JPH04276536A - 半導体検査装置 - Google Patents
半導体検査装置Info
- Publication number
- JPH04276536A JPH04276536A JP3037635A JP3763591A JPH04276536A JP H04276536 A JPH04276536 A JP H04276536A JP 3037635 A JP3037635 A JP 3037635A JP 3763591 A JP3763591 A JP 3763591A JP H04276536 A JPH04276536 A JP H04276536A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- light
- tester
- halogen lamp
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 20
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims abstract description 9
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 8
- 239000003086 colorant Substances 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、「光照射された原稿
からの反射光を受けて、赤・緑・青の３原色に分離して
電気信号に変換する半導体装置」を検査する半導体検査
装置に関する。
からの反射光を受けて、赤・緑・青の３原色に分離して
電気信号に変換する半導体装置」を検査する半導体検査
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、「光照射された原稿からの反射光
を受けて、赤・緑・青の３原色に分離して電気信号に変
換する半導体装置」を検査するためには、小型蛍光灯と
遮光装置を用い、遮光装置の開け閉めによって、前記半
導体装置の明出力特性と暗出力特性を測定していた。
を受けて、赤・緑・青の３原色に分離して電気信号に変
換する半導体装置」を検査するためには、小型蛍光灯と
遮光装置を用い、遮光装置の開け閉めによって、前記半
導体装置の明出力特性と暗出力特性を測定していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、他の多
くの特性項目については、小型蛍光灯と遮光装置では検
査に必要な環境を造り出すことができず、検査ができな
かった。
くの特性項目については、小型蛍光灯と遮光装置では検
査に必要な環境を造り出すことができず、検査ができな
かった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明はハロゲンランプと、上記ハロゲンランプ
より発せられる白色光を透過させる機械的に選択可能な
数枚の干渉フィルタ群等で構成される光源をウエハプロ
ーバに取り付け、又、上記光源の制御装置とＩＣテスタ
を電気的に接続し、上記ＩＣテスタからの電気信号によ
り、任意の干渉フィルタに設定でき、所望の光種を検査
しようとする半導体装置に照射できるようにした。
に、この発明はハロゲンランプと、上記ハロゲンランプ
より発せられる白色光を透過させる機械的に選択可能な
数枚の干渉フィルタ群等で構成される光源をウエハプロ
ーバに取り付け、又、上記光源の制御装置とＩＣテスタ
を電気的に接続し、上記ＩＣテスタからの電気信号によ
り、任意の干渉フィルタに設定でき、所望の光種を検査
しようとする半導体装置に照射できるようにした。
【０００５】
【作用】以上説明したように、上記光源をウエハプロー
バに取り付け、所望の光種を検査しようとする半導体装
置に照射することにより、上記半導体装置を検査するの
に必要な環境を構築したものである。
バに取り付け、所望の光種を検査しようとする半導体装
置に照射することにより、上記半導体装置を検査するの
に必要な環境を構築したものである。
【０００６】
【実施例】図１、図２、図３は、それぞれ本発明の半導
体検査装置の実施例の平面図、正面図、側面図である。 光源１は、スコープ４の取り付け軸５と同軸上に取り付
けられ、上記取り付け軸５のまわりで上記スコープ４と
共に回転することができる。
体検査装置の実施例の平面図、正面図、側面図である。 光源１は、スコープ４の取り付け軸５と同軸上に取り付
けられ、上記取り付け軸５のまわりで上記スコープ４と
共に回転することができる。
【０００７】次にその作用について説明する。検査に先
立つセットアップの作業の際には、スコープ４を取り付
け軸５のまわりで回転させ同作業を行う。しかるのちに
光源１を取り付け軸５のまわりで回転させ検査しようと
する半導体装置の真上に位置させて検査を行う。又、光
源１とスコープ４は互いに適切な取り付け角をもって取
り付けてあるので、ＩＣテスタ２の開閉時及びメンテナ
ンス時において上記ＩＣテスタ２が光源１やスコープ４
に干渉しない。
立つセットアップの作業の際には、スコープ４を取り付
け軸５のまわりで回転させ同作業を行う。しかるのちに
光源１を取り付け軸５のまわりで回転させ検査しようと
する半導体装置の真上に位置させて検査を行う。又、光
源１とスコープ４は互いに適切な取り付け角をもって取
り付けてあるので、ＩＣテスタ２の開閉時及びメンテナ
ンス時において上記ＩＣテスタ２が光源１やスコープ４
に干渉しない。
【０００８】
【発明の効果】この発明は、以上説明したようにハロゲ
ンランプと、上記ハロゲンランプより発せられる白色光
を透過させる機械的に選択可能な数枚の干渉フィルタ群
等で構成される光源をウエハプローバに取り付け、又、
上記光源の制御装置とＩＣテスタを電気的に接続し、上
記ＩＣテスタからの電気信号により任意の干渉フィルタ
に設定できるという構成にしたので、「光照射された原
稿からの反射光を受けて、赤・緑・青の３原色に分離し
て電気信号に変換する半導体装置」を合理的に検査でき
るという効果がある。
ンランプと、上記ハロゲンランプより発せられる白色光
を透過させる機械的に選択可能な数枚の干渉フィルタ群
等で構成される光源をウエハプローバに取り付け、又、
上記光源の制御装置とＩＣテスタを電気的に接続し、上
記ＩＣテスタからの電気信号により任意の干渉フィルタ
に設定できるという構成にしたので、「光照射された原
稿からの反射光を受けて、赤・緑・青の３原色に分離し
て電気信号に変換する半導体装置」を合理的に検査でき
