JPH04332446A - 電界放出形電子顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電界放出形電子顕微鏡
に係り、特に電子銃部の耐振性の向上及び高電圧の耐絶
縁性の向上に好適な電界放出形電子顕微鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の装置は、特開昭６０−１１７５３
４号に記載されているように高電圧電源と電子銃部の絶
縁容器は、それぞれ高電圧ケーブルで接続されていた。 上記公知例では、この部分の記載が十分でないので図１
で説明する。電界放出形電子顕微鏡の高電圧電源１７は
、フラッシング電源１３（ＶＦ），電子引出電源１４（
Ｖ１），初段加速電源１５（Ｖ２）、及び加速電源１６
（Ｖ０）から成る。またこれら電圧は、高電圧ケーブル
１０により電子銃部の絶縁容器１に接続される。

【０００３】高電圧ケーブル１０と高電圧電源容器１７
は、高電圧ケーブル端末１２によりネジ止めされている
。高電圧ケーブル１０と絶縁容器１は、高電圧ケーブル
端末１２により、ネジ止めされ接合部１１で接続されて
いる。

【０００４】これら２つの接合部は、高電圧ケーブル端
末１２により、取付け，取外しが出来る構造となってい
た。高電圧ケーブル１０は、多芯構造であり、かつ異種
な高電圧が印加されるため高電圧ケーブル端末１２と絶
縁容器１との接合部は、放電防止を考えると取外し可能
な従来の方式では、異種電圧間の絶縁距離を大きくする
必要があった。特に電子顕微鏡の電子銃側接合部は、従
来方式では図１に示すように、絶縁容器１の高電圧ケー
ブル端末１２の接合部が大きくなりバランスが悪く，振
動に弱い構造となる。また作業性も悪い。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、電子銃部の
重心の片寄りを小さくし、耐振性を向上させ、また絶縁
容器１と高電圧ケーブル１０の高電圧ケーブル端末１２
の接合部における放電要因の除去のため絶縁容器１と高
電圧ケーブル１０を一体化構造とした。

【０００６】

【課題を解決するための手段】異種電圧から成る多芯の
高電圧ケーブル１０と絶縁容器１を一体化するため絶縁
材で一体化モールドとした。

【０００７】

【作用】高電圧ケーブル１０は、高電圧ケーブル端末１
２により絶縁容器１と接合部１１で、接続されている。 この高電圧ケーブル端末１２と絶縁容器１とは取外し出
来る構造のため、高電圧の絶縁は、高電圧ケーブル端末
１２と絶縁容器１との締め付けによる接合部１１の面圧
で行っている。この接合部を出来るだけ小さくし、また
放電の要因をなくすため、取外しを行わずあらかじめ絶
縁容器１と高電圧ケーブル１０を絶縁部材で一体化モー
ルドした。

【０００８】

【実施例】本発明の一実施例を図１及び図３により、以
下に述べる。

【０００９】高電圧電源は、フラッシング電源（ＶＦ電
源）１３，電子引出電源（Ｖ１電源）１４，初段加速電
圧電源（Ｖ２電源）１５及び加速電圧電源（Ｖ０電源）
１６よりなる。Ｖ０　電源１６は、設置部から負の高電
圧（Ｖ０電圧）を供給する。Ｖ２　電源１５はＶ０　電
圧を基準に初段加速電圧（Ｖ２電圧）を供給する。Ｖ１
　電源１４は、電子を引き出すための引出電圧（Ｖ１電
圧）をＶ０　電圧を基準に供給する。ＶＦ　電源１３は
、ＦＥチップ３の表面を加熱し、清浄化するための電圧
（ＶＦ電圧）をＶ０　電圧を基準に供給する。Ｖ０　電
源１５、Ｖ１　電源１４及びＶＦ　電源１３は、高電圧
絶縁容器１７の中に収納している。Ｖ０　電圧，Ｖ２　
電圧，Ｖ１　電圧及びＶＦ　電圧は、多芯の高電圧ケー
ブル１０により絶縁容器１に供給される。高電圧絶縁容
器１７と高電圧ケーブル１０は取外し可能な構造になっ
ている。

