JPH0739949B2 - 気体式測定装置 - Google Patents
気体式測定装置Info
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- JPH0739949B2 JPH0739949B2 JP3005873A JP587391A JPH0739949B2 JP H0739949 B2 JPH0739949 B2 JP H0739949B2 JP 3005873 A JP3005873 A JP 3005873A JP 587391 A JP587391 A JP 587391A JP H0739949 B2 JPH0739949 B2 JP H0739949B2
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- Japan
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- nozzle
- measuring
- chamber
- gas
- measuring device
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B13/00—Measuring arrangements characterised by the use of fluids
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/42—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using fluid means
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は気体式測定装置に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】装置の測定ノズルとそれに対向した壁と
の間の距離を決めるのに圧力測定を使用することが公知
である。上記の距離は監査すべき部分の代表寸法であ
る。通常気体式測定装置は共通の供給導管に連結された
二つの測定部材を含み、また夫々の測定部材は一つの供
給ノズルを介して与圧ガス体が供給される測定室と、供
給ノズルから離隔した外口ノズルと、供給ノズルと出口
ノズルとの間に配設された圧力取出し部とを備える。
の間の距離を決めるのに圧力測定を使用することが公知
である。上記の距離は監査すべき部分の代表寸法であ
る。通常気体式測定装置は共通の供給導管に連結された
二つの測定部材を含み、また夫々の測定部材は一つの供
給ノズルを介して与圧ガス体が供給される測定室と、供
給ノズルから離隔した外口ノズルと、供給ノズルと出口
ノズルとの間に配設された圧力取出し部とを備える。
【０００３】両測定部材の夫々の圧力取出し部は一つの
差圧計に連結されており、一方の測定部材は固定或いは
調節可能な漏洩部を有して参照測定部材として使用さ
れ、これに対して他方の測定部材は漏洩部を発生する測
定ノズルを含み、該漏洩部は測定ノズルに対する測定す
べき対象物の距離を函数として変動する。
差圧計に連結されており、一方の測定部材は固定或いは
調節可能な漏洩部を有して参照測定部材として使用さ
れ、これに対して他方の測定部材は漏洩部を発生する測
定ノズルを含み、該漏洩部は測定ノズルに対する測定す
べき対象物の距離を函数として変動する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】供給ガス体の供給圧力
が極めて安定している場合には、測定ノズルに嵌設した
只一つの測定部材を使用するだけで距離を測定すること
ができる。何れの場合にも、過度の騒音を生じないで圧
力を測定するためには、換言すれば測定室内を流れるガ
ス体によって生ずる乱流によって過度に影響されず、か
つ測定ノズルと測定すべき対象物との間の距離に無関係
であるためには、供給ノズルと圧力取出し部との間に、
供給ノズルの直径の30〜 100倍程度の距離、即ち通常使
用される供給ノズルの1.４mmの直径に対して42〜 140mm
の距離を設けねばならない。
が極めて安定している場合には、測定ノズルに嵌設した
只一つの測定部材を使用するだけで距離を測定すること
ができる。何れの場合にも、過度の騒音を生じないで圧
力を測定するためには、換言すれば測定室内を流れるガ
ス体によって生ずる乱流によって過度に影響されず、か
つ測定ノズルと測定すべき対象物との間の距離に無関係
であるためには、供給ノズルと圧力取出し部との間に、
供給ノズルの直径の30〜 100倍程度の距離、即ち通常使
用される供給ノズルの1.４mmの直径に対して42〜 140mm
の距離を設けねばならない。
【０００５】このような制限があることは、測定装置が
占めるスペースの見地から極めて不利である。本発明の
目的は従来よりも小型の気体式圧力測定装置を提供する
ことである。
占めるスペースの見地から極めて不利である。本発明の
目的は従来よりも小型の気体式圧力測定装置を提供する
ことである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、供給ノズ
ルを介して与圧ガス体が供給される少なくとも一つの測
定室を備えた気体式測定装置であって、前記測定室は供
給ノズルから離隔した出口ノズルと、供給ノズルと出口
ノズルとの間に配設されかつ測定室の壁を貫通した圧力
取出し部とを備え、前記壁は測定室内のガス体の流れる
方向に対して略平行に延びたものにおいて、本発明によ
れば、前記気体式測定装置は測定室の内部に延びた分離
仕切りを含み、該分離仕切りは圧力取出し部に重なり、
また測定室の壁と協働して、出口ノズルの端部において
気密状に密閉されかつ供給ノズル付近において入口ノズ
ル端部が開口した空間部を画定したことを特徴とする気
体式測定装置によって達成される。
ルを介して与圧ガス体が供給される少なくとも一つの測
定室を備えた気体式測定装置であって、前記測定室は供
給ノズルから離隔した出口ノズルと、供給ノズルと出口
ノズルとの間に配設されかつ測定室の壁を貫通した圧力
取出し部とを備え、前記壁は測定室内のガス体の流れる
方向に対して略平行に延びたものにおいて、本発明によ
れば、前記気体式測定装置は測定室の内部に延びた分離
仕切りを含み、該分離仕切りは圧力取出し部に重なり、
また測定室の壁と協働して、出口ノズルの端部において
気密状に密閉されかつ供給ノズル付近において入口ノズ
ル端部が開口した空間部を画定したことを特徴とする気
体式測定装置によって達成される。
【０００７】このようにすることによって圧力取出し部
は、測定室を通って流れるガス体に起された乱流から隔
離されるので、圧力取出し部を供給ノズルに近接させる
ことができる。従って上記に対応して測定室の全長を減
少させることが可能となる。本発明の有益な変形におい
て、測定室が円筒状の場合に分離仕切りを筒状にして空
間を環状に画定する。また分離仕切りを測定室内に着脱
自在に設けると都合がよい。このようにすることによっ
て分離仕切りを極めて安価に製造することができ、また
その着脱性によって圧力測定装置を供給ノズル及び出口
ノズルの特性に極めて容易に適応させることが可能であ
る。
は、測定室を通って流れるガス体に起された乱流から隔
離されるので、圧力取出し部を供給ノズルに近接させる
ことができる。従って上記に対応して測定室の全長を減
少させることが可能となる。本発明の有益な変形におい
て、測定室が円筒状の場合に分離仕切りを筒状にして空
間を環状に画定する。また分離仕切りを測定室内に着脱
自在に設けると都合がよい。このようにすることによっ
て分離仕切りを極めて安価に製造することができ、また
その着脱性によって圧力測定装置を供給ノズル及び出口
ノズルの特性に極めて容易に適応させることが可能であ
る。
【０００８】
【実施例】図面を参照すると、本発明の気体式測定装置
は与圧ガス体を供給する共通の供給導管に連結された二
つの測定部材１及び２を備える。夫々の測定部材は供給
ノズル５を介して供給導管３に連結され、供給ノズル５
は該供給ノズルが担持した円形ふち部６によって測定室
４に中心合わせされている。
は与圧ガス体を供給する共通の供給導管に連結された二
つの測定部材１及び２を備える。夫々の測定部材は供給
ノズル５を介して供給導管３に連結され、供給ノズル５
は該供給ノズルが担持した円形ふち部６によって測定室
４に中心合わせされている。
【０００９】測定室４は好ましくは供給ノズル５に共軸
の円筒状壁を備え、供給ノズル５から最も離隔した端部
に出口ノズルを含む。測定部材１において出口ノズル７
は参照ノズルであって、出口ノズルからの漏洩流量を調
節する針状ねじ８を含む。これに対して測定部材２にお
いて出口ノズルは本来の測定用に使用され、測定室４に
は測定ノズル９が嵌着されている。
の円筒状壁を備え、供給ノズル５から最も離隔した端部
に出口ノズルを含む。測定部材１において出口ノズル７
は参照ノズルであって、出口ノズルからの漏洩流量を調
節する針状ねじ８を含む。これに対して測定部材２にお
いて出口ノズルは本来の測定用に使用され、測定室４に
は測定ノズル９が嵌着されている。
【００１０】測定室４の側壁を貫通した孔によって圧力
取出し部10を形成する。この孔は上記測定室を流れるガ
ス体の流れ方向に対して直交状に延びている。圧力取出
し部10の孔は壁に対して略直交状に延びて、測定室４に
対面した供給ノズル５の端面から距離Ｄをあけて測定室
４内に開口されている。この距離Ｄは供給ノズル５の直
径の30〜 100倍の範囲になければならない。（参照）測
定部材１と測定部材２の圧力取出し部10は差圧計11に連
結されている。
取出し部10を形成する。この孔は上記測定室を流れるガ
ス体の流れ方向に対して直交状に延びている。圧力取出
し部10の孔は壁に対して略直交状に延びて、測定室４に
対面した供給ノズル５の端面から距離Ｄをあけて測定室
４内に開口されている。この距離Ｄは供給ノズル５の直
径の30〜 100倍の範囲になければならない。（参照）測
定部材１と測定部材２の圧力取出し部10は差圧計11に連
結されている。
【００１１】夫々の測定室４内に筒状スリーブ12を配設
して、圧力取出し部10に重なった分離仕切りを設けると
共に測定室の壁と協働させて、出口ノズルの端部で気密
状に密閉されかつ供給ノズルの付近で該供給ノズルに開
口した空間部13を画定する。実施例に示すように、筒状
スリーブ12は着脱可能である。筒状スリーブ12は、測定
室14の肩部15に担持されかつ、測定室14の本体に捻込ん
だ出口ノズルにより押圧されるシール環16によって該肩
部15に圧縮状に保持される。肩部15を越して供給ノズル
５に向った位置において筒状スリーブ12には円筒状スリ
ーブ17が設けられていて、該筒状スリーブ17の外径は測
定室４の内径よりも若干小さい。円筒状スリーブ17は、
測定室４に対面した供給ノズル５の端面より距離ｄの位
置まで延びている。円筒状スリーブ17の中心にはその全
長に亘って形成された円筒状孔14が設けられている。
して、圧力取出し部10に重なった分離仕切りを設けると
共に測定室の壁と協働させて、出口ノズルの端部で気密
状に密閉されかつ供給ノズルの付近で該供給ノズルに開
口した空間部13を画定する。実施例に示すように、筒状
スリーブ12は着脱可能である。筒状スリーブ12は、測定
室14の肩部15に担持されかつ、測定室14の本体に捻込ん
だ出口ノズルにより押圧されるシール環16によって該肩
部15に圧縮状に保持される。肩部15を越して供給ノズル
５に向った位置において筒状スリーブ12には円筒状スリ
ーブ17が設けられていて、該筒状スリーブ17の外径は測
定室４の内径よりも若干小さい。円筒状スリーブ17は、
測定室４に対面した供給ノズル５の端面より距離ｄの位
置まで延びている。円筒状スリーブ17の中心にはその全
長に亘って形成された円筒状孔14が設けられている。
【００１２】本発明の限定されることのない実施例にお
いて、供給ノズル５の付近の部分の測定室４の内径は８
mm、供給ノズル５の内径は1.２mm、円筒状スリーブの外
径は7.２mm、圧力取出し部10に重なった部分の内径は６
mmで、上記円筒状スリーブ17は供給ノズル６の端面から
ｄの距離まで延びており、ｄの長さは３mmである。供給
圧力300KPa及び測定室の圧力200KPaに対して本発明の気
体式測定装置は僅か0.２Ｐa 騒音を生ずるが、筒状スリ
ーブ12を備えない従来の気体式測定装置は0.７KPa の騒
音を生ずる。従って供給ノズル５の直径の約20倍以下の
距離Ｄにおいてすぐれた測定結果が得られることが判
る。実際、距離ｄを供給ノズルの直径の２〜５倍、好ま
しくは供給ノズルの直径の約３倍にすると、距離Ｄを供
給ノズルの直径の約10倍に減少させることができる。
いて、供給ノズル５の付近の部分の測定室４の内径は８
mm、供給ノズル５の内径は1.２mm、円筒状スリーブの外
径は7.２mm、圧力取出し部10に重なった部分の内径は６
mmで、上記円筒状スリーブ17は供給ノズル６の端面から
ｄの距離まで延びており、ｄの長さは３mmである。供給
圧力300KPa及び測定室の圧力200KPaに対して本発明の気
体式測定装置は僅か0.２Ｐa 騒音を生ずるが、筒状スリ
ーブ12を備えない従来の気体式測定装置は0.７KPa の騒
音を生ずる。従って供給ノズル５の直径の約20倍以下の
距離Ｄにおいてすぐれた測定結果が得られることが判
る。実際、距離ｄを供給ノズルの直径の２〜５倍、好ま
しくは供給ノズルの直径の約３倍にすると、距離Ｄを供
給ノズルの直径の約10倍に減少させることができる。
【００１３】本発明は開示した実施例に限定されるもの
ではなく、本発明の特許請求の範囲から外れることなく
変形し得ることは云うまでもない。殊に測定室の内部に
固定状の分離仕切りを設けることが可能である。また測
定室に圧力取出し部に対して配置することが適応した形
状の任意の形状の分離仕切りを設けて、測定室を流れる
ガス体によって生ずる乱流を減少させることができる。
ではなく、本発明の特許請求の範囲から外れることなく
変形し得ることは云うまでもない。殊に測定室の内部に
固定状の分離仕切りを設けることが可能である。また測
定室に圧力取出し部に対して配置することが適応した形
状の任意の形状の分離仕切りを設けて、測定室を流れる
ガス体によって生ずる乱流を減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の二つの測定室からなる測定装置の概略
破断面を示す軸断面図である。
破断面を示す軸断面図である。
４…測定室 ５…供給ノズル ７，９…出口ノズル 10…圧力取出し部 13…空間
Claims (2)
- 【請求項１】 供給ノズルを介して与圧ガス体が供給さ
れる少なくとも一つの測定室を備えた気体式測定装置で
あって、前記測定室は供給ノズルから離隔した出口ノズ
ルと、供給ノズルと出口ノズルとの間に配設されかつ測
定室の壁を貫通した圧力取出し部とを備え、前記壁は測
定室内のガス体の流れる方向に対して略平行に延びたも
のにおいて、前記気体式測定装置は測定室（４）の内部
に延びた分離仕切りを含み、該分離仕切りは圧力取出し
部（10）に重なり、また測定室（４）の壁と協働して、
出口ノズル（７，９）の端部において気密状に密閉され
かつ供給ノズル（５）付近において入口ノズル端部が開
口した空間部（13）を画定したことを特徴とする気体式
測定装置。 - 【請求項２】 測定室（４）が円筒状であり、また分離
仕切りが筒状であって環状の空間部が画定された請求項
１に記載の気体式測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9000687 | 1990-01-22 | ||
| FR9000687A FR2657429B1 (fr) | 1990-01-22 | 1990-01-22 | Dispositif de mesure pneumatique. |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04331306A JPH04331306A (ja) | 1992-11-19 |
| JPH0739949B2 true JPH0739949B2 (ja) | 1995-05-01 |
Family
ID=9392988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3005873A Expired - Fee Related JPH0739949B2 (ja) | 1990-01-22 | 1991-01-22 | 気体式測定装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5140846A (ja) |
| EP (1) | EP0446547B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0739949B2 (ja) |
| DE (1) | DE69007082T2 (ja) |
| ES (1) | ES2050985T3 (ja) |
| FR (1) | FR2657429B1 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5789661A (en) * | 1997-02-14 | 1998-08-04 | Sigmatech, Inc. | Extended range and ultra-precision non-contact dimensional gauge |
| US6357132B1 (en) * | 2000-04-14 | 2002-03-19 | William W. Banks | Boom position detection system |
| US6220080B1 (en) * | 2000-05-12 | 2001-04-24 | Sigma Tech, Inc. | Extended range and ultra precision non contact dimensional gauge for ultra thin wafers and work pieces |
| US6807845B2 (en) * | 2001-10-12 | 2004-10-26 | I F M Electronic Gmbh | Measurement apparatus and process for determining the position of an object relative to a reference surface |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2692498A (en) * | 1951-02-07 | 1954-10-26 | Knobel Max | Air gauge |
| US4059130A (en) * | 1973-09-14 | 1977-11-22 | Bailey Meter Company | Proximity sensor with zero adjustment |
| JPS57119133A (en) * | 1981-01-13 | 1982-07-24 | Hitachi Ltd | Device for measuring quantity of air sucked into internal combustion engine |
| JPS58132618A (ja) * | 1982-02-03 | 1983-08-08 | Hitachi Ltd | 内燃機関用吸入空気流量検出装置 |
| CH666128A5 (de) * | 1984-03-26 | 1988-06-30 | Alusuisse | Vorrichtung zum beruehrungslosen messen der temperatur an einer oberflaeche eines werkstuecks. |
| US4550592A (en) * | 1984-05-07 | 1985-11-05 | Dechape Michel L | Pneumatic gauging circuit |
| US4854156A (en) * | 1989-01-03 | 1989-08-08 | Systems Research Laboratories, Inc. | Pneumatic surface-following control system |
-
1990
- 1990-01-22 FR FR9000687A patent/FR2657429B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1990-12-26 EP EP90403767A patent/EP0446547B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1990-12-26 ES ES90403767T patent/ES2050985T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1990-12-26 DE DE69007082T patent/DE69007082T2/de not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-01-15 US US07/641,729 patent/US5140846A/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-01-22 JP JP3005873A patent/JPH0739949B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69007082T2 (de) | 1994-09-29 |
| FR2657429A1 (fr) | 1991-07-26 |
| FR2657429B1 (fr) | 1995-08-11 |
| EP0446547B1 (fr) | 1994-03-02 |
| DE69007082D1 (de) | 1994-04-07 |
| US5140846A (en) | 1992-08-25 |
| EP0446547A1 (fr) | 1991-09-18 |
| JPH04331306A (ja) | 1992-11-19 |
| ES2050985T3 (es) | 1994-06-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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