JPH04285486A - 静電吸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、通気孔の開口から吹き
出す気体により吸着物を離脱する静電吸着装置の改良に
関するものである。

【０００２】静電吸着装置においては、吸着面に吸着し
た吸着物を離脱する時には吸着面に逆位相の静電気を印
加し、この吸着面に開口を有する複数の通気孔から気体
を吹き出して吸着物を吸着面から離脱しているが、吸着
力に不均衡があると吸着力の強い部分では吸着物を離脱
できない場合がある。

【０００３】以上のような状況から、吸着物を吸着面か
ら均等に安定して離脱することが可能な静電吸着装置が
要望されている。

【０００４】

【従来の技術】従来の通気孔を２個有する静電吸着装置
について図２により詳細に説明する。図２に示すように
、従来の静電吸着装置においては静電チャック１１の吸
着面１１ａ　の表面に開口を有する２個の通気孔１１ｂ
，１１ｃ　を設けている。静電チャック１１の吸着面１
１ａ　に吸着物７を吸着する場合には、図示しない直流
電源により静電気を吸着面１１ａ　に印加しており、こ
の吸着物７を吸着面１１ａ　から離脱する場合には、吸
着面１１ａ　に逆位相の静電気を印加し、この通気孔１
１ｂ，１１ｃ　の開口から予めガス流量を一定に設定し
た気体を吹き出して吸着物７を離脱している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来の静
電吸着装置においては、吸着面の吸着力に部分的な不均
衡があると、吸着力が弱い部分では通気孔の開口から吹
き出した気体により吸着物が吸着面から離脱しても、吸
着力の強い部分では通気孔の開口から吹き出した気体に
より吸着物を吸着面から離脱できないという問題点があ
った。

【０００６】本発明は以上のような状況から、吸着面の
吸着力に部分的な不均衡がある場合においても、吸着物
を吸着面から均等に安定して離脱することが可能となる
静電吸着装置の提供を目的としたものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の静電吸着装置は
、静電気により静電チャックの吸着面の表面に吸着物を
吸着し、この吸着面の表面に開口を有する複数の通気孔
から気体を吹き出してこの吸着物をこの吸着面から離脱
する静電吸着装置において、この通気孔の開口から吹き
出す気体の量を調節する流量調節器と、この静電チャッ
クのこの吸着面の電荷量を測定する電荷測定器と、この
電荷測定器により得られたこの吸着面の電荷量に基づき
、この流量調節器を制御してこの通気孔の開口から吹き
出す気体の量を制御する制御器とを具備するように構成
する。

【０００８】

【作用】即ち本発明においては、静電チャックの吸着面
の表面に開口を有する複数の通気孔を設け、流量調節器
を設けてこの通気孔の開口から吹き出す気体の量を調節
するようにし、この静電チャックの吸着面の電荷量を測
定する電荷測定器を設けて吸着面の中心を介する両端部
の吸着面の電荷量を測定器し、この電荷量に基づいてこ
の流量調節器を制御し、この電荷量が多い部分の通気孔
の開口から吹き出す気体の量を、電荷量が少ない部分の
通気孔の開口から吹き出す気体の量よりも多くするよう
に制御器を用いて制御するので、吸着面に吸着されてい
る吸着物を均等に安定して吸着面から離脱することが可
能となる。

【０００９】

【実施例】以下図１により本発明の一実施例の通気孔を
２個有する静電吸着装置について詳細に説明する。

【００１０】図１は本発明による一実施例の静電吸着装
置の構成を示す図である。図に示すように静電チャック
１には吸着面１ａに開口を有する通気孔１ｂ及び通気孔
１ｃが設けられており、これらの通気孔１ｂ，１ｃ　は
それぞれ流量調節器５及び流量調節器６に接続されてい
る。

【００１１】この吸着面１ａの中心を介する両端部の電
荷量を測定する電荷測定器２及び電荷測定器３が設けら
れ、これらの電荷測定器２，３　は制御器４と接続され
ている。本実施例においては、北川工業社製の静電フィ
ールドメータ、型格ＴＩ−９７０をこの電荷測定器とし
て用いている。

【００１２】静電チャック１の吸着面１ａに吸着物７を
吸着する場合には、図示しない直流電源により電圧を吸
着面１ａに印加しており、吸着物７を離脱する場合には
まずこの吸着面１ａの電荷量を電荷測定器２，３　によ
り測定器してこの電荷量のデータを制御器４に送り、こ
の制御器４により上記の流量調節器５，６　を調節して
通気孔１ｂ及び通気孔１ｃの気体の流量を制御し、図示
しない直流電源により吸着時とは逆位相の電圧を印加し
て静電吸着力を中和すると同時に通気孔１ｂ，１ｃ　の
開口からそれぞれ流量が調節された気体を吹き出して吸
着物７を吸着面１ａから均等に離脱することが可能とな
る。

【００１３】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば極めて簡単な構成の通気孔の流量制御機構を付
加し、気体の吹き出し量を調節することにより、静電吸
着装置の静電チャックの吸着面の吸着力の不均衡を補正
し、吸着物を吸着面から均等に離脱させることが可能と
なる利点があり、著しい信頼性向上の効果が期待できる
静電吸着装置の提供が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】　　本発明による一実施例の静電吸着装置の構
成を示す図、

【図２】　　従来の静電吸着装置を示す図、

【符号の説明】

１は静電チャック、 １ａは吸着面、 １ｂは通気孔、 １ｃは通気孔、 ２は電荷測定器、 ３は電荷測定器、 ４は制御器、 ５は流量調節器、 ６は流量調節器、 ７は吸着物、

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　静電気により静電チャック（１）　の
   吸着面（１ａ）の表面に吸着物（７）　を吸着し、前記
   吸着面（１ａ）の表面に開口を有する複数の通気孔（１
   ｂ，１ｃ）　から気体を吹き出して前記吸着物（７）　
   を前記吸着面（１ａ）から離脱する静電吸着装置におい
   て、前記通気孔（１ｂ，１ｃ）　の開口から吹き出す気
   体の量を調節する流量調節器（５，６）と、前記静電チ
   ャック（１）　の前記吸着面（１ａ）の電荷量を測定す
   る電荷測定器（２，３）と、該電荷測定器（２，３）に
   より得られた前記吸着面（１ａ）の電荷量に基づき、前
   記流量調節器（５，６）　を制御して前記通気孔（１ｂ
   ，１ｃ）　の開口から吹き出す気体の量を制御する制御
   器（４）　と、を具備することを特徴とする静電吸着装
   置。