JPS6082667A - 真空装置用回転導入機 - Google Patents
真空装置用回転導入機Info
- Publication number
- JPS6082667A JPS6082667A JP58189642A JP18964283A JPS6082667A JP S6082667 A JPS6082667 A JP S6082667A JP 58189642 A JP58189642 A JP 58189642A JP 18964283 A JP18964283 A JP 18964283A JP S6082667 A JPS6082667 A JP S6082667A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- housing
- transmission shaft
- vessel
- rotary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
- C23C14/505—Substrate holders for rotation of the substrates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
- Sealing Of Bearings (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空容器内の被駆動体に容器外より回転力を伝
達する真空装置用回転導入機に関するしのである。
達する真空装置用回転導入機に関するしのである。
近年゛、産業のあらゆる分野に８３いて基板の表面に精
瓜良く簿膜を形成する需要があり、この為の有力な手段
どしη真空蒸着や真空スパッタリン、ノがある。ところ
で、長尺基板や連続生産品は真空炉内を」ンベｊ？等に
よつ゛Ｃ搬送りるが、上記二ＩＩンベア等に炉外の駆動
源より駆動力を伝達づるｌζめに上記回転導入機が使用
される。したがって、回転導入機は回転力を効率良く伝
達するとともに、炉内の真空雰囲気を保つためにシール
性が良好であることが要求され、しかも実用」二はコン
パクトて゛あることが望ましい。
瓜良く簿膜を形成する需要があり、この為の有力な手段
どしη真空蒸着や真空スパッタリン、ノがある。ところ
で、長尺基板や連続生産品は真空炉内を」ンベｊ？等に
よつ゛Ｃ搬送りるが、上記二ＩＩンベア等に炉外の駆動
源より駆動力を伝達づるｌζめに上記回転導入機が使用
される。したがって、回転導入機は回転力を効率良く伝
達するとともに、炉内の真空雰囲気を保つためにシール
性が良好であることが要求され、しかも実用」二はコン
パクトて゛あることが望ましい。
従来、この種の回転導入機としては、真空容器に連結し
たハウジング内に回転伝達軸を貫通せしめ、これににり
真空容器内の被駆動体にへ望容器外の駆動源にり回転力
を伝達し、かつ上記回転伝達軸のハウジング内頁通部に
は磁性流体にＪ、る戸空シール部を段りで真空容器の機
雷（ｌｌを保つＪ、うにしたものがある。
たハウジング内に回転伝達軸を貫通せしめ、これににり
真空容器内の被駆動体にへ望容器外の駆動源にり回転力
を伝達し、かつ上記回転伝達軸のハウジング内頁通部に
は磁性流体にＪ、る戸空シール部を段りで真空容器の機
雷（ｌｌを保つＪ、うにしたものがある。
ところで、磁性流体を使用した真空シール部は耐差几が
約０ 、１ Ｋ（］ ／ｃｍｉと低いために、高真空（
例えば０．１ Ｔｏｒｒ ）の真空容器の機密性を保つ
ためには、上記回転伝達軸の軸方向に多数段（通常は１
０段程度）のシール部を並設する必要があり、この為に
回転導入機が大形化するという問題があった。
約０ 、１ Ｋ（］ ／ｃｍｉと低いために、高真空（
例えば０．１ Ｔｏｒｒ ）の真空容器の機密性を保つ
ためには、上記回転伝達軸の軸方向に多数段（通常は１
０段程度）のシール部を並設する必要があり、この為に
回転導入機が大形化するという問題があった。
