JPH04284329A - カラー陰極線管の製造方法 - Google Patents
カラー陰極線管の製造方法Info
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- JPH04284329A JPH04284329A JP4787191A JP4787191A JPH04284329A JP H04284329 A JPH04284329 A JP H04284329A JP 4787191 A JP4787191 A JP 4787191A JP 4787191 A JP4787191 A JP 4787191A JP H04284329 A JPH04284329 A JP H04284329A
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Landscapes
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラー陰極線管の螢光
面を形成する工程で用いる露光装置内で光強度分布補正
に用いるフィルタを、ガラス基板に遮光用の金属膜を蒸
着させて製造する際に、ガラス基板と金属蒸着源の中間
に配置して金属蒸気の通過量を制御させる回転形蒸着パ
ターンの開口部形状を改良することによって上記フィル
タに所望の特性を与え、製品であるカラー陰極線管の画
像表示に白ムラなどが現われないようにするカラー陰極
線管の製造方法に関する。
面を形成する工程で用いる露光装置内で光強度分布補正
に用いるフィルタを、ガラス基板に遮光用の金属膜を蒸
着させて製造する際に、ガラス基板と金属蒸着源の中間
に配置して金属蒸気の通過量を制御させる回転形蒸着パ
ターンの開口部形状を改良することによって上記フィル
タに所望の特性を与え、製品であるカラー陰極線管の画
像表示に白ムラなどが現われないようにするカラー陰極
線管の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】カラー陰極線管の螢光面では、それぞれ
３原色の何れかに発光する微細な螢光体のドット又はス
トライプによって画像表示が行なわれているが、公知の
如く、これらの螢光体のドット又はストライプはフォト
リソグラフィ技術によって形成される。また、現在では
、上記螢光体のドット又はストライプの間の隙間を外光
を反射しない黒色のブラックマトリクス膜で埋めて、表
示画像のコントラストを向上させることが広く行なわれ
ているが、螢光体のドット又はストライプを形成させる
位置にブラックマトリクス膜の存在しない開口部をリフ
トオフ法によって形成させるためにブラックマトリクス
膜塗布の前に形成したフォトレジスト膜の前記位置を露
光させる作業も、上記螢光体のドット又はストライプ形
成作業に先立ってフォトリソグラフィ技術によって行な
われる。このフォトリソグラフィ技術に用いる露光装置
では、陰極線管のパネル内面に塗布したフォトレジスト
膜または螢光体を含んだ感光性スラリー膜を、シャドウ
マスクを介して露光させるが、前記パネル内面に形成さ
せた感光性膜上における照度は何処でも均一になってい
なければならない。点光源による照度は光源からの距離
の二乗に反比例して低下する。従来は、カラー陰極線管
の螢光面形成のための露光に用いる光源は、実際には点
光源ではないが、点光源として考え、パネル裏面の被照
射面上の照度はフィルタが無ければ光源から被照射位置
までの距離の二乗に反比例して低下するものと仮定して
扱い、前記仮定が成立するときにパネル内面の感光性膜
上の照度が均一になるような、中央部が最も暗く、周辺
部へ行くに伴って同心円的に明るくなる、光強度分布補
正用フィルタを使用していた。なお、このような照度補
正用フィルタに関連する技術については、例えば特開昭
５０−４６２５５号公報、特開昭５２−４７６７２号公
報等に開示されている。この光強度分布補正用フィルタ
は、ガラス基板に金属膜を蒸着させて遮光性を持たせた
ものである。
３原色の何れかに発光する微細な螢光体のドット又はス
トライプによって画像表示が行なわれているが、公知の
如く、これらの螢光体のドット又はストライプはフォト
リソグラフィ技術によって形成される。また、現在では
、上記螢光体のドット又はストライプの間の隙間を外光
を反射しない黒色のブラックマトリクス膜で埋めて、表
示画像のコントラストを向上させることが広く行なわれ
ているが、螢光体のドット又はストライプを形成させる
位置にブラックマトリクス膜の存在しない開口部をリフ
トオフ法によって形成させるためにブラックマトリクス
膜塗布の前に形成したフォトレジスト膜の前記位置を露
光させる作業も、上記螢光体のドット又はストライプ形
成作業に先立ってフォトリソグラフィ技術によって行な
われる。このフォトリソグラフィ技術に用いる露光装置
では、陰極線管のパネル内面に塗布したフォトレジスト
膜または螢光体を含んだ感光性スラリー膜を、シャドウ
マスクを介して露光させるが、前記パネル内面に形成さ
せた感光性膜上における照度は何処でも均一になってい
なければならない。点光源による照度は光源からの距離
の二乗に反比例して低下する。従来は、カラー陰極線管
