JPH04284014A - 複合縦振動メカニカル・フィルタおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、複合縦振動メカニカル
・フィルタおよびその製造方法に関し、一層詳細には、
縦振動体（以下、縦振動音片という）、圧電部材、支持
部材等からなる複合縦振動メカニカル・フィルタにおい
て、少なくとも入力側縦振動音片と出力側縦振動音片と
これらの縦振動音片の間に介装される連結用縦振動音片
とを積層構成し、これによって容積の少ない、且つ製造
工程を簡略化することを可能とするとともに、スプリア
ス特性に優れ、しかも品質に優れた複合縦振動メカニカ
ル・フィルタおよびその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、メカニカル・フィルタが通信機器
等において広汎に採用されるに至っている。メカニカル
・フィルタがその良好なＱの値の特性を有し、従って、
選択特性に優れ、さらに外部雰囲気の温度変化に対して
動作が安定性に富み、且つ小型化が可能であるという理
由に基づいている。

【０００３】図９は、前記メカニカル・フィルタの概略
構成を示すものである。そこで、図において、参照符号
２は、この種のメカニカル・フィルタを示し、当該メカ
ニカル・フィルタ２は、実質的に同一形状で且つ同一平
面上に配置されている入力側縦振動音片４と、出力側縦
振動音片６を有している。前記入力側縦振動音片４と出
力側縦振動音片６の間に複数の連結用縦振動音片８、１
０、１２が設けられ、この入力側縦振動音片４、連結用
縦振動音片８、１０、１２および出力側縦振動音片６は
恒弾性体からなる結合部材１４ａ、１４ｂ、１６ａ、１
６ｂ、１８ａ、１８ｂ、２０ａ、２０ｂによって一体的
に連結形成されている。さらに、入力側縦振動音片４と
出力側縦振動音片６の中央部から外方へと突出して夫々
支持部材２２並びに２４が形成され、これらの支持部材
２２、２４は矩形状の保持枠体２６と連結されている。

【０００４】前記入力側縦振動音片２の表裏には一組の
入力側圧電セラミックス２８ａ、２８ｂが半田付け等に
より固着され、同様に、出力側縦振動音片６の表裏にも
出力側圧電セラミックス３０ａ、３０ｂが固着されてい
る。入力側圧電セラミックス２８ａ、２８ｂと出力側圧
電セラミックス３０ａ、３０ｂの表面には、予めメタラ
イズ等によって図示しない電極が夫々形成されていると
ともに、前記入力側圧電セラミックス２８ａ、２８ｂに
は、高周波信号を供給するための給電線３２が接続され
、一方、保持枠体２６は接地線３４によって接地されて
いる。同様に、出力側圧電セラミックス３０ａ、３０ｂ
には出力を導出するための導出線３６が接続され、さら
にこの導出線３６との間で出力を得るために保持枠体２
６に接地線３８が接続されている。

【０００５】次に、この種のメカニカル・フィルタ２の
動作について説明する。

【０００６】先ず、一組の入力側圧電セラミックス２８
ａ、２８ｂと入力側縦振動音片４との間に給電線３２、
接地線３４を介して信号源Ｏｓｃから高周波信号Ｓ１　
、例えば、スーパーヘテロダイン式受信機等の周波数変
換部より生成される４５５ｋＨｚの中間周波数信号が供
給される。

