JPH04308084A - 位置決め装置 - Google Patents
位置決め装置Info
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- JPH04308084A JPH04308084A JP3097858A JP9785891A JPH04308084A JP H04308084 A JPH04308084 A JP H04308084A JP 3097858 A JP3097858 A JP 3097858A JP 9785891 A JP9785891 A JP 9785891A JP H04308084 A JPH04308084 A JP H04308084A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 37
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、大径円板の周辺部に処
理物を載せる載荷台を複数配置して高速回転させたとき
に、所定の載荷台を指定位置に位置決めする位置決め装
置に関する。
理物を載せる載荷台を複数配置して高速回転させたとき
に、所定の載荷台を指定位置に位置決めする位置決め装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】周辺部に載荷台を配置した大径円板の回
転駆動は、所定の駆動信号に応じて回転量が制御できる
サーボモータ等を用いた駆動部によって行われる。また
、位置決め装置は、駆動部に連結される治具（例えば、
カップリングやベルト）を介して連動し、その回転量を
検出する回転量検出器（例えばエンコーダ）と、検出さ
れた回転量に応じて駆動部に与える駆動信号をフィード
バック制御する制御回路とを備えた構成である。その動
作は、制御回路が回転の初期位置を基準に位置決めする
載荷台の位置に基づいて大径円板の回転量を例えばエン
コーダのパルス数で与え、エンコーダの計数値が指定パ
ルス数に達するまで大径円板を回転移動させることによ
り、載荷台の位置決めを行うものである。
転駆動は、所定の駆動信号に応じて回転量が制御できる
サーボモータ等を用いた駆動部によって行われる。また
、位置決め装置は、駆動部に連結される治具（例えば、
カップリングやベルト）を介して連動し、その回転量を
検出する回転量検出器（例えばエンコーダ）と、検出さ
れた回転量に応じて駆動部に与える駆動信号をフィード
バック制御する制御回路とを備えた構成である。その動
作は、制御回路が回転の初期位置を基準に位置決めする
載荷台の位置に基づいて大径円板の回転量を例えばエン
コーダのパルス数で与え、エンコーダの計数値が指定パ
ルス数に達するまで大径円板を回転移動させることによ
り、載荷台の位置決めを行うものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、大径円板の載
荷台の位置に誤差がある場合には、正確に大径円板の回
転量を制御しても載荷台の位置決めが正確に行われたと
は言えなかった。また、従来の位置決め装置では、大径
円板の回転量が駆動部に連結される治具を介して回転量
検出器で間接的に検出されるので、大径円板の実際の回
転量と回転量検出器に検出される回転量との間にも誤差
があり、正確かつ確実に位置決めすることが困難であっ
た。さらに、回転量検出器に混入するノイズによっても
正確な位置決めが阻害される結果となっていた。
荷台の位置に誤差がある場合には、正確に大径円板の回
転量を制御しても載荷台の位置決めが正確に行われたと
は言えなかった。また、従来の位置決め装置では、大径
円板の回転量が駆動部に連結される治具を介して回転量
検出器で間接的に検出されるので、大径円板の実際の回
転量と回転量検出器に検出される回転量との間にも誤差
があり、正確かつ確実に位置決めすることが困難であっ
た。さらに、回転量検出器に混入するノイズによっても
正確な位置決めが阻害される結果となっていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、軸駆動によっ
て高速回転させる大径円板の駆動装置において、その周
辺部に配置された所定の載荷台を指定位置に正確かつ確
実に位置決めする位置決め装置を提供することを目的と
する。本発明によれば、周辺部に複数の載荷台を配置し
た大径円板を回転軸を中心として回転させる駆動部を備
え、前記駆動部の回転量に応じて前記駆動部を制御する
ことにより、前記載荷台を所定の位置に位置決めする位
置決め装置において、前記大径円板の各載荷台近傍に、
前記大径円板と共に回転可能に設けられ、各載荷台の位
置を指示する目標部検出部と、前記目標部検出部と対向
するように、大径円板の近傍の固定位置に設置され、前
記目標部検出部の位置を検出して、第１の位置検出信号
を発生する目標部検出器と、前記大径円板の回転軸に取
り付けられ、前記大径円板と共に、各載荷台とそれぞれ
正確な位置関係で設置された軸部位置検出部と、回転す
る前記軸部位置検出部の位置を検出し、検出した結果を
表わす第２の検出信号を発生する軸部位置検出器とを備
え、第１及び第２の検出信号を用いて、前記駆動部を制
御し、前記載荷台の位置決めを行うことを特徴とする位
置決め装置が得られる。
て高速回転させる大径円板の駆動装置において、その周
辺部に配置された所定の載荷台を指定位置に正確かつ確
実に位置決めする位置決め装置を提供することを目的と
する。本発明によれば、周辺部に複数の載荷台を配置し
た大径円板を回転軸を中心として回転させる駆動部を備
え、前記駆動部の回転量に応じて前記駆動部を制御する
ことにより、前記載荷台を所定の位置に位置決めする位
置決め装置において、前記大径円板の各載荷台近傍に、
前記大径円板と共に回転可能に設けられ、各載荷台の位
置を指示する目標部検出部と、前記目標部検出部と対向
するように、大径円板の近傍の固定位置に設置され、前
記目標部検出部の位置を検出して、第１の位置検出信号
を発生する目標部検出器と、前記大径円板の回転軸に取
り付けられ、前記大径円板と共に、各載荷台とそれぞれ
正確な位置関係で設置された軸部位置検出部と、回転す
る前記軸部位置検出部の位置を検出し、検出した結果を
表わす第２の検出信号を発生する軸部位置検出器とを備
え、第１及び第２の検出信号を用いて、前記駆動部を制
御し、前記載荷台の位置決めを行うことを特徴とする位
置決め装置が得られる。
【０００５】
【作用】上記した構成では、大径円板の回転とともに回
転する各目標部検出部に対して、固定された位置で各目
標部検出部の位置を検出することにより、回転量検出部
における回転量を用いた位置決め制御を行なう。一方、
大径円板と同軸回転する軸部位置検出部の位置を検出す
る。このように、目標検出部と軸部位置検出部の双方の
出力を用いて載荷台を正確に位置決めすることができる
。
転する各目標部検出部に対して、固定された位置で各目
標部検出部の位置を検出することにより、回転量検出部
における回転量を用いた位置決め制御を行なう。一方、
大径円板と同軸回転する軸部位置検出部の位置を検出す
る。このように、目標検出部と軸部位置検出部の双方の
出力を用いて載荷台を正確に位置決めすることができる
。
【０００６】
【実施例】図１は、本発明の位置決め装置が用いられる
大径円板の駆動装置の実施例構成を示す図である。図に
おいて、大径円板１１にはその周辺部に複数の載荷台１
２が設置される。大径円板１１の回転軸１３は大径円板
支持ハウジング１４に支持され、その一端がベルト１５
を介してサーボモータ１６に接続される。また、回転軸
１３の一端にはベルト１７を介してエンコーダ１８が接
続され、大径円板１１の回転量を検出する構成になって
いる。なお、エンコーダ１８の出力信号に応じてサーボ
モータ１６の回転を制御する構成については図面では省
略されている。本実施例では、図２及び図３に示されて
いるように、大径円板１１の外周部の各載荷台に対応す
る位置に目標部検出部２１が位置精度よく取り付けられ
ると共に所定位置に初期位置検出部２２が取り付けられ
ている。一方、これら検出部２１及び２２を検出する固
定の目標部検出器２３が大径円板１１の外周近傍に設置
され、目標部検出器２３では、初期位置検出部２２およ
び位置決めする載荷台に対応した目標部検出部２１を検
出した信号がサーボモータ１６の回転制御に用いられる
。ここで、大径円板１１、載荷台１２、目標部検出部２
１、初期位置検出部２２、目標部検出器２３、軸部位置
検出部２５および軸部位置検出器２６は図２に示すよう
な関係を有している。また、図３において、目標部検出
部２１はスリットを有する遮蔽板３１により構成されて
いる。目標部検出器２３は、発光素子３２と受光素子３
３が保持部３４を介して固定チャンバー３５に固定され
る。なお、発光素子３２から出射される光線と目標部検
出板２１とを対向させ、スリット３６を通過した光の大
部分が受光できる位置に受光素子３３を設置することが
好ましい。この構成では、スリット３６を有する遮蔽板
３１を各載荷台に対応する位置に精度よく取り付け、か
つスリット３６を当該遮蔽板３１の端部から所定距離に
精度よく設けておけば、目標部検出器２３の検出信号を
処理することにより、スリット３６を光が通過する位置
に対応する載荷台１２を正確に位置決めすることができ
る。また、回転軸１３の一端には、図４に示すように、
各載荷台位置に対応した位置に軸部位置検出部２５が取
り付けられ、その位置を検出する軸部位置検出器２６が
設置されている。このように、軸部位置検出部２５は各
載荷台位置に対応した位置に正確に設けられ、軸部位置
検出器２６は、軸部位置検出部２５の位置を検出する。 なお、この軸部位置検出部２５および軸部位置検出器２
６は、スリットを有する遮蔽板３１及び目標部検出器２
３による大径円板１１の位置決めの確認に使用される。 図５は、本発明による目標部検出器の検出動作例につい
て説明する図である。図において、初期位置検出部２２
（図１）と各載荷台１２Ｎ ，１２Ｎ＋１ に対応する
スリットを有する遮蔽板３１Ｎ ，３１Ｎ＋１ との距
離をＢＮ ，ＢＮ＋１ 、各スリットを有する遮蔽板３
１Ｎ ，３１Ｎ＋１ の端部とスリット３６との距離を
Ｃとしたときに、目標部検出器２３からは図５（ａ）に
示すような第１の検出信号が送出される。尚、各距離Ｂ
Ｎ ，ＢＮ＋１ ，Ｃは、エンコーダ１８の設定パルス
数に対応しているものとし、ＢＮ ，ＢＮ＋１ ，およ
びＣはパルス数をも表しているものとする。一方、軸部
位置検出器２６からは（ｂ）に示すような第２の検出信
号が送出される。以下、図１〜図５を参照して位置決め
手順について説明する。■目標部検出器２３は初期位置
検出部２２を検知し、制御回路（図示せず）の位置検出
用カウンタをクリアする。■制御回路（図示せず）は、
位置決めする対象の載荷台１２Ｎ に対応したスリット
を有する遮蔽板３１Ｎ までの回転量としてパルス数（
ＢＮ ＋Ｃ）をエンコーダ１８にセットし、サーボモー
タ１６を駆動する。大径円板１１は、目標位置へ向かっ
て回転移動する。■大径円板１１が回転移動中に、エン
コーダ１８が計数するパルス数がＢＮ−１ を越えてか
ら目標部検出器２３がスリットを有する遮蔽板３１Ｎ
の端部を検出した時点で、設定パルス数を（ＢＮ ＋Ｃ
）から（現在値＋Ｃ）に修正する。大径円板１１は、目
標位置へ向かってさらに回転移動し、エンコーダ１８が
（現在値＋Ｃ）を計数したときに停止させる。■■の制
御により大径円板１１の載荷台１２Ｎ が目標位置へ移
動完了した後に、目標部検出器２３でスリット３６を通
過する光を検出して所定の位置に位置決めされたか否か
をチェックし、位置決め制御を終了する。■この位置決
め制御終了時に、軸部位置検出器２６が軸部位置検出部
２５を検出していることを確認し、載荷台１２Ｎ が正
確に位置決めされたことを再確認する。このような位置
決め手順により、初期位置からスリットを有する遮蔽板
３１Ｎ までの設定パルス数ＢＮ およびエンコーダ１
８のカウント数については高精度である必要はなくなる
。また、載荷台１２Ｎ と対応するスリットを有する遮
蔽板３１Ｎ の位置精度が高ければ、大径円板１１に対
する載荷台１２Ｎ の高い位置精度は要求されない。す
なわち、載荷台１２Ｎ の位置や設定パルス数ＢＮ に
