JPH0432768A - 空間フィルタ装置および空間フィルタ速度計 - Google Patents
空間フィルタ装置および空間フィルタ速度計Info
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- JPH0432768A JPH0432768A JP13845090A JP13845090A JPH0432768A JP H0432768 A JPH0432768 A JP H0432768A JP 13845090 A JP13845090 A JP 13845090A JP 13845090 A JP13845090 A JP 13845090A JP H0432768 A JPH0432768 A JP H0432768A
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- JP
- Japan
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- spatial filter
- light
- slit
- polarizers
- predetermined
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims abstract description 17
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 102100027340 Slit homolog 2 protein Human genes 0.000 description 1
- 101710133576 Slit homolog 2 protein Proteins 0.000 description 1
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- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の背景
技術分野
この発明は差動型空間フィルタの原理を利用するための
空間フィルタ装置および空間フィルタ速度計に関する。
空間フィルタ装置および空間フィルタ速度計に関する。
従来技術とその問題点
空間フィルタ速度計において、入射する光信号に含まれ
る不要な低周波成分や高調波成分を除去する目的で差動
型の構成が用いられる。たとえば、小林 彬「空間フィ
ルタとその応用[1] J計測と制御(計測自動制御学
会:5ICE)。
る不要な低周波成分や高調波成分を除去する目的で差動
型の構成が用いられる。たとえば、小林 彬「空間フィ
ルタとその応用[1] J計測と制御(計測自動制御学
会:5ICE)。
Vol、19. NO,4,p、409に差動型空間フ
ィルタの構成と原理(図7参照)が、同「空間フ1ルタ
とその応用[U ] J VOl、19. NO,8,
p、571にS1太陽電池を用いて実現した例(図1.
4.15参照)が述べられている。この例のように半導
体プロセスにより、<シ歯状の受光素子列を形成して差
動型空間フィルタを構成すると、光学系の調整か容易で
ある利点がある。しかし、受光素子の製作か犬がかりに
なるので製作数量が少なかったり、ビ・ソチの異なった
何種類もの受光素子を用意すると高価になるという問題
点がある。
ィルタの構成と原理(図7参照)が、同「空間フ1ルタ
とその応用[U ] J VOl、19. NO,8,
p、571にS1太陽電池を用いて実現した例(図1.
4.15参照)が述べられている。この例のように半導
体プロセスにより、<シ歯状の受光素子列を形成して差
動型空間フィルタを構成すると、光学系の調整か容易で
ある利点がある。しかし、受光素子の製作か犬がかりに
なるので製作数量が少なかったり、ビ・ソチの異なった
何種類もの受光素子を用意すると高価になるという問題
点がある。
一方、特開昭58−2663号公報にはビーム・スプリ
ッタと2つのスリット列を用いて構成され、くし歯状の
受光素子を用いない差動型空間フィルタの構成が示され
ている。この構成においては2つのスリット列の相対的
位置合わせが容易でないという問題点かある。
ッタと2つのスリット列を用いて構成され、くし歯状の
受光素子を用いない差動型空間フィルタの構成が示され
ている。この構成においては2つのスリット列の相対的
位置合わせが容易でないという問題点かある。
発明の概要
発明の目的
この発明は安価でかつ光学系の調整か容易な空間フィル
タ装置およびこの空間フィルタ装置を用いた空間フィル
タ速度計を提供することを目的とする。
タ装置およびこの空間フィルタ装置を用いた空間フィル
タ速度計を提供することを目的とする。
この発明による空間フィルタ装置は、所定方向に偏光し
た光を透過させる第1のスリットと上記所定方向に直交
する方向に偏光した光を透過させる第2のスリットとが
所定間隔て交互に配置されてなることを特徴とする。
た光を透過させる第1のスリットと上記所定方向に直交
する方向に偏光した光を透過させる第2のスリットとが
所定間隔て交互に配置されてなることを特徴とする。
この空間フィルタ装置は偏光方向か互いに直交する2種
類の偏光子を用いて構成することができ、安価に提供で
きる。また、この空間フィルタ装置は1箇所に配置する
たけて足り、従来のように2箇所に置いてそれらの相対
位置合わせをする必要かなく、光学系の調整が容易であ
る。
類の偏光子を用いて構成することができ、安価に提供で
きる。また、この空間フィルタ装置は1箇所に配置する
たけて足り、従来のように2箇所に置いてそれらの相対
位置合わせをする必要かなく、光学系の調整が容易であ
る。
この発明による空間フィルタ装置は、所定の第1の波長
帯域の光を透過させる第1のスリットと上記第1の波長
帯域とは異なる第2の波長帯域の光を透過させる第2の
スリットとが所定間隔で交互に配置されてなることを特
徴とする。
帯域の光を透過させる第1のスリットと上記第1の波長
帯域とは異なる第2の波長帯域の光を透過させる第2の
スリットとが所定間隔で交互に配置されてなることを特
徴とする。
この空間フィルタ装置は透過帯波長が互いに異なる色フ
ィルタを用いて構成することができるので安価に提供で
きる。また、この空間フィルタ装置は1箇所に配置すれ
ば足りるので、光学的位置調整か容易である。
ィルタを用いて構成することができるので安価に提供で
きる。また、この空間フィルタ装置は1箇所に配置すれ
ば足りるので、光学的位置調整か容易である。
この発明は、差動型空間フィルタを用いた速度計におい
て、所定方向に偏光した光を透過させる第1のスリット
と上記所定方向に直交する方向に偏光した光を透過させ
る第2のスリットとが所定間隔で交互に配置されてなる
空間フィルタ、および上記スリットを透過した光をその
偏光方向に応じて2つに分離する手段を備えていること
を特徴とする。
て、所定方向に偏光した光を透過させる第1のスリット
と上記所定方向に直交する方向に偏光した光を透過させ
る第2のスリットとが所定間隔で交互に配置されてなる
空間フィルタ、および上記スリットを透過した光をその
偏光方向に応じて2つに分離する手段を備えていること
を特徴とする。
この発明による空間フィルタ速度計は、所定間隔て一列
に配列された複数のスリットに、透過させる光の偏光方
向が互いに垂直な偏光子が交Ijに配置されてなる空間
フィルタ、上記空間フィルタのスリットを透過した光を
その偏光方向に応じて2つに分離する偏光ビーム・スブ
リ、ンタ、上記偏光ビーム・スプリッタによって分離さ
れた2つの光ビームをそれぞれ受光する2つの受光素子
、および上記2つの受光素子の出力を差動演算し、その
差動信号の周波数に基づいて被測定物体の速度を算出す
る信号処理回路を備えていることを特徴とする。
に配列された複数のスリットに、透過させる光の偏光方
向が互いに垂直な偏光子が交Ijに配置されてなる空間
フィルタ、上記空間フィルタのスリットを透過した光を
その偏光方向に応じて2つに分離する偏光ビーム・スブ
リ、ンタ、上記偏光ビーム・スプリッタによって分離さ
れた2つの光ビームをそれぞれ受光する2つの受光素子
、および上記2つの受光素子の出力を差動演算し、その
差動信号の周波数に基づいて被測定物体の速度を算出す
る信号処理回路を備えていることを特徴とする。
この発明による空間フィルタ速度計は、上記の偏光子を
用いて構成される空間フィルタを利用している。空間フ
ィルタを透過した光を偏光ビーム・スプリッタを用いて
2つに分離することが可能である。このようにして、安
価でかつ光学的調整の容易な差動型空間フィルタ速度計
が実現する。
用いて構成される空間フィルタを利用している。空間フ
ィルタを透過した光を偏光ビーム・スプリッタを用いて
2つに分離することが可能である。このようにして、安
価でかつ光学的調整の容易な差動型空間フィルタ速度計
が実現する。
この発明はさらに、差動型空間フィルタを用いた速度計
において、所定の第1の波長帯域の光を透過させる第1
のスリットと上記第1の波長帯域とは異なる第2の波長
帯域の光を透過させる第2のスリットとが所定間隔で交
互に配置されてなる空間フィルタ、および上記スリット
を透過した光をその波長に応じて2つに分離する手段を
備えていることを特徴とする。
において、所定の第1の波長帯域の光を透過させる第1
のスリットと上記第1の波長帯域とは異なる第2の波長
帯域の光を透過させる第2のスリットとが所定間隔で交
互に配置されてなる空間フィルタ、および上記スリット
を透過した光をその波長に応じて2つに分離する手段を
備えていることを特徴とする。
上記波長分離手段としては2色フィルタ、グレーティン
グ プリズム等が用いられる。
グ プリズム等が用いられる。
この発明による空間フィルタ速度計は、上記の色フィル
タを用いて構成される空間フィルタを利用している。空
間フィルタを透過した光を上記波長分離手段を用いて2
つに分離することが可能である。このようにして、安価
でかつ光学的調整の容易な差動型空間フィルタ速度計か
実現する。
タを用いて構成される空間フィルタを利用している。空
間フィルタを透過した光を上記波長分離手段を用いて2
つに分離することが可能である。このようにして、安価
でかつ光学的調整の容易な差動型空間フィルタ速度計か
実現する。
実施例の説明
第1図はこの発明の実施例の空間フィルタ速度計の構成
を示している。
を示している。
移動物体5の光像が結像レンズ6によって空間フィルタ
1の上に結像される。移動物体5から反射または拡散し
て空間フィルタ1に入射する光は無偏光のものであるこ
とが前提である。
1の上に結像される。移動物体5から反射または拡散し
て空間フィルタ1に入射する光は無偏光のものであるこ
とが前提である。
空間フィルタ1は第2a図に示すように、所定間隔で一
列に配列されたスリット1aが形成され、これらのスリ
ット1aに、透過する光の偏光面の方向が互いに垂直な
偏光子が交互に設置されている。空間フィルタ1のスリ
ット1a以外の部分は光を透過しない、すなわち入射光
を遮断する。
列に配列されたスリット1aが形成され、これらのスリ
ット1aに、透過する光の偏光面の方向が互いに垂直な
偏光子が交互に設置されている。空間フィルタ1のスリ
ット1a以外の部分は光を透過しない、すなわち入射光
を遮断する。
空間フィルタ1のスリット1aに設けられた偏光fは第
2a図ではハツチングで図示されており、ハツチングの
意味が第2b図に示されている。すなわち、スリットN
o、が奇数のスリット1aの偏光子は図面において左右
方向の偏光方向を持つ光を透過し、スリットNo、が偶
数のスリット1aの偏光子は上下方向の偏光方向を持つ
光を透過する。
2a図ではハツチングで図示されており、ハツチングの
意味が第2b図に示されている。すなわち、スリットN
o、が奇数のスリット1aの偏光子は図面において左右
方向の偏光方向を持つ光を透過し、スリットNo、が偶
数のスリット1aの偏光子は上下方向の偏光方向を持つ
光を透過する。
空間フィルタ1を通過した光は偏光ビーム・スプリッタ
2に入射する。偏光ビーム・スプリッタ2は空間フィル
タ1の透過光のうちスリットNo、か奇数のスリットの
偏光子を透過した光を透過しスリットNo、が偶数のス
リットの偏光子を透過した光を反射する。偏光ビーム・
スプリッタ2を透過した光はレンズ7aによって集光さ
れ、受光素子3]によって光電変換される。偏光ビーム
・スプリッタ2によって反射した光はレンズ7bによっ
て集光され、受光素子32によって光電変換される。
2に入射する。偏光ビーム・スプリッタ2は空間フィル
タ1の透過光のうちスリットNo、か奇数のスリットの
偏光子を透過した光を透過しスリットNo、が偶数のス
リットの偏光子を透過した光を反射する。偏光ビーム・
スプリッタ2を透過した光はレンズ7aによって集光さ
れ、受光素子3]によって光電変換される。偏光ビーム
・スプリッタ2によって反射した光はレンズ7bによっ
て集光され、受光素子32によって光電変換される。
受光素子31と32の出力信号は信号処理部4に与えら
れ、この信号処理部4によって差動演算され さらに差
動信号の周波数か計測され、この計測された周波数に所
定の係数か乗しられることにより移動物体5の速度が求
められる。周波数計測には周知のスペクトラム・アナラ
イザ、カウンタ、周波数トラッカなどのうちいずれかが
用いられる。
れ、この信号処理部4によって差動演算され さらに差
動信号の周波数か計測され、この計測された周波数に所
定の係数か乗しられることにより移動物体5の速度が求
められる。周波数計測には周知のスペクトラム・アナラ
イザ、カウンタ、周波数トラッカなどのうちいずれかが
用いられる。
空間フィルタ1は、不透明な板に方形孔をあけてスリッ
ト1aを形成し、これらのスリット]aに偏光子をそれ
ぞれ取付けることによって作製することができる。
ト1aを形成し、これらのスリット]aに偏光子をそれ
ぞれ取付けることによって作製することができる。
空間フィルタ1はより簡便には次のようにして作製され
る。すなわち、第3a図および第3b図に示すように、
2枚の偏光子11.12を用意し、これらの偏光子11
.12に2交互に並ぶスリット1aとなる位置にそれぞ
れ方形孔をあける。そしてこれらの偏光子11と12を
重ね合わせることにより空間フィルタ1が得られる。偏
光子11の孔11aは偏光子12で決まる偏光方向の光
を透過し、偏光子12の孔11bは偏光子11で決まる
偏光方向の光を透適する。孔11a、 llb以外の部
分においては7偏光子11と12がそれぞれ互いに直交
する偏光方向の光しか透過しないため、これらの偏光子
11と12を重ね合わせると光が透過しない状態となる
。
る。すなわち、第3a図および第3b図に示すように、
2枚の偏光子11.12を用意し、これらの偏光子11
.12に2交互に並ぶスリット1aとなる位置にそれぞ
れ方形孔をあける。そしてこれらの偏光子11と12を
重ね合わせることにより空間フィルタ1が得られる。偏
光子11の孔11aは偏光子12で決まる偏光方向の光
を透過し、偏光子12の孔11bは偏光子11で決まる
偏光方向の光を透適する。孔11a、 llb以外の部
分においては7偏光子11と12がそれぞれ互いに直交
する偏光方向の光しか透過しないため、これらの偏光子
11と12を重ね合わせると光が透過しない状態となる
。
上記のような空間フィルタの作製に適した偏光フィルム
は安価に入手でき、加工も簡単であるので、スリット・
ピッチなどのパラメータ変更も容易に行なえる。
は安価に入手でき、加工も簡単であるので、スリット・
ピッチなどのパラメータ変更も容易に行なえる。
たとえば平行光束によって移動物体5の影か直接に空間
フィルタ1に投影されたり、レーザ・スペックル・パタ
ーンが空間フィルタ1に投射されるなど、レンズ6がな
くても移動物体5の移動パターンに関する光情報が空間
フィルタ1の上に生じるときには、レンズ6は必要では
ない。
フィルタ1に投影されたり、レーザ・スペックル・パタ
ーンが空間フィルタ1に投射されるなど、レンズ6がな
くても移動物体5の移動パターンに関する光情報が空間
フィルタ1の上に生じるときには、レンズ6は必要では
ない。
偏光ビーム・スプリッタとしては1反射を利用するもの
の他に ウォラストン・プリズムなど各種の偏光プリズ
ムも利用できる。
の他に ウォラストン・プリズムなど各種の偏光プリズ
ムも利用できる。
また十分な受光量か得られる場合にはレンズ7a、7b
も必ずしも必要ではない。
も必ずしも必要ではない。
小さな移動速度を測定する場合や移動方向の正負も判別
したい場合には空間フィルタをそのスリットの配列方向
に移動させる。そして信号処理部4により物体速度と空
間フィルタ移動速度の合成速度を測定し、この合成速度
から空間フィルタの移動速度(これは既知である)を減
算する。空間フィルタを移動させる場合には、空間フィ
ルタを円筒状に形成し、この円筒状周面に周方向にスリ
ット(偏光子をもつ)を配列するとよい。円筒状空間フ
ィルタを回転させることにより、スリット列の連続した
運動か可能となる。
したい場合には空間フィルタをそのスリットの配列方向
に移動させる。そして信号処理部4により物体速度と空
間フィルタ移動速度の合成速度を測定し、この合成速度
から空間フィルタの移動速度(これは既知である)を減
算する。空間フィルタを移動させる場合には、空間フィ
ルタを円筒状に形成し、この円筒状周面に周方向にスリ
ット(偏光子をもつ)を配列するとよい。円筒状空間フ
ィルタを回転させることにより、スリット列の連続した
運動か可能となる。
上記実施例では光の偏光を利用しているが、光の波長を
利用して空間フィルタを構成することもできる。すなわ
ち、第2a図に示す空間フィルタ1において、スリット
1aに色の異なる2種類の色フィルタ(たとえば赤また
は黄と緑または青など)を交互に貼付ける。このような
空間フィルタは第3a図および第3b図に示す方法によ
り作製することもてきる。たとえば第3a図の符号】1
て示すものを赤または黄色の色フィルタとし、第3b図
の符号12で示すものを緑または青色の色フィルタとす
ればよい。
利用して空間フィルタを構成することもできる。すなわ
ち、第2a図に示す空間フィルタ1において、スリット
1aに色の異なる2種類の色フィルタ(たとえば赤また
は黄と緑または青など)を交互に貼付ける。このような
空間フィルタは第3a図および第3b図に示す方法によ
り作製することもてきる。たとえば第3a図の符号】1
て示すものを赤または黄色の色フィルタとし、第3b図
の符号12で示すものを緑または青色の色フィルタとす
ればよい。
第4図はこのような色フィルタを用いて構成された空間
フィルタを用いた空間フィルタ速度計の構成の一部を示
すものである。
フィルタを用いた空間フィルタ速度計の構成の一部を示
すものである。
空間フィルタ10は、透過波長帯域が相互に異なる(た
とえば上述のように赤と緑または黄と青)2種類のスリ
ットか交互に形成されてなる空間フィルタである。この
空間フィルタ10を透過した光はハーフミラ−20で2
つに分離される。分離された一方の光は空間フィルタ1
0の一方のスリットを透過した波長帯域の光を透過させ
る色フィルタ21(たとえば赤または黄)を通って受光
素子31に受光される。他方の光は空間フィルタ10の
他方のスリットを透過した波長帯域の光を透過させる色
フィルタ22(たとえば緑または青)を通って受光素子
32に受光される。受光素子31と32の出力信号は信
号処理部に与えられ物体の速度が測定されるのは上述し
た実施例と同じである。
とえば上述のように赤と緑または黄と青)2種類のスリ
ットか交互に形成されてなる空間フィルタである。この
空間フィルタ10を透過した光はハーフミラ−20で2
つに分離される。分離された一方の光は空間フィルタ1
0の一方のスリットを透過した波長帯域の光を透過させ
る色フィルタ21(たとえば赤または黄)を通って受光
素子31に受光される。他方の光は空間フィルタ10の
他方のスリットを透過した波長帯域の光を透過させる色
フィルタ22(たとえば緑または青)を通って受光素子
32に受光される。受光素子31と32の出力信号は信
号処理部に与えられ物体の速度が測定されるのは上述し
た実施例と同じである。
この空間フィルタ10もまた移動させてもよいし1円筒
状とすることもできる。
状とすることもできる。
ハーフミラ−20と色フィルタ21.22に代えてプリ
ズムまたはグレーティングを用いることにより、空間フ
ィルタlOを透過した光の波長分離を行なうことができ
る。
ズムまたはグレーティングを用いることにより、空間フ
ィルタlOを透過した光の波長分離を行なうことができ
る。
第1図はこの発明の実施例を示し、空間フィルタ速度計
の構成を示す図である。 第2a図は空間フィルタの一例を示す平面囚第2b図は
空間フィルタにおける偏光子を通過する光の偏光方向を
説明するものである。 第3a図および第3b図は空間フィルタを作製するのに
用いる偏光子を示すものである。 第4図はこの発明の他の実施例を示し7空間フィルタ速
度計の構成の一部を示す図である。 ]、10・・空間フィルタ 1a・・・スリット 2・・・偏光ビーム・スプリッタ 4・・・信号処理部 11、1.2・・・偏光子。 11a、11.b・・・方形孔。 20・・ハーフミラ− 21、22・・・色フィルタ 31、32・・・受光素子。
の構成を示す図である。 第2a図は空間フィルタの一例を示す平面囚第2b図は
空間フィルタにおける偏光子を通過する光の偏光方向を
説明するものである。 第3a図および第3b図は空間フィルタを作製するのに
用いる偏光子を示すものである。 第4図はこの発明の他の実施例を示し7空間フィルタ速
度計の構成の一部を示す図である。 ]、10・・空間フィルタ 1a・・・スリット 2・・・偏光ビーム・スプリッタ 4・・・信号処理部 11、1.2・・・偏光子。 11a、11.b・・・方形孔。 20・・ハーフミラ− 21、22・・・色フィルタ 31、32・・・受光素子。
Claims (5)
- (1)所定方向に偏光した光を透過させる第1のスリッ
トと上記所定方向に直交する方向に偏光した光を透過さ
せる第2のスリットとが所定間隔で交互に配置されてな
る空間フィルタ装置。 - (2)差動型空間フィルタを用いた速度計において、 所定方向に偏光した光を透過させる第1のスリットと上
記所定方向に直交する方向に偏光した光を透過させる第
2のスリットとが所定間隔で交互に配置されてなる空間
フィルタ、および 上記スリットを透過した光をその偏光方向に応じて2つ
に分離する手段、 を備えた空間フィルタ速度計。 - (3)所定間隔で一列に配列された複数のスリットに、
透過させる光の偏光方向が互いに垂直な偏光子が交互に
配置されてなる空間フィルタ、 上記空間フィルタのスリットを透過した光をその偏光方
向に応じて2つに分離する偏光ビーム・スプリッタ、 上記偏光ビーム・スプリッタによって分離された2つの
光ビームをそれぞれ受光する2つの受光素子、および 上記2つの受光素子の出力を差動演算し、その差動信号
の周波数に基づいて被測定物体の速度を算出する信号処
理回路、 を備えた空間フィルタ速度計。 - (4)所定の第1の波長帯域の光を透過させる第1のス
リットと上記第1の波長帯域とは異なる第2の波長帯域
の光を透過させる第2のスリットとが所定間隔で交互に
配置されてなる空間フィルタ装置。 - (5)差動型空間フィルタを用いた速度計において、 所定の第1の波長帯域の光を透過させる第1のスリット
と上記第1の波長帯域とは異なる第2の波長帯域の光を
透過させる第2のスリットとが所定間隔で交互に配置さ
れてなる空間フィルタ、および 上記スリットを透過した光をその波長に応じて2つに分
離する手段、 を備えた空間フィルタ速度計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13845090A JPH0432768A (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 | 空間フィルタ装置および空間フィルタ速度計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13845090A JPH0432768A (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 | 空間フィルタ装置および空間フィルタ速度計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0432768A true JPH0432768A (ja) | 1992-02-04 |
Family
ID=15222295
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13845090A Pending JPH0432768A (ja) | 1990-05-30 | 1990-05-30 | 空間フィルタ装置および空間フィルタ速度計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0432768A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023228493A1 (ja) * | 2022-05-27 | 2023-11-30 | アズビル株式会社 | 速度測定装置及び速度測定方法 |
-
1990
- 1990-05-30 JP JP13845090A patent/JPH0432768A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2023228493A1 (ja) * | 2022-05-27 | 2023-11-30 | アズビル株式会社 | 速度測定装置及び速度測定方法 |
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