JPH04332972A - ヘッド駆動装置 - Google Patents

ヘッド駆動装置

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Publication number
JPH04332972A
JPH04332972A JP10128791A JP10128791A JPH04332972A JP H04332972 A JPH04332972 A JP H04332972A JP 10128791 A JP10128791 A JP 10128791A JP 10128791 A JP10128791 A JP 10128791A JP H04332972 A JPH04332972 A JP H04332972A
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JP
Japan
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coil
head
magnet
driving device
yoke
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Pending
Application number
JP10128791A
Other languages
English (en)
Inventor
Kiyoshi Masaki
清 正木
Tsukasa Yoshiura
司 吉浦
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、フロッピーディスク装
置、ハードディスク装置や光ディスク装置などのディス
ク装置に用いられるヘッド駆動装置に関するものである
【0002】
【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータやワープ
ロは薄型化、軽量化が進み、A4サイズ以下の可搬型の
ものが商品化されている。これらは自動車や列車の中な
どでもバッテリー駆動で使用されるので、これらに搭載
されるディスク装置のヘッド駆動装置は、薄型軽量で、
消費電力が小さいものでなければならない。
【0003】従来、ディスク装置のヘッド駆動装置にお
いては特開平2−198076号公報や特開平2−11
4845号公報に示されるように、ボイスコイル型のリ
ニアモーターが使用されていた。  以下図面を参照し
ながら、従来のヘッド駆動装置の一例について説明する
。 図12は従来のヘッド駆動装置の斜視分解図である。4
0はフロッピーディスクである。42はヘッドであり、
ヘッドキャリッジ43に取り付けられている。矢印Aは
ヘッド42が駆動されるシーク方向を示しており、側面
から見てフロッピーディスク40と平行に、フロッピー
ディスク40の回転中心を通る方向を示している。52
はリニアガイドであり、リニアガイド52の可動部53
と固定部54には長手方向に伸びたV字状の案内溝55
が設けられており、その間に複数のボール(図示せず)
が転動自在に挟まれている。可動部53にはヘッドキャ
リッジ43がビス56a、56bによって固定されてい
る。リニアガイド52はその可動方向が矢印Aで示され
るシーク方向と平行な状態でシャーシ44に固定されて
いる。45a、45bは単極着磁されたマグネットであ
り、マグネット45a、45bはメインヨーク46に固
定されている。マグネット45a、45b、メインヨー
ク46及びサイドヨーク47から磁気回路が構成されて
おり、メインヨーク46のセンターヨーク48は空隙5
1を介してマグネット45a、45bと対向している。 コイル49は、センターヨーク48に差し込まれた状態
でヘッドキャリッジ43に固定され、マグネット45a
、45bとそれらに対向するセンターヨーク48の間の
空隙51には、コイル49の巻線方向と垂直な方向の磁
界が形成されている。
【0004】以上のように構成されたヘッド駆動装置に
ついて、その動作を以下に説明する。コイル49に電流
を流すと、コイル49にはマグネット45a、45bに
よって発生した磁界によって、空隙51内の磁束密度に
比例した大きさの電磁力が作用する。この電磁力により
ヘッドキャリッジ43は、リニアガイド52により案内
されながら、矢印Aのシーク方向に直線駆動され、ヘッ
ドキャリッジ43に固定されたヘッド42は、コイル4
9に流す電流の向きと大きさを制御することにより、フ
ロッピーディスク40上の目標トラックに位置決めされ
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うなボイスコイル型のリニアモータを用いた構成におい
て、マグネット45aと45bの発生した磁束の半分以
上がメインヨーク46とサイドヨーク47の中を通るの
で、ヨーク内の磁束の飽和を防ぐために、メインヨーク
46もサイドヨーク47も薄くすることはできない。特
にセンターヨーク48内にはすべての磁束が通るので、
センターヨーク48の厚さは他の部分のよりさらに大き
くする必要がある。したがって空隙51内の磁束密度を
大きくしようとすると、ますます磁気回路全体が大きく
なり、装置の薄型化は不可能となる。またコイル49の
全長のうち、電磁力が作用する有効な部分は、マグネッ
ト45a、45bとセンターヨーク48の間の空隙51
内に存在する部分のみであり、空隙51外の空隙51内
の磁束と平行な部分は無効となる。ところが、上記の理
由でセンターヨーク48は薄くならないので、無効な部
分の長さを短くすることはできず、コイルの利用効率が
低くなる。したがって、発生推力に対する消費電力が大
きくなる。
【0006】そこで、本発明は上記問題点に鑑み、消費
電力が小さく、小型薄型のヘッド駆動装置を提供するも
のである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明のヘッド駆動装置は、情報記録媒体に対して
情報の書き込みと読み出しを行なうヘッドと、前記ヘッ
ドが搭載されたヘッドキャリッジと、前記ヘッドキャリ
ッジを所定のシーク方向に案内するリニアガイドと、N
極とS極が前記シーク方向に交互に配置されたマグネッ
トと、前記マグネットに対向して前記シーク方向に配置
された複数のコイルからなり、前記マグネットまたは前
記コイルが前記ヘッドキャリッジに固定された構成のヘ
ッド駆動装置と、上記した第1の構成であってマグネッ
トのN極とS極の間隔をD、1極の幅Wとしたとき、隣
合うコイルが互いに(2N−1)×(W+D)/2(N
は1以上の正の整数)だけ離れて配置された構成のもの
と、上記した第1の構成であってマグネットのN極とS
極の間隔Dと、1極の幅Wとの間に0.4W≦D≦0.
6Wの関係が成り立つ構成のものと、上記した第1の構
成であって隣合うコイルのうち少なくとも一方のコイル
のシーク方向に向かって左右の端部がマグネット面と垂
直な方向に折り曲げられている構成のものと、また上記
した第1の構成であってコイルを間に挟んで両側にマグ
ネットが設けられている構成のヘッド駆動装置である。
【0008】
【作用】本発明は上記した構成によって、マグネットの
発生する磁界の磁束密度は、2×(マグネット1極の幅
W+極間隔D)の周期で変化する。ここで例えば隣合う
コイルを(2N−1)×(W+D)/2(Nは1以上の
正の整数)離れて配置したとき、磁束密度の変化の周期
2×(W+D)を電気角で2πとすれば、隣合うコイル
は(2N−1)×π/2だけ離れている。したがって隣
合うコイルに互いにπ/2の整数倍だけ位相のずれた電
流を流せば両方のコイルに作用する電磁力は同一方向と
なり、電磁力の方向に推力を発生する。したがってマグ
ネットもしくはコイルのどちらか一方をヘッドキャリッ
ジに配置して可動子とし、他方を固定子とすれば、ヘッ
ドキャリッジはこの推力によってシーク方向に駆動され
る。
【0009】このようにマグネットのN極とS極を交互
に配置されたヘッド駆動装置においては、隣合うN極と
S極の間で個々に閉磁路ができるので、空隙部の磁束密
度を大きくしてもヨーク内の磁束密度は大きくならず、
厚いヨークは必要でなく、磁気回路を小さくすることが
できる。またマグネット1極のシーク方向の寸法Wより
それに垂直な方向の寸法Lを大きくしてやれば、これに
対向するコイルの有効長をコイル全長に対して十分に大
きくすることができ、コイルの利用効率が良くなる。し
たがって小型で消費電力の小さなヘッド駆動装置が実現
できる。
【0010】またマグネットのN極とS極の間隔Dを1
極の幅Wのおよそ1/2にすると磁束密度の分布は近似
正弦波状になる。したがってこのときコイルに入力する
電流をマグネットとコイルの相対位置に応じて正弦波状
に変化させれば、発生する推力はヘッドキャリッジの位
