | Piezoelectric/electrostrictive ceramics composition and displacement generating device | |
| JPH0519506B2 (ja) | ||
| JP3079811B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JP2855709B2 (ja) | 積層圧電セラミックス素子の製造方法 | |
| JPS61191085A (ja) | 積層型圧電バイモルフ素子 | |
| JPH049390B2 (ja) | ||
| JP2020202338A (ja) | 圧電セラミックス |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980806 |