本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、少数の磁
性流体シール部によって高真空の真空容器をシール可能
となすことにより、コンバク！・な回転導入機を提供す
ることを目的とするものである。
性流体シール部によって高真空の真空容器をシール可能
となすことにより、コンバク！・な回転導入機を提供す
ることを目的とするものである。
′ｒＪなわち、本発明の回転導入機は、一端を真空容器
ど連通せしめて設置した筒状ハウジングと、該ハウジン
グ内を貫通し、一端を真空容器内の被駆動体に連結する
とともに他端をハウジング外の回転駆動源に連結した回
覧伝達軸と、上記真空容器の機密性を保つべく回転伝達
軸のハウジング内囚通部回りに段ｔ：Ｉ ＩＣｌ性流体
による真空シール部と、上記ハウジング内の他端側に形
成して上記真空シール部と連通せしめるとともに所定の
真空度に保持せしめた真空室を具備している。
ど連通せしめて設置した筒状ハウジングと、該ハウジン
グ内を貫通し、一端を真空容器内の被駆動体に連結する
とともに他端をハウジング外の回転駆動源に連結した回
覧伝達軸と、上記真空容器の機密性を保つべく回転伝達
軸のハウジング内囚通部回りに段ｔ：Ｉ ＩＣｌ性流体
による真空シール部と、上記ハウジング内の他端側に形
成して上記真空シール部と連通せしめるとともに所定の
真空度に保持せしめた真空室を具備している。
しかして、本発明によれば、真空シール部に印加される
差圧は小さくなるから、シール部の段数を減少せしめる
ことが可能であり、これによつＣ回転導入機本体を小形
化づることができる。
差圧は小さくなるから、シール部の段数を減少せしめる
ことが可能であり、これによつＣ回転導入機本体を小形
化づることができる。
以下、図示の実施例によって本発明を説明−４る。
図において、１は回転導入機、２は真空容器、３は炉外
に設けた駆動用モータである。真空容器２内には図示し
ない基板を搬送すべくヂ１−ン２１が敷設してあり、チ
ェーン２１を懸架するスブロケツ１−２２の回転軸２２
ａは、容器壁に設置Ｊ ／ζパイプフランジ２３中に突
出ＩしめＣある。バイブフランジ２３の間口には連結用
フランジ部２３ａが形成し−Ｃあり、該フランジ部２３
ａには銅ガスケツ］〜２４を介して回転導入機１の筒状
ハウジング１１のｔｇＪ端（図の左端）が連結しである
。
に設けた駆動用モータである。真空容器２内には図示し
ない基板を搬送すべくヂ１−ン２１が敷設してあり、チ
ェーン２１を懸架するスブロケツ１−２２の回転軸２２
ａは、容器壁に設置Ｊ ／ζパイプフランジ２３中に突
出ＩしめＣある。バイブフランジ２３の間口には連結用
フランジ部２３ａが形成し−Ｃあり、該フランジ部２３
ａには銅ガスケツ］〜２４を介して回転導入機１の筒状
ハウジング１１のｔｇＪ端（図の左端）が連結しである
。
上記ハウジング１１の中心にはベアリング′１２に支持
されて回転自在となした磁性体よりなる１ｊ；遠軸１３
が周設してあり、その一端は被駆動体たる上記スプロケ
ット２２の回転軸２２ａに連結され、他端は途中カップ
リング３１を介して駆動源ｌこる上記し−９３に連結し
である。
されて回転自在となした磁性体よりなる１ｊ；遠軸１３
が周設してあり、その一端は被駆動体たる上記スプロケ
ット２２の回転軸２２ａに連結され、他端は途中カップ
リング３１を介して駆動源ｌこる上記し−９３に連結し
である。
イして、上記伝達軸１３回りには、軸に冶つＩζ４ケ所
に＝１１」イド状の磁性流体１４を配して真空シール部
としである。
に＝１１」イド状の磁性流体１４を配して真空シール部
としである。
Ｊなわら、伝達軸１３の外周を覆うように設（）たリン
グ状の永久磁石１５には、その前後に、同じくリング状
で、かつ伝達軸１３の外周と所定の間隔を保った磁性体
製のヨーク１６が設（）である。
グ状の永久磁石１５には、その前後に、同じくリング状
で、かつ伝達軸１３の外周と所定の間隔を保った磁性体