置に係わらず一定とすることができる。
【0011】さらに隣合う2つのコイルの間隔を最小の
(W+D)×1/2にした場合、少なくとも一方のコイ
ルのシーク方向に向かって左右の端部、すなわちマグネ
ットと対向する有効部の外側の両端部をマグネット面と
垂直な方向に折り曲げれば、有効部とその両端部は同一
平面上にないので、両方のコイルの有効部を同一平面上
に置くことができる。したがって隣合うコイルの有効部
を積み重ねることなく、隣合うコイルの間隔を最小とす
るとができるので駆動装置全体を薄く短くすることがで
きる。
【0012】またさらに、通常、マグネットのN極とS
極を隣り合わせて配置する場合、隣合う極に向かう磁束
によってシーク方向に垂直な方向の電磁力が発生し、こ
の力によってヘッドキャリッジの不要な振動が発生し、
この振動を押さえるために剛性の非常に高い大きなリニ
アガイドが必要となる。しかしコイルを挟んで両側にマ
グネットを設け、対向するマグネットの磁極を異極にす
れば、隣合う極に向かう磁束は両側のマグネットにおい
て互いに反対向きとなり、両者の磁束によって発生する
電磁力は打ち消し合う。したがってヘッドキャリッジに
はシーク方向以外の力は作用せず、ヘッドキャリッジの
不要な振動の発生しないので、ヘッドキャリッジを支持
するリニアガイドは小型のもので十分となる。
【0013】以上のように本発明の構成により消費電力
が小さく、小型薄型のヘッド駆動装置を実現できる。
【0014】
【実施例】以下本発明の第1の実施例のヘッド駆動装置
について、図面を参照しながら説明する。図1は第1の
実施例のヘッド駆動装置の斜視分解図であり、図2は側
断面図である。10はフロッピーディスクである。12
はヘッドであり、ヘッドキャリッジ13に取り付けられ
ている。矢印Aはヘッド12が駆動されるシーク方向を
示しており、側面から見てフロッピーディスク10と平
行に、フロッピーディスク10の回転中心を通る方向を
示している。22はリニアガイドであり、リニアガイド
22の可動部23と固定部24には長手方向に伸びたV
字状の案内溝26が設けられており、その間に複数のボ
ール(図示せず)が転動自在に挟まれている。可動部2
3にはヘッドキャリッジ13がビス25a、25bによ
って固定されている。リニアガイド22は、可動方向が
矢印Aの方向と平行な状態でシャーシ14に固定されて
いる。可動部23は案内溝26の間に挟まれたボールの
転動を伴って、矢印Aのシーク方向に往復直線運動する
。したがってヘッドキャリッジ13はリニアガイド22
に案内されながらシーク方向に往復直線運動することが
できる。18はヨークAであり、幅Wのマグネット20
がN極とS極を交互に間隔Dで配置されている。19は
ヨークBであり、マグネット20と空隙21を介して対
向し、シーク方向の前後でヨークA18と連結されてお
り、マグネット20、ヨークA18と共に磁気回路を構
成している。16はコイルA、17はコイルBであり、
コイルA16とコイルB17は3×(W+D)/2だけ
離れて、ヘッドキャリッジ13に固定されている。 組み立てられた状態でコイルA16とコイルB17の両
端部を除いた部分はマグネット20とヨークB19の間
の空隙21の中央付近に位置し、空隙21には、コイル
A16とコイルB17の巻線方向と垂直な方向の磁界が
形成されている。
【0015】以上のように構成されたヘッド駆動装置に
ついて、その動作を以下に説明する。図3は本発明の第
1の実施例のヘッド駆動装置のマグネット20が発生し
た磁界の空隙21の中心付近における磁束密度のシーク
方向の変化を示した図であるが、図3に示すように空隙
21内の磁束密度は、2×(マグネット1極の幅W+極
間隔D)の周期でシーク方向に変化する。いまこのシー
ク方向の磁束密度の変化の周期2×(W+D)を電気角
で2πとすれば、コイルA16とコイルB17は3×(
W+D)/2だけ離れて配置されているので、コイルA
16とコイルB17は電気角で3π/2だけ離れている
ことになる。したがってコイルA16とコイルB17に
互いに3π/2だけ位相のずれた電流を流せば両方のコ
イルに作用する電磁力は同一方向となり、それらの合力
が推力として得られる。したがってコイルA16とコイ
ルB17が固定されているヘッドキャリッジ13はこの
推力によってシーク方向に駆動される。以上のようにコ
イルA16とコイルB17への入力電流の向きと大きさ
を3π/2の位相差を保ちながら制御することにより、
ヘッドキャリッジ13の移動の向きと移動量をコントロ
ールし、ヘッド12をフロッピーディスク10上の目標
トラックに位置決めすることができる。
【0016】ここで図4は本発明の第1の実施例のマグ
ネット20の発生する磁界の磁束線図である。図4に示
すように本発明の第1の実施例のようにマグネット20
のN極とS極を交互に配置されて構成されたヘッド駆動
装置においては、隣合うN極とS極の間で個々に閉磁路
ができるので、空隙21の磁束密度を大きくしてもヨー
クA18とヨークB19内の磁束密度は大きくならず、
厚いヨークを必要としない。またコイルA16とコイル
B17のシーク方向に垂直な方向の有効寸法Lを巻ピッ
チPより大きくできるので、コイル全長に対するコイル
有効長が十分に大きくなり、コイルの利用効率が良くな
る。したがって小型で消費電力の小さなヘッド駆動装置
が実現できる。
【0017】次に本発明の第2の実施例のヘッド駆動装
置について、図面を参照しながら説明する。図5は本発
明の第2の実施例のヘッド駆動装置の側断面図であるが
、第1の実施例のヘッド駆動装置のマグネット20のN
極とS極の間隔Dを1極の幅Wの1/2にしたものであ
る。図6は本発明の第2の実施例のヘッド駆動装置にお
いてマグネット20の発生する磁界の空隙21の中心付
近における磁束密度のシーク方向の変化を示した図であ
るが、図6に示すようにマグネット20の発生する磁界
の磁束密度は、近似正弦波状に変化する。図7は本発明
の第2の実施例のヘッド駆動装置のヘッドキャリッジ1
3の位置Xの変化に対するコイルA16とコイルB17
への入力電流の変化とコイルA16とコイルB17に作
用する磁界の磁束密度の変化を示した図である。コイル
A16に流す電流Iaを図6に示すマグネット20の発
生する磁界の磁束密度の変化と同位相で正弦波状に変化
させ、コイルB17に流す電流Ibを3π/2だけ位相
を進ませて同じく正弦波状に変化させている。いまコイ
ルA16とコイルB17は電気角で3π/2だけ離れて
いるので、ヘッドキャリッジ13がフロッピーディスク
10の内周側に移動する場合、コイルA16の位置にお
ける磁束密度の変化BaをBa=Bcos(X)(Bは
任意の定数)とすると、コイルB17の位置における磁
束密度の変化BbはコイルA16の位置より3π/2だ
け位相が進んでBb=Bcos(X+3π/2)となり
、結局Bb=Bsin(X)となる。ここで、各コイル
に作用する推力の大きさは各コイルに作用する磁界の磁
束密度と、入力電流の大きさ積に比例する。したがって
図7に示すように、コイルA16に流す電流Iaをヘッ
ドキャリッジ13の位置Xに応じてIa=Icos(X
)(Iは任意の定数)として、これに対してコイルB1
7に流す電流Ibを3π/2だけ位相を進ませてIb=
Isin(X)とすると、コイルA16に作用する電磁
力FaはFa=Fcos2(X)(FはBとIの積に比
例する任意の定数)、コイルB17に作用する電磁力F
bはFb=Fsin2(X)となるので、両方のコイル
に作用する電磁力の和、すなわちヘッドキャリッジ13
を駆動する推力はFa+Fb=Fcos2(X)+Fs
in2(X)=Fとなり、ヘッドキャリッジ13の位置
Xに係わらず一定とすることができる。
【0018】以上のように第2の実施例のヘッド駆動装
置においてはヘッドキャリッジ13の位置Xに係わらず
推力が一定となる制御性の優れたヘッド駆動装置が実現
できる。
【0019】次に本発明の第3の実施例のヘッド駆動装
置について、図面を参照しながら説明する。図8は本発
明の第3の実施例のヘッド駆動装置の斜視分解図であり
、図9は側断面図であるが、第1の実施例のヘッド駆動
装置のコイルA16とコイルB17を(W+D)×1/
2だけ離して配置した場合を示している。このときコイ
ルA16のシーク方向に向かって左右の端部、すなわち
マグネット20と対向するコイル有効部A27の外側の
コイル端部A29がマグネット面と垂直な方向に折り曲
げられており、コイル端部A29はコイルB17のコイ
ル端部B30と重なっている。しかし両コイルのコイル
有効部A27とコイル有効部B28は同一平面上に置く
ことができる。したがって隣合うコイルの有効部を積み
重ねることなく、隣合うコイルの間隔を最小とするとが
できるので、駆動装置全体を薄く短くすることができる
【0020】次に本発明の第4の実施例のヘッド駆動装
置について、図面を参照しながら説明する。図10は本
発明の第4の実施例のヘッド駆動装置の側断面図である
が、第1の実施例のヘッド駆動装置のヨークA18のみ
に配置されていたマグネット20をヨークA18とヨー
クB19に分割して配置されている。マグネットA31
は第1の実施例のヘッド駆動装置と同様にヨークA18
に配置され、マグネットB32はマグネットA31の磁
極と異極が対向するようにヨークB19に配置されてい
る。そしてマグネットA31とマグネットB32の間の
空隙には第1の実施例のヘッド駆動装置と同様にヘッド
キャリッジ13に固定されたコイルA16とコイルB1
7が配置されている。
【0021】このように構成された本発明の第4の実施
例のヘッド駆動装置において、図11はマグネットA3
1とマグネットB32の発生する磁界の磁束線図である
が、図11に示すようにマグネットの隣合うに磁極に向
かうシーク方向の磁束A33a、33b、33c、磁束
B34a、34b、34cが存在し、この磁束A33a
、33b、33c、磁束B34a、34b、34cによ
ってコイルA16とコイルB17にはマグネット面に垂
直で、シーク方向に垂直な方向の電磁力が作用する。 しかし本実施例のように構成すると図11に示すように
マグネットA31の発生したシーク方向の磁束A33a
、33b、33cとマグネットB32の発生したシーク
方向の磁束B34a、34b、34cでは反対向きとな
り両者の磁束A33a、33b、33c、磁束B34a
、34b、34cによってコイルA16とコイルB17
に作用する電磁力は打ち消し合うのでコイルA16とコ
イルB17にはシーク方向の力のみが作用する。したが
ってヘッドキャリッジ13の不要な振動は発生せず、ヘ
ッドキャリッジ13を支持するリニアガイド22は剛性
のそれほど高くない小型のもので十分となり、小型なが
ら高精度な位置決め制御が可能なヘッド駆動装置が実現
できる。
【0022】以上、第1から第4の実施例においてマグ
ネット20、マグネットA31、及びマグネットB32
は共に単極着磁した幅WのマグネットをN極とS極が交
互になるように間隔Dで複数個並べたが、1極の幅がW
で無着磁部の幅がDとなるように多極着磁した一体のマ
グネットでも良い。
【0023】
【発明の効果】以上のように本発明のヘッド駆動装置は
、情報記録媒体に対して情報の書き込みと読み出しを行
なうヘッドと、前記ヘッドが搭載されたヘッドキャリッ
ジと、前記ヘッドキャリッジを所定のシーク方向に案内
するリニアガイドと、N極とS極が前記シーク方向に交
互に配置されたマグネットと、前記マグネットに対向し
て前記シーク方向に配置された複数のコイルからなり、
前記マグネットまたは前記コイルが前記ヘッドキャリッ
ジに固定されている第1の構成にしたことにより、隣合
うN極とS極の間で個々に閉磁路ができるので、ギャッ
プ部の磁束密度を大きくしてもヨーク内の磁束密度は大
きくならず、ヨークを厚くする必要がなく、磁気回路の
小型化が可能である。またコイルの有効長をコイル全長
に対して十分に大きくすることができ、コイルの利用効
率が良くなる。したがって小型で消費電力の小さなヘッ
ド駆動装置が実現できる。また上記した第1の構成であ
って、マグネットのN極とS極の間隔をD、1極の幅W
としたとき、隣合うコイルが互いに(2N−1)×(W
+D)/2(Nは1以上の正の整数)だけ離れて配置さ
れた構成にしたことにより、隣合うコイルに互いに(2
N−1)π/2だけ位相のずれた電流を流せば両方のコ
イルに作用する電磁力は同一方向となり、それらの合力
が推力として得られるのでより効率の良いヘッド駆動装
置が実現できる。さらにマグネットのN極とS極の間隔
Dと、1極の幅Wとの間に0.4W≦D≦0.6Wの関
係が成り立つ構成にしたことにより、空隙内の磁束密度
の分布は近似正弦波状になり、このとき各コイルに入力
する電流をマグネットと各コイルの相対位置に応じて正
弦波状に変化させれば、発生する推力はヘッドキャリッ
ジの位置に係わらず一定とすることができ、制御性の良
いヘッド駆動装置が実現できる。さらにまた第1の構成
であって隣合うコイルのうち少なくとも一方のコイルの
シーク方向に向かって左右の端部がマグネット面と垂直
な方向に折り曲げられている構成にしたことにより、コ
イル間隔を最小の(W+D)/2にした場合、一方のコ
イルの有効部とその両端部は同一平面上にないので、両
