JPH04284840A - 真空装置 - Google Patents
真空装置Info
- Publication number
- JPH04284840A JPH04284840A JP5094891A JP5094891A JPH04284840A JP H04284840 A JPH04284840 A JP H04284840A JP 5094891 A JP5094891 A JP 5094891A JP 5094891 A JP5094891 A JP 5094891A JP H04284840 A JPH04284840 A JP H04284840A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- exhaust pipe
- molecular pump
- pipe
- vacuum container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 abstract description 8
- 239000002826 coolant Substances 0.000 abstract 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- VOPWNXZWBYDODV-UHFFFAOYSA-N Chlorodifluoromethane Chemical compound FC(F)Cl VOPWNXZWBYDODV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空容器の内部をター
ボ分子ポンプにより排気する真空装置、特にターボ分子
ポンプの振動により排気管の内壁に付着していた微粒子
の真空容器の内部への飛散を阻止することのできる真空
装置に関する。
ボ分子ポンプにより排気する真空装置、特にターボ分子
ポンプの振動により排気管の内壁に付着していた微粒子
の真空容器の内部への飛散を阻止することのできる真空
装置に関する。
【０００２】４ＭＤＲＡＭやＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａ
ｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｉｆｉｃ ＩＣ； 特定用途向け集
積回路）で代表されるように最近の半導体装置の配線パ
ターンは、ハーフミクロンの領域となっている。
ｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｉｆｉｃ ＩＣ； 特定用途向け集
積回路）で代表されるように最近の半導体装置の配線パ
ターンは、ハーフミクロンの領域となっている。
【０００３】したがって、このような背景から半導体ウ
ェーハ等の被処理物を収容する真空容器内に存在する微
粒子を極限まで減少させることの出来る真空装置が強く
要請されている。
ェーハ等の被処理物を収容する真空容器内に存在する微
粒子を極限まで減少させることの出来る真空装置が強く
要請されている。
【０００４】
【従来の技術】次に、排気手段としてターボ分子ポンプ
を使用した従来の真空装置について図２を参照しながら
説明する。図２は、従来の真空装置を模式的に示す要部
側断面図である。なお、本明細書においては、同一部品
、同一材料等に対しては全図をとおして同じ符号を付与
してある。
を使用した従来の真空装置について図２を参照しながら
説明する。図２は、従来の真空装置を模式的に示す要部
側断面図である。なお、本明細書においては、同一部品
、同一材料等に対しては全図をとおして同じ符号を付与
してある。
【０００５】図２に示すように従来の真空装置は、処理
すべき被処理物を内部に収容する真空容器１１と、管路
１２ａ の一端を真空容器１１の内部に連通した排気管
１２と、排気管１２の管路１２ａ の開通と閉塞を交互
に行う電磁弁１４と、排気管１２の管路１２ａ の他端
に連通して真空容器１１の内部を排気するターボ分子ポ
ンプ１３と、ターボ分子ポンプ１３の背圧側１３ａ を
低真空にする排気装置、例えばロータリ式真空ポンプ１
５とを含んで構成されていた。
すべき被処理物を内部に収容する真空容器１１と、管路
１２ａ の一端を真空容器１１の内部に連通した排気管
１２と、排気管１２の管路１２ａ の開通と閉塞を交互
に行う電磁弁１４と、排気管１２の管路１２ａ の他端
に連通して真空容器１１の内部を排気するターボ分子ポ
ンプ１３と、ターボ分子ポンプ１３の背圧側１３ａ を
低真空にする排気装置、例えばロータリ式真空ポンプ１
５とを含んで構成されていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前述した従来の真空装
置においてその真空容器１１の内部を排気している時に
は、電磁弁１４が排気管１２の管路１２ａ を開通して
いるとともに、ロータリ式真空ポンプ１５が作動しター
ボ分子ポンプ１３の背圧側１３ａ を排気し、且つター
ボ分子ポンプ１３が作動して外周に動翼（図示せず）を
固定したモータロータ（図示せず）が高速で回転してい
る。
置においてその真空容器１１の内部を排気している時に
は、電磁弁１４が排気管１２の管路１２ａ を開通して
いるとともに、ロータリ式真空ポンプ１５が作動しター
ボ分子ポンプ１３の背圧側１３ａ を排気し、且つター
ボ分子ポンプ１３が作動して外周に動翼（図示せず）を
固定したモータロータ（図示せず）が高速で回転してい
る。
【０００７】したがって、作動時に上記モータロータが
高速で回転するでターボ分子ポンプ１３には高い周波数
成分を有する振動が発生し、ターボ分子ポンプ１３に連
結した排気管１２にもこの振動が伝達されることとなる
。
高速で回転するでターボ分子ポンプ１３には高い周波数
成分を有する振動が発生し、ターボ分子ポンプ１３に連
結した排気管１２にもこの振動が伝達されることとなる
。
【０００８】このため、排気管１２の内壁に付着してい
た微粒子１０、特にターボ分子ポンプ１３及びその付近
の排気管１２の内壁に付着していた微粒子１０が各方向
に再飛散し、矢印Ｕ方向、すなわち真空容器１１の方向
に飛散した微粒子１０がその内部に飛び込んで真空の質
を低下させるという問題があった。
た微粒子１０、特にターボ分子ポンプ１３及びその付近
の排気管１２の内壁に付着していた微粒子１０が各方向
に再飛散し、矢印Ｕ方向、すなわち真空容器１１の方向
に飛散した微粒子１０がその内部に飛び込んで真空の質
を低下させるという問題があった。
【０００９】本発明は、このような問題を解消するため
になされたものであって、その目的はターボ分子ポンプ
の振動により排気管の内壁に付着していた微粒子の真空
容器の内部への飛散を阻止することのできる真空装置の
提供にある。
になされたものであって、その目的はターボ分子ポンプ
の振動により排気管の内壁に付着していた微粒子の真空
容器の内部への飛散を阻止することのできる真空装置の
提供にある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記目的は、図１に示す
ように被処理物を内部に収容する真空容器１１と、管路
１２ａ の一端を真空容器１１の内部に連通した排気管
１２と、排気管１２の管路１２ａ の他端に連結して真
空容器１１の内部を排気するターボ分子ポンプ１３とを
含んでなる真空装置において、冷媒により冷却されるバ
ッフル２１が排気管１２の管路１２ａ に直列に配設さ
れていることを特徴とする真空装置により達成される。
ように被処理物を内部に収容する真空容器１１と、管路
１２ａ の一端を真空容器１１の内部に連通した排気管
１２と、排気管１２の管路１２ａ の他端に連結して真
空容器１１の内部を排気するターボ分子ポンプ１３とを
含んでなる真空装置において、冷媒により冷却されるバ
ッフル２１が排気管１２の管路１２ａ に直列に配設さ
れていることを特徴とする真空装置により達成される。
【００１１】
【作用】本発明の真空装置は、図１に示すように冷媒に
より冷却されるバッフル２１を排気管１２の管路１２ａ
と直列に配設している。
より冷却されるバッフル２１を排気管１２の管路１２ａ
と直列に配設している。
【００１２】従って、作動中のターボ分子ポンプ１３の
振動でその近傍の排気管１２が振動し、排気管１２の内
壁に付着していた微粒子１０を真空容器１１の方向に飛
散しても、この微粒子１０はバッフル２１により阻止さ
れて真空容器１１の内部には飛び込めない。
振動でその近傍の排気管１２が振動し、排気管１２の内
壁に付着していた微粒子１０を真空容器１１の方向に飛
散しても、この微粒子１０はバッフル２１により阻止さ
れて真空容器１１の内部には飛び込めない。
【００１３】したがって、本発明の真空装置の真空容器
１１の内部は、排気管１２の内壁に付着していた微粒子
１０が存在しない質の良い真空状態が保持できることと
なる。 なお、排気管１２の真空容器１１近傍に付着している微
粒子１０に関しては、ターボ分子ポンプ１３より距離が
離れているために、その振動が殆ど伝達されず、再飛散
することは殆どない。
１１の内部は、排気管１２の内壁に付着していた微粒子
１０が存在しない質の良い真空状態が保持できることと
なる。 なお、排気管１２の真空容器１１近傍に付着している微
粒子１０に関しては、ターボ分子ポンプ１３より距離が
離れているために、その振動が殆ど伝達されず、再飛散
することは殆どない。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の一実施例の真空装置について
図１を参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施
例の真空装置を模式的に示す要部側断面図である。
図１を参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施
例の真空装置を模式的に示す要部側断面図である。
【００１５】図１に示す本発明の一実施例の真空装置は
、バッフル２１を図２で説明した従来の真空装置に追設
、すなわち従来の真空装置の電磁弁１４とターボ分子ポ
ンプ１３との間で排気管１２を切断し、この排気管１２
の一方の切断面に一端を連結するとともに、排気管１２
の他方の切断面に他端を連結する如くして構成したもの
である。
、バッフル２１を図２で説明した従来の真空装置に追設
、すなわち従来の真空装置の電磁弁１４とターボ分子ポ
ンプ１３との間で排気管１２を切断し、この排気管１２
の一方の切断面に一端を連結するとともに、排気管１２
の他方の切断面に他端を連結する如くして構成したもの
である。
【００１６】バッフル２１は、通常の真空装置に良く使
用されるもので十分であり、その構造の一例としては、
短い筒状をした金属製のパイプ、例えばステンレス製で
断面形状が円形をしたバッフル管２１ａ と、バッフル
管２１ａ の外周に密着した状態で捲回され、冷却水等
の冷媒２２を管内に通過させてバッフル管２１ａ を外
周から冷却する冷却用蛇管２１ｂ と、バッフル管２１
ａ 内でその径方向に所定間隔で離隔且つ傾斜した状態
で配列されて両端をバッフル管２１ａ の内璧に溶着さ
れたブラインド （日除け） 状の複数のバッフル板２
１ｃ とで構成したものである。
用されるもので十分であり、その構造の一例としては、
短い筒状をした金属製のパイプ、例えばステンレス製で
断面形状が円形をしたバッフル管２１ａ と、バッフル
管２１ａ の外周に密着した状態で捲回され、冷却水等
の冷媒２２を管内に通過させてバッフル管２１ａ を外
周から冷却する冷却用蛇管２１ｂ と、バッフル管２１
ａ 内でその径方向に所定間隔で離隔且つ傾斜した状態
で配列されて両端をバッフル管２１ａ の内璧に溶着さ
れたブラインド （日除け） 状の複数のバッフル板２
１ｃ とで構成したものである。
【００１７】したがって、かかる構成をした本発明の一
実施例の真空装置においては、ターボ分子ポンプ１３に
連結した排気管１２がこのターボ分子ポンプ１３の作動
により振動し、排気管１２の内壁に付着していた微粒子
１０を真空容器１１の方向に飛散しても、この微粒子１
０はバッフル２１のバッフル板２１ｃ により阻止され
て真空容器１１の内部には到達しない。
実施例の真空装置においては、ターボ分子ポンプ１３に
連結した排気管１２がこのターボ分子ポンプ１３の作動
により振動し、排気管１２の内壁に付着していた微粒子
１０を真空容器１１の方向に飛散しても、この微粒子１
０はバッフル２１のバッフル板２１ｃ により阻止され
て真空容器１１の内部には到達しない。
【００１８】かくして、本発明の一実施例の真空装置の
真空容器１１の内部は、排気管１２の内壁に付着してい
た微粒子１０が存在しない質の良い真空状態が保持でき
ることとなる。
真空容器１１の内部は、排気管１２の内壁に付着してい
た微粒子１０が存在しない質の良い真空状態が保持でき
ることとなる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ターボ分
子ポンプの振動により排気管の内壁に付着していた微粒
子の真空容器の内部への飛散を阻止する真空装置の提供
を可能とする。
子ポンプの振動により排気管の内壁に付着していた微粒
子の真空容器の内部への飛散を阻止する真空装置の提供
を可能とする。
【００２０】したがって、本発明の真空装置を採用する
ことにより、その真空容器の内部は微粒子の少ない質の
良い真空状態を実現できることとなる。
ことにより、その真空容器の内部は微粒子の少ない質の
良い真空状態を実現できることとなる。
【図１】は、本発明の一実施例の真空装置を模式的に示
す要部側断面図、
す要部側断面図、
【図２】は、従来の真空装置を模式的に示す要部側断面
図である。
図である。
１０は、微粒子、
１１は、真空容器、
１２は、排気管、
１２ａ は， 管路、
１３は、ターボ分子ポンプ、
１３ａ は、背圧側、
１４は、電磁弁、
１５は、ロータリ式真空ポンプ、
２１は、バッフル、
２１ａ は、バッフル管、
２１ｂ は、冷却用蛇管、
２１ｃ は、バッフル板、
２２は、冷媒をそれぞれ示す。
Claims (1)
- 【請求項１】 被処理物を内部に収容する真空容器（
１１）と、管路（１２ａ） の一端を真空容器（１１）
の内部に連通した排気管（１２）と、排気管（１２）の
管路（１２ａ） の他端に連結して真空容器（１１）の
内部を排気するターボ分子ポンプ（１３）とを含んでな
る真空装置において、冷媒により冷却されるバッフル（
２１）が前記排気管（１２）の管路（１２ａ） に直列
に配設されていることを特徴とする真空装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5094891A JPH04284840A (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 真空装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5094891A JPH04284840A (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 真空装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04284840A true JPH04284840A (ja) | 1992-10-09 |
Family
ID=12873048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5094891A Withdrawn JPH04284840A (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 真空装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04284840A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8142567B2 (en) | 2009-01-30 | 2012-03-27 | Hitachi High-Technologies Corporation | Vacuum processing apparatus |
-
1991
- 1991-03-15 JP JP5094891A patent/JPH04284840A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8142567B2 (en) | 2009-01-30 | 2012-03-27 | Hitachi High-Technologies Corporation | Vacuum processing apparatus |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |