JP2017152366A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 荷電粒子顕微鏡を使用する方法であって、前記荷電粒子顕微鏡は、
   ‐ 試料を保持するための試料ホルダと、
   ‐ 荷電粒子の照射ビームを生成するためのソースと、
   ‐ 前記ビームを前記試料に照射するように方向付けるための照射器と、
   ‐ 前記照射に応答して前記試料から発せられる放出放射束を検出するための検出器と、を備え、
   パルス列によって前記試料を照射するステップと、付随的な放出放射の位置分解された検出を行うために前記検出器を用いるステップとを含む、
   方法において、
   前記照射器において、アパーチャアレイを有するアパーチャプレートを設けるステップと、
   前記ビームが通過する共振ＲＦ空洞を含む偏向素子を提供するステップと、前記アレイを横切って前記ビームを走査する偏向素子を使用するステップであって、それにより、前記ビームパルス列を生成するように前記ビームを交互に遮断し透過させる、ステップと、を含む方法。
2. 前記空洞がＴＭ_１１０モードで励起される、請求項１に記載の方法。
3. 前記偏向素子に入射する前に、前記ビームがパルス化される、請求項１または２に記載の方法。
4. 前記偏向素子の平面は、前記試料の平面上に結像される、請求項１から３のいずれか１項に記載の方法。
5. 前記アパーチャプレートが、前記偏向素子と前記試料との間の中間ビーム交差点に配置される、請求項１から４のいずれか１項に記載の方法。
6. 前記パルス列において、連続するパルスは１〜１００ピコ秒の範囲の間隔を有する、請求項１から５のいずれか１項に記載の方法。
7. 前記検出器は、前記試料によって生成された時間分解された一連の回折パターンを記録するために使用される、請求項１から６のいずれか１項に記載の方法。
8. 荷電粒子顕微鏡であって、
   ‐ 試料を保持するための試料ホルダと
   ‐ 荷電粒子の照射ビームを生成するためのソースと、
   ‐ 前記ビームを前記試料に照射するように方向付けるための照射器と、
   ‐ 前記照射に応答して前記試料から発せられる放出放射束を検出するための検出器と、
   ‐ 顕微鏡の操作の態様を制御するための電子制御装置であって、前記電子制御装置は、前記試料に前記ビームのパルス列が照射されたときに前記試料から放出される放射の位置分解された検出を行うように構成されている、電子制御装置と、を備え、
   当該顕微鏡はさらに、
   ‐ 前記ビームを方向付ける共振ＲＦ空洞を含むビーム偏向素子と、
   ‐ 前記照射器内に配置され、アパーチャのアレイを有するアパーチャプレートと、を備え、
   前記電子制御装置は、
   ‐ 前記ビームが前記アレイを横切って走査するように前記偏向素子を駆動し、その結果、前記パルス列を生成するように前記ビームが交互に遮断され透過するように構成されている。