JPH0470733B2 - - Google Patents
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- JPH0470733B2 JPH0470733B2 JP22862286A JP22862286A JPH0470733B2 JP H0470733 B2 JPH0470733 B2 JP H0470733B2 JP 22862286 A JP22862286 A JP 22862286A JP 22862286 A JP22862286 A JP 22862286A JP H0470733 B2 JPH0470733 B2 JP H0470733B2
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- line
- potential
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 5
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 3
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
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- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は高圧連絡用母線に関し、更に詳しくは
電界放射型電子銃（FEG）に用いて好適な高圧
連絡用母線に関する。
電界放射型電子銃（FEG）に用いて好適な高圧
連絡用母線に関する。
（従来の技術）
電子顕微鏡は、電子銃から出射された電子を加
速集束して試料に照射し、透過電子乃至反射電子
を検出して像を得るようになつている。電子を加
速する場合において、一般には加速電圧が高い
程、像の分解能が向上する。このため、近年
FEG加速電圧として200KV程度の多段加速管も
用いられようとしている。
速集束して試料に照射し、透過電子乃至反射電子
を検出して像を得るようになつている。電子を加
速する場合において、一般には加速電圧が高い
程、像の分解能が向上する。このため、近年
FEG加速電圧として200KV程度の多段加速管も
用いられようとしている。
ところで、高電圧を発生する高電圧源と、電子
ビームを加速集束する多段加速管とは分離されて
いる。即ち、多段加速管は高電圧源とは別置され
ている鏡筒部内の真空室に設けられている。その
理由は鏡筒部は可能な限り小さくした方が高真空
を得やすいからである。一般に、鏡筒部は電子ビ
ームを加速集束するために複数種の電位を必要と
する。従つて、高電圧源側で複数種の電位等を用
意する必要があり、高電圧源と鏡筒部とは複数個
の供給線で接続される。
ビームを加速集束する多段加速管とは分離されて
いる。即ち、多段加速管は高電圧源とは別置され
ている鏡筒部内の真空室に設けられている。その
理由は鏡筒部は可能な限り小さくした方が高真空
を得やすいからである。一般に、鏡筒部は電子ビ
ームを加速集束するために複数種の電位を必要と
する。従つて、高電圧源側で複数種の電位等を用
意する必要があり、高電圧源と鏡筒部とは複数個
の供給線で接続される。
（発明が解決しようとする問題点）
現在、電界放射形電子銃（FEG）に200KVの
加速電圧を用いたものはまだ実用化されていな
い。従つて、200KVの高電位線を絶縁破壊を起
こすことなく、如何にして鏡筒部に接続するかが
問題となる。
加速電圧を用いたものはまだ実用化されていな
い。従つて、200KVの高電位線を絶縁破壊を起
こすことなく、如何にして鏡筒部に接続するかが
問題となる。
本発明はこのような点に鑑みてなされたもので
あつて、その目的は、200KV程度の高電圧を絶
縁破壊を起こすことなく、高電圧源側から多段加
速管側へ確実に供給することができる高圧連絡母
線を実現することにある。
あつて、その目的は、200KV程度の高電圧を絶
縁破壊を起こすことなく、高電圧源側から多段加
速管側へ確実に供給することができる高圧連絡母
線を実現することにある。
（問題点を解決するための手段）
前記した問題点を解決する本発明は、高電圧源
側から多段加速管側へ複数種の電位を供給する高
圧連絡用母線であつて、複数個の金属パイプを同
軸状に形成せしめて各金属パイプに所定の電位を
与えると共に各パイプ間の空〓部に各電位群ごと
の供給線を通すように構成したことを特徴とする
ものである。
側から多段加速管側へ複数種の電位を供給する高
圧連絡用母線であつて、複数個の金属パイプを同
軸状に形成せしめて各金属パイプに所定の電位を
与えると共に各パイプ間の空〓部に各電位群ごと
の供給線を通すように構成したことを特徴とする
ものである。
（作用）
複数個のパイプを同軸状に形成せしめ、各パイ
プ間の空〓部に各電位群ごとの電圧供給源を通
す。
プ間の空〓部に各電位群ごとの電圧供給源を通
す。
（実施例）
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に
説明する。
説明する。
実施例について説明する前に、電界放射型電子
銃（FEG）の構成について説明する。第３図は
200KV用FEGの構成例を示す図である。図にお
いて、１は熱電子放出用フイラメント、２はウエ
ネルト電極、３は第１アノード（引出し電極）、
４は電子集束用コンデンサレンズ、５は第２アノ
ードである。６は多段加速管で、抵抗R1〜R7に
よる分圧回路から分圧電圧が供給されている。
銃（FEG）の構成について説明する。第３図は
200KV用FEGの構成例を示す図である。図にお
いて、１は熱電子放出用フイラメント、２はウエ
ネルト電極、３は第１アノード（引出し電極）、
４は電子集束用コンデンサレンズ、５は第２アノ
ードである。６は多段加速管で、抵抗R1〜R7に
よる分圧回路から分圧電圧が供給されている。
７は鏡筒８（接地されている）の側面に取付け
られた供給線接続用のコネクタである。該コネク
タ７に接続される供給線としては、以下に示すよ
うなものがある。先ず、イオンポンプ（SIP）駆
動用電圧供給線（２本）、−200KV（ハイテンシヨ
ン−HT）の電圧供給線（１本）、フイラメント
１にパワーを供給するための供給線（２本）、ウ
エネルト電極２にバイアス電位を与えるための供
給線（１本）、第１アノード３に電位を与える供
給線（１本）、コンデンサレンズ４にパワーを供
給する供給線（２本）及び第２アノード５に電位
を与える供給線（１本）計10本の線がコネクタ７
に接続される。
られた供給線接続用のコネクタである。該コネク
タ７に接続される供給線としては、以下に示すよ
うなものがある。先ず、イオンポンプ（SIP）駆
動用電圧供給線（２本）、−200KV（ハイテンシヨ
ン−HT）の電圧供給線（１本）、フイラメント
１にパワーを供給するための供給線（２本）、ウ
エネルト電極２にバイアス電位を与えるための供
給線（１本）、第１アノード３に電位を与える供
給線（１本）、コンデンサレンズ４にパワーを供
給する供給線（２本）及び第２アノード５に電位
を与える供給線（１本）計10本の線がコネクタ７
に接続される。
C1はSIP線間に接続されたコンデンサ、C2は
200KV線と一方のフイラメント線間に接続され
たコンデンサ、C3は−200KV線と他方のフイラ
メント線間に接続されたコンデンサ、C4は−
200KV線と第１アノード線間に接続されたコン
デンサ、C5は−200KV線と第２アノード５間に
接続されたコンデンサである。D1，D2は何れも
双方向に電圧をクリツプするためのダイオード
（例えばバリスタ）でD1は−200KV線と一方のフ
イラメント線間に、D2は−200KV線と他方のフ
イラメント線間にそれぞれ接続されている。
AR1，AR2はアレスタ（定電圧放電管）で、AR1
は−200KV線と第１アノード３間に、AR2は−
200KV線と第２アノード５間にそれぞれ接続さ
れている。
200KV線と一方のフイラメント線間に接続され
たコンデンサ、C3は−200KV線と他方のフイラ
メント線間に接続されたコンデンサ、C4は−
200KV線と第１アノード線間に接続されたコン
デンサ、C5は−200KV線と第２アノード５間に
接続されたコンデンサである。D1，D2は何れも
双方向に電圧をクリツプするためのダイオード
（例えばバリスタ）でD1は−200KV線と一方のフ
イラメント線間に、D2は−200KV線と他方のフ
イラメント線間にそれぞれ接続されている。
AR1，AR2はアレスタ（定電圧放電管）で、AR1
は−200KV線と第１アノード３間に、AR2は−
200KV線と第２アノード５間にそれぞれ接続さ
れている。
S1は電子銃のコンデイシヨニング時にオンにな
るスイツチ、S2は同じくコンデイシヨニング時に
オンになるスイツチ群である。コンデイシヨニン
グ時にはハイテンシヨン電圧が10％程高められて
−220KV程度になる。そして、スイツチ群S2の
接点がオンになり、全ての電子線を−220KVの
ハイテンシヨン電位にし、多段加速管６の各アノ
ード及びインシユレータ（アルミナ碍子）の表面
をクリーニングしコンデイシヨニングを行う。
るスイツチ、S2は同じくコンデイシヨニング時に
オンになるスイツチ群である。コンデイシヨニン
グ時にはハイテンシヨン電圧が10％程高められて
−220KV程度になる。そして、スイツチ群S2の
接点がオンになり、全ての電子線を−220KVの
ハイテンシヨン電位にし、多段加速管６の各アノ
ード及びインシユレータ（アルミナ碍子）の表面
をクリーニングしコンデイシヨニングを行う。
ここで、コネクタに接続される供給線は以下の
ように３つの電位群に分類することができる。
ように３つの電位群に分類することができる。
第１群（フイラメント電位） −200KV
SIP駆動線 ２本
フイラメント ２本
−200KV線 １本
バイアス線 １本
第２群（第１アノード電位）
−200KV〜−190KV
第１アノード線 １本
レンズ線 ２本
第３群（第２アノード電位）
−200KV〜−190KV
第２アノード線 １本
第１図は本発明の一実施例を示す構成断面図で
ある。図において、１０乃至１２は同軸状に形成
された金属パイプ、１３は同軸の中心を通る金属
棒である。一番外側の金属パイプ１０は接地さ
れ、第２の金属パイプ１１にはハイテンシヨン電
位の−200KV電位が与えられ、第３の金属パイ
プ１２には第１アノード電位が与えられ、中心部
の金属棒１３には第２アノード電位が与えられて
いる。
ある。図において、１０乃至１２は同軸状に形成
された金属パイプ、１３は同軸の中心を通る金属
棒である。一番外側の金属パイプ１０は接地さ
れ、第２の金属パイプ１１にはハイテンシヨン電
位の−200KV電位が与えられ、第３の金属パイ
プ１２には第１アノード電位が与えられ、中心部
の金属棒１３には第２アノード電位が与えられて
いる。
１４は金属パイプ１１と１２間の空〓部に通さ
れた供給線、１５は金属パイプ１２と金属棒１３
間の空〓部に通された供給線である。そして、各
金属パイプ間の空〓部には、例えばエポキシ等の
絶縁物が充填されている。供給線１４は前述の第
１群の供給線（SIP駆動線，フイラメント線、バ
イアス線）であり、供給線１５は第２群の供給線
（レンズ線）である。第１図に示す供給線の本数
が実際の供給線よりも多いが、余りはダミーの供
給線となる。ダミー線を通しているのは、設計上
或いは特性的にバランスをとるためである。
れた供給線、１５は金属パイプ１２と金属棒１３
間の空〓部に通された供給線である。そして、各
金属パイプ間の空〓部には、例えばエポキシ等の
絶縁物が充填されている。供給線１４は前述の第
１群の供給線（SIP駆動線，フイラメント線、バ
イアス線）であり、供給線１５は第２群の供給線
（レンズ線）である。第１図に示す供給線の本数
が実際の供給線よりも多いが、余りはダミーの供
給線となる。ダミー線を通しているのは、設計上
或いは特性的にバランスをとるためである。
このように、本発明によれば、電子銃に与える
各電位群を同一ケーブル（母線）で構成できる。
又、金属パイプ１１の電位が−200KV，１２の
電位が−200KV〜−190KV，金属棒１３の電位
が−200KV〜−190KVである。従つて、各金属
パイプ間（又は金属パイプと金属棒間）の電位差
はたかだか10KV程度となり、絶縁対策がしやす
い。このようにして３つの電位群を金属パイプ等
で完全分離したので、電子銃放電時に３つの電位
群間に異常電圧が発生することはない。従つて、
エミツタの破損も起こりにくい。本発明によれば
１本の同軸ケーブルで高圧連絡用母線全てをまか
なうことができ、且つ構成も簡単であるので安価
で取扱いが容易となり、しかもメンテナンスもし
やすくなる。
各電位群を同一ケーブル（母線）で構成できる。
又、金属パイプ１１の電位が−200KV，１２の
電位が−200KV〜−190KV，金属棒１３の電位
が−200KV〜−190KVである。従つて、各金属
パイプ間（又は金属パイプと金属棒間）の電位差
はたかだか10KV程度となり、絶縁対策がしやす
い。このようにして３つの電位群を金属パイプ等
で完全分離したので、電子銃放電時に３つの電位
群間に異常電圧が発生することはない。従つて、
エミツタの破損も起こりにくい。本発明によれば
１本の同軸ケーブルで高圧連絡用母線全てをまか
なうことができ、且つ構成も簡単であるので安価
で取扱いが容易となり、しかもメンテナンスもし
やすくなる。
第２図は高圧連絡母線の縦方向断面図で、第１
図は図のＡ−Ａ部の断面を示している。第１図と
同一部分には、同一番号を付して示す。尚、図は
中心線に対して半分の構成断面を示しており、
残り半分は省略してある。図において、点線で囲
んだ部分はブツシング部２３であり、このブツシ
ング部中３０はエポキシ樹脂の充填部である。２
０は脱着可能なアダプタ部で、脱着可能にするこ
とにより保安点検のやりやすさを考慮している。
２４は高圧連絡用母線の端末部であり、３１は
EPゴムを用いた部材である。
図は図のＡ−Ａ部の断面を示している。第１図と
同一部分には、同一番号を付して示す。尚、図は
中心線に対して半分の構成断面を示しており、
残り半分は省略してある。図において、点線で囲
んだ部分はブツシング部２３であり、このブツシ
ング部中３０はエポキシ樹脂の充填部である。２
０は脱着可能なアダプタ部で、脱着可能にするこ
とにより保安点検のやりやすさを考慮している。
２４は高圧連絡用母線の端末部であり、３１は
EPゴムを用いた部材である。
高電圧源（図示せず）からの供給線は、各電圧