製のヨーク１６が設（）である。
永久磁石１５は、その前方に配したヨーク１６より伝達
Ｑｉ＋ １３を経て後方に配しｌζヨーク１Ｇに至る順
路で磁路を形成しており、上記磁性流体１４は、漸次肉
厚を傅くしたヨーク１６の内周面と伝達軸１３の外周面
間の間隙に、上記永久磁石１５の磁ツノにＪ、って保持
されている。伝達軸′１３に治っＣ４ケ所に段１ノだ上
記真空シール部によって約０、４ｋｏ／ａｍ’の圧ツノ
差までは完全にシールづることができる。
Ｑｉ＋ １３を経て後方に配しｌζヨーク１Ｇに至る順
路で磁路を形成しており、上記磁性流体１４は、漸次肉
厚を傅くしたヨーク１６の内周面と伝達軸１３の外周面
間の間隙に、上記永久磁石１５の磁ツノにＪ、って保持
されている。伝達軸′１３に治っＣ４ケ所に段１ノだ上
記真空シール部によって約０、４ｋｏ／ａｍ’の圧ツノ
差までは完全にシールづることができる。
上記真空シール部の、伝達軸１３に沿った後方には２ケ
所にＯリング１８が配設してあり、これらＯリング１８
の間には真空室１７が設けである。
所にＯリング１８が配設してあり、これらＯリング１８
の間には真空室１７が設けである。
真空室１７はこれに通じるバイブ１７１を介して真空ポ
ンプ４に接続しである。バイブ１７′１と真空ポンプ４
どの間には途中真空ｚ１４２にＪ：り開閉せしめられる
電磁弁４１が設置ノ’Ｕあり、これによって上記真空室
１７は常に絶対圧０ 、４ ｋｇ／ｃｍ’近くの真空度
に保たれる。このように真空室１７を段りることにより
、真空シール部の低真空側は常に絶対圧０．４ｋｇ／ａ
ｍ’程度の真空度に維持きれ、この結果真空シール部全
体の差圧は０．４に！１／Ｃ…２以内に抑えられて（容
器内は通常０．１ＴＯｒ ｒ程度）、真空シール部は良
好なシニル性をイイ！つ。
ンプ４に接続しである。バイブ１７′１と真空ポンプ４
どの間には途中真空ｚ１４２にＪ：り開閉せしめられる
電磁弁４１が設置ノ’Ｕあり、これによって上記真空室
１７は常に絶対圧０ 、４ ｋｇ／ｃｍ’近くの真空度
に保たれる。このように真空室１７を段りることにより
、真空シール部の低真空側は常に絶対圧０．４ｋｇ／ａ
ｍ’程度の真空度に維持きれ、この結果真空シール部全
体の差圧は０．４に！１／Ｃ…２以内に抑えられて（容
器内は通常０．１ＴＯｒ ｒ程度）、真空シール部は良
好なシニル性をイイ！つ。
またハウジング１′１の外周部は２川間状として全周に
熱交換室１９が形成しＣある。熱交換°室１９にはこれ
に通じるバイブ１９１を介してつＡ−タボンプ５より冷
ｕ１水が供給される。冷ＩＪＩ水は。
熱交換室１９が形成しＣある。熱交換°室１９にはこれ
に通じるバイブ１９１を介してつＡ−タボンプ５より冷
ｕ１水が供給される。冷ＩＪＩ水は。
バイブフランジ２：３に設【プた温度削５２にＪ、つ（
開閉される電磁弁５１により、ぞの流通を制御され、こ
れによってハウジング１１内の温度が一定に保たれる。
開閉される電磁弁５１により、ぞの流通を制御され、こ
れによってハウジング１１内の温度が一定に保たれる。
すなわち、通常、真空容器２内は容器壁へのガスの１１
着を防止するために３００℃程度に保たれており、この
熱は回転導入機１にも伝達される。イして、磁性流体１
４は１００℃を越えると粘性が低下してその真空シール
性能が急激に低下りる。例えば常温では、前述の如く、
差圧が０ 、１ ｋａ／ ｃｍ” まではほぼ完全に気
密性を保つが、１００℃以上に温度が上Ｒづ−ると耐差
圧は２０％稈ａ （０，０８ｋａ／ｃｍ” ）も低下Ｊ
る。しかして、本発明によれば、上記熱交換室１９に流
通づる冷ＩＪＩ水によ一ンて磁性流体１４は常に常温付
近に保たれるから、そのシール性能が低下りることはな
い。
着を防止するために３００℃程度に保たれており、この
熱は回転導入機１にも伝達される。イして、磁性流体１
４は１００℃を越えると粘性が低下してその真空シール
性能が急激に低下りる。例えば常温では、前述の如く、
差圧が０ 、１ ｋａ／ ｃｍ” まではほぼ完全に気