るという効果がある。
【図１】本発明の半導体検査装置の平面図である。
【図２】本発明の半導体検査装置の正面図である。
【図３】本発明の半導体検査装置の側面図である。
１ 光源
２ ＩＣテスタ
３ ウエハプローバ
４ スコープ
５ 取り付け軸
Claims (2)
- 【請求項１】 ハロゲンランプと、前記ハロゲンラン
プより発せられる白色光を透過させる機械的に選択可能
な数枚の干渉フィルタ群等で構成される光源を、ウエハ
プローバに取り付けたことを特徴とする半導体検査装置
。 - 【請求項２】 前記光源の制御装置と、ＩＣテスタが
電気的に接続され、前記ＩＣテスタからの電気信号によ
り、ハロゲンランプより発せられる白色光を透過させる
機械的に選択可能な干渉フィルタ群等の内の任意の干渉
フィルタ等に設定することを特徴とする半導体検査装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3037635A JPH04276536A (ja) | 1991-03-04 | 1991-03-04 | 半導体検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3037635A JPH04276536A (ja) | 1991-03-04 | 1991-03-04 | 半導体検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04276536A true JPH04276536A (ja) | 1992-10-01 |
Family
ID=12503105
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3037635A Pending JPH04276536A (ja) | 1991-03-04 | 1991-03-04 | 半導体検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04276536A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002023619A3 (de) * | 2000-09-13 | 2002-12-27 | Infineon Technologies Ag | Verfahren und vorrichtung zur erfassung von auf einem wafer aufgebrachten schichten |
| KR100866283B1 (ko) * | 2000-10-30 | 2008-10-31 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 액면 센서, 액체 용기 및 액체량 검지 방법 |
-
1991
- 1991-03-04 JP JP3037635A patent/JPH04276536A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002023619A3 (de) * | 2000-09-13 | 2002-12-27 | Infineon Technologies Ag | Verfahren und vorrichtung zur erfassung von auf einem wafer aufgebrachten schichten |
| KR100866283B1 (ko) * | 2000-10-30 | 2008-10-31 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 액면 센서, 액체 용기 및 액체량 검지 방법 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ATE135110T1 (de) | Substrat-prüfungsvorrichtung | |
| CN106680298A (zh) | 一种pcb板检测装置及检测方法 | |
| CN106353317A (zh) | 检测待测目标物的检测装置与方法 | |
| JP3341963B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
| KR101182093B1 (ko) | 카메라 검사장치 | |
| TW201215878A (en) | Imaging method for inspection of chip appearance | |
| JPH04276536A (ja) | 半導体検査装置 | |
| US20070001099A1 (en) | Method and apparatus for inspecting solid-state image pick-up device | |
| CN205606313U (zh) | 多边形光学检测光源结构 | |
| MY121566A (en) | Autohandler and method of measuring devices using the autohandler. | |
| JPH0448250A (ja) | ヒューズ配列検査装置 | |
| JPH0943097A (ja) | カラーフィルター欠陥検査装置 | |
| CN108519331A (zh) | 一种基于变色led技术的印染品检测系统 | |
| JP4115753B2 (ja) | 試料検査装置 | |
| JP3099417B2 (ja) | 照明装置及び検査装置 | |
| JPH05188006A (ja) | 表面疵検知装置 | |
| CN216349110U (zh) | 一种均匀面光源 | |
| CN217334025U (zh) | 一种一体式光源 | |
| CN212845075U (zh) | 打光成像装置 | |
| JPH03190253A (ja) | イメージセンサー測定用検査装置 | |
| KR200198440Y1 (ko) | 고체촬상소자검사장치 | |
| JPH0526580Y2 (ja) | ||
| KR0152885B1 (ko) | 인쇄회로 기판의 납땜상태 분류방법 | |
| JPS57207853A (en) | Lighting device for inspecting thin plate having semitransmission characteristics | |
| JP2005321352A (ja) | 検査装置および検査方法 |