JPH05198519A - Ｃｖｄ装置の回転軸冷却装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】低コストで容易に作製でき、しかも回転軸の高
速回転時、回転軸に異常振動や異常回転が発生すること
を防止し得るＣＶＤ装置の回転軸冷却装置を提供する。 【構成】中空部分１４を有する回転軸１２と、該回転軸
を封止するための磁気流体１６とを具備するＣＶＤ装置
には、（イ）回転軸１２の中空部分１４に挿入され、冷
却水排出口２６を備えそして一端が冷却水供給部に連結
された固定冷却管２０と、（ロ）固定冷却管の冷却水排
出口から排出されて回転軸を冷却した冷却水を受ける受
け容器２８とから成り、そして、如何なる部品も回転軸
に取り付けられていないことを特徴とする回転軸冷却装
置が備えられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＣＶＤ装置の回転軸を
冷却するための冷却装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造において、半導体基板
等の上に薄膜や粒子等を堆積させるために、各種ＣＶＤ
装置が使用されている。半導体基板は、ＣＶＤ装置内に
配設されたサセプター上に置かれ、この半導体基板に対
して原料ガスを供給する。半導体基板上の成膜速度を均
一にするためには、サセプターを回転させることが極め
て効果的である。

【０００３】ＣＶＤ装置の内部は高温、高真空に保持さ
れている。また、サセプターは回転軸に取り付けられ高
速で回転させられる。従って、回転軸は高温雰囲気下に
ある。しかも、回転軸の一部分はＣＶＤ装置の外部に延
在しているので、回転軸を大気に対して封止して、ＣＶ
Ｄ装置の内部を高真空に保持する必要がある。通常、回
転軸を封止するために磁性粒子から成る磁気流体が使用
されている。かかる磁気流体の封止性を保持するため
に、磁気流体を冷却することが必要である。

【０００４】従来、回転軸を冷却することによって磁気
流体を冷却している。回転軸を冷却するための従来の機
構を、図２の断面図を参照して以下説明する。

【０００５】ＣＶＤ装置には真空チャンバ１０、及び中
空部分１４を有する回転軸１２が備えられている。真空
チャンバ１０と回転軸との間の封止のために、回転軸１
２の周囲には磁気流体１６が具備されている。回転軸１
２は図示していない公知の回転装置によって高速で回転
させられ得る。回転軸１２の端部には、ロータリーユニ
オン回転部３０がねじ込まれている。ロータリーユニオ
ン回転部３０はボールベアリング３２を介してロータリ
ーユニオン３４に取り付けられている。従って、回転軸
１２及びロータリーユニオン回転部３０は、固定された
ロータリーユニオン３４に対して自在に回転可能であ
る。

【０００６】ロータリーユニオン３４には、取付具３６
を介して冷却管２０が固定されている。冷却管２０は、
回転軸１２の中空部分１４内に延在している。冷却管２
０の一端２２は冷却水供給部（図２には図示せず）に連
結され、他端２４には冷却水排出口２６が設けられてい
る。ロータリーユニオン３４には冷却水排出ポート３８
が設けられている。尚、ロータリーユニオン３４とロー
タリーユニオン回転部３０との間には、各種のシールが
設けられているが、図２にはその内の１つのシール４０
を図示し、その他の図示は省略した。

【０００７】冷却水は、冷却水供給部から冷却管の一端
２２から冷却管２０内を流れ、冷却管の他端２４に設け
られた冷却水排出口２６から排出され、回転軸１２の中
空部分１４に流れ込む。回転軸１２の中空部分１４を流
下する冷却水は回転軸１２を冷却する。これによって、
磁気流体１６が冷却される。中空部分１４を流下した冷
却水は、冷却管２０とロータリーユニオン回転部３０と
の間隙を流下し、ロータリーユニオン３４に設けられた
冷却水排出ポート３８から排出される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】回転軸１２は高速で回
転させられる。回転軸１２にねじ込まれたロータリーユ
ニオン回転部３０も同時に高速で回転する。回転軸１２
は、作製時、そのアンバランス量を調整することができ
るので、回転軸１２単体を高速で回転させても、回転軸
に異常振動や異常回転が生じることを防止できる。しか
しながら、ロータリーユニオン回転部３０のアンバラン
ス量を調整することは極めて困難である。また、ロータ
リーユニオン回転部３０のアンバランス量の調整不備、
ボールベアリング３２の芯出しが正確でない場合や正し
い嵌合状態にない場合、回転軸１２の高速回転時、回転
軸１２に異常振動や異常回転が発生する。ロータリーユ
ニオン回転部３０を精密加工し、高級なボールベアリン
グを使用しても、これらの問題の抜本的な解決にはなら
ない。

【０００９】従って、本発明の目的は、低コストで容易
に作製でき、しかも回転軸の高速回転時、回転軸に異常
振動や異常回転が発生することを防止し得るＣＶＤ装置
の回転軸冷却装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】この目的は、中空部分を
有する回転軸と、該回転軸を封止するための磁気流体と
を具備するＣＶＤ装置に、下記の本発明の回転軸冷却装
置を備えることによって達成することができる。即ち、
本発明の回転軸冷却装置は、（イ）回転軸の中空部分に
挿入され、冷却水排出口を備えそして一端が冷却水供給
部に連結された固定冷却管と、（ロ）固定冷却管の冷却
水排出口から排出されて回転軸を冷却した冷却水を受け
る受け容器とから成り、そして、如何なる部品も回転軸
に取り付けられていないことを特徴とする。

【００１１】

【作用】本発明の回転軸冷却装置においては、如何なる
部品も回転軸に取り付けられていない。従って、回転軸
と共に回転する回転軸冷却装置部品が存在せず、回転軸
の異常振動や異常回転といった従来の冷却装置での問題
は一切発生することがない。

【００１２】

【実施例】本発明の回転軸冷却装置を、図１の断面図を
参照して、好ましい実施例に基づき、以下説明する。

【００１３】ＣＶＤ装置には真空チャンバ１０、及び中
空部分１４を有する回転軸１２が備えられている。回転
軸１２は図示していない公知の回転手段によって高速で
回転させられ得る。真空チャンバ１０と回転軸との間の
封止のために、回転軸１２の周囲には磁気流体１６が具
備されている。

【００１４】本発明の回転軸冷却装置は、ＣＶＤ装置の
外部に固定された冷却管２０、及び受け容器２８から成
る。回転軸冷却装置の如何なる部品も回転軸１２に取り
付けられていない。冷却管２０及び受け容器２８は、例
えばステンレススチールから作製することができる。

【００１５】冷却管２０は、回転軸１２の中空部分１４
内に延在している。冷却管２０の一端２２は冷却水供給
部（図１には図示せず）に連結され、他端２４には冷却
水排出口２６が設けられている。尚、冷却水排出口２６
を、冷却管１２の側面に複数個設けてもよい。回転軸１
２の中空部分１４の端部は受け容器２８内に開口してい
る。回転軸１２と受け容器２８との間に、公知のシール
手段を設けてもよい。受け容器は、円筒形、直方体等、
如何なる形状にすることもできる。

【００１６】冷却水は、冷却水供給部から冷却管の一端
２２から冷却管２０内を流れ、冷却管の他端２４等に設
けられた冷却水排出口２６から排出され、回転軸１２の
中空部分１４に流れ込む。回転軸１２の中空部分１４を
流下する冷却水は回転軸１２を冷却する。これによっ
て、磁気流体１６が冷却される。中空部分１４を流下し
た冷却水は、中空部分の解放端部から受け容器２８に流
れ込み、受け容器排出口２８Ａから回転軸冷却装置の系
外に排出される。

【００１７】

【発明の効果】本発明の回転軸冷却装置は、冷却管と受
け容器から成り、極めて簡素な構造である。そして、如
何なる部品も回転軸に取り付けられていない。従って、
回転軸と共に回転する回転軸冷却装置部品が存在せず、
回転軸冷却装置に起因した回転軸の異常振動や異常回転
といった従来の冷却装置での問題は一切発生することが
ない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の回転軸冷却装置を示す断面図である。

【図２】従来の回転軸冷却装置を示す断面図である。

【符号の説明】

１０ 真空チャンバ １２ 回転軸 １４ 中空部分 １６ 磁気流体 ２０ 冷却管 ２２，２４ 冷却管の端部 ２６ 冷却水排出口 ２８ 受け容器 ３０ ロータリーユニオン回転部 ３２ ボールベアリング ３４ ロータリーユニオン ３８ 冷却水排出ポート ４０ シール

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】中空部分を有する回転軸と、該回転軸を封
   止するための磁気流体とを具備するＣＶＤ装置におい
   て、 回転軸の中空部分に挿入され、冷却水排出口を備えそし
   て一端が冷却水供給部に連結された固定冷却管と、 固定冷却管の冷却水排出口から排出されて回転軸を冷却
   した冷却水を受ける受け容器とから成り、 如何なる部品も回転軸に取り付けられていないことを特
   徴とするＣＶＤ装置の回転軸冷却装置。