JPH03202475A - 無機絶縁物の製造方法 - Google Patents
無機絶縁物の製造方法Info
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- JPH03202475A JPH03202475A JP34139289A JP34139289A JPH03202475A JP H03202475 A JPH03202475 A JP H03202475A JP 34139289 A JP34139289 A JP 34139289A JP 34139289 A JP34139289 A JP 34139289A JP H03202475 A JPH03202475 A JP H03202475A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/02—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition
- C23C18/12—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material
- C23C18/1204—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material inorganic material, e.g. non-oxide and non-metallic such as sulfides, nitrides based compounds
-
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- C23C18/1225—Deposition of multilayers of inorganic material
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、耐熱性電線またはコイル、耐放射線性の原
子力関係の電線またはコイル、あるいは真空機器用電線
またはコイルなどの無機絶縁物の製造方法に関するもの
である。
子力関係の電線またはコイル、あるいは真空機器用電線
またはコイルなどの無機絶縁物の製造方法に関するもの
である。
[従来の技術および発明が解決しようとする課題]従来
の耐熱性電線等としては、M1ケーブル、ガラス編組線
、あるいはセラミックス筒を通した電線などがある。し
かしながら、これらはスペース的に不利であり、形状が
丸線に限定されやすいという欠点を有している。
の耐熱性電線等としては、M1ケーブル、ガラス編組線
、あるいはセラミックス筒を通した電線などがある。し
かしながら、これらはスペース的に不利であり、形状が
丸線に限定されやすいという欠点を有している。
また、有機材料を表面に被覆した耐熱有機線材があるが
、これらは300℃以上の温度に耐えることができず、
耐熱性に問題があり、さらにガスを放出するという問題
がある。
、これらは300℃以上の温度に耐えることができず、
耐熱性に問題があり、さらにガスを放出するという問題
がある。
また、耐熱性電線等として、ゾルゲル法により調製した
セラミックス前駆体を表面に塗布する方法や、日本板ガ
ラス法などがあるが、これらは厚膜化するのに時間がか
かるという問題がある。
セラミックス前駆体を表面に塗布する方法や、日本板ガ
ラス法などがあるが、これらは厚膜化するのに時間がか
かるという問題がある。
また樹脂とセラミック粒子を併用する方法や、溶射法や
、焼結法などがあるが、これらは表面に凹凸ができたり
、あるいは多孔性であったりするので、こすりに弱く、
作業性に劣ったり、あるいはガスを吸着、放出しやすい
という問題がある。
、焼結法などがあるが、これらは表面に凹凸ができたり
、あるいは多孔性であったりするので、こすりに弱く、
作業性に劣ったり、あるいはガスを吸着、放出しやすい
という問題がある。
したがって絶縁性や非ガス放出性などにおいて信頼性に
劣り、しかも可撓性に劣る。
劣り、しかも可撓性に劣る。
この発明の目的は、これらの従来の問題を解消し、工業
化が容易で、しかも作業性が改善され、絶縁性および非
ガス放出性の信頼性の向上した無機絶縁酸化物を製造す
る方法を提供することにある。
化が容易で、しかも作業性が改善され、絶縁性および非
ガス放出性の信頼性の向上した無機絶縁酸化物を製造す
る方法を提供することにある。
[課題を解決するための手段]
この発明は、導体表面に、多孔性および/または表面に
凹凸のあるセラミック皮膜を形成し、そのままもしくは
所望の形状に加工した後、前記セラミック皮膜上に、金
属アルコキシドまたは金属アシレートの1種もしくは2
種以上から調製されたセラミックス前駆体の溶液を、セ
ラミックス皮膜の多孔性の部分および/または表面の凹
凸部分を埋めるように含浸塗布した後、加熱して、セラ
ミックス前駆体の溶液を少なくとも部分的に絶縁性のセ
ラミック化することを特徴としている。
凹凸のあるセラミック皮膜を形成し、そのままもしくは
所望の形状に加工した後、前記セラミック皮膜上に、金
属アルコキシドまたは金属アシレートの1種もしくは2
種以上から調製されたセラミックス前駆体の溶液を、セ
ラミックス皮膜の多孔性の部分および/または表面の凹
凸部分を埋めるように含浸塗布した後、加熱して、セラ
ミックス前駆体の溶液を少なくとも部分的に絶縁性のセ
ラミック化することを特徴としている。
この発明において、表面に凹凸のあるセラミックス皮膜
とは、セラミックス皮膜の表面のRaが1μm以上であ
る状態をいう。
とは、セラミックス皮膜の表面のRaが1μm以上であ
る状態をいう。
この発明において、多孔性および/または表面に凹凸を
有するセラミックス皮膜は、たとえば溶射法、粒子焼結
法、または電析法などで形成することができる。
有するセラミックス皮膜は、たとえば溶射法、粒子焼結
法、または電析法などで形成することができる。
またセラミックス前駆体は、たとえば、511A鉦、Z
r、Ti、もしくはMgのアルコキシドまたはアシレー
トから形成させた前駆体がある。
r、Ti、もしくはMgのアルコキシドまたはアシレー
トから形成させた前駆体がある。
多孔性および/または表面に凹凸のあるセラミックス皮
膜を形成する導体としては、たとえば、耐熱性および耐
酸化性を有した金属で被覆したCUが好ましい。耐熱性
および耐酸化性を有した金属としては、たとえば、Ni
、Pt、およびステンレスなどがある。
膜を形成する導体としては、たとえば、耐熱性および耐
酸化性を有した金属で被覆したCUが好ましい。耐熱性
および耐酸化性を有した金属としては、たとえば、Ni
、Pt、およびステンレスなどがある。
また、導体は、陽極酸化可能な金属もしくはそのような
金属で被覆されたCuであることが好ましい。
金属で被覆されたCuであることが好ましい。
セラミックス皮膜の形成方法として例示した電析法とは
、たとえばAQ20sや5t02の場合、珪酸塩含有水
溶液中に、AQを浸漬し、これを陽極として、通電して
、火花放電させることによって、AQzOs膜や5i0
2膜を析出させる方法である。
、たとえばAQ20sや5t02の場合、珪酸塩含有水
溶液中に、AQを浸漬し、これを陽極として、通電して
、火花放電させることによって、AQzOs膜や5i0
2膜を析出させる方法である。
[作用]
この発明の製造方法では、多孔性および/または表面に
凹凸のあるセラミックス皮膜上に、金属アルコキシドま
たは金属アシレートのINもしくは2種以上から調製さ
れたセラミックス前駆体の溶液を、セラミックス皮膜の
多孔性の部分や表面の凹凸の部分を埋めるよう含浸塗布
している。このような塗布により、表面を平滑化し、従
来のこすれに弱く作業性に劣るという欠点を改善するこ
とができる。またガス放出性を改善することができる。
凹凸のあるセラミックス皮膜上に、金属アルコキシドま
たは金属アシレートのINもしくは2種以上から調製さ
れたセラミックス前駆体の溶液を、セラミックス皮膜の
多孔性の部分や表面の凹凸の部分を埋めるよう含浸塗布
している。このような塗布により、表面を平滑化し、従
来のこすれに弱く作業性に劣るという欠点を改善するこ
とができる。またガス放出性を改善することができる。
また、セラミックス前駆体塗布後の熱処理の際に条件を
選択することにより、セラミックス前駆体を部分的にセ
ラミックス化して、可撓性を有するゲル状態として皮膜
の一部を形成し、全体として可撓性を有する皮膜とする
ことができる。
選択することにより、セラミックス前駆体を部分的にセ
ラミックス化して、可撓性を有するゲル状態として皮膜
の一部を形成し、全体として可撓性を有する皮膜とする
ことができる。
[実施例]
実施f!fJ1
銅板(厚さ6mm、幅200mm)の表面に、プラズマ
溶射法により、端末部を除いて、A120、を厚さ約0
.5mmにコーティングした。このとき、皮膜表面はR
aが数μmの凹凸を有し、皮膜自身も多孔性であった。
溶射法により、端末部を除いて、A120、を厚さ約0
.5mmにコーティングした。このとき、皮膜表面はR
aが数μmの凹凸を有し、皮膜自身も多孔性であった。
この状態を第1図に断面図で示す。第1図において、1
は導体を示し、この実施例では銅板であり、2はセラミ
ックス皮膜を示し、この実施例ではAL20aコーティ
ング層である。
は導体を示し、この実施例では銅板であり、2はセラミ
ックス皮膜を示し、この実施例ではAL20aコーティ
ング層である。
次1こ、テトラエトキシシラン・1こエチルアルコ−ル
駆体としたものを、上述のようにしてAI1120aを
コーティングした銅板のセラミックス皮膜の多孔部に含
浸させるとともに、セラミックス皮膜の表面の凹凸を埋
めるように塗布し、600℃にて加熱処理した。この結
果、孔のおいていない表面の滑らかな絶縁物が得られた
。表面のRaは0。
駆体としたものを、上述のようにしてAI1120aを
コーティングした銅板のセラミックス皮膜の多孔部に含
浸させるとともに、セラミックス皮膜の表面の凹凸を埋
めるように塗布し、600℃にて加熱処理した。この結
果、孔のおいていない表面の滑らかな絶縁物が得られた
。表面のRaは0。
2μmであった。この無機絶縁物を第2図に断面図で示
す。第2図において、1は導体を示し、3はAQ20,
コーティング層にSi02を被覆した絶縁層を示してい
る。
す。第2図において、1は導体を示し、3はAQ20,
コーティング層にSi02を被覆した絶縁層を示してい
る。
得られた無機絶縁物をバスバーとして使用した結果、従
来のPVC被覆のものが100℃以下でしか使用できな
かったのに対し、300℃以上でも絶縁特性が良好で高
温雰囲気中や大電流用バスバーとして好適であることが
わかった。
来のPVC被覆のものが100℃以下でしか使用できな
かったのに対し、300℃以上でも絶縁特性が良好で高
温雰囲気中や大電流用バスバーとして好適であることが
わかった。
実施例2
線径1,Qmmのニッケルめっき銅線を60wt%の希
硫酸浴中、基材を陽極とし電流密度50A/dm2で約
30秒間電解研摩を行なった。その後、エチルアルコー
ル100ml,水100ml、イソプロピルアルコール
4ml、メチルエチルケトン3mlに硝酸アルミニウム
5gさらに平均粒径O、3μmのアルミナ粉末を混合し
たコロイド中に浸漬し、基材を陽極とし50Vを印加し
、アルミナ粉末の電着を行なった。
硫酸浴中、基材を陽極とし電流密度50A/dm2で約
30秒間電解研摩を行なった。その後、エチルアルコー
ル100ml,水100ml、イソプロピルアルコール
4ml、メチルエチルケトン3mlに硝酸アルミニウム
5gさらに平均粒径O、3μmのアルミナ粉末を混合し
たコロイド中に浸漬し、基材を陽極とし50Vを印加し
、アルミナ粉末の電着を行なった。
この結果、表面に凹凸の激しいアルミナ粉末被覆物がで
きた。この被覆物の断面図をm3図に示す。第3図にお
いて、4はCu線を示し、5はNiめっき層を示し、4
および5から導体が構成されている。また6は電着層を
示す。この電着層の表面のRaは2〜3μmであった。
きた。この被覆物の断面図をm3図に示す。第3図にお
いて、4はCu線を示し、5はNiめっき層を示し、4
および5から導体が構成されている。また6は電着層を
示す。この電着層の表面のRaは2〜3μmであった。
次に、トリブトキシアルミニウム5モル%、トリエタノ
ールアミン10モル%、水5モル%、イソプロピルアル
コール80モル%の混合溶液を温度50℃において、1
時間反応させた溶液に、このアルミナ粉末被覆物を浸漬
した後、焼成した。
ールアミン10モル%、水5モル%、イソプロピルアル
コール80モル%の混合溶液を温度50℃において、1
時間反応させた溶液に、このアルミナ粉末被覆物を浸漬
した後、焼成した。
焼成は大気中において温度500℃で行なわれた。
このようにして、表面の滑らかな(R a − 0。
1μm)の膜厚20μmのアルミナ粉末アルミナ含浸絶
縁層が形成された。
縁層が形成された。
この状態を、第4図に断面図で示す。第4図において、
7は電着層6の上にセラミックス前駆体を塗布し焼成し
た後に形成される絶縁層を示している。
7は電着層6の上にセラミックス前駆体を塗布し焼成し
た後に形成される絶縁層を示している。
実施例3
SUSクラッド鋼にA 11 2 0 3を溶射し、こ
れに、テトラブチルオルトシリケート:水:イソプチル
アルコール−8:32:60(モル比)を混合した溶液
に硝酸をテトラブチルオルトシリケートに対し、1.0
0分の3モルの割合で添加し、その後、温度80℃で2
時間、加熱してセラミックス前駆体の溶液を調製し、こ
のセラミックス前駆体の溶液を塗布しその後焼成した。
れに、テトラブチルオルトシリケート:水:イソプチル
アルコール−8:32:60(モル比)を混合した溶液
に硝酸をテトラブチルオルトシリケートに対し、1.0
0分の3モルの割合で添加し、その後、温度80℃で2
時間、加熱してセラミックス前駆体の溶液を調製し、こ
のセラミックス前駆体の溶液を塗布しその後焼成した。
このようにして得られたものをバスバー、および耐熱電
線として用いたところ良好な結果が得られた。
線として用いたところ良好な結果が得られた。
実施例4
Tiクラツド銅を陽極酸化して多孔質化し、実施例3と
同様のセラミックス前駆体の溶液を塗布し、これを焼成
した後、バスバーおよび耐熱電線として使用したところ
良好な結果が得られた。
同様のセラミックス前駆体の溶液を塗布し、これを焼成
した後、バスバーおよび耐熱電線として使用したところ
良好な結果が得られた。
実施例5
A(j/Ni/Cuクラッド線に電析法で多孔性Si0
2皮膜を設け、これに実施例3と同様のセラミックス前
駆体の溶液を塗布して焼成した後、バスバーおよび耐熱
電線として用いたところ、良好な結果が得られた。
2皮膜を設け、これに実施例3と同様のセラミックス前
駆体の溶液を塗布して焼成した後、バスバーおよび耐熱
電線として用いたところ、良好な結果が得られた。
実施例6
熱電対にAQ20Jを溶射し、これに実施例3と同様の
セラミックス前駆体の溶液を塗布し、これを焼成して、
熱電対として使用したところ良好な結果が得られた。
セラミックス前駆体の溶液を塗布し、これを焼成して、
熱電対として使用したところ良好な結果が得られた。
実施例7
実施例3〜実施例6でセラミックス前駆体の溶液を塗布
する基体として用いた導体を用い、トリブトキシアルミ
ニウム:トリエタノールアミン:水:イソブロビルアル
コール−5:10:5:80のモル比で混合した溶液を
温度50℃で1時間加熱撹拌して、セラミックス前駆体
の溶液とし、これを導体に塗布し、焼成して、バスバー
、耐熱1!線または熱電対として使用したところ良好な
結果が得られた。
する基体として用いた導体を用い、トリブトキシアルミ
ニウム:トリエタノールアミン:水:イソブロビルアル
コール−5:10:5:80のモル比で混合した溶液を
温度50℃で1時間加熱撹拌して、セラミックス前駆体
の溶液とし、これを導体に塗布し、焼成して、バスバー
、耐熱1!線または熱電対として使用したところ良好な
結果が得られた。
[発明の効果]
以上の結果から明らかなように、この発明の製造方法に
よれば、絶縁性および耐酸化性に優れた無機絶縁物を得
ることができる。
よれば、絶縁性および耐酸化性に優れた無機絶縁物を得
ることができる。
第1図は、この発明の一実施例において、セラミックス
前駆体の溶液を塗布する前の状態を示す断面図である。 第2図は、同じくこの発明の一実施例においてセラミッ
クス前駆体の溶液を塗布し焼成した後の状態を示す断面
図である。 第3図は、この発明の他の実施例においてセラミックス
前駆体の溶液を塗布する前の状態を示す断面図である。 第4図は、同じくこの発明の他の実施例において、セラ
ミックス前駆体の溶液を塗布し焼成した後の状態を示す
断面図である。 図において、1は導体、2はセラミック皮膜、3は絶縁
層、4はCu線、5はNiめっき層、6は電着層、7は
絶縁層を示す。
前駆体の溶液を塗布する前の状態を示す断面図である。 第2図は、同じくこの発明の一実施例においてセラミッ
クス前駆体の溶液を塗布し焼成した後の状態を示す断面
図である。 第3図は、この発明の他の実施例においてセラミックス
前駆体の溶液を塗布する前の状態を示す断面図である。 第4図は、同じくこの発明の他の実施例において、セラ
ミックス前駆体の溶液を塗布し焼成した後の状態を示す
断面図である。 図において、1は導体、2はセラミック皮膜、3は絶縁
層、4はCu線、5はNiめっき層、6は電着層、7は
絶縁層を示す。
Claims (5)
- (1)導体の表面に、多孔性および/または表面に凹凸
のあるセラミックス皮膜を形成し、そのままもしくは所
望の形状に加工した後、 前記セラミックス皮膜上に、金属アルコキシドもしくは
金属アシレートの1種もしくは2種以上から調製された
セラミックス前駆体の溶液を、前記セラミックス皮膜の
多孔性の部分および/または表面の凹凸の部分を埋める
よう含浸塗布した後、加熱して前記セラミックス前駆体
の溶液を少なくとも部分的に絶縁性のセラミックス化す
ることを特徴とする、無機絶縁物の製造方法。 - (2)多孔性および/または表面に凹凸を有する前記セ
ラミックス皮膜が、溶射法、粒子焼結法、または電析法
により形成されている、請求項1に記載の無機絶縁物の
