JPH04290945A - 粒子状物質の検出方法 - Google Patents

粒子状物質の検出方法

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Publication number
JPH04290945A
JPH04290945A JP3056325A JP5632591A JPH04290945A JP H04290945 A JPH04290945 A JP H04290945A JP 3056325 A JP3056325 A JP 3056325A JP 5632591 A JP5632591 A JP 5632591A JP H04290945 A JPH04290945 A JP H04290945A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
granular substance
particle size
plasma
generated
acoustic
Prior art date
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Pending
Application number
JP3056325A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuko Ajiro
網代 泰子
Haruo Fujimori
治男 藤森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPH04290945A publication Critical patent/JPH04290945A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
  • Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、粒子状物質の検出方法
に係り、特に、微粒子の粒径測定に好適な方法に関する
【0002】
【従来の技術】粒子状物質に励起光を照射して破壊し、
粒子状物質数の計数及び粒子状物質の大きさを測定する
方法については、従来、特開平1−116433号公報
に記載のように、粒子状物質の破壊に伴うプラズマ発光
の発生数及びその強度を測定する方法がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では粒子
の破壊閾値が照射励起光のパルス幅に依存することを考
慮しておらず、粒径分解能が不十分であった。
【0004】本発明の目的は、粒径分解能の向上した粒
子の粒径弁別計数法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記の目的を
達成するため、粒子状物質に照射する励起光のパルス幅
を短くすることにより破壊閾値の粒径による差異を拡大
し、粒径分解能の向上を図る。
【0006】
【作用】励起光照射による粒子状物質の破壊過程は、次
のように考えられている。粒子状物質が励起光を受け、
多光子吸収などの過程により初期自由電子が発生する。 励起光のエネルギを吸収して加速した自由電子は周囲の
原子,分子と衝突しイオンを生成する。イオンの生成と
共に電子も増殖し、励起光のエネルギを吸収してさらに
プラズマは成長する。音響波信号はプラズマの成長に伴
う体積膨張の加速度に対応し、プラズマ発光強度は発生
したプラズマの大きさに対応する。音響波信号もプラズ
マ発光強度もプラズマが吸収した励起光エネルギに依存
する。
【0007】図3において、粒径がD0,D1(D0>
D1)の粒子の破壊閾値を各々H0,H1とすると粒子
が破壊する時刻は各々T0,T1である。粒径D0と粒
径D1の粒子から生成するプラズマの大きさの差はプラ
ズマが吸収する励起光のエネルギ差、すなわち、図3で
横線で示した面積の差に対応する。粒径D1の粒子の破
壊閾値がH1からH2 に高くなったとすると粒子が破
壊する時刻はT1からT2と遅くなり、粒径D0と粒径
D1の粒子から生成するプラズマが各々吸収する励起光
のエネルギの差は縦線で示した面積の分拡大する。従っ
て、粒径D0と粒径D1の粒子から生成するプラズマの
大きさの差も拡大し、音響波信号、プラズマ発光強度の
粒径による差異がより明確になる。すなわち、破壊閾値
の粒径依存性を高めることで、粒径分解能を向上できる
【0008】ところで、破壊閾値は励起光のパルス幅に
依存する。例えば励起光としてパルスYAGレーザの5
32nm光を使用し、試料として超純水中に分散したポ
リスチレン粒子を用いて破壊閾値を測定し、以下の結果
を得た。レーザ光のパルス幅を10nsから5nsと短
くしたとき、粒径0.5μmの粒子の破壊閾値は約0.
2mJ /パルスから約0.6mJ /パルスに変化し
た。 一方、粒径0.04μmの粒子の破壊閾値は約1mJ/
パルスから約2mJ/パルスに変化した。なお、ブラン
ク(超純水のみの試料)の破壊閾値は約1.5mJ/パ
ルスから約6.7mJ /パルスに変化した。よって、
励起光のパルス幅を短くすることで、粒子状物質の破壊
閾値の粒径依存性を拡大でき、その結果、音響波信号,
プラズマ発光強度の粒径依存性がより明瞭になるので粒
径分解能を向上できる。
【0009】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図1を用いて説明
する。試料を破壊するための光源1として、波長532
nm,パルス繰り返し数20パルス/秒のパルスYAG
レーザを使用する。レーザ出力は5mJ/パルス、パル
ス幅は5nsとする。試料セル7は、中心部に音響セン
サ12を設置したセル内径5mm,長さ100mmのフ
ロー式石英セルを用いる。光源1から出た励起光6は焦
点距離100mmのレンズ5を通してセル7の中心部に
集光し、ビームストッパ9で止める。プラズマ8の生成
により発生した音響波10は音響センサ12で検出し、
信号処理装置13で音響波10の発生数及び波高値を測
定し、音響波10の発生数から粒子数を波高値から粒子
状物質の大きさを求め、記録装置14に出力する。なお
、励起光6の出力変動を監視するため、ハーフミラー2
及びミラー3を使って励起光6の一部をパワーモニタ4
で測定する。
【0010】粒子状物質の粒径弁別測定は、図2に示す
ようにプラズマ発光を捕らえてもよい。この場合、プラ
ズマ光11を紫外透過フィルタ15を通し、光電子増倍
管16で検出し、アンプ17で増幅後、信号処理装置1
3でプラズマ光18の発生数及びプラズマ光の発光強度
を測定し、プラズマ光11の発生数から粒子数を発光強
度から粒子状物質の大きさを求め、記録装置14に出力
する。
【0011】試料として超純水中に分散したポリスチレ
ン粒子を使って実験を行った結果、励起光のパルス幅を
10nsから5nsに短くすることにより、粒径分解能
が1桁上がることを確認した。
【0012】
【発明の効果】本発明によれば、粒子の破壊閾値の粒径
依存性を大きくすることができ、粒径分解能を高めるこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の装置ブロック図。
【図2】本発明の他の実施例の装置ブロック図。
【図3】プラズマの大きさの破壊閾値依存性の説明図。
【符号の説明】
1…光源、2…ハーフミラー、3…ミラー、4…パワー
モニタ、5…レンズ、6…励起光、7…セル、8…プラ
ズマ、9…ビームストッパ、10…音響波、11…プラ
ズマ光、12…音響センサ、13…信号処理装置、14
…記録装置。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】粒子状物質に励起光を照射して破壊し、前
    記粒子状物質の計数及び粒子状物質の大きさを測定する
    方法において、前記励起光のパルス幅を変えることで粒
    子の破壊閾値を変え粒径分解能の向上を図ることを特徴
    とする粒子状物質の検出方法。
JP3056325A 1991-03-20 1991-03-20 粒子状物質の検出方法 Pending JPH04290945A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007071639A (ja) * 2005-09-06 2007-03-22 Kyoto Univ 液体中固体表面の元素分析方法
US8999162B2 (en) 2010-02-04 2015-04-07 Econopure Water Systems, Llc Water treatment systems and methods
US10513446B2 (en) 2014-10-10 2019-12-24 EcoDesal, LLC Depth exposed membrane for water extraction

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007071639A (ja) * 2005-09-06 2007-03-22 Kyoto Univ 液体中固体表面の元素分析方法
US8999162B2 (en) 2010-02-04 2015-04-07 Econopure Water Systems, Llc Water treatment systems and methods
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