方のコイルの有効部を同一平面上におくことができる。 よって隣合うコイルの有効部を積み重ねることなく、コ
イルの間隔を最小とするとができ、駆動装置全体を薄く
短くすることができる。そして第1の構成であってコイ
ルを間に挟んで両側にマグネットが設けられている構成
にしたことにより、隣合う極に向かう磁束は両側のマグ
ネットにおいて互いに反対向きとなり、両者の磁束によ
って発生する電磁力は打ち消し合う。したがってヘッド
キャリッジにはシーク方向以外の力は作用せず、ヘッド
キャリッジの不要な振動の発生しないので、ヘッドキャ
リッジを支持するリニアガイドは小型のもので十分とな
る。
【0024】以上のように本発明の構成により消費電力
が小さく、小型薄型のヘッド駆動装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例のヘッド駆動装置の斜視
分解図である。
【図2】同実施例のヘッド駆動装置の側断面図である。
【図3】同実施例の空隙21の中心付近における磁束密
度のシーク方向の変化を示した図である。
【図4】同実施例のマグネット20の発生する磁界の磁
束線図である。
【図5】本発明の第2の実施例のヘッド駆動装置の側断
面図である。
【図6】同実施例の空隙21の中心付近における磁束密
度のシーク方向の変化を示した図である。
【図7】同実施例のヘッドキャリッジ13の位置Xに対
するコイルA16とコイルB17に作用する磁界の磁束
密度の変化と、コイルA16とコイルB17への入力電
流の変化を示した図である。
【図8】本発明の第3の実施例のヘッド駆動装置の斜視
分解図である。
【図9】同実施例のヘッド駆動装置の側断面図である。
【図10】本発明の第4の実施例のヘッド駆動装置の側
断面図である。
【図11】同実施例のマグネットA31とマグネットB
32の発生する磁界の磁束線図である。
【図12】従来のヘッド駆動装置の斜視分解図である。
【符号の説明】
13  ヘッドキャリッジ 16  コイルA 17  コイルB 18  ヨークA 19  ヨークB 20  マグネット

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  情報記録媒体に対して情報の書き込み
    と読み出しを行なうヘッドと、前記ヘッドが搭載された
    ヘッドキャリッジと、前記ヘッドキャリッジを所定のシ
    ーク方向に案内するリニアガイドと、N極とS極がシー
    ク方向に交互に配置されたマグネットと、前記マグネッ
    トに対向してシーク方向に配置された複数のコイルから
    なり、前記マグネットまたは前記コイルが前記ヘッドキ
    ャリッジに固定されていることを特徴とするヘッド駆動
    装置。
  2. 【請求項2】  マグネットのN極とS極の間隔をD、
    1極の幅Wとしたとき、隣合うコイルが互いに(2N−
    1)×(W+D)/2(Nは1以上の正の整数)だけ離
    れて配置されたことを特徴とする請求項1記載のヘッド
    駆動装置。
  3. 【請求項3】  マグネットのN極とS極の間隔をD、
    1極の幅Wとしたとき、0.4W≦D≦0.6Wの関係
    が成り立つことを特徴とする請求項1記載のヘッド駆動
    装置。
  4. 【請求項4】  隣合うコイルのうち少なくとも一方の
    コイルのシーク方向に向かって左右の端部がマグネット
    面と垂直な方向に折り曲げられていることを特徴とする
    請求項1記載のヘッド駆動装置。
  5. 【請求項5】  コイルを間に介して両側にマグネット
    が設けられていることを特徴とする請求項1記載のヘッ
    ド駆動装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007037279A (ja) * 2005-07-27 2007-02-08 Yaskawa Electric Corp リニアアクチュエータ

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JP2007037279A (ja) * 2005-07-27 2007-02-08 Yaskawa Electric Corp リニアアクチュエータ

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