【０００７】電気的に接地された入力側縦振動音片４と
の間で入力側圧電セラミックス２８ａ、２８ｂを通して
前記高周波信号に相応した電界が生起される。この電界
により入力側圧電セラミックス２８ａ、２８ｂは、図中
の矢印ｍｉ、ｍｏ間に電歪を生じ、入力側縦振動音片４
が長さＬ１　を縦波の半波長とする周波数Ｆ１　で共振
する。そこで、入力側縦振動音片４における縦波の平均
伝搬速度をＶとすると、周波数Ｆ１　は次式によって得
られる。 Ｆ１　＝Ｖ／（２Ｌ１　）　　　　　　　　　　…（１
）この周波数Ｆ１　による縦振動は結合部材１４ａ、１
４ｂ、１６ａ、１６ｂ、１８ａ、１８ｂおよび２０ａ、
２０ｂにより連結用縦振動音片８、１０および１２を介
して出力側縦振動音片６に機械的に伝達され、当該出力
側縦振動音片６がその長さＬ２　により周波数Ｆ２　で
振動し、すなわち、周波数Ｆ２　で共振する。この周波
数Ｆ２　は、前記第１式と同様に、出力側縦振動音片６
の縦波の平均伝搬速度をＶとすると、 Ｆ２　＝Ｖ／（２Ｌ２　）　　　　　　　　　　…（２
）として得られる。この出力側縦振動音片６の縦振動に
起因した電歪により出力側圧電セラミックス３０ａ、３
０ｂの図示しない電極に電圧を生じ、所定の急峻な周波
数特性、すなわち、狭帯域の周波数特性を有する、例え
ば、４５５ｋＨｚの中間周波数信号が導出線３６と接地
線３８の間から出力信号Ｓ２　として取り出される。

【０００８】ところで、以上のように形成されたメカニ
カル・フィルタ２において、入力側縦振動音片４と出力
側縦振動音片６を形成する各点の縦振動方向の変位は、
夫々の縦振動音片４、６の先端部のほうが大きく、また
、前記縦振動と直交する垂直方向の変位は縦振動音片４
、６の中央部のほうが大きい。

【０００９】その際、結合部材１４ａ、１４ｂは入力側
縦振動音片４の縦振動により生ずる縦振動方向および当
該縦振動方向に直交する垂直方向の変位を次なる連結用
縦振動音片８に伝達する。この場合、縦振動方向の振動
は結合部材１４ａ、１４ｂにより横波、すなわち、屈曲
振動となり、連結用縦振動音片８に伝達され、一方、前
記縦振動に対して直交する垂直方向の振動は、当該結合
部材１４ａ、１４ｂにより主として縦波として前記連結
用縦振動音片８に伝達される。

【００１０】このため、入力側縦振動音片４の先端部で
は縦振動方向の変位が大きくなり、この入力側縦振動音
片４の先端部近傍に結合部材１４ａ、１４ｂを設ければ
、屈曲振動によって入力側縦振動音片４と次なる連結用
縦振動音片８の間を結合することができ、スプリアス特
性を改善することが可能となる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このメ
カニカル・フィルタに要求される仕様によっては、縦振
動音片４の先端部に接近して、前記のように結合部材１
４ａ、１４ｂを設けると、素子としての仕様を満足する
ことができない場合がある。すなわち、物理的制約から
結合部材１４ａ、１４ｂをさほどに縦振動音片４の先端
部に接近配置することは困難である。

【００１２】さらにまた、当該結合部材１４ａ、１４ｂ
の幅を狭くすることにより、入力側縦振動音片４から次
なる連結用縦振動音片８に伝達される屈曲振動数、すな
わち、結合量を減少させる方法も考えられるが、加工精
度がさほどに向上できないために所定以上に前記結合量
を減らすことは困難である。

【００１３】これらの屈曲振動の伝達は、連結用縦振動
音片８、１０、１２および出力側縦振動音片６とその間
に設けられている結合部材１６ａ、１６ｂ、１８ａ、１
８ｂ、２０ａ、２０ｂの間にも当てはまり、所望するほ
どにはスプリアス特性が良好な複合縦振動メカニカル・
フィルタは得られていない。

【００１４】さらにまた、前記のような複合縦振動メカ
ニカル・フィルタにおいて、入力側、出力側および連結
用の縦振動音片は同一平面上に配置されているため、素
子の表面積が大きく、したがって、パッケージ等に装着
しようとする際、この表面積が大なることを理由として
、パッケージ全体としての容積が極めて大となる不都合
を露呈している。

