JPH04334823A - 絶縁部材 - Google Patents
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- JPH04334823A JPH04334823A JP10441291A JP10441291A JPH04334823A JP H04334823 A JPH04334823 A JP H04334823A JP 10441291 A JP10441291 A JP 10441291A JP 10441291 A JP10441291 A JP 10441291A JP H04334823 A JPH04334823 A JP H04334823A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、平角線およびテープ
状電線などのようなエッジ部を有する導体、ならびに金
属芯プリント配線基板などのような貫通孔によるエッジ
部を有する絶縁基板などの絶縁部材に関するものである
。
状電線などのようなエッジ部を有する導体、ならびに金
属芯プリント配線基板などのような貫通孔によるエッジ
部を有する絶縁基板などの絶縁部材に関するものである
。
【0002】
【従来の技術】図3は、従来の無機絶縁テープ状線材を
示す断面図である。図3を参照して、テープ状線材であ
る導体部11のまわりには、絶縁層12が設けられてい
る。この絶縁層12は、無機材料から形成されている。 高温環境下で使用する場合や、高温真空下で使用する場
合には、絶縁材料として有機材料を用いることができず
、このような無機材料を絶縁材料として用いることが必
要となる。特願昭62−67646号には、このような
絶縁層としてセラミックスを用いたものが開示されてい
る。
示す断面図である。図3を参照して、テープ状線材であ
る導体部11のまわりには、絶縁層12が設けられてい
る。この絶縁層12は、無機材料から形成されている。 高温環境下で使用する場合や、高温真空下で使用する場
合には、絶縁材料として有機材料を用いることができず
、このような無機材料を絶縁材料として用いることが必
要となる。特願昭62−67646号には、このような
絶縁層としてセラミックスを用いたものが開示されてい
る。
【0003】図4は、従来の金属芯プリント配線基板を
示す断面図である。また図5は同じく従来の金属芯プリ
ント配線基板を示す平面図である。図4および図5を参
照して、金属芯13の上には絶縁層14が形成されてい
る。絶縁層14の上には回路パターン15が形成されて
いる。このプリント配線基板には貫通孔18が形成され
ていおり、貫通孔18には1対のスペーサ16が両側か
ら挿入され、貫通孔18内が絶縁筒部17によって絶縁
されている。特開昭63−222498号公報に開示さ
れるように、金属芯の上に絶縁層をセラミックスで形成
した高耐熱性の金属芯プリント配線基板において、貫通
孔を絶縁する技術は重要である。貫通孔の内部をセラミ
ックスで均一な厚みで絶縁することが必要であり、図4
および図5に示すように、貫通孔18内の絶縁は、スペ
ーサ16によって行なわれている。
示す断面図である。また図5は同じく従来の金属芯プリ
ント配線基板を示す平面図である。図4および図5を参
照して、金属芯13の上には絶縁層14が形成されてい
る。絶縁層14の上には回路パターン15が形成されて
いる。このプリント配線基板には貫通孔18が形成され
ていおり、貫通孔18には1対のスペーサ16が両側か
ら挿入され、貫通孔18内が絶縁筒部17によって絶縁
されている。特開昭63−222498号公報に開示さ
れるように、金属芯の上に絶縁層をセラミックスで形成
した高耐熱性の金属芯プリント配線基板において、貫通
孔を絶縁する技術は重要である。貫通孔の内部をセラミ
ックスで均一な厚みで絶縁することが必要であり、図4
および図5に示すように、貫通孔18内の絶縁は、スペ
ーサ16によって行なわれている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図3に
示すようなテープ状導体において、セラミックス前駆体
を含む溶液を用い、この溶液中に浸漬したり、あるいは
この溶液をスプレーしたりして、導体部の表面に溶液を
塗布し、塗布後加熱分解してセラミックス皮膜を形成さ
せる方法では、エッジ部分での皮膜の厚みが薄くなった
り、あるいは逆に厚くなったりし、均一な厚みでセラミ
ックス皮膜を形成させることが困難であった。
示すようなテープ状導体において、セラミックス前駆体
を含む溶液を用い、この溶液中に浸漬したり、あるいは
この溶液をスプレーしたりして、導体部の表面に溶液を
塗布し、塗布後加熱分解してセラミックス皮膜を形成さ
せる方法では、エッジ部分での皮膜の厚みが薄くなった
り、あるいは逆に厚くなったりし、均一な厚みでセラミ
ックス皮膜を形成させることが困難であった。
【0005】また、この材料を用いて絶縁したプリント
配線基板においては、金属芯プリント配線基板の微細化
に伴い、貫通孔を絶縁するためのセラミックス製スペー
サを小型化する必要を生じるが、このような従来の構造
のものでは、ある程度以下に小型化することが困難であ
り、製作工程上も作業性が悪く、高いコストになるとい
う問題があった。また、セラミックス前駆体の溶液を用
いる方法を適用しようとしても、従来の塗布による方法
では、貫通孔の内部において溶液がたれたり、あるいは
貫通孔のエッジの部分で溶液の塗布の厚みが薄くなった
り、あるいは厚くなったりして、均一に被覆することが
できないという問題を生じる。
配線基板においては、金属芯プリント配線基板の微細化
に伴い、貫通孔を絶縁するためのセラミックス製スペー
サを小型化する必要を生じるが、このような従来の構造
のものでは、ある程度以下に小型化することが困難であ
り、製作工程上も作業性が悪く、高いコストになるとい
う問題があった。また、セラミックス前駆体の溶液を用
いる方法を適用しようとしても、従来の塗布による方法
では、貫通孔の内部において溶液がたれたり、あるいは
貫通孔のエッジの部分で溶液の塗布の厚みが薄くなった
り、あるいは厚くなったりして、均一に被覆することが
できないという問題を生じる。
【0006】この発明の目的は、このような従来の問題
点を解消し、エッジ部を有する基材の外表面に、無機絶
縁層を均一に設けることのできる絶縁部材を提供するこ
とにある。
点を解消し、エッジ部を有する基材の外表面に、無機絶
縁層を均一に設けることのできる絶縁部材を提供するこ
とにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明の絶縁部材は、
ゾルゲル法により調製された金属酸化物前駆体のゾルに
金属無機塩を添加し、この液中に基材を浸漬して、基材
を陰極として通電し、基材の外表面に金属酸化物前駆体
を付着させ、この付着物を加熱処理することによって、
無機絶縁層を形成することを特徴としている。
ゾルゲル法により調製された金属酸化物前駆体のゾルに
金属無機塩を添加し、この液中に基材を浸漬して、基材
を陰極として通電し、基材の外表面に金属酸化物前駆体
を付着させ、この付着物を加熱処理することによって、
無機絶縁層を形成することを特徴としている。
【0008】この発明において、基材は、導電性および
コストの観点から、ニッケルもしくはクロムめっきを施
した、銅もしくは銅合金、鉄もしくは鉄合金、またはニ
ッケルもしくはニッケル合金であることが好ましい。
コストの観点から、ニッケルもしくはクロムめっきを施
した、銅もしくは銅合金、鉄もしくは鉄合金、またはニ
ッケルもしくはニッケル合金であることが好ましい。
【0009】無機絶縁層の基材に対する付着性を向上さ
せるために、基材の表面には、電気めっき法により酸化
クロム含有層が被覆されていることが好ましい。
せるために、基材の表面には、電気めっき法により酸化
クロム含有層が被覆されていることが好ましい。
【0010】この発明においては、表面の平滑性向上お
よび絶縁性の向上のため、無機絶縁層の外表面に、さら
に第2の無機絶縁層を設けてもよい。この第2の無機絶
縁層としては、たとえば、加熱分解法によって形成する
絶縁層を用いてもよい。このような加熱分解法によって
形成する第2の無機絶縁層としては、有機金属ポリマー
、有機金属オリゴマーおよび有機金属モノマーのうちの
少なくとも1種を加熱分解して形成させることができる
。具体的には、金属アルコキシド、金属有機酸塩、ポリ
シラザン、ポリカルボシラン、およびポリボロシロキサ
ンなどが挙げられる。
よび絶縁性の向上のため、無機絶縁層の外表面に、さら
に第2の無機絶縁層を設けてもよい。この第2の無機絶
縁層としては、たとえば、加熱分解法によって形成する
絶縁層を用いてもよい。このような加熱分解法によって
形成する第2の無機絶縁層としては、有機金属ポリマー
、有機金属オリゴマーおよび有機金属モノマーのうちの
少なくとも1種を加熱分解して形成させることができる
。具体的には、金属アルコキシド、金属有機酸塩、ポリ
シラザン、ポリカルボシラン、およびポリボロシロキサ
ンなどが挙げられる。
【0011】有機金属ポリマー、有機金属オリゴマーお
よび有機金属モノマーは、ハンドリング性および塗布に
適した粘度に調整するために、適当な有機溶媒で希釈し
てもよい。
よび有機金属モノマーは、ハンドリング性および塗布に
適した粘度に調整するために、適当な有機溶媒で希釈し
てもよい。
【0012】第2の無機絶縁層としては、シリカ、アル
ミナ、ジルコニア、窒化けい素、炭化けい素、窒化アル
ミもしくはこれらの混合体または部分安定化ジルコニア
などを用いることができる。
ミナ、ジルコニア、窒化けい素、炭化けい素、窒化アル
ミもしくはこれらの混合体または部分安定化ジルコニア
などを用いることができる。
【0013】第2の無機絶縁層として、特に厚い皮膜と
したい場合には、セラミックス微粒子を第2の無機絶縁
層中に分散させてもよい。
したい場合には、セラミックス微粒子を第2の無機絶縁
層中に分散させてもよい。
【0014】
【発明の作用効果】この発明の絶縁部材では、無機絶縁
層として、ゾルゲル法により調製される金属酸化物前駆
体のゾルに金属の無機塩を添加し、この液中に基材を浸
漬し、基材を陰極として通電して、金属の外表面に金属
酸化物前駆体を付着させ、この付着物を加熱処理して形
成した無機絶縁層を用いている。通電させて、金属酸化
物前駆体微粒子を基材外表面に付着させているため、金
属酸化物前駆体の微粒子を電気泳動させ強制的に基材外
表面に付着させることができる。
層として、ゾルゲル法により調製される金属酸化物前駆
体のゾルに金属の無機塩を添加し、この液中に基材を浸
漬し、基材を陰極として通電して、金属の外表面に金属
酸化物前駆体を付着させ、この付着物を加熱処理して形
成した無機絶縁層を用いている。通電させて、金属酸化
物前駆体微粒子を基材外表面に付着させているため、金
属酸化物前駆体の微粒子を電気泳動させ強制的に基材外
表面に付着させることができる。
【0015】従来のスプレーまたは浸漬による塗布の方
法に比べると、付着させる微粒子の量を増加させること
ができ、かつ、付着量が基材の形状または場所に依存し
ない。従来の方法では、エッジの部分の付着の厚みが薄
くなる傾向があるが、この発明に従い電気泳動を利用し
て金属酸化物前駆体の微粒子を付着させれば、比較的付
着量の少ない場所に印加電圧が集中し、結果として、全
体に均一な厚みで付着させることができる。
法に比べると、付着させる微粒子の量を増加させること
ができ、かつ、付着量が基材の形状または場所に依存し
ない。従来の方法では、エッジの部分の付着の厚みが薄
くなる傾向があるが、この発明に従い電気泳動を利用し
て金属酸化物前駆体の微粒子を付着させれば、比較的付
着量の少ない場所に印加電圧が集中し、結果として、全
体に均一な厚みで付着させることができる。
【0016】この発明におけるゾルゲル法は、Jour
nal of Non−Crystalline
Solids.100(1988)526−530に
開示されているゾルゲル法と、以下の点で決定的に異な
る。
nal of Non−Crystalline
Solids.100(1988)526−530に
開示されているゾルゲル法と、以下の点で決定的に異な
る。
【0017】ゾルゲル法により所望の皮膜を得る場合、
ゾル液の塗布および焼成により形成される。この発明で
は、基材を陰極としてゾル粒子を陰極表面に電気泳動せ
しめると同時にゾル粒子の水酸基部分のプロトンを水素
ガスとして還元し陰極金属と結合させる。いわゆる、電
気泳動とめっきを兼ね備えている。
ゾル液の塗布および焼成により形成される。この発明で
は、基材を陰極としてゾル粒子を陰極表面に電気泳動せ
しめると同時にゾル粒子の水酸基部分のプロトンを水素
ガスとして還元し陰極金属と結合させる。いわゆる、電
気泳動とめっきを兼ね備えている。
【0018】この発明におけるゾルゲル法では、ゾルの
電気泳動効率を増加させるために金属の無機塩を添加し
ている。これにより電気泳動効率が上昇し、より低い印
加電圧および/またはより短い通電時間で、金属酸化物
の前駆体微粒子を導体に付着させることができる。その
結果、厚いセラミックスの皮膜を形成させることができ
る。
電気泳動効率を増加させるために金属の無機塩を添加し
ている。これにより電気泳動効率が上昇し、より低い印
加電圧および/またはより短い通電時間で、金属酸化物
の前駆体微粒子を導体に付着させることができる。その
結果、厚いセラミックスの皮膜を形成させることができ
る。
【0019】この金属の無機塩としては,アルミニウム
、マグネシウム、カリウム、およびジルコニウムの硝酸
塩、硫酸塩、塩化物および水酸化物からなる群から選択
される化合物の少なくとも1種を用いることができる。
、マグネシウム、カリウム、およびジルコニウムの硝酸
塩、硫酸塩、塩化物および水酸化物からなる群から選択
される化合物の少なくとも1種を用いることができる。
【0020】また、さらに無機絶縁層の厚みを大きくす
るためには、金属酸化物の前駆体ゾル中にセラミックス
の微粉末を混合してもよい。このようなセラミックス微
粉末としては、マイカ粉末、酸化けい素、窒化けい素、
炭化けい素、酸化アルミ、および窒化アルミからなる群
から選択される化合物の少なくとも1種を用いることが
できる。
るためには、金属酸化物の前駆体ゾル中にセラミックス
の微粉末を混合してもよい。このようなセラミックス微
粉末としては、マイカ粉末、酸化けい素、窒化けい素、
炭化けい素、酸化アルミ、および窒化アルミからなる群
から選択される化合物の少なくとも1種を用いることが
できる。
【0021】この発明において、絶縁部材のヒートサイ
クル等の耐熱性を向上させるためには、無機絶縁層と基
材との付着力を向上させることが好ましい。このような
付着力向上の目的で、基材の表面に、電気めっき法によ
り酸化クロム含有層を形成させてもよい。酸化クロム含
有層は、電気化学的方法によって形成することができる
。酸化クロム含有層を電気めっき法を用いて形成する場
合には、たとえば、クロム酸の水溶液に少量の有機酸を
添加したものを用いることができる。一般的に、クロム
めっきを行なう際に使用する電解浴としては、クロム酸
および硫酸を主体とするサージェント浴が知られている
が、この浴とは、以下の点において異なる。
クル等の耐熱性を向上させるためには、無機絶縁層と基
材との付着力を向上させることが好ましい。このような
付着力向上の目的で、基材の表面に、電気めっき法によ
り酸化クロム含有層を形成させてもよい。酸化クロム含
有層は、電気化学的方法によって形成することができる
。酸化クロム含有層を電気めっき法を用いて形成する場
合には、たとえば、クロム酸の水溶液に少量の有機酸を
添加したものを用いることができる。一般的に、クロム
めっきを行なう際に使用する電解浴としては、クロム酸
および硫酸を主体とするサージェント浴が知られている
が、この浴とは、以下の点において異なる。
【0022】すなわち、電解浴中に混合する鉱酸は、電
気めっきの際にめっき表面上に生成する、酸化クロムを
溶解する働きがある。このため、このようなサージェン
ト浴では、表面の酸化クロムが溶解され、光沢状の金属
クロム層がめっきされる。
気めっきの際にめっき表面上に生成する、酸化クロムを
溶解する働きがある。このため、このようなサージェン
ト浴では、表面の酸化クロムが溶解され、光沢状の金属
クロム層がめっきされる。
【0023】酸化クロム含有層を形成するためには、こ
のような酸化クロムを溶解せずに、酸化クロムを優先的
にメッキさせることが必要である。このため、ここでは
、鉱酸の代わりに、有機酸を用いている。
のような酸化クロムを溶解せずに、酸化クロムを優先的
にメッキさせることが必要である。このため、ここでは
、鉱酸の代わりに、有機酸を用いている。
【0024】酸化クロム含有層は、エッジ部分にも均一
に形成され、かつ無機絶縁層ともよく付着する。付着性
をより向上させるためには、酸化クロム含有層の表面が
粗れた面であり、ビロード状であることが好ましい。こ
のため、一般に行われる光沢めっきとは処理電流密度を
異ならせることが好ましい。光沢めっきでは、処理温度
にもよるが、10〜60A/dm2 の電流密度を使用
しているが、ここでは、100〜200A/dm2 の
電流密度を使用することが好ましい。
に形成され、かつ無機絶縁層ともよく付着する。付着性
をより向上させるためには、酸化クロム含有層の表面が
粗れた面であり、ビロード状であることが好ましい。こ
のため、一般に行われる光沢めっきとは処理電流密度を
異ならせることが好ましい。光沢めっきでは、処理温度
にもよるが、10〜60A/dm2 の電流密度を使用
しているが、ここでは、100〜200A/dm2 の
電流密度を使用することが好ましい。
【0025】基材の外表面に形成した無機絶縁層が、軽
微な凹凸を生じることがある。このような凹凸が問題と
なる用途では、このような無機絶縁層の外表面に、さら
に、第2の無機絶縁層を形成することが好ましい。この
ような第2の無機絶縁層は、たとえば、有機金属ポリマ
ー、有機金属オリゴマーおよび有機金属モノマーのうち
の少なくとも1種を加熱分解することにより形成させる
ことができる。
微な凹凸を生じることがある。このような凹凸が問題と
なる用途では、このような無機絶縁層の外表面に、さら
に、第2の無機絶縁層を形成することが好ましい。この
ような第2の無機絶縁層は、たとえば、有機金属ポリマ
ー、有機金属オリゴマーおよび有機金属モノマーのうち
の少なくとも1種を加熱分解することにより形成させる
ことができる。
【0026】このような有機金属ポリマー、有機金属オ
リゴマーおよび有機金属モノマーとしては、金属アルコ
キシド、金属有機酸塩、ポリシラザン、ポリカルボシラ
ン、およびポリボロシロキサンなどがある。
リゴマーおよび有機金属モノマーとしては、金属アルコ
キシド、金属有機酸塩、ポリシラザン、ポリカルボシラ
ン、およびポリボロシロキサンなどがある。
【0027】金属アルコキシドまたは金属有機酸塩の場
合には、加水分解反応および重縮合反応を行ない、ゾル
を調製して、塗布液として用いてもよい。この際に生成
する無機絶縁層は金属酸化物である。
合には、加水分解反応および重縮合反応を行ない、ゾル
を調製して、塗布液として用いてもよい。この際に生成
する無機絶縁層は金属酸化物である。
【0028】ポリシラザンを使用する場合には、加熱処
理を行なう雰囲気にもよるが、不活性雰囲気の場合は、
主として窒化けい素が得られ、酸化雰囲気の場合には酸
化けい素が主成分となる。
理を行なう雰囲気にもよるが、不活性雰囲気の場合は、
主として窒化けい素が得られ、酸化雰囲気の場合には酸
化けい素が主成分となる。
【0029】ポリカルボシランおよびポリボロシロキサ
ンの場合は、加熱処理を行なう雰囲気にもよるが、不活
性雰囲気の場合は、主として炭化けい素が得られ、酸化
雰囲気の場合には酸化けい素が主成分となる。
ンの場合は、加熱処理を行なう雰囲気にもよるが、不活
性雰囲気の場合は、主として炭化けい素が得られ、酸化
雰囲気の場合には酸化けい素が主成分となる。
【0030】このような第2の無機絶縁層は、金属アル
コキシド、金属有機酸塩、ポリシラザン、ポリカルボシ
ラン、およびポロシロキサンの混合物であってもよい。
コキシド、金属有機酸塩、ポリシラザン、ポリカルボシ
ラン、およびポロシロキサンの混合物であってもよい。
【0031】また、第2の無機絶縁層の厚みを大きくし
たい場合には、第2の無機絶縁層中に、シリカ、アルミ
ナ、ジルコニア、窒化けい素、炭化けい素、窒化アルミ
もしくはこれらの混合体または部分安定化ジルコニアの
微粒子を混合させることもできる。
たい場合には、第2の無機絶縁層中に、シリカ、アルミ
ナ、ジルコニア、窒化けい素、炭化けい素、窒化アルミ
もしくはこれらの混合体または部分安定化ジルコニアの
微粒子を混合させることもできる。
【0032】この発明の絶縁部材では、エッジ部も均一
な厚みで無機絶縁層を形成させることができる。このた
め、平角線材およびテープ状線材ならびに貫通孔を有す
るプリント配線基板などの絶縁部材に有効に用いること
ができる。
な厚みで無機絶縁層を形成させることができる。このた
め、平角線材およびテープ状線材ならびに貫通孔を有す
るプリント配線基板などの絶縁部材に有効に用いること
ができる。
【0033】
実施例1
(a) 基材の準備
厚さ1.0mm、幅5.0mmの平角銅線に電気めっき
によりクロムを1μm被覆した。
によりクロムを1μm被覆した。
【0034】(b) 金属酸化物層の形成ニッケルめ
っきを施した基材に金属酸化物層を以下のようにして形
成した。
っきを施した基材に金属酸化物層を以下のようにして形
成した。
【0035】テトラエチルオルトシリケイト4モル%、
水40モル%、エチルアルコール56モル%の混合溶液
に、硝酸をテトラエチルオルトシリケイトのモル数に対
して100分の1の量だけ滴下し、温度80℃において
2時間反応させたゾルを調製した。この溶液100ml
に対し硝酸アルミ6水和物を10mg室温で混合し、電
解液を調製した。次に、以上のようにして調製した電解
液中で、上述した基材を陰極として、60Vの直流電圧
を60秒印加した。その後、電解液中から取り出したと
ころ、ゲルとして20μm程度の白色の膜が生成してい
た。このゲルコーティングを行なった基材を、大気中1
50℃で10分間、さらに570℃で10分間加熱を行
なった。
水40モル%、エチルアルコール56モル%の混合溶液
に、硝酸をテトラエチルオルトシリケイトのモル数に対
して100分の1の量だけ滴下し、温度80℃において
2時間反応させたゾルを調製した。この溶液100ml
に対し硝酸アルミ6水和物を10mg室温で混合し、電
解液を調製した。次に、以上のようにして調製した電解
液中で、上述した基材を陰極として、60Vの直流電圧
を60秒印加した。その後、電解液中から取り出したと
ころ、ゲルとして20μm程度の白色の膜が生成してい
た。このゲルコーティングを行なった基材を、大気中1
50℃で10分間、さらに570℃で10分間加熱を行
なった。
【0036】得られた平角電線の断面を観察したところ
、シリコン−アルミナ複合膜がエッジ部にも均一に約1
5μm形成されていた。
、シリコン−アルミナ複合膜がエッジ部にも均一に約1
5μm形成されていた。
【0037】図1は、このようにして得られた平角電線
を示す断面図である。図1を参照して、平角銅線1のま
わりにはNiめっき層2が形成されており、Niめっき
層2のまわりに、シリカ−アルミナ複合層3がエッジ部
にも均一に形成されている。
を示す断面図である。図1を参照して、平角銅線1のま
わりにはNiめっき層2が形成されており、Niめっき
層2のまわりに、シリカ−アルミナ複合層3がエッジ部
にも均一に形成されている。
【0038】以上のようにして得られた平角電線の絶縁
破壊電圧を測定したところ、500Vであった。大気中
600℃で1時間加熱処理を行なっても、導体部および
絶縁皮膜には損傷は認められず、良好な耐酸化性を確認
した。
破壊電圧を測定したところ、500Vであった。大気中
600℃で1時間加熱処理を行なっても、導体部および
絶縁皮膜には損傷は認められず、良好な耐酸化性を確認
した。
【0039】実施例2
(a) 基材の準備
厚さ0.5mm、100×100mmの銅板に孔径0.
5mm、孔ピッチ1mmの加工を行なった。次に、電気
めっきにより、ニッケルを3μm被覆した。さらに、ニ
ッケルめっきの外表面に酸化クロム含有層を以下のよう
にして形成した。
5mm、孔ピッチ1mmの加工を行なった。次に、電気
めっきにより、ニッケルを3μm被覆した。さらに、ニ
ッケルめっきの外表面に酸化クロム含有層を以下のよう
にして形成した。
【0040】電気めっき液として、無水クロム酸200
g/l、氷酢酸6.5g/l、塩化ニッケル80g/l
、硝酸ナトリウム5g/lのものを用いた。めっき条件
は、導体を陰極として用い、浴温が40℃、電流密度が
100A/dm2 、処理時間が2分間であった。この
ようにして、外表面に酸化クロム含有層を約1μmの厚
みで形成した。
g/l、氷酢酸6.5g/l、塩化ニッケル80g/l
、硝酸ナトリウム5g/lのものを用いた。めっき条件
は、導体を陰極として用い、浴温が40℃、電流密度が
100A/dm2 、処理時間が2分間であった。この
ようにして、外表面に酸化クロム含有層を約1μmの厚
みで形成した。
【0041】(b) 金属酸化物層の形成テトラエチ
ルオルトシリケイト4モル%、水40モル%、エチルア
ルコール56モル%の混合溶液に、硝酸をテトラエチル
オルトシリケイトのモル数に対して100分の1の量だ
け滴下し、温度80℃において2時間反応させたゾルを
調製した。この溶液100mlに対し、硝酸アルミ6水
和物を3g、硝酸マグネシウム9水和物を2.5g、硝
酸カリウムを1g室温で混合し、さらに公称粒径14μ
mのマイカ粉末を5g混合し電解液を調製した。
ルオルトシリケイト4モル%、水40モル%、エチルア
ルコール56モル%の混合溶液に、硝酸をテトラエチル
オルトシリケイトのモル数に対して100分の1の量だ
け滴下し、温度80℃において2時間反応させたゾルを
調製した。この溶液100mlに対し、硝酸アルミ6水
和物を3g、硝酸マグネシウム9水和物を2.5g、硝
酸カリウムを1g室温で混合し、さらに公称粒径14μ
mのマイカ粉末を5g混合し電解液を調製した。
【0042】次に、以上のようにして調製した電解液中
で、上述した(a)の基材を陰極として、40Vの直流
電圧を30秒印加した。その後、電解液から取り出した
ところ、25μm程度の白色の膜が生成していた。
で、上述した(a)の基材を陰極として、40Vの直流
電圧を30秒印加した。その後、電解液から取り出した
ところ、25μm程度の白色の膜が生成していた。
【0043】このゲルコーティングを行なった基材を、
大気中150℃で10分間、さらに570℃で10分間
加熱することより、厚さ20μmのシリコン−アルミナ
−ポタジア−マイカ複合膜を形成した。この状態では、
マイカ粒子に起因すると判断される凹凸が絶縁基板表面
に観測された。
大気中150℃で10分間、さらに570℃で10分間
加熱することより、厚さ20μmのシリコン−アルミナ
−ポタジア−マイカ複合膜を形成した。この状態では、
マイカ粒子に起因すると判断される凹凸が絶縁基板表面
に観測された。
【0044】次に、ポリボロジフェニルシロキサン(S
iPh2 −O−BO2 )n をトルエンに溶解し、
40重量%溶液とした。上記の絶縁基板をこの塗布溶液
に浸漬し、1mm/分の引上げ速度で絶縁基板を引き上
げた。 このようにしてコーティング溶液が外表面に塗布された
絶縁基板を、窒素雰囲気下、温度500℃で10分間加
熱する工程を施した。
iPh2 −O−BO2 )n をトルエンに溶解し、
40重量%溶液とした。上記の絶縁基板をこの塗布溶液
に浸漬し、1mm/分の引上げ速度で絶縁基板を引き上
げた。 このようにしてコーティング溶液が外表面に塗布された
絶縁基板を、窒素雰囲気下、温度500℃で10分間加
熱する工程を施した。
【0045】得られた絶縁基板の断面を観察したところ
、炭化けい素を主成分とする無機絶縁層が孔中および板
表面部分に均一に約2μm形成されていた。
、炭化けい素を主成分とする無機絶縁層が孔中および板
表面部分に均一に約2μm形成されていた。
【0046】図2は、このようにして得られた絶縁基板
を示す断面図である。図2を参照して、銅板4のまわり
には、Niめっき層5が形成されており、Niめっき層
5のまわりに酸化クロム含有層6が形成されている。
を示す断面図である。図2を参照して、銅板4のまわり
には、Niめっき層5が形成されており、Niめっき層
5のまわりに酸化クロム含有層6が形成されている。
【0047】酸化クロム含有層6のまわりにはシリカ−
アルミナ−ポタジア−マイカ複合層7が均一な厚みで形
成されている。このシリカ−アルミナ−ポタジア−マイ
カ複合層7のまわりには炭化けい素層8が形成されてい
る。
アルミナ−ポタジア−マイカ複合層7が均一な厚みで形
成されている。このシリカ−アルミナ−ポタジア−マイ
カ複合層7のまわりには炭化けい素層8が形成されてい
る。
【0048】上記の絶縁基板の両面に銀ペーストを塗布
し、導体と銀ペースト間の絶縁破壊電圧を測定したとこ
ろ、600Vであり、また表面の凹凸も消失していた。
