JPH04294287A - 半導体集積回路の周波数特性測定装置 - Google Patents
半導体集積回路の周波数特性測定装置Info
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- JPH04294287A JPH04294287A JP3083378A JP8337891A JPH04294287A JP H04294287 A JPH04294287 A JP H04294287A JP 3083378 A JP3083378 A JP 3083378A JP 8337891 A JP8337891 A JP 8337891A JP H04294287 A JPH04294287 A JP H04294287A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 10
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体集積回路（以下
、ＩＣと称す）における周波数特性測定装置（以下、テ
スターと称す）に関する。
、ＩＣと称す）における周波数特性測定装置（以下、テ
スターと称す）に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ＩＣの出力信号の周波数特性を
周波数特性装置で測定する場合、ＩＣの出力部にカタロ
グ規格に準じた容量負荷及び抵抗負荷を具備して測定す
る。図３は、ＩＣと従来用いられていた周波数特性装置
のうち、ＩＣ出力信号の周波数特性測定回路を示すブロ
ック図である。図に示すように、周波数特性測定サンプ
ルであるＩＣ１と、負荷抵抗Ｒ１ 及びＲ２ と、負荷
容量Ｃで構成される負荷回路２と、ＩＣ１から出力され
る周波数特性を期待値と比較し、電位を検出するコンパ
レータ３と、タイミング発生器４とで構成されている。 又図４は、図３に示した各部における信号波形図である
。以下、図４を用いて、ＩＣの周波数特性を測定する時
の動作を説明する。
周波数特性装置で測定する場合、ＩＣの出力部にカタロ
グ規格に準じた容量負荷及び抵抗負荷を具備して測定す
る。図３は、ＩＣと従来用いられていた周波数特性装置
のうち、ＩＣ出力信号の周波数特性測定回路を示すブロ
ック図である。図に示すように、周波数特性測定サンプ
ルであるＩＣ１と、負荷抵抗Ｒ１ 及びＲ２ と、負荷
容量Ｃで構成される負荷回路２と、ＩＣ１から出力され
る周波数特性を期待値と比較し、電位を検出するコンパ
レータ３と、タイミング発生器４とで構成されている。 又図４は、図３に示した各部における信号波形図である
。以下、図４を用いて、ＩＣの周波数特性を測定する時
の動作を説明する。
【０００３】テスターよりＩＣ制御信号が節点Ｎ１ に
入力され、ＩＣ１の出力端子Ｎ２ にＩＣの制御信号に
応じた出力信号が出力され、タイミング発生器４より発
生される信号Ｎ４ のＡの期間でコンパレータ回路３が
期待値と比較し、判定信号を節点Ｎ５ に出力する。こ
の時、周波数特性装置は、ＩＣの制御信号が入力されて
から、ＩＣの出力信号が出力されるＢの期間の周波数を
測定する。
入力され、ＩＣ１の出力端子Ｎ２ にＩＣの制御信号に
応じた出力信号が出力され、タイミング発生器４より発
生される信号Ｎ４ のＡの期間でコンパレータ回路３が
期待値と比較し、判定信号を節点Ｎ５ に出力する。こ
の時、周波数特性装置は、ＩＣの制御信号が入力されて
から、ＩＣの出力信号が出力されるＢの期間の周波数を
測定する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の周波数
特性測定装置は、ＩＣの出力端子から周波数特性比較回
路までの配線が長い場合、配線自身が持つインダクタン
スにより、終端部となるコンパレータ回路入力部で反射
が生じるため、出力波形の電圧又は電流のオーバーシュ
ート・アンダーシュート（ΔＶ）の原因となり、正しい
（アクセス）周波数特性が測定できないという欠点があ
る。
特性測定装置は、ＩＣの出力端子から周波数特性比較回
路までの配線が長い場合、配線自身が持つインダクタン
スにより、終端部となるコンパレータ回路入力部で反射
が生じるため、出力波形の電圧又は電流のオーバーシュ
ート・アンダーシュート（ΔＶ）の原因となり、正しい
（アクセス）周波数特性が測定できないという欠点があ
る。
【０００５】本発明の目的は、正しい周波数特性が測定
できる周波数特性測定装置を提供することにある。
できる周波数特性測定装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
、本発明に係る半導体集積回路の周波数特性測定装置に
おいては、周波数特性測定装置より、半導体集積回路に
制御信号を入力し、その制御信号に応じて出力される半
導体集積回路からの出力信号の周波数特性を負荷容量を
使用して測定する機能を有する周波数特性測定装置であ
って、スイッチング回路と負荷容量とを一つの構成素子
とし、容量値の異なる複数の構成素子を半導体集積回路
の出力端子から周波数特性比較回路までの配線に分布的
に構成されるインピーダンス整合回路と、インピーダン
ス整合回路を周波数特性測定装置により制御するインピ
ーダンス整合制御回路とを有するものである。
、本発明に係る半導体集積回路の周波数特性測定装置に
おいては、周波数特性測定装置より、半導体集積回路に
制御信号を入力し、その制御信号に応じて出力される半
導体集積回路からの出力信号の周波数特性を負荷容量を
使用して測定する機能を有する周波数特性測定装置であ
って、スイッチング回路と負荷容量とを一つの構成素子
とし、容量値の異なる複数の構成素子を半導体集積回路
の出力端子から周波数特性比較回路までの配線に分布的