製造方法。 - (3)前記セラミックス前駆体が、Si、Al、Zr、
TiもしくはMgのアルコキシドまたはアシレートから
形成されている、請求項1に記載の無機絶縁物の製造方
法。 - (4)前記導体が、耐熱性および耐酸化性を有した金属
で被覆したCuである、請求項1に記載の無機絶縁物の
製造方法。 - (5)前記導体が陽極酸化可能な金属または該金属で被
覆されたCuである、請求項1に記載の無機絶縁物の製
造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34139289A JPH03202475A (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | 無機絶縁物の製造方法 |
PCT/JP1990/001701 WO1991010239A1 (en) | 1989-12-28 | 1990-12-26 | Method of manufacturing inorganic insulator |
DE69033019T DE69033019T2 (de) | 1989-12-28 | 1990-12-26 | Anorganisches isolierungsherstellungsverfahren |
US07/743,429 US5296260A (en) | 1989-12-28 | 1990-12-26 | Method of manufacturing inorganic insulation |
EP91901537A EP0461267B1 (en) | 1989-12-28 | 1990-12-26 | Method of manufacturing inorganic insulator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34139289A JPH03202475A (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | 無機絶縁物の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03202475A true JPH03202475A (ja) | 1991-09-04 |
Family
ID=18345711
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34139289A Pending JPH03202475A (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | 無機絶縁物の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03202475A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006100168A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Totoku Electric Co Ltd | 耐熱マグネットワイヤおよびその製造方法 |
JP2013132730A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Mitsubishi Materials Corp | すぐれた耐チッピング性、耐剥離性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 |
-
1989
- 1989-12-28 JP JP34139289A patent/JPH03202475A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006100168A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Totoku Electric Co Ltd | 耐熱マグネットワイヤおよびその製造方法 |
JP2013132730A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Mitsubishi Materials Corp | すぐれた耐チッピング性、耐剥離性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 |
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