JPH04331306A - 気体式測定装置 - Google Patents
気体式測定装置Info
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- JPH04331306A JPH04331306A JP3005873A JP587391A JPH04331306A JP H04331306 A JPH04331306 A JP H04331306A JP 3005873 A JP3005873 A JP 3005873A JP 587391 A JP587391 A JP 587391A JP H04331306 A JPH04331306 A JP H04331306A
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- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 16
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 6
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B13/00—Measuring arrangements characterised by the use of fluids
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/42—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using fluid means
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は気体式測定装置に関する
。
。
【0002】
【従来の技術】装置の測定ノズルとそれに対向した壁と
の間の距離を決めるのに圧力測定を使用することが公知
である。上記の距離は監査すべき部分の代表寸法である
。通常気体式測定装置は共通の供給導管に連結された二
つの測定部材を含み、また夫々の測定部材は一つの供給
ノズルを介して与圧ガス体が供給される測定室と、供給
ノズルから離隔した外口ノズルと、供給ノズルと出口ノ
ズルとの間に配設された圧力取出し部とを備える。
の間の距離を決めるのに圧力測定を使用することが公知
である。上記の距離は監査すべき部分の代表寸法である
。通常気体式測定装置は共通の供給導管に連結された二
つの測定部材を含み、また夫々の測定部材は一つの供給
ノズルを介して与圧ガス体が供給される測定室と、供給
ノズルから離隔した外口ノズルと、供給ノズルと出口ノ
ズルとの間に配設された圧力取出し部とを備える。
【0003】両測定部材の夫々の圧力取出し部は一つの
差圧計に連結されており、一方の測定部材は固定或いは
調節可能な漏洩部を有して参照測定部材として使用され
、これに対して他方の測定部材は漏洩部を発生する測定
ノズルを含み、該漏洩部は測定ノズルに対する測定すべ
き対象物の距離を函数として変動する。
差圧計に連結されており、一方の測定部材は固定或いは
調節可能な漏洩部を有して参照測定部材として使用され
、これに対して他方の測定部材は漏洩部を発生する測定
ノズルを含み、該漏洩部は測定ノズルに対する測定すべ
き対象物の距離を函数として変動する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】供給ガス体の供給圧力
が極めて安定している場合には、測定ノズルに嵌設した
只一つの測定部材を使用するだけで距離を測定すること
ができる。何れの場合にも、過度の騒音を生じないで圧
力を測定するためには、換言すれば測定室内を流れるガ
ス体によって生ずる乱流によって過度に影響されず、か
つ測定ノズルと測定すべき対象物との間の距離に無関係
であるためには、供給ノズルと圧力取出し部との間に、
供給ノズルの直径の30〜 100倍程度の距離、即ち
通常使用される供給ノズルの1.4mmの直径に対して
42〜 140mmの距離を設けねばならない。
が極めて安定している場合には、測定ノズルに嵌設した
只一つの測定部材を使用するだけで距離を測定すること
ができる。何れの場合にも、過度の騒音を生じないで圧
力を測定するためには、換言すれば測定室内を流れるガ
ス体によって生ずる乱流によって過度に影響されず、か
つ測定ノズルと測定すべき対象物との間の距離に無関係
であるためには、供給ノズルと圧力取出し部との間に、
供給ノズルの直径の30〜 100倍程度の距離、即ち
通常使用される供給ノズルの1.4mmの直径に対して
42〜 140mmの距離を設けねばならない。
【0005】このような制限があることは、測定装置が
占めるスペースの見地から極めて不利である。本発明の
目的は従来よりも小型の気体式圧力測定装置を提供する
ことである。
占めるスペースの見地から極めて不利である。本発明の
目的は従来よりも小型の気体式圧力測定装置を提供する
ことである。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、供給ノズ
ルを介して与圧ガス体が供給される少なくとも一つの測
定室を備えた気体式測定装置であって、前記測定室は供
給ノズルから離隔した出口ノズルと、供給ノズルと出口
ノズルとの間に配設されかつ測定室の壁を貫通した圧力
取出し部とを備え、前記壁は測定室内のガス体の流れる
方向に対して略平行に延びたものにおいて、本発明によ
れば、前記気体式測定装置は測定室の内部に延びた分離
仕切りを含み、該分離仕切りは圧力取出し部に重なり、
また測定室の壁と協働して、出口ノズルの端部において
気密状に密閉されかつ供給ノズル付近において入口ノズ
ル端部が開口した空間部を画定したことを特徴とする気
体式測定装置によって達成される。
ルを介して与圧ガス体が供給される少なくとも一つの測
定室を備えた気体式測定装置であって、前記測定室は供
給ノズルから離隔した出口ノズルと、供給ノズルと出口
ノズルとの間に配設されかつ測定室の壁を貫通した圧力
取出し部とを備え、前記壁は測定室内のガス体の流れる
方向に対して略平行に延びたものにおいて、本発明によ
れば、前記気体式測定装置は測定室の内部に延びた分離
仕切りを含み、該分離仕切りは圧力取出し部に重なり、
また測定室の壁と協働して、出口ノズルの端部において
気密状に密閉されかつ供給ノズル付近において入口ノズ
ル端部が開口した空間部を画定したことを特徴とする気
体式測定装置によって達成される。
【0007】このようにすることによって圧力取出し部
は、測定室を通って流れるガス体に起された乱流から隔
離されるので、圧力取出し部を供給ノズルに近接させる
ことができる。従って上記に対応して測定室の全長を減
少させることが可能となる。本発明の有益な変形におい
て、測定室が円筒状の場合に分離仕切りを筒状にして空
間を環状に画定する。また分離仕切りを測定室内に着脱
自在に設けると都合がよい。このようにすることによっ
て分離仕切りを極めて安価に製造することができ、また
その着脱性によって圧力測定装置を供給ノズル及び出口
ノズルの特性に極めて容易に適応させることが可能であ
る。
は、測定室を通って流れるガス体に起された乱流から隔
離されるので、圧力取出し部を供給ノズルに近接させる
ことができる。従って上記に対応して測定室の全長を減
少させることが可能となる。本発明の有益な変形におい
て、測定室が円筒状の場合に分離仕切りを筒状にして空
間を環状に画定する。また分離仕切りを測定室内に着脱
自在に設けると都合がよい。このようにすることによっ
て分離仕切りを極めて安価に製造することができ、また
その着脱性によって圧力測定装置を供給ノズル及び出口
ノズルの特性に極めて容易に適応させることが可能であ
る。
【0008】
【実施例】図面を参照すると、本発明の気体式測定装置
は与圧ガス体を供給する共通の供給導管に連結された二
つの測定部材1及び2を備える。夫々の測定部材は供給
ノズル5を介して供給導管3に連結され、供給ノズル5
は該供給ノズルが担持した円形ふち部6によって測定室
4に中心合わせされている。
は与圧ガス体を供給する共通の供給導管に連結された二
つの測定部材1及び2を備える。夫々の測定部材は供給
ノズル5を介して供給導管3に連結され、供給ノズル5
は該供給ノズルが担持した円形ふち部6によって測定室
4に中心合わせされている。
【0009】測定室4は好ましくは供給ノズル5に共軸
の円筒状壁を備え、供給ノズル5から最も離隔した端部
に出口ノズルを含む。測定部材1において出口ノズル7
は参照ノズルであって、出口ノズルからの漏洩流量を調
節する針状ねじ8を含む。これに対して測定部材2にお
いて出口ノズルは本来の測定用に使用され、測定室4に
は測定ノズル9が嵌着されている。
の円筒状壁を備え、供給ノズル5から最も離隔した端部
に出口ノズルを含む。測定部材1において出口ノズル7
は参照ノズルであって、出口ノズルからの漏洩流量を調
節する針状ねじ8を含む。これに対して測定部材2にお
いて出口ノズルは本来の測定用に使用され、測定室4に
は測定ノズル9が嵌着されている。
【0010】測定室4の側壁を貫通した孔によって圧力
取出し部10を形成する。この孔は上記測定室を流れる
ガス体の流れ方向に対して直交状に延びている。圧力取
出し部10の孔は壁に対して略直交状に延びて、測定室
4に対面した供給ノズル5の端面から距離Dをあけて測
定室4内に開口されている。この距離Dは供給ノズル5
の直径の30〜 100倍の範囲になければならない。 (参照)測定部材1と測定部材2の圧力取出し部10は
差圧計11に連結されている。
取出し部10を形成する。この孔は上記測定室を流れる
ガス体の流れ方向に対して直交状に延びている。圧力取
出し部10の孔は壁に対して略直交状に延びて、測定室
4に対面した供給ノズル5の端面から距離Dをあけて測
定室4内に開口されている。この距離Dは供給ノズル5
の直径の30〜 100倍の範囲になければならない。 (参照)測定部材1と測定部材2の圧力取出し部10は
差圧計11に連結されている。
【0011】夫々の測定室4内に筒状スリーブ12を配
設して、圧力取出し部10に重なった分離仕切りを設け
ると共に測定室の壁と協働させて、出口ノズルの端部で
気密状に密閉されかつ供給ノズルの付近で該供給ノズル
に開口した空間部13を画定する。実施例に示すように
、筒状スリーブ12は着脱可能である。筒状スリーブ1
2は、測定室14の肩部15に担持されかつ、測定室1
4の本体に捻込んだ出口ノズルにより押圧されるシール
環16によって該肩部15に圧縮状に保持される。肩部
15を越して供給ノズル5に向った位置において筒状ス
リーブ12には円筒状スリーブ17が設けられていて、
該筒状スリーブ17の外径は測定室4の内径よりも若干
小さい。円筒状スリーブ17は、測定室4に対面した供
給ノズル5の端面より距離dの位置まで延びている。円
筒状スリーブ17の中心にはその全長に亘って形成され
た円筒状孔14が設けられている。
設して、圧力取出し部10に重なった分離仕切りを設け
ると共に測定室の壁と協働させて、出口ノズルの端部で
気密状に密閉されかつ供給ノズルの付近で該供給ノズル
に開口した空間部13を画定する。実施例に示すように
、筒状スリーブ12は着脱可能である。筒状スリーブ1
2は、測定室14の肩部15に担持されかつ、測定室1
4の本体に捻込んだ出口ノズルにより押圧されるシール
環16によって該肩部15に圧縮状に保持される。肩部
15を越して供給ノズル5に向った位置において筒状ス
リーブ12には円筒状スリーブ17が設けられていて、
該筒状スリーブ17の外径は測定室4の内径よりも若干
小さい。円筒状スリーブ17は、測定室4に対面した供
給ノズル5の端面より距離dの位置まで延びている。円
筒状スリーブ17の中心にはその全長に亘って形成され
た円筒状孔14が設けられている。
【0012】本発明の限定されることのない実施例にお
いて、供給ノズル5の付近の部分の測定室4の内径は8
mm、供給ノズル5の内径は1.2mm、円筒状スリー
ブの外径は7.2mm、圧力取出し部10に重なった部
分の内径は6mmで、上記円筒状スリーブ17は供給ノ
ズル6の端面からdの距離まで延びており、dの長さは
3mmである。供給圧力300KPa及び測定室の圧力
200KPaに対して本発明の気体式測定装置は僅か0
.2Pa 騒音を生ずるが、筒状スリーブ12を備えな
い従来の気体式測定装置は0.7KPa の騒音を生ず
る。従って供給ノズル5の直径の約20倍以下の距離D
においてすぐれた測定結果が得られることが判る。実際
、距離dを供給ノズルの直径の2〜5倍、好ましくは供
給ノズルの直径の約3倍にすると、距離Dを供給ノズル
の直径の約10倍に減少させることができる。
いて、供給ノズル5の付近の部分の測定室4の内径は8
mm、供給ノズル5の内径は1.2mm、円筒状スリー
ブの外径は7.2mm、圧力取出し部10に重なった部
分の内径は6mmで、上記円筒状スリーブ17は供給ノ
ズル6の端面からdの距離まで延びており、dの長さは
3mmである。供給圧力300KPa及び測定室の圧力
200KPaに対して本発明の気体式測定装置は僅か0
.2Pa 騒音を生ずるが、筒状スリーブ12を備えな
い従来の気体式測定装置は0.7KPa の騒音を生ず
る。従って供給ノズル5の直径の約20倍以下の距離D
においてすぐれた測定結果が得られることが判る。実際
、距離dを供給ノズルの直径の2〜5倍、好ましくは供
給ノズルの直径の約3倍にすると、距離Dを供給ノズル
の直径の約10倍に減少させることができる。
【0013】本発明は開示した実施例に限定されるもの
ではなく、本発明の特許請求の範囲から外れることなく
変形し得ることは云うまでもない。殊に測定室の内部に
固定状の分離仕切りを設けることが可能である。また測
定室に圧力取出し部に対して配置することが適応した形
状の任意の形状の分離仕切りを設けて、測定室を流れる
ガス体によって生ずる乱流を減少させることができる。
ではなく、本発明の特許請求の範囲から外れることなく
変形し得ることは云うまでもない。殊に測定室の内部に
固定状の分離仕切りを設けることが可能である。また測
定室に圧力取出し部に対して配置することが適応した形
状の任意の形状の分離仕切りを設けて、測定室を流れる
ガス体によって生ずる乱流を減少させることができる。
【図1】本発明の二つの測定室からなる測定装置の概略
破断面を示す軸断面図である。
破断面を示す軸断面図である。
4…測定室
5…供給ノズル
7,9…出口ノズル
10…圧力取出し部
13…空間
Claims (2)
- 【請求項1】 供給ノズルを介して与圧ガス体が供給
される少なくとも一つの測定室を備えた気体式測定装置
であって、前記測定室は供給ノズルから離隔した出口ノ
ズルと、供給ノズルと出口ノズルとの間に配設されかつ
測定室の壁を貫通した圧力取出し部とを備え、前記壁は
測定室内のガス体の流れる方向に対して略平行に延びた
ものにおいて、前記気体式測定装置は測定室(4)の内
部に延びた分離仕切りを含み、該分離仕切りは圧力取出
し部(10)に重なり、また測定室(4)の壁と協働し
て、出口ノズル(7,9)の端部において気密状に密閉
されかつ供給ノズル(5)付近において入口ノズル端部
が開口した空間部(13)を画定したことを特徴とする
気体式測定装置。 - 【請求項2】 測定室(4)が円筒状であり、また分
離仕切りが筒状であって環状の空間部が画定された請求
項1に記載の気体式測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR9000687A FR2657429B1 (fr) | 1990-01-22 | 1990-01-22 | Dispositif de mesure pneumatique. |
FR9000687 | 1990-01-22 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04331306A true JPH04331306A (ja) | 1992-11-19 |
JPH0739949B2 JPH0739949B2 (ja) | 1995-05-01 |
Family
ID=9392988
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3005873A Expired - Fee Related JPH0739949B2 (ja) | 1990-01-22 | 1991-01-22 | 気体式測定装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5140846A (ja) |
EP (1) | EP0446547B1 (ja) |
JP (1) | JPH0739949B2 (ja) |
DE (1) | DE69007082T2 (ja) |
ES (1) | ES2050985T3 (ja) |
FR (1) | FR2657429B1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5789661A (en) * | 1997-02-14 | 1998-08-04 | Sigmatech, Inc. | Extended range and ultra-precision non-contact dimensional gauge |
US6357132B1 (en) * | 2000-04-14 | 2002-03-19 | William W. Banks | Boom position detection system |
US6220080B1 (en) * | 2000-05-12 | 2001-04-24 | Sigma Tech, Inc. | Extended range and ultra precision non contact dimensional gauge for ultra thin wafers and work pieces |
US6807845B2 (en) * | 2001-10-12 | 2004-10-26 | I F M Electronic Gmbh | Measurement apparatus and process for determining the position of an object relative to a reference surface |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2692498A (en) * | 1951-02-07 | 1954-10-26 | Knobel Max | Air gauge |
US4059130A (en) * | 1973-09-14 | 1977-11-22 | Bailey Meter Company | Proximity sensor with zero adjustment |
JPS57119133A (en) * | 1981-01-13 | 1982-07-24 | Hitachi Ltd | Device for measuring quantity of air sucked into internal combustion engine |
JPS58132618A (ja) * | 1982-02-03 | 1983-08-08 | Hitachi Ltd | 内燃機関用吸入空気流量検出装置 |
CH666128A5 (de) * | 1984-03-26 | 1988-06-30 | Alusuisse | Vorrichtung zum beruehrungslosen messen der temperatur an einer oberflaeche eines werkstuecks. |
US4550592A (en) * | 1984-05-07 | 1985-11-05 | Dechape Michel L | Pneumatic gauging circuit |
US4854156A (en) * | 1989-01-03 | 1989-08-08 | Systems Research Laboratories, Inc. | Pneumatic surface-following control system |
-
1990
- 1990-01-22 FR FR9000687A patent/FR2657429B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1990-12-26 EP EP90403767A patent/EP0446547B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1990-12-26 DE DE69007082T patent/DE69007082T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1990-12-26 ES ES90403767T patent/ES2050985T3/es not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-01-15 US US07/641,729 patent/US5140846A/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-01-22 JP JP3005873A patent/JPH0739949B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ES2050985T3 (es) | 1994-06-01 |
US5140846A (en) | 1992-08-25 |
FR2657429A1 (fr) | 1991-07-26 |
DE69007082D1 (de) | 1994-04-07 |
EP0446547B1 (fr) | 1994-03-02 |
DE69007082T2 (de) | 1994-09-29 |
FR2657429B1 (fr) | 1995-08-11 |
EP0446547A1 (fr) | 1991-09-18 |
JPH0739949B2 (ja) | 1995-05-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |