JPS6381744A - 高圧連絡用母線 - Google Patents
高圧連絡用母線Info
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- JPS6381744A JPS6381744A JP22862286A JP22862286A JPS6381744A JP S6381744 A JPS6381744 A JP S6381744A JP 22862286 A JP22862286 A JP 22862286A JP 22862286 A JP22862286 A JP 22862286A JP S6381744 A JPS6381744 A JP S6381744A
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- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は高圧連絡用母線に関し、更に詳しくは電界放射
型電子銃（ＦＥＧ）に用いて好適な高圧連絡用母線に関
する。
型電子銃（ＦＥＧ）に用いて好適な高圧連絡用母線に関
する。
（従来の技術）
電子顕微鏡は、電子銃から出射された電子を加速集束し
て試料に照射し、透過電子乃至は反射電子を検出して像
を得るようになっている。電子を加速する場合において
、一般には加速電圧が高い程、像の分解能が向上する。
て試料に照射し、透過電子乃至は反射電子を検出して像
を得るようになっている。電子を加速する場合において
、一般には加速電圧が高い程、像の分解能が向上する。
このため、近年ＦＥＧ加速電圧として２００ＫＶ程度の
多段加速管も用いられようとしている。
多段加速管も用いられようとしている。
ところで、高電圧を発生する高電圧源と、電子ビームを
加速集束する多段加速管とは分離されている。即ち、多
段加速管は高電圧源とは別置されている鏡筒部内の真空
室に設けられている。その理由は鏡筒部は可能な限り小
さくした方が高真空を得やすいからである。一般に、鏡
筒部は電子ビームを加速集束するために複数種の電位を
必要とする。従って、高電圧源側で複数種の電位等を用
意する必要があり、高電圧源と鏡筒部とは複数個の供給
線で接続される。
加速集束する多段加速管とは分離されている。即ち、多
段加速管は高電圧源とは別置されている鏡筒部内の真空
室に設けられている。その理由は鏡筒部は可能な限り小
さくした方が高真空を得やすいからである。一般に、鏡
筒部は電子ビームを加速集束するために複数種の電位を
必要とする。従って、高電圧源側で複数種の電位等を用
意する必要があり、高電圧源と鏡筒部とは複数個の供給
線で接続される。
（発明が解決しようとする問題点）
現在、電界放射型電子銃（ＦＥＧ）に２００に■の加速
電圧を用いたものはまだ実用化されていない。従って、
２００ＫＶの高電位線を絶縁破壊を起こすことなく、如
何にして鏡筒部に接続するかが問題となる。
電圧を用いたものはまだ実用化されていない。従って、
２００ＫＶの高電位線を絶縁破壊を起こすことなく、如
何にして鏡筒部に接続するかが問題となる。
本発明はこのような点に鑑みてなぎれたものであって、
その目的は、２００ＫＶ程度の高電圧を絶縁破壊を起こ
すことなく、高電圧源側から多段加速管側へ確実に供給
することができる高圧連絡ｒｆｉ線を実用することにあ
る。
その目的は、２００ＫＶ程度の高電圧を絶縁破壊を起こ
すことなく、高電圧源側から多段加速管側へ確実に供給
することができる高圧連絡ｒｆｉ線を実用することにあ
る。
（問題点を解決するための手段）
前記した問題点を解決する本発明は、高電圧源側から多
段加速管側へ′ＩＪ数種の電位を供給する高圧連絡用母
線であって、複数個の金属パイプを同軸状に形成せしめ
て各金属パイプに所定の電位を与えると共に各パイプ間
の空隙部に各電位群ごとの供給線を通すように構成した
ことを特徴とするものである。
段加速管側へ′ＩＪ数種の電位を供給する高圧連絡用母
線であって、複数個の金属パイプを同軸状に形成せしめ
て各金属パイプに所定の電位を与えると共に各パイプ間
の空隙部に各電位群ごとの供給線を通すように構成した
ことを特徴とするものである。
（作用）
複数個のパイプを同軸状に形成せしめ、各バイ１間の空
隙部に各電位群ごとの電圧供給線を通す。
隙部に各電位群ごとの電圧供給線を通す。
（実施例）
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
。
。
実施例について説明する前に、電界放射型電子銃（ＦＥ
Ｇ）の構成について説明する。第３図は２０ＯＫＶ用Ｆ
ＥＧの構成例を示１図である。図において、１は熱電子
放出用フィラメン１−１２はウニネル［・電極、３は第
１アノード（引出し電極）、４は電子集束用コンデンサ
レンズ、５は第２アノードである。６は多段加速管で、
抵抗Ｒ１〜Ｒ７による分圧回路から分圧電圧が供給され
ている。
Ｇ）の構成について説明する。第３図は２０ＯＫＶ用Ｆ
ＥＧの構成例を示１図である。図において、１は熱電子
放出用フィラメン１−１２はウニネル［・電極、３は第
１アノード（引出し電極）、４は電子集束用コンデンサ
レンズ、５は第２アノードである。６は多段加速管で、
抵抗Ｒ１〜Ｒ７による分圧回路から分圧電圧が供給され
ている。
７は鏡筒８（接地されている）の側面に取付けられた供
給線接続用のコネクタである。該コネクタ７に接続され
る供給線としては、以下に示すようなものがある。先ず
、イオンポンプ（ＳＩＰ）駆動用電圧供給線（２本）、
−２００ＫＶ（ハイテンション電圧 Ｔ ＞の電圧供給
線（１本）、フィラメント１にパワーを供給するための
供給線（２本）、ウェネルト電極２にバイアス電位を与
えるための供給線（１本）、第１アノード３に電位を与
える供給線（１本）、コンデンジレンズ４にパワーを供
給する供給線（２本）及び第２アノード５に電位を与え
る供給線（１本）計１０本の線がコネクタ７に接続され
る。
給線接続用のコネクタである。該コネクタ７に接続され
る供給線としては、以下に示すようなものがある。先ず
、イオンポンプ（ＳＩＰ）駆動用電圧供給線（２本）、
−２００ＫＶ（ハイテンション電圧 Ｔ ＞の電圧供給
線（１本）、フィラメント１にパワーを供給するための
供給線（２本）、ウェネルト電極２にバイアス電位を与
えるための供給線（１本）、第１アノード３に電位を与
える供給線（１本）、コンデンジレンズ４にパワーを供
給する供給線（２本）及び第２アノード５に電位を与え
る供給線（１本）計１０本の線がコネクタ７に接続され
る。
Ｃ１はＳＩＰ線間に接続されたコンデンサ、Ｃ２は２０
０Ｋｌｌと一方のフィラメント線間に接続されたコンデ
ンサ、Ｃ３は一２００ＫＶ線と他方のフィラメント線間
に接続されたコンデンサ、Ｃ４は一２００ＫＶ線と第１
アノード線間に接続されたコンデンサ、Ｃ５は一２００
Ｋｌｌと第２アノード５間に接続されたコンデンサであ
る。Ｄｌ、Ｃ２は何れも双方向に電圧をクリップするた
めのダイオード（例えばバリスタ）でＤｌは一２００Ｋ
Ｖ線と一方のフィラメント線間に、Ｃ２は一２００ＫＶ
線と他方のフィラメント線間にそれぞれ接続されている
。△Ｒ１，ＡＲ２はアレスタ（定電圧放電管）で、ＡＲ
＋は一２００Ｋｖ線と第１アノード３間に、Ａ Ｒｚは
一２００ＫＶ線と第２アノード５間にそれぞれ接続され
ている。
０Ｋｌｌと一方のフィラメント線間に接続されたコンデ
ンサ、Ｃ３は一２００ＫＶ線と他方のフィラメント線間
に接続されたコンデンサ、Ｃ４は一２００ＫＶ線と第１
アノード線間に接続されたコンデンサ、Ｃ５は一２００
Ｋｌｌと第２アノード５間に接続されたコンデンサであ
る。Ｄｌ、Ｃ２は何れも双方向に電圧をクリップするた
めのダイオード（例えばバリスタ）でＤｌは一２００Ｋ
Ｖ線と一方のフィラメント線間に、Ｃ２は一２００ＫＶ
線と他方のフィラメント線間にそれぞれ接続されている
。△Ｒ１，ＡＲ２はアレスタ（定電圧放電管）で、ＡＲ
＋は一２００Ｋｖ線と第１アノード３間に、Ａ Ｒｚは
一２００ＫＶ線と第２アノード５間にそれぞれ接続され
ている。
Ｓｌは電子銃のコンディショニング時にオンになるスイ
ッチ、Ｓｌは同じくコンディショニング時にオンになる
スイッチ群である。コンディショニング時にはハイテン
ション電圧が１０％程高められて−２２０Ｋ Ｖ Ｐｉ
’ Ｏになる。そして、スイッチ群Ｓ２の接点がオンに
なり、全ての電位線を−２２０ＫＶのハイテンション電
位にし、多段加速＠６の各アノード及びインシュレータ
（アルミナ碍子）の表面をクリーニングしコンディショ
ニングを行う。
ッチ、Ｓｌは同じくコンディショニング時にオンになる
スイッチ群である。コンディショニング時にはハイテン
ション電圧が１０％程高められて−２２０Ｋ Ｖ Ｐｉ
’ Ｏになる。そして、スイッチ群Ｓ２の接点がオンに
なり、全ての電位線を−２２０ＫＶのハイテンション電
位にし、多段加速＠６の各アノード及びインシュレータ
（アルミナ碍子）の表面をクリーニングしコンディショ
ニングを行う。
ここで、コネクタに接続される供給線は以下のように３
つの電位群に分類することができる。
つの電位群に分類することができる。
■第１群（フィラメント電位） −２００ＫＶＳＩ
Ｐ駆妨線 ２本 フィラメント ２本 一２００ＫＶ線 １本 バイアス線 １本 ■第２群〈第１アノード電位） −２００ＫＶ 〜−１９０ＫＶ 第１７ノード線 １本 レンズ線 ２本 ■第３８Ｆ（第２アノード電位） 一２００ＫＶ〜−１９０ＫＶ 第２アノード線 １本 第１図は本発明の一実施例を示す構成断面図である。図
において、１０乃至１２は同軸状に形成された金属パイ
プ、１３は同軸の中心を通る金属棒である。一番外側の
金属パイプ１０は接地され、第２の金属パイプ１１には
ハイテンション電位の一２００ＫＶＴＩ位が与えられ、
′ＸＩ３の金属パイプ１２には第１アノード電位が与え
られ、中心部の金属棒１３には第２アノード電位が与え
られている。
Ｐ駆妨線 ２本 フィラメント ２本 一２００ＫＶ線 １本 バイアス線 １本 ■第２群〈第１アノード電位） −２００ＫＶ 〜−１９０ＫＶ 第１７ノード線 １本 レンズ線 ２本 ■第３８Ｆ（第２アノード電位） 一２００ＫＶ〜−１９０ＫＶ 第２アノード線 １本 第１図は本発明の一実施例を示す構成断面図である。図
において、１０乃至１２は同軸状に形成された金属パイ
プ、１３は同軸の中心を通る金属棒である。一番外側の
金属パイプ１０は接地され、第２の金属パイプ１１には
ハイテンション電位の一２００ＫＶＴＩ位が与えられ、
′ＸＩ３の金属パイプ１２には第１アノード電位が与え
られ、中心部の金属棒１３には第２アノード電位が与え
られている。
１４は金属パイプ１１と１２間の空隙部に通された供給
線、１５は金属パイプ１２と金属棒１３間の空隙部に通
された供給線である。そして、各金属バイ１間の空ＦＭ
部には、例えばエポキシ等の絶縁物が充填されている。
線、１５は金属パイプ１２と金属棒１３間の空隙部に通
された供給線である。そして、各金属バイ１間の空ＦＭ
部には、例えばエポキシ等の絶縁物が充填されている。
供給線１４は前述の第１群の供給線（ＳＩＰ駆動線、フ
ィラメント線、バイアスｌｉｔ＞であり、供給１１５は
第２群の供給線（レンズａ＞である。第１図に示す供給
線の本数が実際の供給線よりも多いが、余りはダミーの
供給線となる。ダミー線を通しているのは、設計上或い
は特性的にバランスをとるためである。
ィラメント線、バイアスｌｉｔ＞であり、供給１１５は
第２群の供給線（レンズａ＞である。第１図に示す供給
線の本数が実際の供給線よりも多いが、余りはダミーの
供給線となる。ダミー線を通しているのは、設計上或い
は特性的にバランスをとるためである。
このように、本発明によれば、電子銃に与える各電位群
を同一ケーブル（母線）で構成できる。
を同一ケーブル（母線）で構成できる。
又、今風パイプ１１の電位が一２００ＫＶ、１２の電位
が一２００ＫＶ 〜−１９０ＫＶ、金属棒１３の１１位
が一２００ＫＶ〜−１９０ＫＶである。
が一２００ＫＶ 〜−１９０ＫＶ、金属棒１３の１１位
が一２００ＫＶ〜−１９０ＫＶである。
従って、各金属パイプ間（又は金属パイプと金属棒間）
のｍ位差はたかだかｌ０ＫＶ程度となり、絶縁対策がし
やすい。このようにして３つの電位群を金属パイプ等で
完全分離したので、電子銃放電時に３つの電位群間に異
常電圧が発生することはない。従って、エミッタの破損
も起こりにくい。
のｍ位差はたかだかｌ０ＫＶ程度となり、絶縁対策がし
やすい。このようにして３つの電位群を金属パイプ等で
完全分離したので、電子銃放電時に３つの電位群間に異
常電圧が発生することはない。従って、エミッタの破損
も起こりにくい。
本発明によれば１本の同軸ケーブルで高圧連絡母線全て
をまかなうことができ、且つ構成も簡単であるので安価
で取扱いが容易となり、しかもメンテナンスもしやすく
なる。
をまかなうことができ、且つ構成も簡単であるので安価
で取扱いが容易となり、しかもメンテナンスもしやすく
なる。
第２図は高圧連絡母線の縦方向ＩＷｉ面図で、第１図は
図のＡ−Ａ部の断面を示している。第１図と同一部分に
は、同一番号を付して示す。尚、図は中心線！に対して
半分の構成断面を示しており、残り半分は省略しである
。図において、点線で囲んだ部分はブッシング部２３で
あり、このブッシング部中３０はエポキシ樹脂の充填部
である。２Ｏは脱着可能なアダプタ部で、脱着可能にす
ることにより保安点検のやりやすさを考慮している。
図のＡ−Ａ部の断面を示している。第１図と同一部分に
は、同一番号を付して示す。尚、図は中心線！に対して
半分の構成断面を示しており、残り半分は省略しである
。図において、点線で囲んだ部分はブッシング部２３で
あり、このブッシング部中３０はエポキシ樹脂の充填部
である。２Ｏは脱着可能なアダプタ部で、脱着可能にす
ることにより保安点検のやりやすさを考慮している。
２４は高圧連絡用母線の端末部であり、３１はＥＰゴム
を用いた部材である。
を用いた部材である。
ｎ？ｆ圧源（図示せず）からの供給線は、各電圧群ごと
に設けられた空洞に挿入される。高圧連絡用母線との接
続はボルト締めされた仮バネ２１゜２２及びコイルバネ
２５による面接融で行われるので、脱着が可能となる。
に設けられた空洞に挿入される。高圧連絡用母線との接
続はボルト締めされた仮バネ２１゜２２及びコイルバネ
２５による面接融で行われるので、脱着が可能となる。
（発明の効果）
以上詳細に説明したように、本発明によれば複数ｍの金
属パイプを同軸状に形成せしめて各金属パイプ間の空隙
部に各電位群ごとの供給線を通すようにすることにより
、２００ＫＶ程度の高電圧を絶縁破壊を起こすことなく
高電圧源から多段加速管側へ確実に供給することができ
る高圧連絡用母線を実現することができる。本発明によ
れば複数本の供給線を１本のケーブルで構成できるので
、安価で取扱いも容易にできる。
属パイプを同軸状に形成せしめて各金属パイプ間の空隙
部に各電位群ごとの供給線を通すようにすることにより
、２００ＫＶ程度の高電圧を絶縁破壊を起こすことなく
高電圧源から多段加速管側へ確実に供給することができ
る高圧連絡用母線を実現することができる。本発明によ
れば複数本の供給線を１本のケーブルで構成できるので
、安価で取扱いも容易にできる。
Ｍ１図は本発明の一実施例を示す構成ｒ！ｆｒ而図、面
２図は高圧連絡用母線の縦方向断面図、第３図は２０Ｏ
ＫＶ用ＦＥＧの構成例を示ず図である。 １・・・フィラメント ２・・・ウェネルト電極３・
・・第１アノード ４・・・コンデンサレンズ５・・
・第２アノード ６・・・多段加速管７・・・コネク
タ １０〜１２・・・金属パイプ１３・・・金属
棒 １４．１５・・・供給線２０・・・アダプタ
部 ２１．２２・・・板バネ２３・・・ブッシング部
２４・・・母線端末部２５・・・コイルバネ ３０・・・エポキシ樹脂充填部 ３１・・・部材 特許出願人 日 本 電 子 株 式
会 社代 理 人 弁理士 井 島
藤 冶外１名
２図は高圧連絡用母線の縦方向断面図、第３図は２０Ｏ
ＫＶ用ＦＥＧの構成例を示ず図である。 １・・・フィラメント ２・・・ウェネルト電極３・
・・第１アノード ４・・・コンデンサレンズ５・・
・第２アノード ６・・・多段加速管７・・・コネク
タ １０〜１２・・・金属パイプ１３・・・金属
棒 １４．１５・・・供給線２０・・・アダプタ
部 ２１．２２・・・板バネ２３・・・ブッシング部
２４・・・母線端末部２５・・・コイルバネ ３０・・・エポキシ樹脂充填部 ３１・・・部材 特許出願人 日 本 電 子 株 式
会 社代 理 人 弁理士 井 島
藤 冶外１名
Claims (1)
- 高電圧源側から多段加速管側へ複数種の電位を供給する
高圧連絡用母線であって、複数個の金属パイプを同軸状
に形成せしめて各金属パイプに所定の電位を与えると共
に各パイプ間の空隙部に各電位群ごとの供給線を通すよ
うに構成したことを特徴とする高圧連絡用母線。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22862286A JPS6381744A (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 | 高圧連絡用母線 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22862286A JPS6381744A (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 | 高圧連絡用母線 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6381744A true JPS6381744A (ja) | 1988-04-12 |
| JPH0470733B2 JPH0470733B2 (ja) | 1992-11-11 |
Family
ID=16879224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22862286A Granted JPS6381744A (ja) | 1986-09-26 | 1986-09-26 | 高圧連絡用母線 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6381744A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102324685B1 (ko) * | 2021-01-27 | 2021-11-11 | 주식회사 이레이 | 단일 회로 다중 출력 고전압 전원장치 |
-
1986
- 1986-09-26 JP JP22862286A patent/JPS6381744A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102324685B1 (ko) * | 2021-01-27 | 2021-11-11 | 주식회사 이레이 | 단일 회로 다중 출력 고전압 전원장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0470733B2 (ja) | 1992-11-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |