JPH0432067U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0432067U JPH0432067U JP7397090U JP7397090U JPH0432067U JP H0432067 U JPH0432067 U JP H0432067U JP 7397090 U JP7397090 U JP 7397090U JP 7397090 U JP7397090 U JP 7397090U JP H0432067 U JPH0432067 U JP H0432067U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- light
- fiber
- equipment
- dichroic mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
第1図は本考案隔離機器の表面検査装置の一実
施例の模式図、第2図は検出傷の説明図である。
第3図は従来装置の模式図である。 1……放射能雰囲気、2……機器、3……隔壁
、4……監視孔、5……保護管、6……イメージ
フアイバー、7……照明用フアイバー、8……照
明光発生装置、9……照明光、10……カメラ、
11……モニターTV、12……ダイクロイツク
ミラー、13……2次元走査ミラー、14……収
束レンズ、15……ダイクロイツクミラー、16
……レーザー装置、17……レーザー光、18…
…ダイクロイツクミラー、19……物体光、20
……乱反射光、21……干渉フイルター、22…
…光電変換器、23……電圧信号、24……信号
処理装置、25……走査ミラーコントローラー、
26……信号ケーブル、27……同期信号、28
……表示装置。
施例の模式図、第2図は検出傷の説明図である。
第3図は従来装置の模式図である。 1……放射能雰囲気、2……機器、3……隔壁
、4……監視孔、5……保護管、6……イメージ
フアイバー、7……照明用フアイバー、8……照
明光発生装置、9……照明光、10……カメラ、
11……モニターTV、12……ダイクロイツク
ミラー、13……2次元走査ミラー、14……収
束レンズ、15……ダイクロイツクミラー、16
……レーザー装置、17……レーザー光、18…
…ダイクロイツクミラー、19……物体光、20
……乱反射光、21……干渉フイルター、22…
…光電変換器、23……電圧信号、24……信号
処理装置、25……走査ミラーコントローラー、
26……信号ケーブル、27……同期信号、28
……表示装置。
Claims (1)
- イメージフアイバー及び照明用フアイバーによ
り隔離場所にある機器の表面状況を光学的に検査
する装置において、上記照明用フアイバーの入射
側に設置されたレーザー装置及びレーザー光を反
射し照明光を透過するダイクロイツクミラーと、
同フアイバーの出射側に設置された同様のダイク
ロイツクミラー、同ダイクロイツクミラーにより
反射されたレーザー光を2次元的に走査する装置
及び同レーザー光を機器表面に集束するレンズと
、上記イメージフアイバーの出射側に設置され同
フアイバーにより伝達されてくる機器表面からの
レーザー乱反射光と物体光を分離するダイクロイ
ツクミラーと、上記物体光を写し取る目視観察手
段と、上記レーザー乱反射光を電圧信号に変換し
処理する信号処理装置とを具えたことを特徴とす
る隔離機器の表面検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7397090U JPH0432067U (ja) | 1990-07-12 | 1990-07-12 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7397090U JPH0432067U (ja) | 1990-07-12 | 1990-07-12 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0432067U true JPH0432067U (ja) | 1992-03-16 |
Family
ID=31613251
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7397090U Pending JPH0432067U (ja) | 1990-07-12 | 1990-07-12 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0432067U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014222239A (ja) * | 2009-07-22 | 2014-11-27 | ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation | リング状照射を備える暗視野検査システム |
-
1990
- 1990-07-12 JP JP7397090U patent/JPH0432067U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014222239A (ja) * | 2009-07-22 | 2014-11-27 | ケーエルエー−テンカー・コーポレーションKla−Tencor Corporation | リング状照射を備える暗視野検査システム |
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