の螢光面形成のための露光に用いる光源は、実際には点
光源ではないが、点光源として考え、パネル裏面の被照
射面上の照度はフィルタが無ければ光源から被照射位置
までの距離の二乗に反比例して低下するものと仮定して
扱い、前記仮定が成立するときにパネル内面の感光性膜
上の照度が均一になるような、中央部が最も暗く、周辺
部へ行くに伴って同心円的に明るくなる、光強度分布補
正用フィルタを使用していた。なお、このような照度補
正用フィルタに関連する技術については、例えば特開昭
５０−４６２５５号公報、特開昭５２−４７６７２号公
報等に開示されている。この光強度分布補正用フィルタ
は、ガラス基板に金属膜を蒸着させて遮光性を持たせた
ものである。
【０００３】上記光強度分布補正用フィルタは使用中に
次第に金属蒸着膜の酸化が進行して遮光性が低下したり
、傷付いたりするので、カラー陰極線管の製造業者は時
々ガラス基板に金属膜を蒸着して新しい光強度分布補正
用フィルタを作って補充するのが通例である。図２は光
強度分布補正用フィルタ作成方法の概略説明図で、ニッ
ケルやインコネルなどの遮光用金属を蒸発用ボートに載
置した金属蒸着源３と透明なガラス基板１との間に蒸着
用パターン２を配置し、金属を蒸着する時には、ガラス
基板１か蒸着パターン２の何れか一方または双方を回転
運動させながら、蒸着を行なう。上記蒸着パターン２は
、板に金属蒸気を通過させる開口部を形成させたもので
、ガラス基板１上の、時間的に平均して蒸着パターン２
の開口部を通して長時間蒸着源３に面していた箇所には
金属が厚く蒸着され、蒸着源３との間を比較的長い時間
にわたって蒸着パターン２（の開口部でない部分）に邪
魔されていた箇所への金属蒸着量は薄くなる。即ち、露
光に用いる光強度分布補正用フィルタの透過率分布特性
は蒸着パターンの開口部形状によって決定される。従来
は、通常、蒸着パターンの開口部の形状を下記のように
して設計していた。
次第に金属蒸着膜の酸化が進行して遮光性が低下したり
、傷付いたりするので、カラー陰極線管の製造業者は時
々ガラス基板に金属膜を蒸着して新しい光強度分布補正
用フィルタを作って補充するのが通例である。図２は光
強度分布補正用フィルタ作成方法の概略説明図で、ニッ
ケルやインコネルなどの遮光用金属を蒸発用ボートに載
置した金属蒸着源３と透明なガラス基板１との間に蒸着
用パターン２を配置し、金属を蒸着する時には、ガラス
基板１か蒸着パターン２の何れか一方または双方を回転
運動させながら、蒸着を行なう。上記蒸着パターン２は
、板に金属蒸気を通過させる開口部を形成させたもので
、ガラス基板１上の、時間的に平均して蒸着パターン２
の開口部を通して長時間蒸着源３に面していた箇所には
金属が厚く蒸着され、蒸着源３との間を比較的長い時間
にわたって蒸着パターン２（の開口部でない部分）に邪
魔されていた箇所への金属蒸着量は薄くなる。即ち、露
光に用いる光強度分布補正用フィルタの透過率分布特性
は蒸着パターンの開口部形状によって決定される。従来
は、通常、蒸着パターンの開口部の形状を下記のように
して設計していた。
【０００４】（１）実験などにより、光強度分布補正用
フィルタの中心からの距離に応じて同心円的に変化する
目標の透過率分布を求める。 （２）蒸着パターン開口部の設計は各象限毎に分割して
行なうものとし、フィルタ中央に対する開口角を９０°
として下式の定数Ｋを求める。
フィルタの中心からの距離に応じて同心円的に変化する
目標の透過率分布を求める。 （２）蒸着パターン開口部の設計は各象限毎に分割して
行なうものとし、フィルタ中央に対する開口角を９０°
として下式の定数Ｋを求める。
【０００５】
【数１】
【０００６】（３）（２）の
【数１】から求めたＫとそれぞれのフィルタ位置での目
標透過率からそれぞれの位置における開口角を算出する
。 （４）以上により一象限分の開口部形状を定めることが
できる。 （５）上記形状を点対称、線対称に他の象限に転写して
蒸着パターン開口部全体の形状とする。図３は上記のよ
うにして定めた従来の蒸着パターンの開口部形状を示す
。
標透過率からそれぞれの位置における開口角を算出する
。 （４）以上により一象限分の開口部形状を定めることが
できる。 （５）上記形状を点対称、線対称に他の象限に転写して
蒸着パターン開口部全体の形状とする。図３は上記のよ
うにして定めた従来の蒸着パターンの開口部形状を示す
。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術により
光強度分布補正用フィルタを製作すると、フィルタ中央
部付近の透過率変化傾度を充分大きくすることが難しい
という問題があった。例えば、同じ程度の透過率分布を
フィルタの中央部と中間部に与えた場合の蒸着パターン
の開口部形状の変化を考えると、中央部付近では開口角
が変化しても開口部の面積はあまり変らないが、中間部
では開口面積が大きく変化する。実際の蒸着では蒸着源
が点ではなくある程度の面積を持つ（蒸着金属を載置す
る蒸発用ボートの大きさはかなり大きく、露光用光源の
大きさも蒸着源の大きさと比較すれば問題にならない位
に大きい）こと、ガラス基板、蒸着パターン、蒸着源の
中心位置精度などの影響により、開口角変化によって面
積が大きく変る中間部での透過率分布（変化傾度）は比
較的設計通りになるが、開口角変化によって開口部面積
があまり変らない中央部付近では設計通りの透過率分布
を得ることはなかなか困難であった。
光強度分布補正用フィルタを製作すると、フィルタ中央
部付近の透過率変化傾度を充分大きくすることが難しい
という問題があった。例えば、同じ程度の透過率分布を
フィルタの中央部と中間部に与えた場合の蒸着パターン
の開口部形状の変化を考えると、中央部付近では開口角
が変化しても開口部の面積はあまり変らないが、中間部
では開口面積が大きく変化する。実際の蒸着では蒸着源
が点ではなくある程度の面積を持つ（蒸着金属を載置す
る蒸発用ボートの大きさはかなり大きく、露光用光源の
大きさも蒸着源の大きさと比較すれば問題にならない位
に大きい）こと、ガラス基板、蒸着パターン、蒸着源の
中心位置精度などの影響により、開口角変化によって面
積が大きく変る中間部での透過率分布（変化傾度）は比
較的設計通りになるが、開口角変化によって開口部面積
があまり変らない中央部付近では設計通りの透過率分布
を得ることはなかなか困難であった。
【０００８】本発明は、有限の面積を持つ実際の金属蒸
着源を用いて金属をガラス基板に蒸着させて製作した光
強度分布補正用フィルタを、実際の光源と組み合わせて
露光作業に用いたときに、パネル裏面の感光性膜面上の
照度分布が所望の如く一様になるような光強度分布補正
用フィルタ製作用蒸着パターン（の開口部形状）を提供
することを目的とする。
着源を用いて金属をガラス基板に蒸着させて製作した光
強度分布補正用フィルタを、実際の光源と組み合わせて
露光作業に用いたときに、パネル裏面の感光性膜面上の
照度分布が所望の如く一様になるような光強度分布補正
用フィルタ製作用蒸着パターン（の開口部形状）を提供
することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、複数種類の開口部形状を持つ蒸着パターンを組み合
わせて用いることが考えられる。例えば、最初に大きい
開口角を持つ蒸着パターンによりフィルタの中間部から
周辺部にかけての透過率分布を決定し、２回目に小さな
開口径の蒸着パターンを介して蒸着することによりフィ
ルタ中央部の透過率分布を決定する。しかし、このよう
な方法では２回の蒸着を行なわなくてはならないため、
フィルタ製作に２倍の工数が必要になってしまう。その
ため本発明においては、従来は、蒸着パターンの開口部
形状を先ず一つの象限に対して設計した後、それを線対
称、点対称に他の象限に転写したものを使用していたが
、本発明では、各象限にそれぞれ別の開口部形状を与え
た１個の蒸着パターンを用いて、複数個の蒸着パターン
を用いて蒸着したものと同等レベルの高精度な透過率分
布を持つ光強度分布補正用フィルタを製作することにし
た。
に、複数種類の開口部形状を持つ蒸着パターンを組み合
わせて用いることが考えられる。例えば、最初に大きい
開口角を持つ蒸着パターンによりフィルタの中間部から
周辺部にかけての透過率分布を決定し、２回目に小さな
開口径の蒸着パターンを介して蒸着することによりフィ
ルタ中央部の透過率分布を決定する。しかし、このよう
な方法では２回の蒸着を行なわなくてはならないため、
フィルタ製作に２倍の工数が必要になってしまう。その
ため本発明においては、従来は、蒸着パターンの開口部
形状を先ず一つの象限に対して設計した後、それを線対
称、点対称に他の象限に転写したものを使用していたが
、本発明では、各象限にそれぞれ別の開口部形状を与え
た１個の蒸着パターンを用いて、複数個の蒸着パターン
を用いて蒸着したものと同等レベルの高精度な透過率分
布を持つ光強度分布補正用フィルタを製作することにし
た。
【００１０】
【作用】蒸着パターンの各象限にそれぞれ別の形状、大
きさの開口部を与えることにしたので、フィルタの透過
率分布の制御を最も調整し易い蒸着パターン中間部で各
部分の調整を分担することが出来るようになり、従来よ
りも高精度な所望の透過率分布を持つ光強度分布補正用
フィルタを、カラー陰極線管螢光面形成の露光工程に提
供できるようになり、このようにして製造されたカラー
陰極線管では従来よりも白色ムラレベルが向上するなど
の効果が得られた。
きさの開口部を与えることにしたので、フィルタの透過
率分布の制御を最も調整し易い蒸着パターン中間部で各
部分の調整を分担することが出来るようになり、従来よ
りも高精度な所望の透過率分布を持つ光強度分布補正用
フィルタを、カラー陰極線管螢光面形成の露光工程に提
供できるようになり、このようにして製造されたカラー
陰極線管では従来よりも白色ムラレベルが向上するなど
の効果が得られた。
【００１１】
【実施例】図１は本発明一実施例に係る蒸着パターンの
開口部形状を示す図である。この実施例では、第１から
第３象限までは比較的大きいパターンの開口部として光
強度分布補正用フィルタの中間部から周辺部にかけての
光透過率分布の調整を担当させ、第４象限の小さい開口
部パターンによりフィルタ中央部の光透過率分布を決定
させるようにした。
開口部形状を示す図である。この実施例では、第１から
第３象限までは比較的大きいパターンの開口部として光
強度分布補正用フィルタの中間部から周辺部にかけての
光透過率分布の調整を担当させ、第４象限の小さい開口
部パターンによりフィルタ中央部の光透過率分布を決定
させるようにした。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、光
透過率分布を意のままに高精度に制御した光強度分布補
正用フィルタを、カラー陰極線管の螢光面形成のための
露光工程で使用できるようになり、カラー陰極線管のブ
ラックマトリクスのストライプ幅、ホール径の精度が向
上し、白色ムラレベルの向上、ピュリティ裕度の向上が
実現できる。また、螢光体のストライプ幅、ドット径も
精度が向上し、螢光体の混色不良、欠け不良を低減でき
る。
透過率分布を意のままに高精度に制御した光強度分布補
正用フィルタを、カラー陰極線管の螢光面形成のための
露光工程で使用できるようになり、カラー陰極線管のブ
ラックマトリクスのストライプ幅、ホール径の精度が向
上し、白色ムラレベルの向上、ピュリティ裕度の向上が
実現できる。また、螢光体のストライプ幅、ドット径も
精度が向上し、螢光体の混色不良、欠け不良を低減でき
る。
【図１】本発明一実施例に係る蒸着パターンの開口部形
状を示す図である。
状を示す図である。
【図２】光強度分布補正用フィルタ作成方法の概略説明
図である。
図である。
【図３】従来の蒸着パターンの開口部形状を示す図であ
る。
る。
【符合の説明】１…ガラス基板
２…蒸着パターン
３…金属蒸着源
Claims (1)
- 【請求項１】カラー陰極線管の螢光面をフォトリソグラ
フィ技術により形成する工程で用いる露光装置の光強度
分布補正用フィルタを、ガラス基板に遮光用の金属膜を
蒸着させて製造するときに、前記ガラス基板と金属蒸着
源の中間に配置し、両者の中心を通る軸の回りに、両者
の何れか一方または双方に対して相対的に回転させて開
口部を通過する金属蒸気量を制御する蒸着パターンの開
口部形状を、非線対称、非点対称に、即ち各象限で夫々
別形状にして、中心付近における光透過率が同心円的に
外側で確実に増加する光強度分布補正用フィルタを作成
し、これを露光装置に用いて螢光面を形成することを特
徴とするカラー陰極線管の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4787191A JPH04284329A (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | カラー陰極線管の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4787191A JPH04284329A (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | カラー陰極線管の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04284329A true JPH04284329A (ja) | 1992-10-08 |
Family
ID=12787445
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4787191A Pending JPH04284329A (ja) | 1991-03-13 | 1991-03-13 | カラー陰極線管の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04284329A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0933797A1 (en) * | 1998-01-30 | 1999-08-04 | Hitachi, Ltd. | Cathode ray tube |
-
1991
- 1991-03-13 JP JP4787191A patent/JPH04284329A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0933797A1 (en) * | 1998-01-30 | 1999-08-04 | Hitachi, Ltd. | Cathode ray tube |
| US6534907B1 (en) | 1998-01-30 | 2003-03-18 | Hitachi, Ltd. | Cathode ray tube faceplate having particular black matrix hole transmittivity in the peripheral areas |
| US6765344B2 (en) | 1998-01-30 | 2004-07-20 | Hitachi, Ltd. | Cathode ray tube having specific radius of curvatures for inner and outer surface of the panel |
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