JPH04301086A - 細い金属棒表面に微細な溝を有する金属シャフトの製法 - Google Patents
細い金属棒表面に微細な溝を有する金属シャフトの製法Info
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- JPH04301086A JPH04301086A JP8918791A JP8918791A JPH04301086A JP H04301086 A JPH04301086 A JP H04301086A JP 8918791 A JP8918791 A JP 8918791A JP 8918791 A JP8918791 A JP 8918791A JP H04301086 A JPH04301086 A JP H04301086A
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 55
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
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Landscapes
- Ink Jet (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【産業上の利用分野】本発明はモ−タ−等の空軸として
の有用性の高い、円周状その他特定のパタ−ンの微細な
溝を有する４〜２０ｍｍ直径の金属シャフトの製造方法
に関する。
の有用性の高い、円周状その他特定のパタ−ンの微細な
溝を有する４〜２０ｍｍ直径の金属シャフトの製造方法
に関する。
【従来の技術】微細なモ−タ−では、ベアリングも潤滑
油も用いないで、一定の溝を周面上に有することによっ
て空気によって接触による抵抗をなくさせる空軸が用い
られる。このシャフトはベアリングレスシャフトとも言
われている。このようなシャフトは実際試作されている
が、細かい針金のような太さの金属丸棒の周面上に溝を
彫刻することは至難の業である。腐食を利用して金属棒
の周面上に溝を作成するためには、これにレジストを塗
布、乾燥し、一定パタ−ンの写真フィルムを巻き付けて
露光し、溝の部分だけレジストがない状態で腐食を行な
う方法が考えられるが、細かい金属丸棒の周面にフィル
ムを巻き付けることも容易なことではなく、量産に適さ
ない。「エンドレス溝を有する金属丸棒の製法」として
、特開平２−１３８４８５号にはレジストを被覆した金
属丸棒に光不透過転写シ−ルを転写張り付けして露光し
、レジストの未露光部分とシ−ルを除いた後露出金属を
腐食させる方法が開示されている。
油も用いないで、一定の溝を周面上に有することによっ
て空気によって接触による抵抗をなくさせる空軸が用い
られる。このシャフトはベアリングレスシャフトとも言
われている。このようなシャフトは実際試作されている
が、細かい針金のような太さの金属丸棒の周面上に溝を
彫刻することは至難の業である。腐食を利用して金属棒
の周面上に溝を作成するためには、これにレジストを塗
布、乾燥し、一定パタ−ンの写真フィルムを巻き付けて
露光し、溝の部分だけレジストがない状態で腐食を行な
う方法が考えられるが、細かい金属丸棒の周面にフィル
ムを巻き付けることも容易なことではなく、量産に適さ
ない。「エンドレス溝を有する金属丸棒の製法」として
、特開平２−１３８４８５号にはレジストを被覆した金
属丸棒に光不透過転写シ−ルを転写張り付けして露光し
、レジストの未露光部分とシ−ルを除いた後露出金属を
腐食させる方法が開示されている。
【発明が解決しようとする課題】該公開発明の金属丸棒
の製法では、一定厚みのシ−ルが転写される為に極めて
精巧な溝は造りにくい。レジストをレ−ザ−光線を用い
て望む部分だけ除いていくことも、コスト的、時間的に
不利な方法である。その他、フィルムの巻きつけに代え
て遮光インクを付けてレジストで覆われた金属棒を露光
することを試みたが、遮光インクを付ける方法によって
は金属棒に力がかかって変形し、巧くいかない。本発明
は、この様な４〜２０ｍｍの直径の金属棒の表面上に特
定パタ−ンの微細な溝を形成することの困難性を解決し
、量産に適した方法を提供しようとするものである。
の製法では、一定厚みのシ−ルが転写される為に極めて
精巧な溝は造りにくい。レジストをレ−ザ−光線を用い
て望む部分だけ除いていくことも、コスト的、時間的に
不利な方法である。その他、フィルムの巻きつけに代え
て遮光インクを付けてレジストで覆われた金属棒を露光
することを試みたが、遮光インクを付ける方法によって
は金属棒に力がかかって変形し、巧くいかない。本発明
は、この様な４〜２０ｍｍの直径の金属棒の表面上に特
定パタ−ンの微細な溝を形成することの困難性を解決し
、量産に適した方法を提供しようとするものである。
【課題を解決する手段】本発明者は、レジストを塗布、
乾燥した細い金属棒に遮光インキを一定パタ−ンにイン
クジェットノズルからインクジェットでつけ、露光させ
てレジストを硬化させ、遮光インクの付いている未露光
部分のレジストを除き、金属露出部分を腐食させること
によって金属棒の表面上に溝を形成すれば、金属棒にほ
とんど力を加えることなく精巧な溝を形成出来ることを
思いついた。本発明は、太さ４〜２０ｍｍの金属棒から
、表面に微細な溝を有する金属シャフトを製作する方法
であって、 イ） 該金属棒表面にレジストを塗布し、ロ） 該
溝に対応する部分にインクジェットノズルから遮光イン
クを吹き付け 、ハ） 該表面をレジストで覆われ、かつ遮光インク
が付けられた金属棒を露光し、遮光インクで覆われてい
ない部分のレジストを硬化させ、 ニ） 該金属棒表面の遮光インクで覆われている部分
の硬化していないレジストを除いて金属を露出させ、ホ
） 該金属棒の金属が露光している部分を必要な溝の
深さまで腐食液により腐食させ、 ヘ）残存するレジストを取除く、以上からなる方法。 本発明で金属丸棒が４〜２０ｍｍ直径と規定されている
のは、単に４ｍｍ未満の直径ではシャフトとしての役目
を果さないか、又はインクジェットを用いても溝付シャ
フトを作成するのが困難であるからであり、逆に２０ｍ
ｍ直径を越える直径に必要とされる様な溝では、一般に
インクジェットを利用する以外の方法で間に合うからで
ある。
乾燥した細い金属棒に遮光インキを一定パタ−ンにイン
クジェットノズルからインクジェットでつけ、露光させ
てレジストを硬化させ、遮光インクの付いている未露光
部分のレジストを除き、金属露出部分を腐食させること
によって金属棒の表面上に溝を形成すれば、金属棒にほ
とんど力を加えることなく精巧な溝を形成出来ることを
思いついた。本発明は、太さ４〜２０ｍｍの金属棒から
、表面に微細な溝を有する金属シャフトを製作する方法
であって、 イ） 該金属棒表面にレジストを塗布し、ロ） 該
溝に対応する部分にインクジェットノズルから遮光イン
クを吹き付け 、ハ） 該表面をレジストで覆われ、かつ遮光インク
が付けられた金属棒を露光し、遮光インクで覆われてい
ない部分のレジストを硬化させ、 ニ） 該金属棒表面の遮光インクで覆われている部分
の硬化していないレジストを除いて金属を露出させ、ホ
） 該金属棒の金属が露光している部分を必要な溝の
深さまで腐食液により腐食させ、 ヘ）残存するレジストを取除く、以上からなる方法。 本発明で金属丸棒が４〜２０ｍｍ直径と規定されている
のは、単に４ｍｍ未満の直径ではシャフトとしての役目
を果さないか、又はインクジェットを用いても溝付シャ
フトを作成するのが困難であるからであり、逆に２０ｍ
ｍ直径を越える直径に必要とされる様な溝では、一般に
インクジェットを利用する以外の方法で間に合うからで
ある。
【作用】ＳＵＳ等の金属棒１をレジスト２で被覆し乾燥
させ、金属棒１の表面のレジスト２の上の溝を形成しよ
うとする部分に、インクジェットノズル３から遮光イン
ク４を吹き付けて溝のパタ−ン、例えば棒の周囲のエン
ドレスパタ−ン、を描き、光をあててレジストを硬化後
、遮光インクによって光が遮られた為に硬化しなかった
レジストの部分を遮光インクと共に除いて金属表面を露
出させ、その状態で金属丸棒を腐食液につけて、金属露
出部分を腐食させて金属丸棒の表面に溝を形成し、残っ
ているレジストを剥離除去して金属シャフト６を得る。 インクジェットノズルからの遮光インクの吹き付け方法
は、通常コンピュ−タ−に接続するインクジェットプリ
ンタ−と原理は同じである。インクジェットノズル群の
例を第２図に示す。各ノズルの方向を金属棒の中心に向
けて、各ノズルの先端を結ぶ線が金属棒の軸と平行にな
るように一列にノズル群を配置したヘッドを用い、吹き
付けにあたって遮光インクで覆われるべき場所が完全に
遮光インクで覆われるように金属棒を廻転させつつ必要
に応じて少しずつヘッドをずらせば能率的にエンドレス
その他のパタ−ンでインクを付けることが出来る。
させ、金属棒１の表面のレジスト２の上の溝を形成しよ
うとする部分に、インクジェットノズル３から遮光イン
ク４を吹き付けて溝のパタ−ン、例えば棒の周囲のエン
ドレスパタ−ン、を描き、光をあててレジストを硬化後
、遮光インクによって光が遮られた為に硬化しなかった
レジストの部分を遮光インクと共に除いて金属表面を露
出させ、その状態で金属丸棒を腐食液につけて、金属露
出部分を腐食させて金属丸棒の表面に溝を形成し、残っ
ているレジストを剥離除去して金属シャフト６を得る。 インクジェットノズルからの遮光インクの吹き付け方法
は、通常コンピュ−タ−に接続するインクジェットプリ
ンタ−と原理は同じである。インクジェットノズル群の
例を第２図に示す。各ノズルの方向を金属棒の中心に向
けて、各ノズルの先端を結ぶ線が金属棒の軸と平行にな
るように一列にノズル群を配置したヘッドを用い、吹き
付けにあたって遮光インクで覆われるべき場所が完全に
遮光インクで覆われるように金属棒を廻転させつつ必要
に応じて少しずつヘッドをずらせば能率的にエンドレス
その他のパタ−ンでインクを付けることが出来る。
【効果】本発明の方法は細い金属溝付シャフトの量産に
適しており、溝を付けるに際してシャフトに力を加える
必要がなく、金属棒を支えている場所が離れていると金
属棒がしなってしまうという欠点もなく、またインクジ
ェットプリンタ−と同様な原理で丸い金属棒にパタ−ン
を描くことが出来るので、溝付金属シャフトの製作が極
めて容易である。
適しており、溝を付けるに際してシャフトに力を加える
必要がなく、金属棒を支えている場所が離れていると金
属棒がしなってしまうという欠点もなく、またインクジ
ェットプリンタ−と同様な原理で丸い金属棒にパタ−ン
を描くことが出来るので、溝付金属シャフトの製作が極
めて容易である。
第１図は本発明の方法の工程を示す図、第２図はインク
ジェットノズル群の正面図である。
ジェットノズル群の正面図である。
Claims (2)
- 【請求項１】 太さ４〜２０ｍｍの金属棒から、表面
に微細な溝を有する金属シャフトを製作する方法であっ
て、イ） 該金属棒表面にレジストを塗布し、ロ）
該溝に対応する部分にインクジェットノズルから遮光
インクを吹き付け、 ハ） 該表面をレジストで覆われ、かつ遮光インクが
付けられた金属棒を露光し、遮光インクで覆われていな
い部分のレジストを硬化させ、 ニ） 該金属棒表面の遮光インクで覆われている部分
の硬化していないレジストを除いて金属を露出させ、ニ
） 該金属棒の金属が露光している部分を必要な溝の
深さまで腐食液により腐食させ、 ホ）残存するレジストを取除く、 以上からなる方法。 - 【請求項２】 インクジェットノズルが先端がそろえ
られた対のノズル群からなり、各ノズル先端を結ぶ線が
金属棒の軸と平行であり、各ノズルの方向が金属棒の中
心を向いている請求項１に記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8918791A JPH04301086A (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 細い金属棒表面に微細な溝を有する金属シャフトの製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8918791A JPH04301086A (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 細い金属棒表面に微細な溝を有する金属シャフトの製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04301086A true JPH04301086A (ja) | 1992-10-23 |
Family
ID=13963727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8918791A Pending JPH04301086A (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 細い金属棒表面に微細な溝を有する金属シャフトの製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04301086A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002348684A (ja) * | 2001-04-19 | 2002-12-04 | Xerox Corp | マスキング方法、薄膜にパターン形成する方法及びマスキングプロセスの実行方法 |
| WO2005101985A3 (ja) * | 2004-04-20 | 2006-01-12 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | 動圧発生部の成形方法および動圧軸受装置 |
| WO2006067996A1 (ja) * | 2004-12-21 | 2006-06-29 | Ntn Corporation | 動圧発生部の成形方法 |
| WO2006109401A1 (ja) * | 2005-04-01 | 2006-10-19 | Ntn Corporation | 流体軸受装置 |
| WO2007029511A1 (ja) * | 2005-09-08 | 2007-03-15 | Ntn Corporation | 流体軸受装置 |
| JP2007194641A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Palo Alto Research Center Inc | 電子デバイス製造プロセス |
| JP2008257234A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-23 | Palo Alto Research Center Inc | プリント回路基板上のソルダーレジスト層にパターンを形成する方法及びシステム |
-
1991
- 1991-03-29 JP JP8918791A patent/JPH04301086A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002348684A (ja) * | 2001-04-19 | 2002-12-04 | Xerox Corp | マスキング方法、薄膜にパターン形成する方法及びマスキングプロセスの実行方法 |
| EP2395394B1 (en) * | 2001-04-19 | 2015-04-08 | Xerox Corporation | Method for printing etch masks using phase-change materials |
| WO2005101985A3 (ja) * | 2004-04-20 | 2006-01-12 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | 動圧発生部の成形方法および動圧軸受装置 |
| WO2006067996A1 (ja) * | 2004-12-21 | 2006-06-29 | Ntn Corporation | 動圧発生部の成形方法 |
| WO2006109401A1 (ja) * | 2005-04-01 | 2006-10-19 | Ntn Corporation | 流体軸受装置 |
| WO2007029511A1 (ja) * | 2005-09-08 | 2007-03-15 | Ntn Corporation | 流体軸受装置 |
| JP2007194641A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Palo Alto Research Center Inc | 電子デバイス製造プロセス |
| JP2008257234A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-23 | Palo Alto Research Center Inc | プリント回路基板上のソルダーレジスト層にパターンを形成する方法及びシステム |
| US8968985B2 (en) | 2007-03-30 | 2015-03-03 | Palo Alto Research Center Incorporated | Method and system for patterning a mask layer |
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