JPS6381744A - 高圧連絡用母線 - Google Patents
高圧連絡用母線Info
- Publication number
- JPS6381744A JPS6381744A JP22862286A JP22862286A JPS6381744A JP S6381744 A JPS6381744 A JP S6381744A JP 22862286 A JP22862286 A JP 22862286A JP 22862286 A JP22862286 A JP 22862286A JP S6381744 A JPS6381744 A JP S6381744A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- potential
- voltage
- metal
- pipes
- line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 33
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract description 5
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 6
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 4
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 108010083687 Ion Pumps Proteins 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005513 bias potential Methods 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は高圧連絡用母線に関し、更に詳しくは電界放射
型電子銃(FEG)に用いて好適な高圧連絡用母線に関
する。
型電子銃(FEG)に用いて好適な高圧連絡用母線に関
する。
(従来の技術)
電子顕微鏡は、電子銃から出射された電子を加速集束し
て試料に照射し、透過電子乃至は反射電子を検出して像
を得るようになっている。電子を加速する場合において
、一般には加速電圧が高い程、像の分解能が向上する。
て試料に照射し、透過電子乃至は反射電子を検出して像
を得るようになっている。電子を加速する場合において
、一般には加速電圧が高い程、像の分解能が向上する。
このため、近年FEG加速電圧として200KV程度の
多段加速管も用いられようとしている。
多段加速管も用いられようとしている。
ところで、高電圧を発生する高電圧源と、電子ビームを
加速集束する多段加速管とは分離されている。即ち、多
段加速管は高電圧源とは別置されている鏡筒部内の真空
室に設けられている。その理由は鏡筒部は可能な限り小
さくした方が高真空を得やすいからである。一般に、鏡
筒部は電子ビームを加速集束するために複数種の電位を
必要とする。従って、高電圧源側で複数種の電位等を用
意する必要があり、高電圧源と鏡筒部とは複数個の供給
線で接続される。
加速集束する多段加速管とは分離されている。即ち、多
段加速管は高電圧源とは別置されている鏡筒部内の真空
室に設けられている。その理由は鏡筒部は可能な限り小
さくした方が高真空を得やすいからである。一般に、鏡
筒部は電子ビームを加速集束するために複数種の電位を
必要とする。従って、高電圧源側で複数種の電位等を用
意する必要があり、高電圧源と鏡筒部とは複数個の供給
線で接続される。
(発明が解決しようとする問題点)
現在、電界放射型電子銃(FEG)に200に■の加速
電圧を用いたものはまだ実用化されていない。従って、
200KVの高電位線を絶縁破壊を起こすことなく、如
何にして鏡筒部に接続するかが問題となる。
電圧を用いたものはまだ実用化されていない。従って、
200KVの高電位線を絶縁破壊を起こすことなく、如
何にして鏡筒部に接続するかが問題となる。
本発明はこのような点に鑑みてなぎれたものであって、
その目的は、200KV程度の高電圧を絶縁破壊を起こ
すことなく、高電圧源側から多段加速管側へ確実に供給
することができる高圧連絡rfi線を実用することにあ
る。
その目的は、200KV程度の高電圧を絶縁破壊を起こ
すことなく、高電圧源側から多段加速管側へ確実に供給
することができる高圧連絡rfi線を実用することにあ
る。
(問題点を解決するための手段)
前記した問題点を解決する本発明は、高電圧源側から多
段加速管側へ′IJ数種の電位を供給する高圧連絡用母