に構成されるインピーダンス整合回路と、インピーダン
ス整合回路を周波数特性測定装置により制御するインピ
ーダンス整合制御回路とを有するものである。
【０００７】
【作用】本発明の周波数特性測定装置は、ＩＣにＩＣ制
御信号を入力し、その制御信号に応じて出力される、Ｉ
Ｃからの出力信号の周波数特性を負荷容量を使用して測
定するものであり、スイッチング回路と負荷容量を一つ
の構成素子とし、容量値の異なる複数の構成素子をＩＣ
の出力端子から周波数比較回路までの配線に分布的に構
成されるインピーダンス整合回路を有し、そのインピー
ダンス整合回路をテスターにより制御するものである。
御信号を入力し、その制御信号に応じて出力される、Ｉ
Ｃからの出力信号の周波数特性を負荷容量を使用して測
定するものであり、スイッチング回路と負荷容量を一つ
の構成素子とし、容量値の異なる複数の構成素子をＩＣ
の出力端子から周波数比較回路までの配線に分布的に構
成されるインピーダンス整合回路を有し、そのインピー
ダンス整合回路をテスターにより制御するものである。
【０００８】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する
。図１は、本発明の装置の回路ブロック図である。
。図１は、本発明の装置の回路ブロック図である。
【０００９】図において、本回路構成は、周波数特性測
定サンプルであるＩＣ１と、負荷抵抗Ｒ１ 及びＲ２
で構成される負荷回路２と、ＩＣ１から出力される周波
数特性を期待値と比較し判定するコンパレータ回路３と
、タイミング発生器４と、スイッチング回路Ｓ１ と負
荷容量Ｃ１ を一つの構成素子とし容量値の異なるＣ２
からＣｎ の複数の構成素子で構成されているインピ
ーダンス整合回路５と、インピーダンス整合制御回路６
で構成されている。又図２は、図１に示した各部におけ
る信号波形図である。
定サンプルであるＩＣ１と、負荷抵抗Ｒ１ 及びＲ２
で構成される負荷回路２と、ＩＣ１から出力される周波
数特性を期待値と比較し判定するコンパレータ回路３と
、タイミング発生器４と、スイッチング回路Ｓ１ と負
荷容量Ｃ１ を一つの構成素子とし容量値の異なるＣ２
からＣｎ の複数の構成素子で構成されているインピ
ーダンス整合回路５と、インピーダンス整合制御回路６
で構成されている。又図２は、図１に示した各部におけ
る信号波形図である。
【００１０】以下、図１のＩＣ１の周波数特性を測定す
る時の動作を説明する。インピーダンス整合制御回路６
は、出力端子Ｎ２ から節点Ｎ３ の間に、分布的に設
置されている各インピーダンス整合回路５の内の各々の
負荷容量Ｃ１ 〜Ｃｎ を選択するためのスイッチング
回路Ｓ１ 〜Ｓｎを切り替えてコンパレータ入力部の節
点Ｎ３ でのＩＣからの出力信号の反射によるオーバー
シュート・アンダーシュート電圧が最小限となるように
自動補正を行う。このとき、インピーダンス整合回路５
は、スイッチング回路により出力端子Ｎ２ から節点Ｎ
３ の間の配線に接続された負荷容量（Ｃ１ 〜Ｃｎ）
の容量の総和と、従来回路、例えば図３で示されて負荷
容量Ｃの容量が等しくなるようにインピーダンス整合制
御回路６により、制御される。
る時の動作を説明する。インピーダンス整合制御回路６
は、出力端子Ｎ２ から節点Ｎ３ の間に、分布的に設
置されている各インピーダンス整合回路５の内の各々の
負荷容量Ｃ１ 〜Ｃｎ を選択するためのスイッチング
回路Ｓ１ 〜Ｓｎを切り替えてコンパレータ入力部の節
点Ｎ３ でのＩＣからの出力信号の反射によるオーバー
シュート・アンダーシュート電圧が最小限となるように
自動補正を行う。このとき、インピーダンス整合回路５
は、スイッチング回路により出力端子Ｎ２ から節点Ｎ
３ の間の配線に接続された負荷容量（Ｃ１ 〜Ｃｎ）
の容量の総和と、従来回路、例えば図３で示されて負荷
容量Ｃの容量が等しくなるようにインピーダンス整合制
御回路６により、制御される。
【００１１】その後、テスターよりＩＣ制御信号が節点
Ｎ１ に入力されＩＣ１の出力端子Ｎ２ に出力信号が
ＩＣ制御信号に応じて出力され、タイミング発生器４よ
り発生される信号Ｎ４ のＡの期間でコンパレータ回路
３が期待値と比較し判定信号を節点Ｎ５ に出力する。
Ｎ１ に入力されＩＣ１の出力端子Ｎ２ に出力信号が
ＩＣ制御信号に応じて出力され、タイミング発生器４よ
り発生される信号Ｎ４ のＡの期間でコンパレータ回路
３が期待値と比較し判定信号を節点Ｎ５ に出力する。
【００１２】このとき、周波数特性装置は、ＩＣの制御
信号が入力されてからＩＣの出力信号が示されるＢの期
間の周波数を測定する。
信号が入力されてからＩＣの出力信号が示されるＢの期
間の周波数を測定する。
【００１３】以上の動作により本発明の装置は、出力イ
ンピーダンスの補正を考えることなく、周波数特性を測
定することが可能となる。
ンピーダンスの補正を考えることなく、周波数特性を測
定することが可能となる。
【００１４】他の実施例として、インピーダンス整合回
路５の内の各々のスイッチング回路Ｓ１ 〜Ｓｎ と各
負荷容量Ｃ１ 〜Ｃｎ の間に抵抗素子を接続しても、
前記実施例と同様の効果が得られる。
路５の内の各々のスイッチング回路Ｓ１ 〜Ｓｎ と各
負荷容量Ｃ１ 〜Ｃｎ の間に抵抗素子を接続しても、
前記実施例と同様の効果が得られる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明の周波数特性
測定装置は、ＩＣの出力端子から周波数特性比較回路ま
での配線に、スイッチング回路と負荷容量を一つの構成
素子とし容量の異なる複数の構成素子により成るインピ
ーダンス整合回路を出力配線に分散して設置する整合回
路群とインピーダンス整合制御回路とを有し、そのイン
ピーダンス整合回路をテスターで制御することにより、
従来と同様な周波数特性測定機能を有し、さらに、従来
不可能であったＩＣからの出力インピーダンスの自動補
正が可能となり、出力インピーダンスによる周波数特性
の誤検出が無くなるという効果がある。
測定装置は、ＩＣの出力端子から周波数特性比較回路ま
での配線に、スイッチング回路と負荷容量を一つの構成
素子とし容量の異なる複数の構成素子により成るインピ
ーダンス整合回路を出力配線に分散して設置する整合回
路群とインピーダンス整合制御回路とを有し、そのイン
ピーダンス整合回路をテスターで制御することにより、
従来と同様な周波数特性測定機能を有し、さらに、従来
不可能であったＩＣからの出力インピーダンスの自動補
正が可能となり、出力インピーダンスによる周波数特性
の誤検出が無くなるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す回路ブロック図である
。
。
【図２】図１に示した各部における信号波形図である。
【図３】従来例を示す回路ブロック図である。
【図４】図３に示した各部における信号波形図である。
１ ＩＣ
２ 負荷回路
３ コンパレータ
４ タイミング発生器
５ インピーダンス整合回路
６ インピーダンス整合制御回路実
Ｒ１ ，Ｒ２ 負荷抵抗
Ｃ，Ｃ１ 〜Ｃｎ 負荷容量
Ｓ１ 〜Ｓｎ スイッチング回路
Claims (1)
- 【請求項１】 周波数特性測定装置より、半導体集積
回路に制御信号を入力し、その制御信号に応じて出力さ
れる半導体集積回路からの出力信号の周波数特性を負荷
容量を使用して測定する機能を有する周波数特性測定装
置であって、スイッチング回路と負荷容量とを一つの構
成素子とし、容量値の異なる複数の構成素子を半導体集
積回路の出力端子から周波数特性比較回路までの配線に
分布的に構成されるインピーダンス整合回路と、インピ
ーダンス整合回路を周波数特性測定装置により制御する
インピーダンス整合制御回路とを有することを特徴とす
る半導体集積回路の周波数特性測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3083378A JP2723688B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | 半導体集積回路の周波数特性測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3083378A JP2723688B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | 半導体集積回路の周波数特性測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04294287A true JPH04294287A (ja) | 1992-10-19 |
| JP2723688B2 JP2723688B2 (ja) | 1998-03-09 |
Family
ID=13800758
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3083378A Expired - Fee Related JP2723688B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | 半導体集積回路の周波数特性測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2723688B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006075516A1 (ja) * | 2005-01-11 | 2006-07-20 | Advantest Corporation | 信号伝送システム、信号出力回路基板、信号受信回路基板、信号出力方法、及び信号受信方法 |
-
1991
- 1991-03-22 JP JP3083378A patent/JP2723688B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006075516A1 (ja) * | 2005-01-11 | 2006-07-20 | Advantest Corporation | 信号伝送システム、信号出力回路基板、信号受信回路基板、信号出力方法、及び信号受信方法 |
| JP2006194644A (ja) * | 2005-01-11 | 2006-07-27 | Advantest Corp | 信号伝送システム、信号出力回路基板、信号受信回路基板、信号出力方法、及び信号受信方法 |
| US7800912B2 (en) | 2005-01-11 | 2010-09-21 | Advantest Corporation | Signal transfer system, signal output circuit board, signal receiving circuit board, signal output method, and signal receiving method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2723688B2 (ja) | 1998-03-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313532 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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