JP2000140610A - 真空ポンプまたは管におけるポンプ送出ガスの圧送 - Google Patents

真空ポンプまたは管におけるポンプ送出ガスの圧送

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JP2000140610A JP11303274A JP30327499A JP2000140610A JP 2000140610 A JP2000140610 A JP 2000140610A JP 11303274 A JP11303274 A JP 11303274A JP 30327499 A JP30327499 A JP 30327499A JP 2000140610 A JP2000140610 A JP 2000140610A
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
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    • F16L55/02—Energy absorbers; Noise absorbers
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧送されるガスが凝縮し凝固するのを、外部
供給エネルギーを追加することなく、効率良く防止で
き、また、音波が伝播するのを防止できる、真空発生装
置を提供する。 【解決手段】 管１の一部分が、両端３および４におい
て開口する筒状のチューブ２によって形成され、そのチ
ューブの側面５が、適した真空がゆきわたった容積７に
よって外部雰囲気６から絶縁される。容積７は、気密の
外壁８とチューブ２との間の空間を占める。気密の外壁
８は、チューブ２の直径よりも大きい直径を有する筒状
のチューブの一部分をなす。該外壁は、チューブ２に沿
って同軸状に配置され、チューブ２の両端３および４の
近くで、チューブ２の側壁に該外壁を気密に結合する２
つの端板９および１０を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、吸込管と吐出管と
に結合された少なくとも１つの真空ポンプを具備する真
空発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】真空ポンプは頻繁に使用され、その用途
の１つは、半導体を取り扱うためのエンクロージャ内に
真空を発生させることである。
【０００３】半導体を取り扱うとき、各種材料を半導体
ウェーハに蒸着する。蒸着の効率は比較的低く、真空ポ
ンプが、半導体上に蒸着するための材料の大部分を吸い
込む。真空ポンプが、大気圧において、または、比較的
高い圧力でガスを吐出するとき、温度が低すぎると、圧
送されるガスは、凝縮して凝固する傾向があり、ポンプ
の効率が下がる可能性がある。
【０００４】本質的には、圧力が高く、ポンプ本体を出
るときにガスが急速に冷える一次ポンプの出口で、その
現象が起こる。
【０００５】また、その問題は、ポンプの上流にある吸
込管の中でも起こるが、その程度は軽い。
【０００６】そのような望ましくない蒸着を抑えるため
に、ガスが凝縮して凝固しやすい冷点を防ぐために、現
在の解決策は、本質的には管を加熱することから成る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】それらの解決策によれ
ば、供給エネルギーを追加しなければならなず、効率
は、圧送される（ポンプ送出される）ガスと真空状態に
左右される。
【０００８】本発明が向けられる課題は、圧送されるガ
スが、真空ポンプの高圧領域で凝縮し凝固するのを、管
を加熱するための外部供給エネルギーを追加することな
く、効率良く防止することができる新しい手段を構成す
ることである。
【０００９】本発明の別の目的は、音波が伝播するのを
防止することによって、真空発生装置が発生する雑音を
低減することを同時に可能にする手段を構成することで
ある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】管と周囲雰囲気との間に
挿入された真空層によって真空ポンプの管を非常に効率
的に絶縁することによって、管を適切な温度に保つこと
ができ、したがって、圧送されるガスが凝縮または凝固
する危険性が避けられるという知見から本発明が生まれ
た。さらに、同時に、その真空層は、音波が外部へ伝播
するのを遮断する有効な遮音体となる。
【００１１】したがって、これらの目的およびその他を
達成するために、本発明による真空発生装置は、吸込管
と吐出管とに結合された少なくとも１つの真空ポンプを
具備し、真空発生装置の少なくとも一部分分が、適した
真空がゆきわたった容積によって外部雰囲気から分離さ
れる。
【００１２】第１の実施形態では、前記適した真空がゆ
きわたった容積が気密であり、前記適した真空が常に保
たれる。
【００１３】別の実施形態では、前記適した真空がゆき
わたった容積が、外部の真空源に結合される。
【００１４】その場合、有利には、本発明が真空発生装
置に適用され、真空発生装置そのものを外部真空源とし
て使用することができる。
【００１５】実際、前記適した真空がゆきわたった容積
を作成するため、互いに分離された２つの壁から成る気
密の二重壁を備えることができ、前記容積が、気密の二
重壁から成る２つの壁の間の空間を占める。
【００１６】また、真空発生装置の周りに、単一の壁を
備えることができ、その場合、前記適した真空がゆきわ
たった容積が、気密の外壁と真空発生装置の一部分との
間の空間を占める。
【００１７】第１の適用例では、圧送されるガスが凝縮
して凝固するのを防止し、発生する雑音を低減させるよ
うに、前記適した真空がゆきわたった容積が、１次真空
ポンプの吐出管の周りに形成される。
【００１８】別の適用例では、脈動圧力と音波を音響的
に減衰するための内部装置（消音器、音響トラップな
ど）を、適した真空がゆきわたった前記容積が囲む。
【００１９】別の適用例では、前記適した真空がゆきわ
たった容積が、真空発生装置の中間または吸込管要素を
囲む。したがって、ガスが凝縮し凝固する可能性がある
領域で、圧送されるガスが凝縮し凝固するのを防止でき
る。
【００２０】別の適用例では、前記適した真空がゆきわ
たった容積が真空ポンプそのものを囲む。したがって、
ポンプが発生する雑音を抑えることができる。
【００２１】添付の図を参照して行われる、特定の実施
形態に関する以下の記載から、本発明の他の目的、特
徴、および利点が明らかになる。
【００２２】
【発明の実施の形態】図１に示す実施形態では、管１の
一部分が、両端３および４において開口する筒状のチュ
ーブ２によって形成され、そのチューブの側面５が、適
した真空がゆきわたった容積（ボリューム）７によって
外部雰囲気６から絶縁される。その場合、容積７は、気
密の外壁８とチューブ２との間の空間を占める。気密の
外壁８は、チューブ２の直径よりも大きい直径を有する
筒状のチューブの一部分である。該外壁は、チューブ２
に沿って同軸状に配置され、チューブ２の両端３および
４の近くで、チューブ２の側壁に該外壁を気密に結合す
る２つの端板９および１０を有する。
【００２３】気密な外壁８と、チューブ２の周壁に該外
壁を気密に結合させることによって、容積７の周りに十
分な気密性が与えられて、容積７を適した真空にするこ
とができ、その真空を常に保つことができる。
【００２４】また、有利には、適した真空を保つ外部の
真空源に容積７を接続することができる。有利には、そ
の外部の真空源を、管１に結合された真空ポンプそのも
のとすることができる。
【００２５】図２に示す実施形態では、図１に示す実施
形態と同じ構成要素を含む、すなわち２つの開口端部３
および４の間にあるチューブ２によって形成され、適し
た真空がゆきわたった容積７を画定するように、側面５
を囲む気密の外壁８を持つ管を含む。
【００２６】その場合、管１は、真空ポンプの出口にあ
る吐出管であって、脈動圧力を音響的に減衰するための
内部ダンパー装置１１を含む。
【００２７】図１および２に示す実施形態では、気密の
外壁８が、単一の壁であって、適した真空がゆきわたっ
た容積７は、気密の外壁８と、管１のチューブ２によっ
て構成される真空発生装置の一部分との間にある。
【００２８】また、チューブ２の側面５を気密の二重壁
で囲むこともでき、適した真空がゆきわたった容積が、
気密の二重壁である２つの壁の間に位置する空間を占め
る。
【００２９】図３は、真空ポンプ１２に本発明を適用し
た適用例である。真空ポンプ１２がベース１３上にあっ
て、気密の外壁８と、適した真空がゆきわたった容積７
を画定するように、気密の外壁８から離れている気密の
内壁１４とから成る二重壁のフードで覆われている。し
たがって、真空ポンプ１２の中間段階において、ガスが
凝縮して凝固する危険性は低減する。同時に、真空ポン
プ１２が発生する雑音も低減する。
【００３０】図４に示す実施形態では、真空ポンプ１２
は、ベース１３の上にあって、適した真空がゆきわたっ
た気密の容積７を画定する空間によって、真空ポンプ１
２から分離されている気密の外壁８で覆われている。利
点は、図３に示した実施形態と同じである。
【００３１】両実施形態では、容積７に確立された真空
を常に保つために、気密の外壁８に十分な気密性を与え
ることができる。
【００３２】また、容積７は、前記適した真空を保つ外
部の真空源に結合され、真空源を真空ポンプ１２そのも
のとすることもできる。
【００３３】気密の流路によって、真空ポンプ１２の作
動を可能にするのに必要な作動機器、すなわち、真空、
電気、水、圧縮空気、窒素、センサ情報などを供給する
ための接続部を収容することができる。
【００３４】真空ポンプを従来の方法で水冷することが
できる。
【００３５】本発明は、明示した実施形態に制限される
ものではない。むしろ、当業者が思いつくことができる
様々な変形実施形態と概念を含んでいる。
【図面の簡単な説明】
【図１】真空ポンプによってガスを圧送するための管に
適用された本発明の第１の適用例を示す。
【図２】脈動圧力を音響的に減衰するための内部ダンパ
ー装置を備える真空ポンプによって、ガスを圧送するた
めの管に適用された本発明の第２の適用例を示す。
【図３】真空ポンプを外部から遮断するために適用され
た本発明の第３の適用例を示す。
【図４】真空ポンプを外部から遮断するために適用され
た本発明の変形例を示す。
【符号の説明】 １ 吐出管 ２ チューブ ３、４ チューブの端部 ５ チューブの側面 ６ 外部雰囲気 ７ 容積 ８、１４ 壁 ９、１０ 端板 １１ 内部装置 １２ 真空発生装置

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 吸込管と吐出管（１）とに結合された少
    なくとも１つの真空ポンプ（１２）を具備する真空発生
    装置であって、真空発生装置の少なくとも一部分（１、
    １２）が、適した真空がゆきわたった容積（７）によっ
    て外部雰囲気（６）から分離されていることを特徴とす
    る装置。
  2. 【請求項２】 前記適した真空がゆきわたった容積
    （７）が気密であり、前記適した真空が常に保たれるこ
    とを特徴とする請求項１に記載の装置。
  3. 【請求項３】 前記適した真空がゆきわたった容積
    （７）が、前記適した真空を維持させる外部の真空源に
    接続されることを特徴とする請求項１に記載の装置。
  4. 【請求項４】 外部の真空源が、前記真空発生装置（１
    ２）であることを特徴とする請求項３に記載の装置。
  5. 【請求項５】 前記適した真空がゆきわたった容積
    （７）が、気密の二重壁から成る２つの壁（８、１４）
    の間の空間を占めることを特徴とする請求項１から４の
    いずれか一項に記載の装置。
  6. 【請求項６】 前記適した真空がゆきわたった容積
    （７）が、気密の外壁（８）と前記真空発生装置の一部
    分（１、１２）との間の空間を占めることを特徴とする
    請求項１から４のいずれか一項に記載の装置。
  7. 【請求項７】 圧送されるガスが凝縮して凝固するのを
    防止すると共に、発生する雑音を低減させるように、前
    記適した真空がゆきわたった容積（７）が真空ポンプの
    吐出管（１）の周りに形成されることを特徴とする請求
    項１から６のいずれか一項に記載の装置。
  8. 【請求項８】 脈動圧力を音響的に減衰させるための内
    部装置（１１）が吐出管（１）にさらに備えられること
    を特徴とする請求項７に記載の装置。
  9. 【請求項９】 前記適した真空がゆきわたった容積
    （７）が、真空発生装置の中間または吸込管要素を囲む
    ことを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載
    の装置。
  10. 【請求項１０】 ポンプが発生する雑音を抑えるよう
    に、前記適した真空がゆきわたった容積（７）が真空ポ
    ンプ（１２）を囲むことを特徴とする請求項１から９の
    いずれか一項に記載の装置。
JP11303274A 1998-11-02 1999-10-26 真空ポンプまたは管におけるポンプ送出ガスの圧送 Pending JP2000140610A (ja)

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