線であって、複数個の金属パイプを同軸状に形成せしめ
て各金属パイプに所定の電位を与えると共に各パイプ間
の空隙部に各電位群ごとの供給線を通すように構成した
ことを特徴とするものである。
段加速管側へ′IJ数種の電位を供給する高圧連絡用母
線であって、複数個の金属パイプを同軸状に形成せしめ
て各金属パイプに所定の電位を与えると共に各パイプ間
の空隙部に各電位群ごとの供給線を通すように構成した
ことを特徴とするものである。
(作用)
複数個のパイプを同軸状に形成せしめ、各バイ1間の空
隙部に各電位群ごとの電圧供給線を通す。
隙部に各電位群ごとの電圧供給線を通す。
(実施例)
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
。
。
実施例について説明する前に、電界放射型電子銃(FE
G)の構成について説明する。第3図は20OKV用F
EGの構成例を示1図である。図において、1は熱電子
放出用フィラメン1−12はウニネル[・電極、3は第
1アノード(引出し電極)、4は電子集束用コンデンサ
レンズ、5は第2アノードである。6は多段加速管で、
抵抗R1〜R7による分圧回路から分圧電圧が供給され
ている。
G)の構成について説明する。第3図は20OKV用F
EGの構成例を示1図である。図において、1は熱電子
放出用フィラメン1−12はウニネル[・電極、3は第
1アノード(引出し電極)、4は電子集束用コンデンサ
レンズ、5は第2アノードである。6は多段加速管で、
抵抗R1〜R7による分圧回路から分圧電圧が供給され
ている。
7は鏡筒8(接地されている)の側面に取付けられた供
給線接続用のコネクタである。該コネクタ7に接続され
る供給線としては、以下に示すようなものがある。先ず
、イオンポンプ(SIP)駆動用電圧供給線(2本)、
−200KV(ハイテンション電圧 T >の電圧供給
線(1本)、フィラメント1にパワーを供給するための
供給線(2本)、ウェネルト電極2にバイアス電位を与
えるための供給線(1本)、第1アノード3に電位を与
える供給線(1本)、コンデンジレンズ4にパワーを供
給する供給線(2本)及び第2アノード5に電位を与え
る供給線(1本)計10本の線がコネクタ7に接続され
る。
給線接続用のコネクタである。該コネクタ7に接続され
る供給線としては、以下に示すようなものがある。先ず
、イオンポンプ(SIP)駆動用電圧供給線(2本)、
−200KV(ハイテンション電圧 T >の電圧供給
線(1本)、フィラメント1にパワーを供給するための
供給線(2本)、ウェネルト電極2にバイアス電位を与
えるための供給線(1本)、第1アノード3に電位を与
える供給線(1本)、コンデンジレンズ4にパワーを供
給する供給線(2本)及び第2アノード5に電位を与え
る供給線(1本)計10本の線がコネクタ7に接続され
る。
C1はSIP線間に接続されたコンデンサ、C2は20
0Kllと一方のフィラメント線間に接続されたコンデ
ンサ、C3は一200KV線と他方のフィラメント線間
に接続されたコンデンサ、C4は一200KV線と第1
アノード線間に接続されたコンデンサ、C5は一200
Kllと第2アノード5間に接続されたコンデンサであ
る。Dl、C2は何れも双方向に電圧をクリップするた
めのダイオード(例えばバリスタ)でDlは一200K
V線と一方のフィラメント線間に、C2は一200KV
線と他方のフィラメント線間にそれぞれ接続されている
。△R1,AR2はアレスタ(定電圧放電管)で、AR
+は一200Kv線と第1アノード3間に、A Rzは
一200KV線と第2アノード5間にそれぞれ接続され
ている。
0Kllと一方のフィラメント線間に接続されたコンデ
ンサ、C3は一200KV線と他方のフィラメント線間
に接続されたコンデンサ、C4は一200KV線と第1
アノード線間に接続されたコンデンサ、C5は一200
Kllと第2アノード5間に接続されたコンデンサであ
る。Dl、C2は何れも双方向に電圧をクリップするた
めのダイオード(例えばバリスタ)でDlは一200K
V線と一方のフィラメント線間に、C2は一200KV
線と他方のフィラメント線間にそれぞれ接続されている
。△R1,AR2はアレスタ(定電圧放電管)で、AR
+は一200Kv線と第1アノード3間に、A Rzは
一200KV線と第2アノード5間にそれぞれ接続され
ている。
Slは電子銃のコンディショニング時にオンになるスイ
ッチ、Slは同じくコンディショニング時にオンになる
スイッチ群である。コンディショニング時にはハイテン
ション電圧が10%程高められて−220K V Pi
’ Oになる。そして、スイッチ群S2の接点がオンに
なり、全ての電位線を−220KVのハイテンション電