密性を保つが、１００℃以上に温度が上Ｒづ−ると耐差
圧は２０％稈ａ （０，０８ｋａ／ｃｍ” ）も低下Ｊ
る。しかして、本発明によれば、上記熱交換室１９に流
通づる冷ＩＪＩ水によ一ンて磁性流体１４は常に常温付
近に保たれるから、そのシール性能が低下りることはな
い。
以上の如く、本発明の回転導入機は、回転自在に設（プ
Ｉこ伝達軸ににっで、真空容器外の駆動源より真空容器
内の非駆動体へ効率良く回転力を伝達するようになし、
かつ回転軸回りには磁性流体による真空シール部を設（
〕て真空気密性を確保するとどもに真空シール部を介し
ｌζ低真空側には所定の真空度に保った真空室を設り゛
（、上記真空シール部に印加される差圧を小さくなして
真空シール部の設置数（段数）を減少せしめ、これにに
って回転導入機本体をコンバク１〜になしたものである
。
Ｉこ伝達軸ににっで、真空容器外の駆動源より真空容器
内の非駆動体へ効率良く回転力を伝達するようになし、
かつ回転軸回りには磁性流体による真空シール部を設（
〕て真空気密性を確保するとどもに真空シール部を介し
ｌζ低真空側には所定の真空度に保った真空室を設り゛
（、上記真空シール部に印加される差圧を小さくなして
真空シール部の設置数（段数）を減少せしめ、これにに
って回転導入機本体をコンバク１〜になしたものである
。
さらに本発明では、熱交換室を設【ノることによって、
回転導入機め温度上昇を防止し、真空シール部のシール
性能を高く維持している。
回転導入機め温度上昇を防止し、真空シール部のシール
性能を高く維持している。
／Ｊ ｉＪ３ 、上記実施例において、真空室の真空度
を」こげれば真空シール部の段数はさらに少なくでさる
が、真空υ１気系のコストは上昇する。したがって、実
施例程痕の段数と覆るのが現実的である。
を」こげれば真空シール部の段数はさらに少なくでさる
が、真空υ１気系のコストは上昇する。したがって、実
施例程痕の段数と覆るのが現実的である。
またＯリングに代えて、オイルシールあるいはメカニカ
ルシールを使用しても良い。
ルシールを使用しても良い。
図は、駆動用モータの回転力を真空容器内のヂＬ−ンに
伝達１べく設りた回転導入機の仝休所面図である。 １・・・・・・・・・回転導入機 １１・・・・・・ハウジング １３・・・・・・回転伝達軸 １４・・・・・・磁性流体 １５・・・・・・永久磁石 １７・・・・・・真空室 １９・・・・・・熱交換室 ＼ ２・・・・・・・・・真空容器 ２１・・・・・・ｆ−１−ン ２２・・・・・・スブロケツ１−（被駆動体）３・・・
・・・・・・駆動用モータく回転駒ＦＪＪ Ｒ）１・・
・・・・・・・真空ポンプ ５・・・・・・・・・ウオータポンプ
伝達１べく設りた回転導入機の仝休所面図である。 １・・・・・・・・・回転導入機 １１・・・・・・ハウジング １３・・・・・・回転伝達軸 １４・・・・・・磁性流体 １５・・・・・・永久磁石 １７・・・・・・真空室 １９・・・・・・熱交換室 ＼ ２・・・・・・・・・真空容器 ２１・・・・・・ｆ−１−ン ２２・・・・・・スブロケツ１−（被駆動体）３・・・
・・・・・・駆動用モータく回転駒ＦＪＪ Ｒ）１・・
・・・・・・・真空ポンプ ５・・・・・・・・・ウオータポンプ
Claims (1)
- 真？；？容器内の被駆動イホに真空容器外Ｊ、り回転力
を伝達づる真空装置用回転導入機にＪ３いＣ１一端を上
記真空容器と連通せしめで設置した筒状のハウジングと
、該ハウジング内を貫通し、一端を上記被駆動体に連結
りるとともに他端をハウジング外の回転駆動源に連結し
た回転伝達軸と、上記真空容器の機密１で１を保つべく
上記回転伝達軸のハウジング内貫通部回りに設＋Ｊた磁
性流体にＪ、る真空シール部と、上記ハウジング内の他
端側に形成して」−記真空シール部と連通せしめるとと
６に所定の真空度に保持せしめた真空室を具備したこと
を特徴どする真空装置用回転導入機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58189642A JPS6082667A (ja) | 1983-10-11 | 1983-10-11 | 真空装置用回転導入機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58189642A JPS6082667A (ja) | 1983-10-11 | 1983-10-11 | 真空装置用回転導入機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6082667A true JPS6082667A (ja) | 1985-05-10 |
Family
ID=16244721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58189642A Pending JPS6082667A (ja) | 1983-10-11 | 1983-10-11 | 真空装置用回転導入機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6082667A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01108458U (ja) * | 1988-01-13 | 1989-07-21 | ||
| DE102004051684A1 (de) * | 2004-10-23 | 2006-04-27 | Krauss-Maffei Kunststofftechnik Gmbh | Bearbeitungsvorrichtung mit Hoch- oder Unterdruckkammer |
| CN103603954A (zh) * | 2013-11-04 | 2014-02-26 | 北京卫星环境工程研究所 | 真空低温环境下大口径旋转动密封系统 |
| CN103759015A (zh) * | 2014-01-17 | 2014-04-30 | 北京交通大学 | 用于密封液体的微泵式上游泵送磁性液体密封装置 |
| CN112728108A (zh) * | 2021-01-12 | 2021-04-30 | 清华大学 | 磁场可调式磁性液体密封装置 |
-
1983
- 1983-10-11 JP JP58189642A patent/JPS6082667A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01108458U (ja) * | 1988-01-13 | 1989-07-21 | ||
| DE102004051684A1 (de) * | 2004-10-23 | 2006-04-27 | Krauss-Maffei Kunststofftechnik Gmbh | Bearbeitungsvorrichtung mit Hoch- oder Unterdruckkammer |
| CN103603954A (zh) * | 2013-11-04 | 2014-02-26 | 北京卫星环境工程研究所 | 真空低温环境下大口径旋转动密封系统 |
| CN103603954B (zh) * | 2013-11-04 | 2017-02-08 | 北京卫星环境工程研究所 | 真空低温环境下大口径旋转动密封系统 |
| CN103759015A (zh) * | 2014-01-17 | 2014-04-30 | 北京交通大学 | 用于密封液体的微泵式上游泵送磁性液体密封装置 |
| CN112728108A (zh) * | 2021-01-12 | 2021-04-30 | 清华大学 | 磁场可调式磁性液体密封装置 |
| CN112728108B (zh) * | 2021-01-12 | 2022-02-01 | 清华大学 | 磁场可调式磁性液体密封装置 |
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