【００１５】本発明は、前記の不都合を克服するために
なされたものであって、複合縦振動メカニカル・フィル
タを構成する入力側縦振動音片、出力側縦振動音片およ
びこれらの間に介装される連結用の縦振動音片を積層し
て平面的構成よりも寧ろ立体構成とし、これによって、
全体として小型となり、しかもスプリアス特性に優れ、
さらに製造が容易な複合縦振動メカニカル・フィルタお
よびその製造方法を提供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、供給された高周波信号を所定の周波数
帯域に形成して導出する複合縦振動メカニカル・フィル
タであって、高周波信号の入力側縦振動音片と、出力側
縦振動音片と、前記入力側縦振動音片と出力側縦振動音
片との間に介装されて所定の周波数の縦波を伝搬する連
結用縦振動音片と、前記入力側縦振動音片に固着され、
入力側と導体により接続された電極を有する第１の圧電
部材と、前記出力側縦振動音片に固着され、出力側と導
体により接続された電極を有する第２の圧電部材と、前
記入力側縦振動音片と出力側縦振動音片とから夫々突出
する第１と第２の支持部材と、前記第１と第２の支持部
材が夫々係合し前記入力側縦振動音片と出力側縦振動音
片とを中空状に保持する保持部材と、からなり、前記入
力側縦振動音片と連結用縦振動音片と出力側縦振動音片
とは積層され連結されていることを特徴とする。

【００１７】また、本発明は、前記複合縦振動メカニカ
ル・フィルタを製造するための方法であって、入力側縦
振動音片と出力側縦振動音片と結合片を有する連結用縦
振動音片とは夫々フォトリソグラフィによるエッチング
法で形成することを特徴とする。

【００１８】

【作用】上記の本発明に係る複合縦振動メカニカル・フ
ィルタでは、入力側縦振動音片に導入された高周波の入
力信号は立体的に積層されている連結用縦振動音片を介
して屈曲振動として出力側縦振動音片へと伝達される。 このために、スプリアス特性に優れ、且つ小型化できる
。

【００１９】また、本発明の複合縦振動メカニカル・フ
ィルタの製造方法によれば、入力側縦振動音片と出力側
縦振動音片と連結用縦振動音片とをフォトリソグラフィ
によるエッチング法で形成し、このような縦振動音片を
積層し、結合手段によって相互に離間するように製造す
る。このため、均質なスプリアス特性に優れ、しかも三
次元形状で小型化したメカニカル・フィルタが得られる
。

【００２０】

【実施例】本発明に係る複合縦振動メカニカル・フィル
タについてその製造方法との関連において好適な実施例
を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する
。

【００２１】図１において、参照符号５０は、本実施例
に係る複合縦振動メカニカル・フィルタを示す。該複合
縦振動メカニカル・フィルタ５０は、入力側縦振動音片
５２を有し、この入力側縦振動音片５２から屈曲する結
合片５４ａ、５４ｂが突出形成され、さらに前記結合片
５４ａ、５４ｂの反対側にあって、前記入力側縦振動音
片５２から支持片５６が中央部外方へと突出形成されて
いる。前記支持片５６はコ字状の第１の保持片５８と連
結されている。結合片５４ａ、５４ｂは、この場合、入
力側縦振動音片５２の長手方向両端部近傍に設けられて
いる。

【００２２】入力側縦振動音片５２に結合片５４ａ、５
４ｂを介して連結される連結用縦振動音片６０は、その
一側部に結合片６２ａ、６２ｂを有し、さらに他側部に
結合片６４ａ、６４ｂを有する。結合片６２ａ、６２ｂ
の離間間隔は入力側縦振動音片５２から突出形成されて
いる結合片５４ａ、５４ｂの離間間隔と同一である。な
お、結合片６４ａ、６４ｂの離間間隔は前記結合片６２
ａ、６２ｂの離間間隔よりも狭く選択されている。

【００２３】前記結合片６４ａ、６４ｂと等間隔に形成
され、且つこれらと連結される結合片６６ａ、６６ｂを
有する連結用縦振動音片６８は、さらに前記結合片６６
ａ、６６ｂと反対側にあり、且つその離間間隔と同一の
離間間隔を有する結合片７０ａ、７０ｂを有する。そし
て、この結合片７０ａ、７０ｂに連結する結合片７２ａ
、７２ｂを有する連結用縦振動音片７４には、実質的に
結合片５４ａ、５４ｂ、６２ａ、６２ｂと同一の間隔の
結合片７６ａ、７６ｂが突出形成されている。

【００２４】そして、前記連結用縦振動音片７４の結合
片７６ａ、７６ｂに出力側縦振動音片８０が連結される
。出力側縦振動音片８０は前記結合片７６ａ、７６ｂと
連結されるために、これらの結合片７６ａ、７６ｂと等
間隔の結合片８２ａ、８２ｂを有し、さらにその反対側
に支持片８４を突出形成している。該支持片８４の先端
部は第１保持片５８と対称的に形成された第２の保持片
８６と連結されている。

【００２５】図から容易に諒解されるように、連結用縦
振動音片６０の結合片６２ａ、６２ｂと結合片６４ａ、
６４ｂは夫々反対側へと指向して屈曲形成され、また、
連結用縦振動音片６８の結合片６６ａ、６６ｂと７０ａ
、７０ｂ、連結用縦振動音片７４の結合片７２ａ、７２
ｂと７６ａ、７６ｂ、さらに出力側縦振動音片８０の結
合片８２ａ、８２ｂおよび支持片８４も同様に、互いに
反対方向へと指向して屈曲形成されている。

【００２６】そこで、これらの入力側縦振動音片５２、
連結用縦振動音片６０、６８、７４および出力側縦振動
音片８０は、結合片を介して、好適には、相互に半田付
け、溶接あるいは樹脂による接着等で一体化される。こ
のために、先ず、例えば、半田が載置される部分を、予
め、図２に示すように、マスクしておき、残余の部分を
酸化等の処理によって被膜処理する。

【００２７】次に、マスクされた部位に半田ペースト８
８をスクリーン印刷等によって塗布する。また、逆に半
田が載置される部分以外に融着時に半田をはじく半田レ
ジストを塗布しておき、半田付けを行ってもかまわない
。そして、出力側縦振動音片８０、連結用縦振動音片７
４、６８、６０の順に順次積層し（図４参照）、前記連
結用縦振動音片６０の上部に入力側縦振動音片５２を載
置した上で、図示しない治具に位置決めする。なお、積
層の際、結合片８２ａ、８２ｂと結合片７６ａ、７６ｂ
、結合片７２ａ、７２ｂと結合片７０ａ、７０ｂ、結合
片６６ａ、６６ｂと結合片６２ａ、６２ｂ、結合片６２
ａ、６２ｂと結合片５４ａ、５４ｂとを重畳するように
位置決めすることは勿論である。

【００２８】そこで、このように位置決めされた縦振動
音片等を熱処理炉内に入れ、半田ペースト８８の融点以
上の温度で加熱する。この結果、結合片５４ａ、５４ｂ
と６２ａ、６２ｂ、結合片６４ａ、６４ｂと６６ａ、６
６ｂ、結合片７０ａ、７０ｂと７２ａ、７２ｂ、結合片
７６ａ、７６ｂと８２ａ、８２ｂが連結され、基本的な
形状の複合縦振動メカニカル・フィルタが得られる。

【００２９】そこで、入力側縦振動音片５２、出力側縦
振動音片８０の表裏に夫々圧電セラミックス９６ａ、９
６ｂ、出力側縦振動音片８０に圧電セラミックス９８ａ
、９８ｂが接着剤等を介して接着される。なお、予め、
前記圧電セラミックス９６ａ、９６ｂ、９８ａ、９８ｂ
にはメタライズ等によって電極を形成しておく。これら
の電極は、夫々信号源Ｏｓｃに給電線１００を介して接
続され、また、第１保持片５８、第２保持片８６は夫々
接地線１０２、１０４により接地されることは勿論であ
る。さらに、出力側圧電セラミックス９８ａ、９８ｂに
も同様に、導出線１０６が接続される。

【００３０】そこで、以上のような構成において、入力
側圧電セラミックス９６ａ、９６ｂと入力側縦振動音片
５２との間に給電線１００および接地線１０２を介して
信号源Ｏｓｃより高周波数信号Ｓ３　、例えば、スーパ
ーヘテロダイン式受信機等の周波数変換部から生成され
た４５５ｋＨｚの中間周波数信号が供給される。それに
よって、電気的に接地された入力側縦振動音片５２と入
力側圧電セラミックス９６ａ、９６ｂとの間で高周波信
号Ｓ３　に相応した電界が生起される。この電界によっ
て入力側圧電セラミックス９６ａ、９６ｂの長手方向、
すなわち、縦方向に電歪を生じ、前記入力側縦振動音片
５２がその長さＬ３　を縦波の半波長とする周波数Ｆ３
　において共振する。

【００３１】入力側縦振動音片５２において、縦波の平
均伝搬速度をＶとすると、周波数Ｆ３　は次の式によっ
て得られる。 Ｆ３　＝Ｖ／（２Ｌ３　）　　　　　　　　　　…（３
）この縦方向の振動は結合片５４ａ、５４ｂから連結用
縦振動音片６０の結合片６２ａ、６２ｂへと伝達され、
さらにその結合片６４ａ、６４ｂを介して連結用縦振動
音片６８の結合片６６ａ、６６ｂへと伝達される。連結
用縦振動音片６８がこのようにして周波数Ｆ３　で共振
すると、この振動は結合片７０ａ、７０ｂを介して連結
用縦振動音片７４の結合片７２ａ、７２ｂへと伝達され
る。 そして、前記連結用縦振動音片７４の結合片７６ａ、７
６ｂを縦方向へと振動させ、その振動は出力側縦振動音
片８０の結合片８２ａ、８２ｂへと伝達される。この結
果、出力側縦振動音片８０がその長手方向に沿って縦振
動し、出力側圧電セラミックス９８ａ、９８ｂと接地側
との間で電圧を生じ、縦振動の伝達等に起因して形成さ
れる所定の急峻な周波数特性、すなわち、狭帯域の周波
数特性Ｆ４　を有する、例えば、４５５ｋＨｚの中間周
波数信号が導出線１０６から出力信号Ｓ４　として得ら
れることになる。すなわち、出力側縦振動音片８０がそ
の長さＬ４　を、縦波の平均伝搬速度をＶとする時、周
波数Ｆ４　の出力が得られ、それを次式で表すことがで
きる。 Ｆ４　＝Ｖ／（２Ｌ４　）　　　　　　　　　　…（４
）以上のことから容易に諒解されるとおり、前記のよう
な工程を経て複合縦振動メカニカル・フィルタを製造す
れば、結合片の位置を精密に規定することができ、且つ
接合部分の均質化、すなわち、振動の伝達の均質化が図
られ、結果として品質に優れた、しかも容積の少ない複
合縦振動メカニカル・フィルタを得ることができる。

【００３２】図５以降に本発明のさらに別の実施例を示
す。この実施例において、前記第１の実施例と同一の構
成要素には同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省
略する。

【００３３】第１の実施例においては、結合片５４ａ、
５４ｂ、６２ａ、６２ｂ、６４ａ、６４ｂ、６６ａ、６
６ｂ、７０ａ、７０ｂ、７２ａ、７２ｂ、７６ａ、７６
ｂ、８２ａ、８２ｂおよび支持片５６、８４を予め屈曲
形成した。しかしながら、この実施例においては、寧ろ
これらの結合片と支持片に対応する部位を平板状に構成
している。すなわち、支持片５６ｃ、結合片５４ｃ、５
４ｄは第１保持片５８、入力側縦振動音片５２と同一面
上に延在し、一方、結合片６２ｃ、６２ｄ、結合片６４
ｃ、６４ｄは連結用縦振動音片６０と同一面上に延在し
ている。連結用縦振動音片６８の結合片６６ｃ、６６ｄ
、７０ｃ、７０ｄ、連結用縦振動音片７４の結合片７２
ｃ、７２ｄ、７６ｃ、７６ｄ、出力側縦振動音片８０の
結合片８２ｃ、８２ｄおよび第２保持片８６の支持片８
４ｃも同様に、同一面上に延在している。これらの縦振
動音片はリソグラフィ技術によってエッチングを施し、
均一なものとして形成される。

【００３４】そこで、以上のような構成において、連結
片５４ｃ、５４ｄと結合片６２ｃ、６２ｄの間、結合片
６４ｃ、６４ｄと結合片６６ｃ、６６ｄの間、結合片７
０ｃ、７０ｄと結合片７２ｃ、７２ｄの間、結合片７６
ｃ、７６ｄと結合片８２ｃ、８２ｄの間に半田ペースト
８８を配置する。その結果、半田ペースト８８の厚み分
だけ入力側縦振動音片５２、連結用縦振動音片６０、６
８、７４および出力側縦振動音片８０の間に所定の間隙
が画成される（図６参照）。このように積層されたこれ
らの縦振動音片５２、６０、６８、７４および８０は治
具９０上に位置決めされる（図７参照）。この場合、夫
々の縦振動音片５２、６０、６８、７４、８０を位置決
めするために、該治具９０に適当な凹部９２ａ、９２ｂ
を形成しておく。なお、この治具９０に代えて、図８に
示すように、弾力性に富む位置決め部材９４を用い、入
力側縦振動音片５２、出力側縦振動音片８０およびそれ
らの中間の連結用縦振動音片６０、６８、７４を位置決
めすることもできる。図８から容易に諒解されるとおり
、治具９４は湾曲する弾性体９６と、その湾曲隅角部を
保持する保持部材９８ａ、９８ｂからなる。このように
、治具９０または治具９４によって保持された縦振動音
片５２、６０、６８、７４、８０は図示しない熱処理炉
内に導入され、半田ペースト８８が溶融して固着される
。この結果、これらの縦振動音片５２、６０、６８、７
４、８０の間に半田ペースト８８が介在し、微少な間隙
が画成されることになる。そして、この間隙によって積
層された夫々の縦振動音片間では振動が伝達されること
は第１の実施例と同様である。

【００３５】

【発明の効果】本発明に係る複合縦振動メカニカル・フ
ィルタおよびその製造方法によれば、以下の効果が得ら
れる。

【００３６】縦振動音片を三次元的に連結することによ
って容積が少なく、従って、素子として小型化に適し、
しかも溶接、半田、あるいは接着剤等を用いて結合片を
相互に精密に結合することができるため、品質に優れた
複合縦振動メカニカル・フィルタを得ることができる。

【００３７】しかも、フォトリソグラフィを用いたエッ
チング法により基本形状を製作するため、その寸法精度
等が極めて高く、所望の周波数帯域でスプリアス特性の
優れたメカニカル・フィルタを得ることが可能となった
。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るメカニカル・フィルタの分解斜視
説明図である。

【図２】本発明に係る複合縦振動メカニカル・フィルタ
の入力側縦振動音片に対するマスキング状態を示す斜視
説明図である。

【図３】本発明に係る複合縦振動メカニカル・フィルタ
の組立状態を示す縦断説明図である。

【図４】図３に示すメカニカル・フィルタの製造工程を
示す説明図である。

【図５】本発明に係る複合縦振動メカニカル・フィルタ
の別の実施例の分解斜視図である。

【図６】図５に示すメカニカル・フィルタの構成要素を
積層した状態の縦断説明図である。

【図７】図６の状態にあるメカニカル・フィルタの構成
要素を治具上に載置した説明図である。

【図８】図７に示す治具と異なる治具を用いた例の説明
図である。

【図９】本出願人が既に提案したメカニカル・フィルタ
の斜視説明図である。

【符号の説明】

５０…複合縦振動メカニカル・フィルタ５２…入力側縦
振動音片 ５４ａ、５４ｂ…結合片 ５６…支持片 ５８…保持片 ６０…連結用縦振動音片 ６２ａ、６２ｂ、６４ａ、６４ｂ…結合片６８…連結用
縦振動音片 ７０ａ、７０ｂ、７２ａ、７２ｂ…結合片７４…連結用
縦振動音片 ８０…出力側縦振動音片 ８２ａ、８２ｂ…結合片 ８４…支持片 ８６…保持片 ８８…半田ペースト ９０…治具 ９２ａ、９２ｂ…凹部 ９６ａ、９６ｂ、９８ａ、９８ｂ…圧電セラミックス１
００…給電線 １０２、１０４…接地線 １０６…導出線

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】供給された高周波信号を所定の周波数帯域
   に形成して導出する複合縦振動メカニカル・フィルタで
   あって、高周波信号の入力側縦振動音片と、出力側縦振
   動音片と、前記入力側縦振動音片と出力側縦振動音片と
   の間に介装されて所定の周波数の縦波を伝搬する連結用
   縦振動音片と、前記入力側縦振動音片に固着され、入力
   側と導体により接続された電極を有する第１の圧電部材
   と、前記出力側縦振動音片に固着され、出力側と導体に
   より接続された電極を有する第２の圧電部材と、前記入
   力側縦振動音片と出力側縦振動音片とから夫々突出する
   第１と第２の支持部材と、前記第１と第２の支持部材が
   夫々係合し前記入力側縦振動音片と出力側縦振動音片と
   を中空状に保持する保持部材と、からなり、前記入力側
   縦振動音片と連結用縦振動音片と出力側縦振動音片とは
   積層され連結されていることを特徴とする複合縦振動メ
   カニカル・フィルタ。
2. 【請求項２】請求項１記載の複合縦振動メカニカル・フ
   ィルタにおいて、前記入力側縦振動音片と出力側縦振動
   音片と連結用縦振動音片とは屈曲する結合部材を有し、
   入力側縦振動音片と出力側縦振動音片とが、屈曲した結
   合片を有する一以上の連結用縦振動音片により連結され
   た三次元形状であることを特徴とする複合縦振動メカニ
   カル・フィルタ。
3. 【請求項３】請求項１または２記載の複合縦振動メカニ
   カル・フィルタにおいて、結合片は縦振動音片の長手方
   向に対し直交する方向へと延在し、且つ該縦振動音片の
   両側から互いに反対側へと屈曲していることを特徴とす
   る複合縦振動メカニカル・フィルタ。
4. 【請求項４】請求項１乃至３のいずれかに記載の複合縦
   振動メカニカル・フィルタにおいて、入力側縦振動音片
   は第１の保持部材に屈曲した第１の支持部材で連結され
   、一方、出力側縦振動音片は第２の保持部材に屈曲した
   第２の支持部材で連結されることを特徴とする複合縦振
   動メカニカル・フィルタ。
5. 【請求項５】請求項１乃至４のいずれかに記載の複合縦
   振動メカニカル・フィルタの製造方法であって、入力側
   縦振動音片と出力側縦振動音片と結合片を有する連結用
   縦振動音片とは夫々フォトリソグラフィによるエッチン
   グ法で形成することを特徴とする複合縦振動メカニカル
   ・フィルタの製造方法。
6. 【請求項６】請求項５記載の方法において、入力側縦振
   動音片と出力側縦振動音片とその間に介装される連結用
   縦振動音片とを半田、溶接または接着剤により接合する
   ことを特徴とする複合縦振動メカニカル・フィルタの製
   造方法。
7. 【請求項７】請求項５記載の方法において、半田による
   接着の際に、入力側縦振動音片、出力側縦振動音片およ
   び連結用縦振動音片の半田塗布部位に予めマスキングす
   ることを特徴とする複合縦振動メカニカル・フィルタの
   製造方法。
8. 【請求項８】請求項５記載の方法において、半田による
   接着の際に、入力側縦振動音片、出力側縦振動音片およ
   び連結用縦振動音片の半田塗布部以外に半田レジストを
   塗布することを特徴とする複合縦振動メカニカル・フィ
   ルタの製造方法。