位にし、多段加速@6の各アノード及びインシュレータ
(アルミナ碍子)の表面をクリーニングしコンディショ
ニングを行う。
ッチ、Slは同じくコンディショニング時にオンになる
スイッチ群である。コンディショニング時にはハイテン
ション電圧が10%程高められて−220K V Pi
’ Oになる。そして、スイッチ群S2の接点がオンに
なり、全ての電位線を−220KVのハイテンション電
位にし、多段加速@6の各アノード及びインシュレータ
(アルミナ碍子)の表面をクリーニングしコンディショ
ニングを行う。
ここで、コネクタに接続される供給線は以下のように3
つの電位群に分類することができる。
つの電位群に分類することができる。
■第1群(フィラメント電位) −200KVSI
P駆妨線 2本 フィラメント 2本 一200KV線 1本 バイアス線 1本 ■第2群〈第1アノード電位) −200KV 〜−190KV 第17ノード線 1本 レンズ線 2本 ■第38F(第2アノード電位) 一200KV〜−190KV 第2アノード線 1本 第1図は本発明の一実施例を示す構成断面図である。図
において、10乃至12は同軸状に形成された金属パイ
プ、13は同軸の中心を通る金属棒である。一番外側の
金属パイプ10は接地され、第2の金属パイプ11には
ハイテンション電位の一200KVTI位が与えられ、
′XI3の金属パイプ12には第1アノード電位が与え
られ、中心部の金属棒13には第2アノード電位が与え
られている。
P駆妨線 2本 フィラメント 2本 一200KV線 1本 バイアス線 1本 ■第2群〈第1アノード電位) −200KV 〜−190KV 第17ノード線 1本 レンズ線 2本 ■第38F(第2アノード電位) 一200KV〜−190KV 第2アノード線 1本 第1図は本発明の一実施例を示す構成断面図である。図
において、10乃至12は同軸状に形成された金属パイ
プ、13は同軸の中心を通る金属棒である。一番外側の
金属パイプ10は接地され、第2の金属パイプ11には
ハイテンション電位の一200KVTI位が与えられ、
′XI3の金属パイプ12には第1アノード電位が与え
られ、中心部の金属棒13には第2アノード電位が与え
られている。
14は金属パイプ11と12間の空隙部に通された供給
線、15は金属パイプ12と金属棒13間の空隙部に通
された供給線である。そして、各金属バイ1間の空FM
部には、例えばエポキシ等の絶縁物が充填されている。
線、15は金属パイプ12と金属棒13間の空隙部に通
された供給線である。そして、各金属バイ1間の空FM
部には、例えばエポキシ等の絶縁物が充填されている。
供給線14は前述の第1群の供給線(SIP駆動線、フ
ィラメント線、バイアスlit>であり、供給115は
第2群の供給線(レンズa>である。第1図に示す供給
線の本数が実際の供給線よりも多いが、余りはダミーの
供給線となる。ダミー線を通しているのは、設計上或い
は特性的にバランスをとるためである。
ィラメント線、バイアスlit>であり、供給115は
第2群の供給線(レンズa>である。第1図に示す供給
線の本数が実際の供給線よりも多いが、余りはダミーの
供給線となる。ダミー線を通しているのは、設計上或い
は特性的にバランスをとるためである。
このように、本発明によれば、電子銃に与える各電位群
を同一ケーブル(母線)で構成できる。
を同一ケーブル(母線)で構成できる。
又、今風パイプ11の電位が一200KV、12の電位
が一200KV 〜−190KV、金属棒13の11位
が一200KV〜−190KVである。
が一200KV 〜−190KV、金属棒13の11位
が一200KV〜−190KVである。
従って、各金属パイプ間(又は金属パイプと金属棒間)
のm位差はたかだかl0KV程度となり、絶縁対策がし
やすい。このようにして3つの電位群を金属パイプ等で
完全分離したので、電子銃放電時に3つの電位群間に異
常電圧が発生することはない。従って、エミッタの破損
も起こりにくい。
のm位差はたかだかl0KV程度となり、絶縁対策がし
やすい。このようにして3つの電位群を金属パイプ等で
完全分離したので、電子銃放電時に3つの電位群間に異
常電圧が発生することはない。従って、エミッタの破損
も起こりにくい。
本発明によれば1本の同軸ケーブルで高圧連絡母線全て
をまかなうことができ、且つ構成も簡単であるので安価
で取扱いが容易となり、しかもメンテナンスもしやすく
なる。
をまかなうことができ、且つ構成も簡単であるので安価
で取扱いが容易となり、しかもメンテナンスもしやすく
なる。
第2図は高圧連絡母線の縦方向IWi面図で、第1図は
図のA−A部の断面を示している。第1図と同一部分に
は、同一番号を付して示す。尚、図は中心線!に対して
半分の構成断面を示しており、残り半分は省略しである
。図において、点線で囲んだ部分はブッシング部23で
あり、このブッシング部中30はエポキシ樹脂の充填部
である。2Oは脱着可能なアダプタ部で、脱着可能にす
ることにより保安点検のやりやすさを考慮している。
図のA−A部の断面を示している。第1図と同一部分に
は、同一番号を付して示す。尚、図は中心線!に対して
半分の構成断面を示しており、残り半分は省略しである
。図において、点線で囲んだ部分はブッシング部23で
あり、このブッシング部中30はエポキシ樹脂の充填部
である。2Oは脱着可能なアダプタ部で、脱着可能にす
ることにより保安点検のやりやすさを考慮している。
24は高圧連絡用母線の端末部であり、31はEPゴム
を用いた部材である。
を用いた部材である。
n?f圧源(図示せず)からの供給線は、各電圧群ごと
に設けられた空洞に挿入される。高圧連絡用母線との接
続はボルト締めされた仮バネ21゜22及びコイルバネ
25による面接融で行われるので、脱着が可能となる。
に設けられた空洞に挿入される。高圧連絡用母線との接
続はボルト締めされた仮バネ21゜22及びコイルバネ
25による面接融で行われるので、脱着が可能となる。
(発明の効果)
以上詳細に説明したように、本発明によれば複数mの金
属パイプを同軸状に形成せしめて各金属パイプ間の空隙
部に各電位群ごとの供給線を通すようにすることにより
、200KV程度の高電圧を絶縁破壊を起こすことなく
高電圧源から多段加速管側へ確実に供給することができ
る高圧連絡用母線を実現することができる。本発明によ
れば複数本の供給線を1本のケーブルで構成できるので
、安価で取扱いも容易にできる。
属パイプを同軸状に形成せしめて各金属パイプ間の空隙
部に各電位群ごとの供給線を通すようにすることにより
、200KV程度の高電圧を絶縁破壊を起こすことなく
高電圧源から多段加速管側へ確実に供給することができ
る高圧連絡用母線を実現することができる。本発明によ
れば複数本の供給線を1本のケーブルで構成できるので
、安価で取扱いも容易にできる。
M1図は本発明の一実施例を示す構成r!fr而図、面
2図は高圧連絡用母線の縦方向断面図、第3図は20O
KV用FEGの構成例を示ず図である。 1・・・フィラメント 2・・・ウェネルト電極3・
・・第1アノード 4・・・コンデンサレンズ5・・
・第2アノード 6・・・多段加速管7・・・コネク
タ 10〜12・・・金属パイプ13・・・金属
棒 14.15・・・供給線20・・・アダプタ
部 21.22・・・板バネ23・・・ブッシング部
24・・・母線端末部25・・・コイルバネ 30・・・エポキシ樹脂充填部 31・・・部材 特許出願人 日 本 電 子 株 式
会 社代 理 人 弁理士 井 島
藤 冶外1名
2図は高圧連絡用母線の縦方向断面図、第3図は20O
KV用FEGの構成例を示ず図である。 1・・・フィラメント 2・・・ウェネルト電極3・
・・第1アノード 4・・・コンデンサレンズ5・・
・第2アノード 6・・・多段加速管7・・・コネク
タ 10〜12・・・金属パイプ13・・・金属
棒 14.15・・・供給線20・・・アダプタ
部 21.22・・・板バネ23・・・ブッシング部
24・・・母線端末部25・・・コイルバネ 30・・・エポキシ樹脂充填部 31・・・部材 特許出願人 日 本 電 子 株 式
会 社代 理 人 弁理士 井 島
藤 冶外1名
Claims (1)
- 高電圧源側から多段加速管側へ複数種の電位を供給する
高圧連絡用母線であって、複数個の金属パイプを同軸状
に形成せしめて各金属パイプに所定の電位を与えると共
に各パイプ間の空隙部に各電位群ごとの供給線を通すよ
うに構成したことを特徴とする高圧連絡用母線。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22862286A JPS6381744A (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 | 高圧連絡用母線 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22862286A JPS6381744A (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 | 高圧連絡用母線 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6381744A true JPS6381744A (ja) | 1988-04-12 |
JPH0470733B2 JPH0470733B2 (ja) | 1992-11-11 |
Family
ID=16879224
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22862286A Granted JPS6381744A (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 | 高圧連絡用母線 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6381744A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102324685B1 (ko) * | 2021-01-27 | 2021-11-11 | 주식회사 이레이 | 단일 회로 다중 출력 고전압 전원장치 |
-
1986
- 1986-09-26 JP JP22862286A patent/JPS6381744A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102324685B1 (ko) * | 2021-01-27 | 2021-11-11 | 주식회사 이레이 | 단일 회로 다중 출력 고전압 전원장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0470733B2 (ja) | 1992-11-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5154638A (en) | High-voltage connector for an x-ray tube | |
EP0578454A1 (en) | Mammography method and mammography X-ray tube | |
US6798865B2 (en) | HV system for a mono-polar CT tube | |
JPS6381744A (ja) | 高圧連絡用母線 | |
US2785311A (en) | Low voltage ion source | |
JPH0460319B2 (ja) | ||
US5059859A (en) | Charged particle beam generating apparatus of multi-stage acceleration type | |
US4379978A (en) | Means and method for making electrical connection to cathode ray tubes | |
US20020047545A1 (en) | Particle accelerator | |
JP3400885B2 (ja) | フランジマウント型熱陰極電離真空計 | |
US3731089A (en) | Mass spectrometer ion source having means for rapidly expelling ions from the source and method of operation | |
US1990368A (en) | X-ray apparatus | |
JPS5845140B2 (ja) | イオンビ−ム源 | |
US2088493A (en) | Cathode ray tube | |
US3303345A (en) | Image amplifier with magnification grid | |
JPS58161234A (ja) | 電界放出型荷電粒子発生装置 | |
CN1041972C (zh) | 放电元件 | |
JPS6089049A (ja) | 高電圧部材の着脱装置 | |
EP0247688A2 (en) | Cathode ray tube | |
KR950008025Y1 (ko) | 고압처리 회로 | |
US6504325B1 (en) | Cathode ray tube assembly including a socket with a resistor for changing dynamic focus voltage | |
US2488132A (en) | Deflection system for cathode-ray tubes | |
JP2535694Y2 (ja) | 電子線源装置 | |
JPS59148245A (ja) | 電子銃電極構体 | |
JPH0658794B2 (ja) | 荷電粒子線装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |