JPH0432067U - - Google Patents

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JPH0432067U
JPH0432067U JP7397090U JP7397090U JPH0432067U JP H0432067 U JPH0432067 U JP H0432067U JP 7397090 U JP7397090 U JP 7397090U JP 7397090 U JP7397090 U JP 7397090U JP H0432067 U JPH0432067 U JP H0432067U
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laser
light
fiber
equipment
dichroic mirror
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JP7397090U
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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案隔離機器の表面検査装置の一実
施例の模式図、第2図は検出傷の説明図である。
第3図は従来装置の模式図である。 1……放射能雰囲気、2……機器、3……隔壁
、4……監視孔、5……保護管、6……イメージ
フアイバー、7……照明用フアイバー、8……照
明光発生装置、9……照明光、10……カメラ、
11……モニターTV、12……ダイクロイツク
ミラー、13……2次元走査ミラー、14……収
束レンズ、15……ダイクロイツクミラー、16
……レーザー装置、17……レーザー光、18…
…ダイクロイツクミラー、19……物体光、20
……乱反射光、21……干渉フイルター、22…
…光電変換器、23……電圧信号、24……信号
処理装置、25……走査ミラーコントローラー、
26……信号ケーブル、27……同期信号、28
……表示装置。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. イメージフアイバー及び照明用フアイバーによ
    り隔離場所にある機器の表面状況を光学的に検査
    する装置において、上記照明用フアイバーの入射
    側に設置されたレーザー装置及びレーザー光を反
    射し照明光を透過するダイクロイツクミラーと、
    同フアイバーの出射側に設置された同様のダイク
    ロイツクミラー、同ダイクロイツクミラーにより
    反射されたレーザー光を2次元的に走査する装置
    及び同レーザー光を機器表面に集束するレンズと
    、上記イメージフアイバーの出射側に設置され同
    フアイバーにより伝達されてくる機器表面からの
    レーザー乱反射光と物体光を分離するダイクロイ
    ツクミラーと、上記物体光を写し取る目視観察手
    段と、上記レーザー乱反射光を電圧信号に変換し
    処理する信号処理装置とを具えたことを特徴とす
    る隔離機器の表面検査装置。
JP7397090U 1990-07-12 1990-07-12 Pending JPH0432067U (ja)

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JP7397090U JPH0432067U (ja) 1990-07-12 1990-07-12

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JPH0432067U true JPH0432067U (ja) 1992-03-16

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ID=31613251

Family Applications (1)

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JP7397090U Pending JPH0432067U (ja) 1990-07-12 1990-07-12

Country Status (1)

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JP (1) JPH0432067U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014222239A (ja) * 2009-07-22 2014-11-27 ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation リング状照射を備える暗視野検査システム

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014222239A (ja) * 2009-07-22 2014-11-27 ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation リング状照射を備える暗視野検査システム

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