多少の誤差があったり、大径円板板１１における実際の
回転量とその回転量を検出するエンコーダ１８に検出さ
れる回転量との間に誤差があっても、正確に位置決めす
ることができる。また、大径円板１１と一体で回転する
軸部位置検出部２５および軸部位置検出器２６を用いて
位置決めされた載荷台１２の位置を再確認できるので、
エンコーダ１８などの回転量検出器に不具合が生じた場
合でも位置決めの良否の判定ができ、確実な位置決めを
行うことができる。
大径円板の駆動装置の実施例構成を示す図である。図に
おいて、大径円板１１にはその周辺部に複数の載荷台１
２が設置される。大径円板１１の回転軸１３は大径円板
支持ハウジング１４に支持され、その一端がベルト１５
を介してサーボモータ１６に接続される。また、回転軸
１３の一端にはベルト１７を介してエンコーダ１８が接
続され、大径円板１１の回転量を検出する構成になって
いる。なお、エンコーダ１８の出力信号に応じてサーボ
モータ１６の回転を制御する構成については図面では省
略されている。本実施例では、図２及び図３に示されて
いるように、大径円板１１の外周部の各載荷台に対応す
る位置に目標部検出部２１が位置精度よく取り付けられ
ると共に所定位置に初期位置検出部２２が取り付けられ
ている。一方、これら検出部２１及び２２を検出する固
定の目標部検出器２３が大径円板１１の外周近傍に設置
され、目標部検出器２３では、初期位置検出部２２およ
び位置決めする載荷台に対応した目標部検出部２１を検
出した信号がサーボモータ１６の回転制御に用いられる
。ここで、大径円板１１、載荷台１２、目標部検出部２
１、初期位置検出部２２、目標部検出器２３、軸部位置
検出部２５および軸部位置検出器２６は図２に示すよう
な関係を有している。また、図３において、目標部検出
部２１はスリットを有する遮蔽板３１により構成されて
いる。目標部検出器２３は、発光素子３２と受光素子３
３が保持部３４を介して固定チャンバー３５に固定され
る。なお、発光素子３２から出射される光線と目標部検
出板２１とを対向させ、スリット３６を通過した光の大
部分が受光できる位置に受光素子３３を設置することが
好ましい。この構成では、スリット３６を有する遮蔽板
３１を各載荷台に対応する位置に精度よく取り付け、か
つスリット３６を当該遮蔽板３１の端部から所定距離に
精度よく設けておけば、目標部検出器２３の検出信号を
処理することにより、スリット３６を光が通過する位置
に対応する載荷台１２を正確に位置決めすることができ
る。また、回転軸１３の一端には、図４に示すように、
各載荷台位置に対応した位置に軸部位置検出部２５が取
り付けられ、その位置を検出する軸部位置検出器２６が
設置されている。このように、軸部位置検出部２５は各
載荷台位置に対応した位置に正確に設けられ、軸部位置
検出器２６は、軸部位置検出部２５の位置を検出する。 なお、この軸部位置検出部２５および軸部位置検出器２
６は、スリットを有する遮蔽板３１及び目標部検出器２
３による大径円板１１の位置決めの確認に使用される。 図５は、本発明による目標部検出器の検出動作例につい
て説明する図である。図において、初期位置検出部２２
（図１）と各載荷台１２Ｎ ，１２Ｎ＋１ に対応する
スリットを有する遮蔽板３１Ｎ ，３１Ｎ＋１ との距
離をＢＮ ，ＢＮ＋１ 、各スリットを有する遮蔽板３
１Ｎ ，３１Ｎ＋１ の端部とスリット３６との距離を
Ｃとしたときに、目標部検出器２３からは図５（ａ）に
示すような第１の検出信号が送出される。尚、各距離Ｂ
Ｎ ，ＢＮ＋１ ，Ｃは、エンコーダ１８の設定パルス
数に対応しているものとし、ＢＮ ，ＢＮ＋１ ，およ
びＣはパルス数をも表しているものとする。一方、軸部
位置検出器２６からは（ｂ）に示すような第２の検出信
号が送出される。以下、図１〜図５を参照して位置決め
手順について説明する。■目標部検出器２３は初期位置
検出部２２を検知し、制御回路（図示せず）の位置検出
用カウンタをクリアする。■制御回路（図示せず）は、
位置決めする対象の載荷台１２Ｎ に対応したスリット
を有する遮蔽板３１Ｎ までの回転量としてパルス数（
ＢＮ ＋Ｃ）をエンコーダ１８にセットし、サーボモー
タ１６を駆動する。大径円板１１は、目標位置へ向かっ
て回転移動する。■大径円板１１が回転移動中に、エン
コーダ１８が計数するパルス数がＢＮ−１ を越えてか
ら目標部検出器２３がスリットを有する遮蔽板３１Ｎ
の端部を検出した時点で、設定パルス数を（ＢＮ ＋Ｃ
）から（現在値＋Ｃ）に修正する。大径円板１１は、目
標位置へ向かってさらに回転移動し、エンコーダ１８が
（現在値＋Ｃ）を計数したときに停止させる。■■の制
御により大径円板１１の載荷台１２Ｎ が目標位置へ移
動完了した後に、目標部検出器２３でスリット３６を通
過する光を検出して所定の位置に位置決めされたか否か
をチェックし、位置決め制御を終了する。■この位置決
め制御終了時に、軸部位置検出器２６が軸部位置検出部
２５を検出していることを確認し、載荷台１２Ｎ が正
確に位置決めされたことを再確認する。このような位置
決め手順により、初期位置からスリットを有する遮蔽板
３１Ｎ までの設定パルス数ＢＮ およびエンコーダ１
８のカウント数については高精度である必要はなくなる
。また、載荷台１２Ｎ と対応するスリットを有する遮
蔽板３１Ｎ の位置精度が高ければ、大径円板１１に対
する載荷台１２Ｎ の高い位置精度は要求されない。す
なわち、載荷台１２Ｎ の位置や設定パルス数ＢＮ に
多少の誤差があったり、大径円板板１１における実際の
回転量とその回転量を検出するエンコーダ１８に検出さ
れる回転量との間に誤差があっても、正確に位置決めす
ることができる。また、大径円板１１と一体で回転する
軸部位置検出部２５および軸部位置検出器２６を用いて
位置決めされた載荷台１２の位置を再確認できるので、
エンコーダ１８などの回転量検出器に不具合が生じた場
合でも位置決めの良否の判定ができ、確実な位置決めを
行うことができる。
【０００７】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、高速回転
する大径円板上の各載荷台の位置決めが従来の回転量制
御に加えて、それぞれの載荷台の位置検出情報を用いて
フィードバックされるので、精度よく実現することがで
きる。また、位置決めが正確に行われたか否かが別途確
認できるので、確実な位置決めを行うことができる。ま
た、簡単かつ短時間で正確に位置決めを行うことができ
るので、載荷台上の被処理物の出し入れの時間を大幅に
短縮することができ、処理効率を高めることができる。 なお、本発明は、バッチ式イオン注入装置のウェハ処理
ディスクの位置決め、イオンエッチング装置その他のウ
ェハ載荷台の位置決め、ＣＶＤ装置のウェハ載荷台の位
置決めに用いることができる。
する大径円板上の各載荷台の位置決めが従来の回転量制
御に加えて、それぞれの載荷台の位置検出情報を用いて
フィードバックされるので、精度よく実現することがで
きる。また、位置決めが正確に行われたか否かが別途確
認できるので、確実な位置決めを行うことができる。ま
た、簡単かつ短時間で正確に位置決めを行うことができ
るので、載荷台上の被処理物の出し入れの時間を大幅に
短縮することができ、処理効率を高めることができる。 なお、本発明は、バッチ式イオン注入装置のウェハ処理
ディスクの位置決め、イオンエッチング装置その他のウ
ェハ載荷台の位置決め、ＣＶＤ装置のウェハ載荷台の位
置決めに用いることができる。
【図１】本発明の位置決め装置が用いられる大径円板の
駆動装置の実施例構成を示す図である。
駆動装置の実施例構成を示す図である。
【図２】本実施例各部の位置関係を示す図である。
【図３】目標部検出部および目標部検出器の一実施例構
成を示す図である。
成を示す図である。
【図４】軸部位置検出部および軸部位置検出器の一実施
例構成を示す図である。
例構成を示す図である。
【図５】本発明による目標部検出器の検出動作例につい
て説明する図である。
て説明する図である。
１１ 大径円板
１２ 載荷台
１３ 回転軸
１４ 大径円板支持ハウジング
１５，１７ ベルト
１６ サーボモータ
１８ エンコーダ
２１ 目標部検出部
２２ 初期位置検出部
２３ 目標部検出器
２５ 軸部位置検出部
２６ 軸部位置検出器
３１ スリットを有する遮蔽板
３２ 発光素子
３３ 受光素子
３４ 保持部
３５ 固定チャンバー
３６ スリット
Claims (2)
- 【請求項１】 周辺部に複数の載荷台を配置した大径
円板を回転軸を中心として回転させる駆動部を備え、前
記駆動部の回転量に応じて前記駆動部を制御することに
より、前記載荷台を所定の位置に位置決めする位置決め
装置において、前記大径円板の各載荷台近傍に、前記大
径円板と共に回転可能に設けられ、各載荷台の位置を指
示する目標部検出部と、前記目標部検出部と対向するよ
うに、大径円板の近傍の固定位置に設置され、前記目標
部検出部の位置を検出して、第１の位置検出信号を発生
する目標部検出器と、前記大径円板の回転軸に取り付け
られ、前記大径円板と共に、各載荷台とそれぞれ正確な
位置関係で設置された軸部位置検出部と、回転する前記
軸部位置検出部の位置を検出し、検出した結果を表わす
第２の検出信号を発生する軸部位置検出器とを備え、第
１及び第２の検出信号を用いて、前記駆動部を制御し、
前記載荷台の位置決めを行うことを特徴とする位置決め
装置。 - 【請求項２】 請求項１において、前記目標部検出器
は発光素子および受光素子とによって構成されるフォト
センサであり、前記目標部検出部は一部にスリットを有
する遮蔽射板によって構成されていることを特徴とする
位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9785891A JP2909932B2 (ja) | 1991-04-04 | 1991-04-04 | 位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9785891A JP2909932B2 (ja) | 1991-04-04 | 1991-04-04 | 位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04308084A true JPH04308084A (ja) | 1992-10-30 |
| JP2909932B2 JP2909932B2 (ja) | 1999-06-23 |
Family
ID=14203452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9785891A Expired - Lifetime JP2909932B2 (ja) | 1991-04-04 | 1991-04-04 | 位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2909932B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005142200A (ja) * | 2003-11-04 | 2005-06-02 | Sharp Corp | 気相成長装置および気相成長方法 |
| US7411709B2 (en) | 2006-06-02 | 2008-08-12 | Sen Corporation | Beam processing system and beam processing method |
| JP2009266762A (ja) * | 2008-04-30 | 2009-11-12 | Nec Electronics Corp | 位置調整装置、方法、プログラム、イオン注入装置及びウェハ製造方法 |
| CN104370075A (zh) * | 2013-08-14 | 2015-02-25 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种用于转盘的定位装置、转盘机构及刻蚀设备 |
-
1991
- 1991-04-04 JP JP9785891A patent/JP2909932B2/ja not_active Expired - Lifetime
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