【００１０】高電圧ケーブル１０と絶縁容器１は、取外
しせず一体化構造とした。一体化構造としたため、従来
方式（図２）の高電圧ケーブル端末１２をなくすことが
出来た。また、絶縁容器１と高電圧ケーブル端末１２の
接合部１１の面に、取外し構造のものは、ゴミ等が付着
しやすく高電圧の絶縁不良を起す原因となるため、接合
部１１の沿面距離を大きくしていた。本発明（図３）で
は、高電圧ケーブル１０と絶縁容器１を一体化構造とし
たため、接合部の沿面距離を従来方式に比べ小さく出来
る。

【００１１】Ｖ０　電圧は、絶縁容器１のＶ０　端子１
８に接続され、Ｖ２　電圧は、Ｖ２　端子２１に接続さ
れ、Ｖ１　端子２０に接続され、ＶＦ　電圧はＶＦ　端
子１９に接続されている。ＦＥチップ３は、Ｖ０　端子
１８及びＶＦ　端子１９に接続されており、加速管８内
にある。加速管８内部は、１×１０−８Ｐａの超高真空
に保たれている。引出電極４は、第１電極２と同電位で
Ｖ１　端子２０に接続されている。

【００１２】初段加速電圧６は、第２電極５と同電位で
Ｖ２　端子２１に接続されている。第２電極５より下段
の加速電極７間には、分割抵抗９が取り付けてあり、（
Ｖ０　電圧−Ｖ２　電圧）／４の等分割された電圧が各
々の電極間に印加されている。

【００１３】ＦＥチップ３には、Ｖ０　電圧が印加され
、引出し電極４に印加された引出し電圧Ｖ１　によりＦ
Ｅチップより電子を電界放出させる。

【００１４】電界放出された電子は、初段加速電極６及
び加速電極７により加速されＶ０　電圧に相当するエネ
ルギーを持つ。

【００１５】図３の実施例によれば、絶縁容器１と高電
圧ケーブル１０が一体化構造となり接合部を小さく出来
、経済的であり耐振性の向上が図られる。

【００１６】

【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、絶縁容器１と高電圧ケーブル１０の接合部の放電要
因を除去出来る高電圧ケーブルと一体化したコンパクト
な絶縁容器を持つ耐振性の向上した多段加速方式電界放
出形電子銃が出来、性能安定性，経済性及び作業性が大
きく向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】電子銃，高電圧ケーブル及び高電圧電源のブロ
ック図である。

【図２】従来の電子銃部の断面図である。

【図３】本発明による電子銃部の断面図である。

【符号の説明】

１…絶縁容器、２…第１電極、３…ＦＥチップ、４…引
出し電極、５…第２電極、６…初段加速電極、７…加速
電極、８…加速管、９…分割抵抗、１０…高電圧ケーブ
ル、１１…接合部、１２…高電圧ケーブル端末、１３…
フラッシング電源（ＶＦ）、１４…電子引出電源（Ｖ１
）、１５…初段加速電源（Ｖ２）、１６…加速電源（Ｖ
０）、１７…高電圧電源容器、１８…Ｖ０　端子、１９
…ＶＦ　端子、２０…Ｖ１　端子、２１…Ｖ２　端子。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電界放出陰極と該陰極から電子を電界放出
   させる電子引出電極と電子を加速する２段以上の加速電
   極とから成る電子線加速部と電子線の外部絶縁容器と高
   電圧ケーブルおよび高電圧電源からなる電界放出形電子
   顕微鏡において、電子線加速部の外部絶縁容器と高電圧
   ケーブルを一体化したことを特徴とする電界放出形電子
   顕微鏡。