し、導体と銀ペースト間の絶縁破壊電圧を測定したとこ
ろ、600Vであり、また表面の凹凸も消失していた。
【図1】この発明の一実施例を示す断面図である。
【図2】この発明の他の実施例を示す断面図である。
【図3】従来の無機絶縁テープ状線材を示す断面図であ
る。
る。
【図4】従来の金属芯プリント配線基板を示す断面図で
ある。
ある。
【図5】従来の金属芯プリント配線基板を示す平面図で
ある。
ある。
1 平角銅線
2 Niメッキ層
3 シリカ−アルミナ複合層
4 銅板
5 Niめっき層
6 酸化クロム含有層
7 シリカ−アルミナ−ポタジア−マイカ複合層8
炭化けい素層
炭化けい素層
Claims (7)
- 【請求項1】 導電材料より形成され、エッジ部を有
する基材の外表面に無機絶縁層を設けた絶縁部材であっ
て、ゾルゲル法により調製される金属酸化物前駆体のゾ
ルに金属の無機塩を添加した液中に、前記基材を浸漬し
、前記基材を陰極として通電して、前記基材の外表面に
前記金属酸化物前駆体を付着させ、この付着物を加熱処
理することによって、前記無機絶縁層が形成されている
ことを特徴とする、絶縁部材。 - 【請求項2】 前記基材が、ニッケルもしくはクロム
めっきを施した、銅もしくは銅合金、鉄もしくは鉄合金
、またはニッケルもしくはニッケル合金である、請求項
1に記載の絶縁部材。 - 【請求項3】 前記基材には、電気めっき法により酸
化クロム含有層が被覆されている、請求項1に記載の絶
縁部材。 - 【請求項4】 前記無機絶縁層の外表面に、加熱分解
法によって形成する第2の無機絶縁層をさらに設ける、
請求項1に記載の絶縁部材。 - 【請求項5】 前記第2の無機絶縁層が有機金属ポリ
マー、有機金属オリゴマーおよび有機金属モノマーのう
ちの少なくとも1種の加熱分解法によって形成されたも
のである、請求項4に記載の絶縁部材。 - 【請求項6】 前記第2の無機絶縁層が、シリカ、ア
ルミナ、ジルコニア、窒化けい素、炭化けい素、窒化ア
ルミ、または部分安定化ジルコニアを含む、請求項4に
記載の絶縁部材。 - 【請求項7】 前記第2の無機絶縁層が、セラミック
ス微粒子を含む、請求項4に記載の絶縁部材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10441291A JPH04334823A (ja) | 1991-05-09 | 1991-05-09 | 絶縁部材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10441291A JPH04334823A (ja) | 1991-05-09 | 1991-05-09 | 絶縁部材 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04334823A true JPH04334823A (ja) | 1992-11-20 |
Family
ID=14379987
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10441291A Withdrawn JPH04334823A (ja) | 1991-05-09 | 1991-05-09 | 絶縁部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04334823A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012519643A (ja) * | 2009-03-03 | 2012-08-30 | アプライド ナノストラクチャード ソリューションズ リミテッド ライアビリティー カンパニー | その場cnt成長用繊維の表面処理及びバリア・コーティングのためのシステム及び方法 |
US8784937B2 (en) | 2010-09-14 | 2014-07-22 | Applied Nanostructured Solutions, Llc | Glass substrates having carbon nanotubes grown thereon and methods for production thereof |
US8815341B2 (en) | 2010-09-22 | 2014-08-26 | Applied Nanostructured Solutions, Llc | Carbon fiber substrates having carbon nanotubes grown thereon and processes for production thereof |
US8951632B2 (en) | 2007-01-03 | 2015-02-10 | Applied Nanostructured Solutions, Llc | CNT-infused carbon fiber materials and process therefor |
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