JPH04334461A - サーマルプリントヘッド - Google Patents
サーマルプリントヘッドInfo
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- JPH04334461A JPH04334461A JP10578091A JP10578091A JPH04334461A JP H04334461 A JPH04334461 A JP H04334461A JP 10578091 A JP10578091 A JP 10578091A JP 10578091 A JP10578091 A JP 10578091A JP H04334461 A JPH04334461 A JP H04334461A
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- heat
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- insulating substrate
- glass
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- 238000007651 thermal printing Methods 0.000 title abstract 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 41
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 34
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 13
- 238000007496 glass forming Methods 0.000 claims description 9
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 238000007639 printing Methods 0.000 abstract description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 12
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 7
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 5
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 3
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 3
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、サーマルプリンタに用
いられるライン型あるいはシリアル型のサーマルプリン
トヘッドに関する。
いられるライン型あるいはシリアル型のサーマルプリン
トヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のサーマルプリントヘッドは、図７
に示すように絶縁性耐熱性を有するアルミナ基板１上に
ガラスペーストを印刷し、乾燥後焼成して部分グレーズ
ガラス２が形成されていた。
に示すように絶縁性耐熱性を有するアルミナ基板１上に
ガラスペーストを印刷し、乾燥後焼成して部分グレーズ
ガラス２が形成されていた。
【０００３】また、アルミナ基板１の表面粗さを改善す
るため、アルミナ基板前面をラッピングやポリッシング
等により研磨加工したものもあった。
るため、アルミナ基板前面をラッピングやポリッシング
等により研磨加工したものもあった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のサーマ
ルプリントヘッドのうち、アルミナ基板１に研磨加工が
施されていないものでは、アルミナ基板１自体の表面粗
さの高さが５〜７μｍ以上と大きいため、図６のＣ部に
示すように部分グレーズガラス２におけるｂ方向（長手
方向）稜線形状のうねり・凹凸に対し、悪影響を及ぼし
ていた。高画質、高印字品質を得るためにはサーマルプ
リントヘッドを均一に発熱させ、熱を伝え、インクを均
一に転写する必要がある。そのためには、転写不良の一
要因であるグレーズガラスの形状不良を無くし、平坦化
する必要がある。
ルプリントヘッドのうち、アルミナ基板１に研磨加工が
施されていないものでは、アルミナ基板１自体の表面粗
さの高さが５〜７μｍ以上と大きいため、図６のＣ部に
示すように部分グレーズガラス２におけるｂ方向（長手
方向）稜線形状のうねり・凹凸に対し、悪影響を及ぼし
ていた。高画質、高印字品質を得るためにはサーマルプ
リントヘッドを均一に発熱させ、熱を伝え、インクを均
一に転写する必要がある。そのためには、転写不良の一
要因であるグレーズガラスの形状不良を無くし、平坦化
する必要がある。
【０００５】ところが、この従来のサーマルプリントヘ
ッドでは、グレーズガラス長手方向稜線部のうねり高さ
が１０μｍ以上あり、転写不良・濃度ムラ不良への影響
が大きかった。
ッドでは、グレーズガラス長手方向稜線部のうねり高さ
が１０μｍ以上あり、転写不良・濃度ムラ不良への影響
が大きかった。
【０００６】また、部分グレーズガラス２の長手方向う
ねりを改良するため、アルミナ基板全面を一般的なラッ
ピングあるいはポリッシングにより研磨加工した基板を
使用したものの場合、部分グレーズガラス２の表面粗さ
は改良されるが、研磨によりアルミナ面のピンホールが
大きくなる。これは、研磨が、介在する砥粒による切削
作用と同時に砥粒の転動時に生ずる微小なクラックによ
り行われるためであり、セラミックの硬くてもろい性質
上既存のピンホールが破壊されてピンホールの径が大き
くなるためである。このため、アルミナ面のピンホール
にフォトリソ時のレジストが溜り易くなり、解像度を上
げパターン密度が高くなった場合、導体パターン間のシ
ョートあるいは、オープン不良等のパターン異常の発生
原因となっていた。また、ポリッシングはコスト高とな
っていた。
ねりを改良するため、アルミナ基板全面を一般的なラッ
ピングあるいはポリッシングにより研磨加工した基板を
使用したものの場合、部分グレーズガラス２の表面粗さ
は改良されるが、研磨によりアルミナ面のピンホールが
大きくなる。これは、研磨が、介在する砥粒による切削
作用と同時に砥粒の転動時に生ずる微小なクラックによ
り行われるためであり、セラミックの硬くてもろい性質
上既存のピンホールが破壊されてピンホールの径が大き
くなるためである。このため、アルミナ面のピンホール
にフォトリソ時のレジストが溜り易くなり、解像度を上
げパターン密度が高くなった場合、導体パターン間のシ
ョートあるいは、オープン不良等のパターン異常の発生
原因となっていた。また、ポリッシングはコスト高とな
っていた。
【０００７】本発明は、かかる問題を解決し、良好な印
画および、印字可能な高品位なサーマルプリントヘッド
を提供することを目的としている。
画および、印字可能な高品位なサーマルプリントヘッド
を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項（１）記載の発明は、耐熱性絶縁性基板の部
分グレーズガラス形成部を溝加工したことを特徴とする
。また、請求項（２）記載の発明は、耐熱性絶縁性基板
の部分グレーズガラス形成部を、部分的にラッピングし
たことを特徴とする。
に、請求項（１）記載の発明は、耐熱性絶縁性基板の部
分グレーズガラス形成部を溝加工したことを特徴とする
。また、請求項（２）記載の発明は、耐熱性絶縁性基板
の部分グレーズガラス形成部を、部分的にラッピングし
たことを特徴とする。
【０００９】
【実施例】以下に本発明による実施例を図面に基づいて
説明する。図１は本発明におけるサーマルプリントヘッ
ドの第１実施例の全体を示す平面図である。図２は発熱
体部周辺を示す側断面図（図２ＩＩ−ＩＩ断面図）であ
る。図において、１は耐熱性絶縁性基板、２は耐熱性を
有する部分グレーズガラス、３は発熱抵抗体層、４は電
極層、５は発熱抵抗体層３および電極層４を保護する耐
摩耗、耐酸化機能を有する保護層である。耐熱性絶縁性
基板１における部分グレーズガラス形成部を溝加工し、
この溝６内に部分グレーズガラス２を印刷・焼成し形成
する。
説明する。図１は本発明におけるサーマルプリントヘッ
ドの第１実施例の全体を示す平面図である。図２は発熱
体部周辺を示す側断面図（図２ＩＩ−ＩＩ断面図）であ
る。図において、１は耐熱性絶縁性基板、２は耐熱性を
有する部分グレーズガラス、３は発熱抵抗体層、４は電
極層、５は発熱抵抗体層３および電極層４を保護する耐
摩耗、耐酸化機能を有する保護層である。耐熱性絶縁性
基板１における部分グレーズガラス形成部を溝加工し、
この溝６内に部分グレーズガラス２を印刷・焼成し形成
する。
【００１０】このサーマルプリントヘッドは以下のよう
な工程により製造する。まず、アルミナ等の耐熱性絶縁
性基板１に部分グレーズガラス形成部を、研削・ダイシ
ング等により溝加工する。形成する部分グレーズガラス
２と同等の、平型でダイヤモンドの粒度の高いダイヤモ
ンドブレードにより０．０１〜０．０３ｍｍの深さに溝
入れを行う。次に、この溝６内に耐熱性部分グレーズガ
ラス材を一般的なスクリーン印刷法により数回重ね塗り
して任意の高さに形成し、焼成温度約９８０℃〜１００
０℃で焼成する。グレーズ幅１ｍｍ以下の部分グレーズ
ガラスを形成する場合、部分グレーズガラスの長手方向
うねりは、形成する部分グレーズガラスの幅と高さ、お
よび下層のアルミナ等の耐熱性絶縁性基板１の表面粗さ
の影響を受け易い。アルミナ基板の表面粗さは５〜７μ
ｍ以上あるため、図３に示すように部分グレーズガラス
２の芯部に骨材（結晶化ガラス）７を形成せず部分グレ
ーズを１層構造とした場合や、高さ０．０５ｍｍ以下の
部分グレーズガラスを形成した場合特に影響を受け易い
。本実施例では、溝６を形成し、この溝６上に部分グレ
ーズガラス２を形成するので、これらの影響を受けにく
くなる。また、溝６の縁部６ａに沿って部分グレーズガ
ラス２が形成されるので、図４ａ部に示すような焼成時
のグレーズガラス材のダレ量のバラツキ（グレーズ端部
アルミナ基板との接合部のうねり）が抑えられる。さら
に、部分グレーズガラス形成部の基板表面（溝６の内面
）を平坦化することにより、焼成時のグレースガラス材
のダレ量のバラツキを一層押えることができる。
な工程により製造する。まず、アルミナ等の耐熱性絶縁
性基板１に部分グレーズガラス形成部を、研削・ダイシ
ング等により溝加工する。形成する部分グレーズガラス
２と同等の、平型でダイヤモンドの粒度の高いダイヤモ
ンドブレードにより０．０１〜０．０３ｍｍの深さに溝
入れを行う。次に、この溝６内に耐熱性部分グレーズガ
ラス材を一般的なスクリーン印刷法により数回重ね塗り
して任意の高さに形成し、焼成温度約９８０℃〜１００
０℃で焼成する。グレーズ幅１ｍｍ以下の部分グレーズ
ガラスを形成する場合、部分グレーズガラスの長手方向
うねりは、形成する部分グレーズガラスの幅と高さ、お
よび下層のアルミナ等の耐熱性絶縁性基板１の表面粗さ
の影響を受け易い。アルミナ基板の表面粗さは５〜７μ
ｍ以上あるため、図３に示すように部分グレーズガラス
２の芯部に骨材（結晶化ガラス）７を形成せず部分グレ
ーズを１層構造とした場合や、高さ０．０５ｍｍ以下の
部分グレーズガラスを形成した場合特に影響を受け易い
。本実施例では、溝６を形成し、この溝６上に部分グレ
ーズガラス２を形成するので、これらの影響を受けにく
くなる。また、溝６の縁部６ａに沿って部分グレーズガ
ラス２が形成されるので、図４ａ部に示すような焼成時
のグレーズガラス材のダレ量のバラツキ（グレーズ端部
アルミナ基板との接合部のうねり）が抑えられる。さら
に、部分グレーズガラス形成部の基板表面（溝６の内面
）を平坦化することにより、焼成時のグレースガラス材
のダレ量のバラツキを一層押えることができる。
【００１１】以上のようにして形成した耐熱性絶縁性基
板１上に、発熱抵抗体層３、電極層４をスパッタリング
等の真空薄膜装置により膜付けを行う。次に、この積層
膜上全面にフォトレジストを一般的なスピンコーター、
ロールコーター等により塗布し、プレベーク後フォトマ
スクを使用し露光・現像しエッチングにより発熱抵抗体
および電極パターンを形成する。その後この薄膜パター
ン上に発熱抵抗体層３および電極層４を保護する耐摩耗
、耐酸化機能を有する絶縁体耐熱性保護層６をスパッタ
等の真空薄膜装置により形成する。
板１上に、発熱抵抗体層３、電極層４をスパッタリング
等の真空薄膜装置により膜付けを行う。次に、この積層
膜上全面にフォトレジストを一般的なスピンコーター、
ロールコーター等により塗布し、プレベーク後フォトマ
スクを使用し露光・現像しエッチングにより発熱抵抗体
および電極パターンを形成する。その後この薄膜パター
ン上に発熱抵抗体層３および電極層４を保護する耐摩耗
、耐酸化機能を有する絶縁体耐熱性保護層６をスパッタ
等の真空薄膜装置により形成する。
【００１２】図５は本発明によるサーマルプリントヘッ
ドの第２実施例を示す断面図である。アルミナ等の耐熱
性絶縁性基板１の部分グレーズガラス形成部をラッピン
グにより平坦化する。同図に示すように、この部分以外
の部分１ａはラッピングしない。ラッピング面８内に部
分グレーズガラス２を印刷・焼成し形成する。
ドの第２実施例を示す断面図である。アルミナ等の耐熱
性絶縁性基板１の部分グレーズガラス形成部をラッピン
グにより平坦化する。同図に示すように、この部分以外
の部分１ａはラッピングしない。ラッピング面８内に部
分グレーズガラス２を印刷・焼成し形成する。
【００１３】このサーマルプリントヘッドは以下のよう
な工程により製造する。
な工程により製造する。
【００１４】まず、アルミナ等の耐熱性絶縁性基板１の
部分グレーズガラス形成部をラッピングする。ラッピン
グはアルミナ基板と工具であるラップとの間に砥粒を介
在させ、耐熱性絶縁性基板の部分グレーズガラス形成部
がラッピングされるように、工具であるラップの形状を
加工し基板をラップに押しつけ研磨を行う。この際に、
アルミナ基板は硬くもろいため、ラッピングで基板表面
が研磨されると同時に、ラッピングで生ずる微小クラッ
クで既存のピンホールの径が大きくなり易く、解像度を
上げ高精密なパターン形成をした場合前記ピンホールに
より導体パターンの断線等の形状異常が発生しやすい。 このためラッピング幅は部分グレーズガラスと同等幅が
望ましい。
部分グレーズガラス形成部をラッピングする。ラッピン
グはアルミナ基板と工具であるラップとの間に砥粒を介
在させ、耐熱性絶縁性基板の部分グレーズガラス形成部
がラッピングされるように、工具であるラップの形状を
加工し基板をラップに押しつけ研磨を行う。この際に、
アルミナ基板は硬くもろいため、ラッピングで基板表面
が研磨されると同時に、ラッピングで生ずる微小クラッ
クで既存のピンホールの径が大きくなり易く、解像度を
上げ高精密なパターン形成をした場合前記ピンホールに
より導体パターンの断線等の形状異常が発生しやすい。 このためラッピング幅は部分グレーズガラスと同等幅が
望ましい。
【００１５】次に、前記耐熱性絶縁性基板１のラッピン
グ面８に耐熱性部分グレーズガラス材を一般的なスクリ
ーン印刷法により、数回重ね塗りして任意の高さに形成
し、焼成温度約９８０℃〜１０００℃で焼成する。この
ように形成されたアルミナ等の耐熱性絶縁性基板１上に
第１実施例と同様の工程により薄膜パターンを形成し、
更に耐摩耗・耐酸化機能を有する保護層を形成する。
グ面８に耐熱性部分グレーズガラス材を一般的なスクリ
ーン印刷法により、数回重ね塗りして任意の高さに形成
し、焼成温度約９８０℃〜１０００℃で焼成する。この
ように形成されたアルミナ等の耐熱性絶縁性基板１上に
第１実施例と同様の工程により薄膜パターンを形成し、
更に耐摩耗・耐酸化機能を有する保護層を形成する。
【００１６】
【発明の効果】本発明によるサーマルプリントヘッドを
用いることにより以下の点が改善される。
用いることにより以下の点が改善される。
【００１７】耐熱性絶縁性基板の部分グレーズガラス形
成部を溝加工または、ラッピングにより研磨し基板表面
の平坦度を上げることにより、部分グレーズガラス長手
方向稜線部うねりを押さえることができる。この結果、
発熱体形成部の表面粗さが大幅に改善され、印画および
印字時にグレーズガラスの形状不良による濃度ムラ・転
写不良が解消された。
成部を溝加工または、ラッピングにより研磨し基板表面
の平坦度を上げることにより、部分グレーズガラス長手
方向稜線部うねりを押さえることができる。この結果、
発熱体形成部の表面粗さが大幅に改善され、印画および
印字時にグレーズガラスの形状不良による濃度ムラ・転
写不良が解消された。
【００１８】また、溝加工またはラッピングは部分グレ
ーズガラス形成部に施され、基板上の他の部分には施さ
れないので、従来技術では生じていた導体パターン間の
ショートやオープン不良等のパターン異常が発生しにく
い。
ーズガラス形成部に施され、基板上の他の部分には施さ
れないので、従来技術では生じていた導体パターン間の
ショートやオープン不良等のパターン異常が発生しにく
い。
【図１】本発明におけるサーマルプリントヘッドの第１
実施例の全体を示す平面図。
実施例の全体を示す平面図。
【図２】本発明によるサーマルプリントヘッドの発熱体
部周辺を示す側断面図。（図１ＩＩ−ＩＩ断面図）
部周辺を示す側断面図。（図１ＩＩ−ＩＩ断面図）
【図
３】サーマルプリントヘッドの部分グレーズガラスの断
面図。
３】サーマルプリントヘッドの部分グレーズガラスの断
面図。
【図４】第１実施例の製造工程における作用説明図。
【図５】第２実施例の部分側断面図。
【図６】従来構造によるサーマルプリントヘッドの部分
グレーズガラスの側断面図。
グレーズガラスの側断面図。
【図７】従来構造によるサーマルプリントヘッドの発熱
体部周辺を示す側断面図。
体部周辺を示す側断面図。
１ 耐熱性絶縁性基板
２ 耐熱性部分グレーズガラス
３ 発熱抵抗体層
４ 電極層
５ 保護膜層
６ 溝
７ 結晶化ガラス
８ ラッピング面
Claims (2)
- 【請求項１】 耐熱性絶縁性基板上にグレーズガラス
を配し、この基板表面に発熱抵抗体層、電極層、保護膜
層を積層し形成された多数個の発熱抵抗体素子を設けて
なるサーマルプリントヘッドにおいて、前記耐熱性絶縁
性基板は部分グレーズガラス形成部が溝加工されている
ことを特徴とするサーマルプリントヘッド。 - 【請求項２】 耐熱性絶縁性基板上にグレーズガラス
を配し、この基板表面に発熱抵抗体層、電極層、保護膜
層を積層し形成された多数個の発熱抵抗体素子を設けて
成るサーマルプリントヘッドにおいて、耐熱性絶縁性基
板の部分グレーズガラス形成部が、部分的にラッピング
されていることを特徴とするサーマルプリントヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10578091A JPH04334461A (ja) | 1991-05-10 | 1991-05-10 | サーマルプリントヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10578091A JPH04334461A (ja) | 1991-05-10 | 1991-05-10 | サーマルプリントヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04334461A true JPH04334461A (ja) | 1992-11-20 |
Family
ID=14416667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10578091A Pending JPH04334461A (ja) | 1991-05-10 | 1991-05-10 | サーマルプリントヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04334461A (ja) |
-
1991
- 1991-05-10 JP JP10578091A patent/JPH04334461A/ja active Pending
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