群ごとに設けられた空洞に挿入される。高圧連絡
用母線との接続はボルト締めされた板バネ２１，
２２及びコイルバネ２５による面接触で行われる
ので、脱着が可能となる。
群ごとに設けられた空洞に挿入される。高圧連絡
用母線との接続はボルト締めされた板バネ２１，
２２及びコイルバネ２５による面接触で行われる
ので、脱着が可能となる。
（発明の効果）
以上詳細に説明したように、本発明によれば複
数個の金属パイプを同軸状に形成せしめて各金属
パイプ間の空〓部材に各電位群ごとの供給線を通
すようにすることにより、200KV程度の高電圧
を絶縁破壊を起こすことなく高電圧源から多段加
速管側へ確実に供給することができる高圧連絡用
母線を実現することができる。本発明によれば複
数本の供給線を１本のケーブルで構成できるの
で、安価で取扱いも容易にできる。
数個の金属パイプを同軸状に形成せしめて各金属
パイプ間の空〓部材に各電位群ごとの供給線を通
すようにすることにより、200KV程度の高電圧
を絶縁破壊を起こすことなく高電圧源から多段加
速管側へ確実に供給することができる高圧連絡用
母線を実現することができる。本発明によれば複
数本の供給線を１本のケーブルで構成できるの
で、安価で取扱いも容易にできる。
第１図は本発明の一実施例を示す構成断面図、
第２図は高圧連絡用母線の縦方向断面図、第３図
は200KV用FEGの構成例を示す図である。 １……フイラメント、２……ウエネルト電極、
３……第１アノード、４……コンデンサレンズ、
５……第２アノード、６……多段加速管、７……
コネクタ、１０〜１２……金属パイプ、１３……
金属棒、１４，１５……供給線、２０……アダプ
タ部、２１，２２……板バネ、２３……ブツシン
グ部、２４……母線端末部、２５……コイルバ
ネ、３０……エポキシ樹脂充填部、３１……部
材。
第２図は高圧連絡用母線の縦方向断面図、第３図
は200KV用FEGの構成例を示す図である。 １……フイラメント、２……ウエネルト電極、
３……第１アノード、４……コンデンサレンズ、
５……第２アノード、６……多段加速管、７……
コネクタ、１０〜１２……金属パイプ、１３……
金属棒、１４，１５……供給線、２０……アダプ
タ部、２１，２２……板バネ、２３……ブツシン
グ部、２４……母線端末部、２５……コイルバ
ネ、３０……エポキシ樹脂充填部、３１……部
材。
Claims (1)
- １ 高電圧源側から多段加速管側へ複数種の電位
を供給する高圧連絡用母線であつて、複数個の金
属パイプを同軸状に形成せしめて各金属パイプに
所定の電位を与えると共に各パイプ間の空〓部に
各電位群ごとの供給線を通すように構成したこと
を特徴とする高圧連絡用母線。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22862286A JPS6381744A (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 | 高圧連絡用母線 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22862286A JPS6381744A (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 | 高圧連絡用母線 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6381744A JPS6381744A (ja) | 1988-04-12 |
| JPH0470733B2 true JPH0470733B2 (ja) | 1992-11-11 |
Family
ID=16879224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22862286A Granted JPS6381744A (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 | 高圧連絡用母線 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6381744A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102324685B1 (ko) * | 2021-01-27 | 2021-11-11 | 주식회사 이레이 | 단일 회로 다중 출력 고전압 전원장치 |
-
1986
- 1986-09-26 JP JP22862286A patent/JPS6381744A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6381744A (ja) | 1988-04-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |