JPH04290631A

JPH04290631A - 除振装置

Info

Publication number: JPH04290631A
Application number: JP7712191A
Authority: JP
Inventors: Akifumi Somatani; 杣谷　聡文
Original assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 1991-03-18
Filing date: 1991-03-18
Publication date: 1992-10-15

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、振動の伝搬を防止する
除振装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、ＬＳＩ製造分野においては、１μ
ｍ以下の微細パタンが使用されるようになってきた。こ
の微細化に伴い、寸法管理の手段として走査型電子顕微
鏡の導入が、また、歩留り向上策として床全面をグレー
ティングとした高度なクリーンルームが採用されるよう
になってきた。

【０００３】ところで、微細パタンを測長する走査型電
子顕微鏡は、振動に弱く、例えば床振動の振幅を１〜数
μｍ以下に抑える必要がある。しかし、床面のグレーテ
ィング化により、従来の鉄筋コンクリートを基盤とする
床面に比べ、床自身が振動し易く、真空排気装置などの
回転機器類から発生する振動の測長に及ぼす影響が無視
できなくなってきた。

【０００４】これらの振動対策として振動源と床面との
間および走査型電子顕微鏡などの被妨害側装置と床面と
の間に除振装置を配置し、振動エネルギーを吸収するこ
とが極めて効果的である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しばしば用いられる除
振装置のうち、安価なものとしてゴムなどの弾性部材も
しくはゴムとバネとを組み合わせたものが良く用いられ
る。しかし、このような除振装置では、振動エネルギー
の吸収をゴムなどの使用部材自身の内部摩擦に頼ってい
るため、減衰量の確保が難しく、特に振動の周波数をよ
り低周波側に変換するという問題があった。例えば真空
排気装置などで使用される回転器の振動周波数は、主に
２０Ｈｚ前後であるが、従来の除振装置を介することに
より、新たに数Ｈｚ以下の低周波振動を作り出してしま
う。この数Ｈｚ以下の低周波数は、電子顕微鏡の持つ除
振装置では除去が困難であり、かえって問題を悪化させ
る場合がしばしば発生する。なお、効果的な除振装置と
しては、空気ダンパーやサーボ機構を利用したアクティ
ブ除振台などがあるが、極めて高価でかつ一般に占有面
積が大きく、自由に振動源に配置するということは困難
であった。このため、振動エネルギーを確実に吸収し、
かつ低価格で占有面積の小さな除振装置の出現が要望さ
れていた。

【０００６】したがって本発明は、このような事情に鑑
みてなされたものであり、その目的は、振動作用時に緩
衝体と摩擦体との間で摺動摩擦が起きることにより、運
動エネルギーを消失させることができ、もって振動エネ
ルギーを確実に吸収することができる除振装置を提供す
ることにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために本発明による除振装置は、弾性変形可能でかつ
上部および下部にて接する部材の少なくとも一方に対し
て摺動可能な緩衝体と、この緩衝体の少なくとも上部ま
たは下部の一方に存在し緩衝体と摺動摩擦を起こす摩擦
体とから構成するものである。

【０００８】

【作用】本発明においては、外部から緩衝体に振動が作
用すると、緩衝体が変形し、この緩衝体に接する摩擦体
に対して摺動しながら運動をする。この運動は、摺動部
の摩擦に抗して行われるため、運動エネルギーが熱エネ
ルギーに変換される。

【０００９】

【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に
説明する。図１は本発明に係わる除振装置の一実施例に
よる構成を示す要部断面図である。同図において、１は
ゴムなどの弾性体からなる外装体、２は緩衝体、３は摩
擦体である。

【００１０】このような構成において、その断面が波状
に加工された緩衝体２により、緩衝体２に対して水平お
よび垂直な方向の振動成分がいづれも水平方向の運動に
変換される。このとき、緩衝体２と摩擦体３とは、その
断面形状の違いから異なった運動をするので、緩衝体２
は摩擦体３に対して摺動する。ここで、緩衝体２と摩擦
体３との弾性率や摩擦係数を振動周波数および耐荷重に
合わせて適当な値に設定することにより、効率良く熱に
変換することができる。

【００１１】なお、本実施例においては、緩衝体２およ
び摩擦体３は、同一材料であっても良いし、互いに異な
る材料であっても良い。材料としては、塩化ビニル，ポ
リエチレン，デフロンなどの樹脂やステンレス，リン青
銅などの金属、ゴム，ウレタンもしくはこれらの積層構
造体など一般的に用いられる材料で良く、所望する強度
，弾性率，摩擦係数に応じて選択すれば良い。

【００１２】また、上記実施例では、外装体１に弾性体
を用いたが、これに限定する必要はなく、鉄などの剛体
であっても、水平および垂直方向の動きに対して十分な
自由度さえ確保できれば良い。また、外装体１が摩擦体
３を兼ねても勿論良い。例えば図２に示す実施例のよう
に外装体１Ａとして鉄などの剛体を用い、その上部を摩
擦体を兼ねた外装体兼摩擦体４としても良い。もちろん
外装体１Ａの下部を外装体兼摩擦体４としても良いし、
上下両方の外装体を外装体兼摩擦体としても良いことは
言うまでもない。なお、緩衝体２の一部が固定ピン５に
より固定されているが、本発明の全ての実施例において
同様に必要に応じて緩衝体２の一部をピン５やその他の
方法により固定しても良い。

【００１３】また、上述した実施例では、緩衝体２を一
層のみ使用しているが、緩衝体２と摩擦体３とを必要に
応じて多数層に積層しても良い。この際、図３に示すよ
うに緩衝体２１　〜２３　のように断面形状を各層毎に
変えたり、あるいは同一緩衝体内において部分的に断面
形状が異なるようにしても良い。このように緩衝体２の
断面形状を制御することにより、共振周波数やダンピン
グ特性を制御することができる。

【００１４】また、図４および図５に示すようにバネや
ゴムなどからなる構造支持体６を設け、荷重を構造支持
体６に持たせつつ、緩衝体２と摩擦体３とにより、振動
吸収を行うようにしても良い。構造支持体６を設けるこ
とにより、特に緩衝体２の材料選定の自由度が大きくな
るとともに大型回転器などの重量物に対する適用も容易
となる。

【００１５】本発明の除振装置をクリーンルーム内で使
用する場合は、ゴムなどの弾性体からなる被覆層を設け
、密閉構造とすれば良い。これは、緩衝体２と摩擦体３
との間の摺動時に発生が予想される微小な粉塵の飛散を
防ぐためである。なお、この被覆層は、外装体１の内側
と外側とのいづれに設けても良く、外装体の被覆層を兼
ねても良い。

【００１６】

【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
弾性変形可能でかつ上部および下部にて接する部材の少
なくとも一方に対して摺動可能な緩衝体と、この緩衝体
の上部または下部の少なくとも一方に存在し、緩衝体と
摺動摩擦を起こす摩擦体とから構成することにより、外
部から緩衝体に摩擦体を介して振動が作用すると、緩衝
体が変形し、この緩衝体に接する摩擦体に対して摺動し
ながら運動をする。この運動は、摺動部の摩擦に抗して
行われるため、運動エネルギーが熱エネルギーに変換さ
れ、振動エネルギーを確実に吸収することができる。ま
た、構造が単純で一般的な材料で構成できることから、
極めて安価な除振装置を提供することができるという優
れた効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による除振装置の一実施例による構成を
示す要部断面図である。

【図２】本発明による除振装置の他の実施例による構成
を示す要部断面図である。

【図３】本発明による除振装置のさらに他の実施例によ
る構成を示す要部断面図である。

【図４】本発明による除振装置の他の実施例による構成
を示す要部断面図である。

【図５】本発明による除振装置の他の実施例による構成
を示す要部断面図である。

【符号の説明】

１　　　　外装体１Ａ　　　　外装体２　　　　緩衝体２１　　　緩衝体２２　　　緩衝体２３　　　緩衝体３　　　　摩擦体４　　　　外装体兼摩擦体５　　　　固定ピン６　　　　構造支持体

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】弾性変形可能でかつ上部および下部にて接
する部材の少なくとも一方に対して摺動可能な緩衝体と
、この緩衝体の少なくとも上部または下部の一方に設け
られた摩擦体とからなることを特徴とする除振装置。